【課題】コンパクトな構成ながら軸線ズレを抑制できる静圧回転軸及びそれを用いた支持装置を提供する。
【解決手段】軸線ズレが生じると、第１の絞り部の圧力伝達媒体の流れ方向下流側にある大径円筒状の静圧面ＬＳＰと支持面ＬＨＰとのスキマΔＬ’は、第２の絞り部の下流側にある小径円筒状の静圧面ＳＳＰと小径円筒状の支持面ＳＨＰとのスキマΔＳ’より広く、小径円筒状の静圧面ＳＳＰが圧力伝達媒体より受ける単位面積当たりの力ＦＳは、大径円筒状の静圧面ＬＳＰが圧力伝達媒体より受ける単位面積当たりの力ＦＬより大きくなるため、ズレ量に応じて増大するその力の差分（ＦＳ−ＦＬ）により、大径円筒状の静圧面ＬＳＰと大径円筒状の支持面ＬＨＰとのスキマと、小径円筒状の静圧面ＳＳＰと小径円筒状の支持面ＳＨＰとのスキマが等しくなる方向に、前記静圧回転軸ＳＲＳを移動させる。 （もっと読む）

【解決手段】 油膜軸受の流体静力学的な設備の液圧供給導管のための接続ブロック１であって、この接続ブロックが、強固に、軸受チョック１１に配設されており、且つ、少なくとも１つの液圧チューブを保持しており、この液圧チューブが、この軸受チョック１１内において可動に配設された軸受ブッシュと結合されている様式の上記接続ブロックは、流体静力学的な設備の作動信頼性が向上されているように改良されるべきである。この目的で、接続ブロック１が、穿孔２を有していること、この穿孔２が、軸受部３、３′を備え付けられており、これら軸受部内に、接続管体４が軸線方向に可動に軸受されていること、この接続ブロック１が、この中心の穿孔２に対して半径方向に設けられた、第２の穿孔７を有しており、この穿孔の開いている端部が、接続チューブのための継ぎ手９を備えていること、この半径方向の穿孔７が、この接続管体４を囲繞する環状通路８内において終端していること、この接続管体４が、この環状通路８の領域において、少なくとも１つの半径方向に整向された開口部１０を有していること、この接続管体４の一方の端部が閉鎖されていること、および、この接続管体の自由な端部に、軸受ブッシュへと案内された接続チューブのための継ぎ手５が設けられていること、が提案される。
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【課題】 高剛性を得るための最適な気体膜厚さに設定することができるスライドテーブル装置を提供する。
【解決手段】 複数の給気部７が設定されたスライドテーブル１の下面１ａの一部に吸気部９を設定したため、スライドテーブル１に下向きの力が作用し、高剛性を得るための最適な気体膜Ｍの厚さに設定することができる。給気部７がスライドテーブル１の周縁部寄りに位置しているため、給気部７間のスパンが大きくなり、軸受剛性がより向上する。吸気部９がスライドテーブル１の中央に位置しているため、吸気部９による下向きの力をスライドテーブル１の全体に作用させることができる。大気開放溝１０が形成されているため、給気部７と吸気部９の機能を独立して発揮させることができる。 （もっと読む）

【課題】 高い精度で工具若しくは工作物の受ける加工応力を検出できるとともに、検出点の位置などの設計上の自由度が高く、種々の装置に容易に設けることができる検出手段を有する加工装置を提供する。
【解決手段】 本発明の加工装置１００は、工具Ｔ若しくは工作物が固定されたスピンドル軸１０１と、スピンドル軸を回転自在にかつ軸線方向に流体を介して軸支する軸受構造１０４を備えた支持体１０３と、工具若しくは工作物の受ける加工応力を検出する検出手段とを有し、検出手段は、スピンドル軸に対して少なくともその軸線方向に固定された状態で接続された検出電極１０６と、検出電極に対し軸線方向に対向配置され支持体に対して少なくとも軸線方向に固定された状態で接続された固定電極１０５Ａ，１０５Ｂと、検出電極と固定電極との間の静電容量を直接若しくは間接的に検出する検出回路とを有する。 （もっと読む）

【課題】 高精度な直線移動が実現できる軸受構造及び該軸受構造を用いた直線駆動装置を得る。
【解決手段】 直線移動する可動部２側の軸受面の長さは固定部１側の軸受面より移動ストローク分以上長く成形されている。これにより、固定部１側の軸受面が可動部２側の軸受面に常に対向する。固定部１には空気供給源と接続され、固定部の軸受面には空気を噴射する空気吐出口が複数配設されて空気軸受を構成する。可動部２は固定部１が挿入する側のみ開口している。固定側にコイル、可動側に磁石を配設してリニアモータを形成し直線駆動装置とする。圧縮空気や電力を供給するケーブル９等は固定部１に接続され、可動部２には接続されないから、ケーブル等から外力が加わらず、高精度の運動が得られる。また、開口部が１箇所で剛性の強い可動部が得られ、圧縮空気の大きな力に耐えうる。 （もっと読む）

【課題】 この静圧形直動案内ユニットは，スライダを軌道レールに対して静圧で浮上させて相対摺動させ，スライダをコンパクトに，高精度に構成する。
【解決手段】スライダ１は多数のケーシング板３Ｐから成るケーシング３と噴出口１０に通じる供給口８を備えたエンドプレート４から成る。ケーシング３の軌道面６には，軌道レール１の軌道面５に対して流体を噴き出す噴出口１０が多数形成されている。軌道レール１の軌道面５は両側面３４に互いに直交する一対の傾斜面から形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤルゲージ（２）等で水平方向の平滑度を計測する際、又はハイトゲージ等で水平方向のけがきをする際の摩擦および振動で計測精度の低下、作業性の非効率をまねく。そこで、計測動作から生じる定盤との摩擦と振動を抑えることにより、計測過程における精度と能率のにつき向上を図る。
また、支持したい計測器が重いとき、定盤等との摩擦を抑えることにより、取り扱いなどの作業能率向上と、維持管理の簡便を図る。
【解決手段】 静圧気体軸受機構を有する計測器支持台（１０）により計測器等を静圧により浮上支持し、計測動作から生じる摩擦を抑制し、振動を抑え、計測機構への負荷を低減し、作業者への重量面での負担を軽くした。 （もっと読む）

【課題】
支持剛性を高く維持しつつも、より軽量化が図れる静圧スライドを提供する。
【解決手段】
同じ方向を向いた２つの静圧面ＳＰ１、ＳＰ３の間に、それらの向きと交差する方向を向いた少なくとも１つの静圧ＳＰ２を配置している。従って、同じ合計面積の静圧面を有しながらも、比較例の静圧スライドＳＳ’の断面において、点線で示す領域分Ａだけ軽量化されることとなる。静圧面の合計面積は、支持剛性に等しいため、本発明の静圧スライドＳＳは、比較例の静圧スライドＳＳ’に比べて、同じ支持剛性を有しながらも、より軽量化を実現できる。 （もっと読む）

【課題】
コンパクトで検査精度の高いマスク検査装置を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる、マスク検査装置は、鉛直方向に被検査対象のマスク６を保持し、ＣＣＤカメラ３ａを鉛直方向に移動させてマスク６を検査するマスク検査装置であって、定盤２の上に立てられた角柱１と、角柱１の少なくとも２側面の基準面９、１０に対向するヘッド用直角ステージ１２と、ヘッド用直角ステージ１２を一定の高さに保つバランスウェイト４と、ヘッド用直角ステージ１２の各々の基準面側に設けられ、基準面側に気体を噴出する噴出部と気体を吸引する吸引部とを有するエアパッド１１と、ヘッド用直角ステージ１２を鉛直方向に移動させる鉛直方向駆動機構８とを備え、鉛直方向駆動機構のラック３５が角柱２に設けられているものである。 （もっと読む）

回転する圧縮機(10)を担持する圧縮機シャフト(17)の振動を減衰するための軸受装置を提供する。軸受装置は、シャフト(17)を支持するための第１の軸受(14)と、第１の軸受(14)からアウトボード側へ離れて配置され、シャフトへ加わるモーメントおよび振動方向に対抗する付加減衰を発生させるための第２の軸受(13)とを備える。
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【課題】 調整スペースが不要でかつ調整作業を速やかに行えるステージ装置を提供する。
【解決手段】 ステージ装置１００は、基準面１１ａ、１１ｂと案内面１２ａ、１２ｂを有する定盤１と、基準面１１ａ、１１ｂに対向する面と案内面１２ａ、１２ｂに対向する面を有するスライドテーブル２１を有するＸ軸ステージ２と、スライドテーブル２１を基準面１１ａ、１１ｂ及び案内面１２ａ、１２ｂに沿ってＸ軸方向に移動させるリニアモータ３と、スライドテーブル２１の基準面１１ａ、１１ｂ及び案内面１２ａ、１２ｂに対向する側に設けた複数のエアースライド部材４と、Ｙ軸方向に移動するスライドテーブル５１を有するＹ軸ステージ５を備え、エアースライド部材４はエアーを吹き出すエアーパッド４１ａ〜４１ｈと、これらのエアーパッドを基準面１１ａ、１１ｂ又は案内面１２ａ、１２ｂに向って移動させるエアーシリンダ４３と、連通孔４５を有する。 （もっと読む）

【課題】 ねじ等を用いないでも静圧気体軸受パッドに隙間調節部材を脱落しないように連結できて、而して、コスト低下を図り得る静圧気体軸受パッドと隙間調節部材との組み合わせ構造、それに最適な静圧気体軸受パッド及び隙間調節部材並びにそれを用いた静圧気体軸受機構を提供すること。
【解決手段】 可動体１を固定体２に対してＸ方向に移動自在に保持すベく可動体１と固定体２との間に介在させる静圧気体軸受パッド３と、静圧気体軸受パッド３と可動体１との間の隙間４を調節する隙間調節部材５との組み合わせ構造６は、静圧気体軸受パッド３に設けられていると共にリング装着溝７を有する凹所８と、リング装着溝７に装着された拡径自在な弾性Ｏリングからなるリング９と、隙間調節部材５に設けられていると共に凹所８を規定する静圧気体軸受パッド３の凹所規定面１０から部分的に突出するリング９を受容する受容溝１１とを具備している。 （もっと読む）

診断撮像装置において、固定ガントリ(22)及び回転ガントリ(24)が複数の空気軸受要素(40)によって接合されている。下部空気軸受要素は回転ガントリ(24)の重量を受け、固有振動周波数で空気ハンマリング現象を誘発する。空気ハンマリングを打ち消すために、制動アセンブリ(44)が少なくとも１つの下部軸受要素に取り付けられている。制動アセンブリ(44)は制動質量体(46)及びエラストマコネクタを含み、それらはハンマリング周波数近辺の周波数に調整されることで、振動エネルギーを吸収し、空気ハンマリング振動を制動する。
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流体クッション上の静止又は移動する実質的に平坦な対象物を物理的接触なしに支えるための装置。対象物は流体クッションギャップ上で浮動し、装置はこのギャップを全域か局所で調整することを目的とする。装置は非接触で対象物を支える第一土台を含み、この土台が一個以上の区域からなる実質的に平坦な活性表面を有し、各区域が複数基本セルの内の少なくとも一つを含み、各基本セルが圧力調整流量絞り弁により基本セルの位置する区域に関する高圧マニフォールドと流体的に連結した複数圧力出口の内の少なくとも一つを有し、高圧マニフォールドが主供給パイプラインにより加圧流体供給と主排気パイプラインを有する基本セルが位置する区域に関する低圧マニフォールドと流体的に連結した複数流体排気チャネルの少なくとも一つと流体的に連結するものからなる装置で、流量絞り弁が流体的伸縮バネ挙動を特徴的に示し、少なくとも一個の圧力調整弁を区域の二個のマニフォールドの内の少なくとも一つの圧力レベルを制御するため、少なくとも一区域の二個の主パイプラインの内の少なくとも一つの間に配置することからなる装置。 （もっと読む）

被支持体と該被支持体を支持する支持体の対向し合う面にそれぞれ形成されるスベリ面間に形成される流体圧ポケットに供給される流体をシールするための流体シール機構にあって、前記支持体のスベリ面には流体をシールするための弾性リングを嵌入させるリング溝が形成され、かつ、前記弾性リングの外側に前記弾性リングが前記リング溝から飛び出すのを阻止するための規制リングを外嵌させた状態にて、前記規制リングが前記弾性リングと共に前記リング溝内に嵌入され、前記流体圧ポケット内に供給された流体が所要圧に達した時には、前記規制リングは前記弾性リングと共に前記被支持体のスベリ面に圧接状態で接触することにより、前記弾性リングの飛び出しが阻止されるように構成する。 （もっと読む）

そのロールネック上に設けられたロールネックスリーブ（３）が、ロールチョック（２）内に設けられた軸受ブッシュ（５）により取囲まれている、ロールネック（４）用の油膜軸受（１）であって、この場合、軸受ブッシュ（５）が実質的に共通の軸方向ライン内に設けられており、内側に設けられている少なくとも二つの流体静力学的凹部（９，９’）を備え、この流体静力学的凹部が、逆止弁（１８）を介して、及び軸受ブッシュ（５）内で延びている孔（６，６‘）を介して加圧手段を供給可能であり、そしてこの場合、孔（６，６‘）内の絞り弁（１５，１５’）が、軸受ブッシュ（５）内におけるロールネック（４）あるいはロールネックスリーブ（３）が間違った状況にあった場合でも、最適な流体静力学的軸受を保証する油膜軸受（１）は、軸受の流体静力学的機能が費用のかからない方法で確実に果たされており、絞り弁（１５，１５’）の検査を簡単に行うことができるように検討されていなければならない。その目的で、少なくとも二つの孔（６，６‘）が、接続ブロック（１２）と接続していること、絞り弁（１５，１５’）が接続ブロック（１２）内に収容されていること、そして接続ブロック（１２）に逆止弁（１８）が所属していることを提案する。 （もっと読む）

本発明は、相互に可動な少なくとも２つの部品（０９，１０）を有する装置（０１）であって、少なくとも１つのエアクッション軸受け部材（１４）が、第１の部品（１０）上に設けられ、第２の部品（０９）上に設けられたガイドウエイ（１５）と協働し、その結果、第１の部品（１０）が、エアクッション軸受け部材（１４）とガイドウエイ（１５）との間のエアギャップによって非接触で第２の部品上で案内され、そして／または支持される装置（０１）に関する。ガイドウエイ（１５）は、第２の部品（０９）に並んで取り付けられるタイル（２０）から構成される。
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【課題】差動排気シールおよび静圧気体軸受を有する軸受部の軸部材３０とのギャップ変動を抑えて組立調整を容易にする駆動装置を提供する。
【解決手段】差動排気シールおよび静圧気体軸受を有する軸受部の軸部材３０とのギャップ変動を抑えて組立調整を容易にするために、筐体２０の孔２２に挿入された軸部材３０をシールする差動排気シール５０を、孔２２に挿入された略円筒状のハウジング５６内に設ける。このハウジング５６内には、多孔質グラファイトからなる静圧軸受７２、７３を有する軸受部７０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 排気の良好を図りながら、同じ外径寸法でも軸受性能を従来より向上させることができ、また軸受性能を下げずに外径の小型化が図れるものとする。
【解決手段】 ハウジング１の内径面に軸受スリーブ２が嵌合し、軸受スリーブ２内を貫通した主軸３が、ジャーナル軸受４およびスラスト軸受５により回転自在に支持される。各軸受４，５は、絞り孔８，１０から軸受隙間ｄ１，ｄ２に気体を供給する静圧気体軸受である。これら軸受隙間ｄ１，ｄ２から排気する排気路２１を主軸３内に設ける。主軸３のフランジ面の立上り部には盗み部１６を設け、排気路２１はこの盗み部１６に開口させる。 （もっと読む）