【課題】可動部が固定部に対して空気軸受で支持された軸受装置において、軸受装置全体の空間体積の増加を抑えることができ、かつ、既存の駆動機構を備えていない軸受装置に後付けによる設置が容易な駆動機構を有する軸受装置を提供すること。
【解決手段】長尺状の固定部２と、固定部２に沿って案内される可動部３とを備える。可動部３は、可動部３を固定部２に対して浮上させた状態で案内可能な空気軸受によって支持される。可動部３は、可動部３を駆動するモータユニット４を備え、モータユニット４は、モータと、モータの駆動力によって回転するとともに固定部２に接する車輪８とを有して構成される。従って、モータユニット４を備えることにより軸受装置１全体の空間体積の増加を抑えることができ、モータユニット４が可動部３に取り付けられているので、既存の軸受装置に対して後付で容易に取り付けることもできる。 （もっと読む）

【課題】コーティングロールが撓んだり、コーティングロールに重力方向以外の外力が加わったりしても、コーティングロールの回転軸心が変動することがなく、高い回転精度を実現する。
【解決手段】
ロール１４の回転軸２２を回転自在に支持する油圧式静圧軸受２６と、油圧式静圧軸受２６を支持すると共に、ロール１４の重力方向の撓みにのみ追従するように油圧式静圧軸受２６の傾動を許容するすべり軸受２７と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】パーティクルが装置周辺に飛散することを防止することができる静圧軸受を提供する。
【解決手段】滑走面２ａ上を浮上するために噴出面１１ａから滑走面２ａに対して空気Ａ１を噴出し、ステージ２の表面に形成されている微細な孔部に入り込んだパーティクルＰ又はステージ表面上に付着したパーティクルＰに空気Ａ１が吹き付けられた場合であっても、吹き付けられた空気Ａ１の一部である空気Ａ２を、噴出部１１の外周側に配置された吸引面１２ａで、パーティクルPごと吸引して回収する。また、吸引面１２ａを、噴出面１１ａの下端より後退して配置して、パーティクルＰの吸引と空気の噴出とをバランスさせ易く、これによって、静圧軸受１０を滑走面２ａ上で浮上させ非接触で滑走させながら、ステージ装置１周辺へ飛散するパーティクルＰを確実に捕捉する。 （もっと読む）

【課題】ハウジングとパッド部材との間の剥離および接着剤の給気溝への入り込みを防止し、安定した軸受性能を得る静圧軸受パッドを提供する。
【解決手段】この静圧軸受パッドは、静圧軸受を形成する軸受面を含み内部に給気孔３が形成されているパッド部材１と、接着剤によってパッド部材１と接着されているハウジング２とを備える。パッド部材１に圧縮気体を供給するための給気溝４は、ハウジング２のパッド部材１に接着している面において、給気孔３の配置に対応するように形成されている。接着剤を介在させてハウジング２とパッド部材１とが接着している接着部１１、１２と、給気溝４との間には、接着剤逃げ溝７、８が形成されている。接着剤逃げ溝７、８は、ハウジング２のパッド部材１に接着している面において、給気溝４に沿って形成されている。 （もっと読む）

【課題】ロータの安定性を改善することができるロータ駆動装置を提供する。
【解決手段】ロータ駆動装置は、ロータとステータとを含む。ステータはロータのスピン軸に配置されている気体噴出オリフィスを有する。気体噴出オリフィスは、ロータのテーパ面と、軸方向に間隔を隔てたステータのテーパ面との間に形成されている軸受隙間に連通している。気体は、気体噴出オリフィスから軸受隙間に流れ、それによって回転中にロータを支持する、中央に供給され径方向外側へと流れる気体軸受を確立する。ある実施態様では、駆動用気体の個別の流れを、ロータの駆動溝に送って回転を駆動する。別の実施態様では、駆動溝に当てて回転を起こすために、中央に供給され径方向外側へと流れる気体の流れを追加で利用する。 （もっと読む）

【課題】スライダ装置の運動精度を向上させることのできる直線案内装置を提供すること。
【解決手段】吹出口４１から第１流体ベアリング面７５に向けて流体が吹き出されるとともに吸込口３１に流体が引き込まれると、吹出口４１から吹き出された流体の一部が吸込口３１に引き込まれることにより、第１流体ベアリング面７５と第１案内面２１との間に流体層７７が形成される。また、第２静圧伝達口７３２から吹き出された流体が第２負圧伝達口７４２に引き込まれることにより、第２流体ベアリング面７６と第２案内面２２との間にも流体層７７が形成される。従って、スライダ装置７に静圧および負圧を送るための配管を取り付けることなく、スライダ装置７を直線ガイドレール上に滑動可能に設置することができるので、それらの配管による外乱を無くすことができ、スライダ装置７の運動精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 回転軸から軸受に伝達させた振動を高温部から離れたところへ取り出し、減衰させる。
【解決手段】 回転軸９の外側に隙間が形成されるように嵌合させた浮動軸受１０と、浮動軸受１０の外側に隙間が形成されるように嵌合させた固定軸受１１を配置する。回転軸９と浮動軸受１０との間の第一の流体潤滑膜１２に加圧流体を供給する孔１５ａを有する振動伝達ロッド１５の内端側を上記浮動軸受１０に固定する。振動伝達ロッド１５の外端側を、固定軸受１１に設けた挿入用孔１６内を通して固定軸受１１の外へ取り出し、減衰素材１４で支持する。 （もっと読む）

【課題】酸性ガスなどの腐食環境に適合可能な、ＮＡＣＥ規格準拠の真空ステータアセンブリおよびその製作工程を提供する。
【解決手段】前記真空ステータアセンブリは、一実施形態において、磁性材料製のステータスリーブ１５４、前記ステータスリーブ１５４と同軸かつ前記ステータスリーブ１５４端部の各々に接合部において固定されその後、前記接合部が熱処理された、非磁性材料製のスリーブ拡張部１５２、および前記スリーブ拡張部１５２に固定され、ステータを真空状態で内包し真空ステータアセンブリを構成するよう設けられた非磁性材料製の壁を有する。 （もっと読む）

【課題】磁石による吸引力を利用する静圧案内装置において、軸受面積を広く確保することである。
【解決手段】静圧案内装置１０は、案内台１２と、移動台２０と、移動台２０に取り付けられた浮上量センサ３８と、制御部８０とを含む。移動台２０は、ヨーク３０と電磁石３２を含む磁気吸引部が埋めこまれる内側部と、内側部の側面と上面とを覆っている外殻部を有する。内側部は、ヨークと電磁石３２とを収納した後で、その周囲等の隙間空間が適当な強度を有する材料で充填され、外殻部と一体化され、移動面２２が一体として平坦化される。移動台２０の周囲には囲み溝２６が設けられ、ここに供給された加圧流体が案内台１２に向けて噴出する。 （もっと読む）

【課題】回転体とラジアル軸受パッドとの隙間調整を容易に行なうことができる静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】この回転体を支持する静圧気体軸受は、回転体を半径方向に支持するラジアル軸受パッド３と、ラジアル軸受パッド３を移動させる直動案内１ｃと、直動案内１ｃに対してラジアル軸受パッド３を揺動可能に結合するボールスタッド４とを備える。直動案内１ｃがラジアル軸受パッド３を移動させる方向は、回転体の回転中心とボールスタッド４とを結ぶ方向に対して交差している。回転体の外周面２ｃとラジアル軸受パッド３との間の軸受隙間の変化量に対して、直動案内１ｃがラジアル軸受パッド３を移動させる移動調整量は大きいために、軸受隙間の微細な量の調整を精度よく行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】主軸のより細やかな位置決めを可能とし、高度な位置決め精度を実現できる軸受装置を提供する。
【解決手段】主スラスト軸受部２１は、主軸部１の第一面１１ａに対して第一スラスト力を発生させる第一規制部２１１と、主軸部１の第二面１２ａに第二スラスト力を発生させる第二規制部２１２とを有する。調整スラスト軸受部４は、主軸部１の第三面１３ａに非接触に対向配置される第三対向面４１ｂを有し且つ変更可能な調整スラスト力を第三面１３ａに対して発生させる。制御部５は、主軸部１のスラスト方向変位に基づいて、第三対向面４１ｂを移動させることにより調整スラスト力を能動的に変更する。そして、平衡状態において、主軸部１の所定変位に対する調整スラスト力の変化量は、所定変位に対する第一スラスト力および第二スラスト力の変化量の合計より小さい。 （もっと読む）

【課題】 従来装置の固定絞りの径では、同一径に加工し、仕上げることが出来ず、滑り面Ａにある穴径との不一致や固定絞り長さＬの公差±０．１程度の変化により各ポケット圧Ｐ２が異なとなり超精密機械に使用されるテーブル等が傾いてしまうということがあり、これらを取除いた油静圧軸受に用いる固定絞り装置を提供する。
【解決手段】 油静圧軸受に用いる流体の流量を絞る固定絞り装置において、円筒状の固定絞り本体と、同固定絞り本体に設けた円筒状部を貫通する複数個の流体の流量絞り用細い貫通孔とを得て構成したことを特徴とする油静圧軸受に用いる固定絞り装置とした。 （もっと読む）

【課題】対向する電磁石のいずれか一方の制御電流を常に０とする完全なゼロパワー制御が達成でき、かつ演算周期毎に判定するパラメータ数を低減し、演算ロジックを簡易し、ＣＰＵの制御量を減少させ、高性能かつ高価なＣＰＵの必要性を低減することができる電磁吸引式磁気軸受とその制御方法を提供する。
【解決手段】互いに対向して配置された少なくとも１対の電磁石１，２と、電磁石の間に配置されその中間位置に保持される浮遊体３と、浮遊体の平衡位置からの変位及び／又は速度を検出するセンサ４と、電磁石を制御する制御装置５とを備える。制御装置５は、浮遊体の変位と速度から、制御方向の加速度に正比例する変数Ｚを求め、変数の正負に応じて、一方の電磁石の制御電流をゼロとし、他方の電磁石の制御電流のみを制御する。 （もっと読む）

【解決手段】 基板処理方法および装置が開示される。該装置は、表面にガス流を供給するように構成される、一つあるいはそれ以上のガス流開口を備えた表面を有するチャックを含む。前記表面は、表面に亘って分散された一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを含む。真空チャンネルは、それを通って真空を引くことを可能にする。本方法では、基板は、基板の裏面でチャック表面の近傍に、チャック表面に充分に接近して支持されるので、ガス流と真空が基板の裏面とチャック表面とを隔置された関係に維持することができる。ガス流は、ガス流開口を通して供給され、真空は、一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを通して引かれる。基板は、基板表面に実質的に垂直な方向に沿って移動される。 （もっと読む）

【課題】機械加工を施した後も良好に多孔質静圧気体軸受として使用することができる通気性を保持し得る軸受素材を提供すること。
【解決手段】軸受素材は、裏金１と、裏金１の面に焼成された多孔質焼結金属層２とを具備しており、多孔質焼結金属層２の粒界には無機物質粒子が含有されている。多孔質焼結金属層は、錫、ニッケル、燐及び銅を含んでおり、無機物質粒子は、黒鉛、窒化ホウ素、フッカ黒鉛、フッカカルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素のうちの少なくとも一つからなる。 （もっと読む）

【課題】軸受剛性及び負荷容量が大きく、自励振動の発生を効果的に抑制することのできる多孔質静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】多孔質静圧気体軸受２０は、円盤状の裏金本体部２１と、裏金本体部２１の一方の円形の面２２の外周縁に立設された円形の環状立壁部２３と、環状立壁部２３と同心状であって環状立壁部２３に囲まれて裏金本体部２１の一方の面２２に立設された円形の環状突出部２４とを一体的に備えたステンレス鋼からなる裏金２５を具備しており、環状立壁部２３の環状内壁面２６に囲まれた円形の凹部２７は、環状立壁部２３の環状内壁面２６及び環状突出部２４の環状外壁面２８に囲まれた円環状の外側凹部２９と環状突出部２４の環状内壁面３０に囲まれた円形の内側凹部３１とに二分されて当該外側凹部２９と内側凹部３１とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】ロータリーオートマイザー及びこのロータリーオートマイザーの空気軸受け保護システムを提供する。
【解決手段】本発明によれば、構造を簡単化させて製作コストを節減し、空気軸受けを用いることによりメンテナンスコストを節減すると共に、高速回転が可能になり、圧縮空気の供給が中断されるなどの非常時に圧縮空気を一時的に供給することにより空気軸受けの破損を防ぐことのできるなど、システム全体としての安定性及び耐久性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は可動側球面軸受け部材のθｚ方向の動きを規制すると共に、θｘ方向及びθｙ方向の動きを許容することを課題とする。
【解決手段】静圧球面軸受装置１００は、固定側球面軸受け部材１２０と、可動側球面軸受け部材１３０と、可動側球面軸受け部材１３０の外周よりＸ方向に延在する四角形状の被規制部材１４０と、被規制部材１４０のθｚ方向の動きを規制すると共に、θｘ方向及びθｙ方向の動きを許容する規制機構１５０とを有する。規制機構１５０は、被規制部材１４０のＹ方向の側面に対する動きを規制するストッパ部材１６０と、ストッパ部材１６０をθｘ方向に回動可能に支持するストッパブッシュ１７０と、ストッパブッシュ１７０を保持するストッパスライダ１８０と、ストッパスライダ１８０をＹ方向にスライド可能に支持するストッパガイド１９０とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、「ピン＋ピストン」（ピン及びピストン）のシステムの固有共振が最小化される、垂直方向及び水平方向に有効なエアベアリングを提供することである。
【解決手段】 エアベアリングは、底部プレート、底部プレートに可動に配置されたインタフェース部、インタフェース部の内部に可動に配置されると共に、底部プレートに対して水平及び垂直方向に除振支持される荷重を支持するピストン、及びピストンを荷重と接続する結合要素を有する。結合要素は、好ましくはピンを有し、当該ピンは、ピストンと接続される、特にピストンに螺着される。 （もっと読む）

【課題】工具を取り付ける際の作業性を向上しつつ、外径を小さくすることのできる気体スピンドルおよびこれを用いたパターン修正装置を提供する。
【解決手段】エアスピンドル９０は、主軸２と、ハウジング６０〜６３と、チャックシリンダ部３０とを備えている。主軸２はスラスト板６を有しており、かつ中空部分６４において回転可能であり、かつその一端に工具１が固定される。ハウジング６０〜６３は外周面６１ａから中空部分６４へ通じる通路を有している。チャックシリンダ部３０は給気の有無によって工具１の固定状態を制御する。チャックシリンダ部３０は給気のための取付部４９ａをハウジング６３における後端面６３ａに有している。通路は、通路１２を有している。通路１２はハウジング６１の外周面６１ａから内径方向に向かって形成されている。ハウジング６１は通路に圧縮気体Ａ１を供給するチューブ取付部材１０を取り付けるための取付部１１をさらに有している。通路１２は一つの通路で構成されている。 （もっと読む）