【課題】長尺な部材や横断面サイズが大きくなっても自重たわみを改善することができるガイド部材を備え、製造コストの低減化を図ることができる静圧空気軸受直線案内装置を提供する。
【解決手段】案内方向に延在するガイド部材４と、ガイド部材に沿って案内方向に移動する可動体５と、この可動体を気体によって支持・案内する空気軸受部１３ａ〜１３ｈと、を備えた静圧気体軸受直線案内装置である。ガイド部材は、長尺方向が案内方向に平行に延在する一対の側板ガイド部材４ａ，４ａと、一対の側板ガイド部材の案内方向に直交する短尺方向の一端に結合し、案内方向に沿って延在する底板ガイド部材４ｂとを備えた横断面コ字状の部材である。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受パッドの隙間調整を容易に行なうことが可能な静圧軸受ユニットを提供する。
【解決手段】直動案内装置は、圧縮空気を供給するための複数の給気管２１〜２４と、それぞれ給気管２１〜２４を流れる圧縮空気の圧力および流量を制御する複数組の圧力制御部２５〜２６および流量計２９〜３２と、それぞれ給気管２１〜２４を介して供給された圧縮空気をレール２，３に向けて噴出し、可動テーブル４を非接触で支持する複数の静圧軸受パッド６〜９とを備える。したがって、圧縮空気の圧力および流量を各静圧軸受パッド毎に個別に制御できる。 （もっと読む）

【課題】支持する被支持体の質量の変化に応じて静圧を制御することにより、被支持体の質量に関わらず安定に支持する静圧軸受パッドを提供する。
【解決手段】静圧軸受パッド１１０において、第１の給気溝５１および第２の給気溝５２とは互いに独立しており、互いに不連続となっている。軸受面２１に供給するための加圧気体は、第１の給気溝５１については加圧気体供給部としての第１の給気管４１から、そして第２の給気溝５２については加圧気体供給部としての第２の給気管４２から、互いに独立に供給される。 （もっと読む）

【課題】スライダ中心とコイル中心とが不一致であっても、空気軸受とガイドレールの間の軸受隙間を均一に修正し、高速性、高い剛性を得られるようにしたエアーテーブル装置を提供する。
【解決手段】スライダーの走行方向の一側面に吸引力発生手段３４を配置し、吸引力発生手段３４に吸引力を発生させることにより、スライダー２０の滑動面と各空気軸受２６ａ，２６ｂ，２７ａ，２７ｂ，２８ａ，２８ｂとの間の軸受間隔の不均一を修正する。 （もっと読む）

【課題】コスト低下を図り得ると共に、多孔質金属焼結体の細孔に気体を供給できる領域を広くできて、スラスト軸受として機能する気体噴出をも所望になし得る多孔質静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】多孔質静圧気体軸受１は、円筒状の多孔質金属焼結体２と同じく円筒状のハウジング８とを具備しており、多孔質金属焼結体２の内部には、当該多孔質金属焼結体２の細孔に気体を供給する気体供給通路３が設けられており、また多孔質金属焼結体２には、一端４が多孔質金属焼結体２の円筒状の外周面５で開口し、他端６が気体供給通路３に開口して当該気体供給通路３に高圧空気を導入する気体導入通路７が設けられている。 （もっと読む）

互いに相対的に回転する第１の表面および第２の表面のそれぞれの開口が整列されるとき、入口から出口に少なくとも周期的に流体流れをもたらす、具体的には回転タイミング弁であってよい回転供給継手であって、気体軸受が第１の表面と第２の表面の間に軸受力をもたらすように構成される、回転供給継手が提供される。 （もっと読む）

【課題】可動マグネット型リニアモータの小型、軽量化により、高速かつ高精度な切削加工を可能にした工具送り装置を提供する。
【解決手段】支持ベース体２１と、支持ベース体に対して相対移動可能な可動体２２と、可動体の先端部に取付けられた工具１５と、可動体を支持ベース体に対して高速で相対移動させる可動マグネット型リニアモータ２４と、可動体の位置を検出する位置検出手段２５とを備え、可動マグネット型リニアモータは、可動体に配設されたマグネット構成体４２と、支持ベース体に配設されたコイル４１とを備え、マグネット構成体は、可動体の移動方向に間隔を有して配設された第１および第２の主マグネット５１、５２と、これら第１および第２の主マグネットの可動体の移動方向の両側に配設された第１および第２の補助マグネット５３、５４と、第１および第２の主マグネットの間に配設された第３の補助マグネット５５とからなる。 （もっと読む）

【課題】鉄道車両用台車の振子装置に空気静圧案内機構を設けることにより、スムーズな振子動作を実現できる振子装置を備えた鉄道車両用台車を提供する。
【解決手段】振子はり２１をＲガイド２７で支持し、変位計付き振子制御シリンダ３０を動作させて車体を傾斜させ、Ｒガイド２７やコロ機構の代わりに、台車Ａから圧縮空気を供給して振子はり２１を浮上させる。振子はり２１の支承部が圧縮空気により非接触状態となり、また、圧縮空気が振子装置Ｂの荷重を一部負担するので、振子はり２１の回転抵抗を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 車両が曲線を通過する場合にも台車のスムーズな回転を行わせることができる鉄道車両用回転抵抗可変台車を提供する。
【解決手段】 鉄道車両用回転抵抗可変台車において、まくら装置Ａを備えた台車Ｂの車体・台車間の心皿５の左右に配置され車体の荷重を受けるとともに、前記台車Ｂに適度な回転抵抗を与えて前記台車Ｂの蛇行動を抑制する側受２４，２５の摺動部６，７に、空気静圧案内機構を設ける。 （もっと読む）

【課題】比較的大きな力及び／又はトルクに、好ましくはＸはりの外部寸法を変更する必要なく対処可能なベアリングを有する、リソグラフィ装置用の位置決めデバイスを提供する。
【解決手段】オブジェクトサポートを位置決めするオブジェクトサポート位置決めデバイス１は、第１、第２、および第３のスライダのうち少なくとも１つのスライダ内に流体ベアリングが設けられ、流体ベアリングは、少なくとも１つのスライダの摺動方向に垂直である第１の方向に反力を作用させるための複数のベアリング面を含む。 （もっと読む）

【課題】 補足的な重りを必要としない高度に予圧された静圧気体装置であって、単純な設計によって、特に電子ビームリソグラフィー用に予圧が設けられ、電子ビーム上にいかなる負の影響も与えない、静圧気体軸受装置をもたらすことである。
【解決手段】 提案した、特に真空環境内において基部構造体上の装置を動かすための静圧気体軸受装置は、荷重負担区域と吸引領域を有する軸受本体を備えて構成される少なくとも一つの静圧軸受要素を有している。少なくとも一つの電極を有する静電予圧ユニットは少なくとも一つの静圧気体軸受要素と関連付けられ、且つ、静圧軸受要素の軸受本体の垂直面方向に力要素が生じるように電圧が加えられ得る、静圧気体軸受装置によって解決される。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置及び基板検査方法において、基板のライン検査の精度を向上させる。
【解決手段】フラットパネルディスプレイ用の基板（１０）が載置されるステージ部（２）と、このステージ部（２）上の基板（１０）をライン状に検査する検査部と、この検査部により検査される基板（１０）のライン状検査領域Ｒの長手方向に亘って基板（１０）の高さ位置を計測する計測部３と、この計測部３により計測された高さ位置に基づいて基板（１０）の高さ位置を制御する制御部と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】揺動自在とされた本体がその自重によって不用意に傾倒してワークを傷つけるおそれを大幅に低減すること。
【解決手段】支持体３０の球体部３５は本体２０の球面軸受け部２８ａに収容され、これにより本体２０は揺動自在となって支持体３０に支持されている。本体２０内には球体部３５と当接するＯリング２９と、そのＯリング２９によってシールされる閉空間Ｋ１とが設けられている。そして、その閉空間Ｋ１に加圧ポート４１及び内圧調節用通路４２を通じて加圧エアが供給されるようにした。支持体３０が固定された状態であれば、加圧エアの供給によって閉空間Ｋ１の圧力を高めるとその内圧の高まりによって本体２０が支持体３０に対して押し上げられる。これにより、Ａ部分での摩擦抵抗が高まって本体２０の自重による傾倒が抑制される。 （もっと読む）

【課題】静止安定性を有する位置決め装置。
【解決手段】スライド装置１００は、ガイドレール１０６と、前記ガイドレール１０６に沿って移動するスライダ１０８と、前記スライダ１０８を前記ガイドレール１０６に対して空圧により浮かせて支持する浮遊支持状態と、前記スライダ１０８を前記ガイドレール１０６に対して空圧により圧接させて支持する圧接支持状態とに切り替え可能なエアベアリング１１０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電流制御不要で、被回転駆動部スラスト荷重と吊り合う力を作用させてスラスト方向の軸受けを行うことができる軸受装置及びそれを用いたポンプの提供。
【解決手段】軸受装置は、軸５０と軸に挿通される円筒部材６０と、これらの一方が固定されたガイド部材で、軸と円筒部材の他方を含んで被回転駆動部６０，８０，９２を形成し、これらを駆動する回転駆動部９４と、回転時に軸と円筒部材との隙間に気体圧を発生させて軸と円筒部材とをラジアル方向にて非接触支持するラジアル軸受１００Ａ，１００Ｂと、軸と円筒部材の一方でスラスト方向に間隔を置いてＮ，Ｓ異極同士が隣り合う複数の永久磁石リングを含む第１部材１１３と、第１部材に対向した磁性の第２部材１１８を含み、スラスト方向にフリーの被回転駆動部を、該被回転駆動部のスラスト方向荷重と吊り合ったスラスト方向の所定位置に維持する少なくとも一つのスラスト軸受１１０とを有する。 （もっと読む）

【課題】エネルギーの利用効率を高めることができると共に、搬送部品の汚染を防止し、外側移動体の取り付け位置の調整作業を簡素化する。
【解決手段】本発明は、シリンダ１１の内部に給排される駆動用エアにより往復動する内側移動体１４と、内側移動体１４との間で作用する磁石３２，３７ａ，３７ｂの吸引力により内側移動体１４と共に往復動する外側移動体１６と、外側移動体１６の両端部においてシリンダ１１の外周面に覆設される蛇腹１８と、シリンダ１１の外周面と外側移動体１６との間の隙間１５に浮上用エアを供給する浮上用エア供給設備１９と、浮上用エア供給設備１９によって隙間１５に供給された浮上用エアをシリンダ１１の外周面と蛇腹１８との間のエア流路１７を介してタンク２０に戻す浮上用エア回収設備２１とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置寸法を拡大することなく、Ｚテーブルが搭載されたベースプレートの定盤の基準平面からの浮上量が圧縮空気の圧力変動やベースプレートに作用する外力等の外乱の影響により変化することを防止する。
【解決手段】三次元位置決め装置１０では、複数個のコイルスプリング１５０が、静圧パッド１３０を通して供給される圧縮空気によりガイドプレート７８に生じる浮上力よりも、小さい反浮上力Ｆによりガイドプレート７８を定盤１２の基準平面１４側へ付勢する。これにより、反浮上力Ｆがガイドプレート７８に作用しない場合と比較して、定盤１２の基準平面１４からのガイドプレート７８の浮上量Ｒを反浮上力Ｆの大きさに応じて減少させると共に、ガイドプレート７８と基準平面１４との間に形成された空気層（空気軸受）をＺ軸方向に沿って圧縮し、この空気軸受のＺ軸方向に沿った剛性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】より高い回転精度、回転摩擦の低減、回転速度の向上を図り得るロール装置を提供することにある。
【解決手段】ロール装置１は、中空のロール体２と、ロール体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ロール体２の両端部５及び６に夫々配されていると共にロール体２と軸体４との間に夫々介在されている一対の静圧気体軸受７及び８とを具備しており、静圧気体軸受７は、ラジアル軸受面３２並びにスラスト軸受面３５及び４０を有しており、静圧気体軸受８は、ラジアル軸受面９２を有している。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールに対してスライダを着座させる際の姿勢制御を有効に行える案内装置を提供する。
【解決手段】第１の支持面１３ａの凹部１３ｄと第２の支持面１３ｂの凹部１３ｆとが、独立して流体の供給を中止可能な配管系即ち第１通路１３ｈ、第２通路１３ｉを介して、圧縮空気源Ａ，Ｂに接続されているので、例えばバルブＶ２を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第２の支持面１３ｂと第２の案内面１２ｂとの隙間を維持しつつ、第１の支持面１３ａが第１の案内面１２ａに着座することができ、或いはバルブＶ３を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第１の支持面１３ａと第１の案内面１２ａとの隙間を維持しつつ、第２の支持面１３ｂが第２の案内面１２ｂに着座することができ、これによりスライダ１３を静止した際に、これに連結されたテーブル等に載置されたワークを精度良く位置決めすることができ、加工精度や検査精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 焼付きを生じ得る程度の被軸受部材と静圧気体軸受との接触を未然に防止することのできる静圧気体軸受装置及びこれに用いられる限界荷重検知装置を提供すること。
【解決手段】 静圧気体軸受装置１は、回転軸２の被軸受面３と協働して軸受隙間４を形成する軸受面５から被軸受面３に向かって噴出する高圧気体に基づく軸受隙間４における気体圧力により回転軸２を支える導電性の多孔質静圧気体軸受７と、回転軸２及び多孔質静圧気体軸受７に電気的に接続されると共に、軸受隙間４における回転軸２と多孔質静圧気体軸受７との電気的接触に基づいて回転軸２から多孔質静圧気体軸受７に加えられる負荷荷重が限界に至った旨を検知する限界荷重検知装置８と、回転軸２を回転駆動させる駆動手段９と、限界荷重検知装置８による検知に基づいて駆動手段９による回転軸２の回転駆動を制御する駆動制御手段１０とを具備している。 （もっと読む）