【課題】ラジアル軸受面への供給圧力を高めることができ、排気性能を向上できる静圧気体軸受装置を提供する。
【解決手段】静圧気体軸受装置１０は、ラジアル軸受面１３Ａ、１３Ｂとスラスト軸受面１３Ｃとラジアル軸受用給気孔１４Ａ、１４Ｂとスラスト軸受用給気孔１４Ｃと中間排気孔１５Ｂとを有する軸受ブロック１１と、軸受隙間に加圧気体を供給する気体供給装置２３と、中間排気孔１５Ｂから気体を吸引する排気装置２４とを備える。 （もっと読む）

【課題】軸受溝の深さのばらつきのない流体軸受およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】主ガイド部材３３には流体を流体軸受面３４に供給するための孔に、両端が開口している筒状部材３２が挿入されている。流体噴出口３０から加圧流体が流体軸受面に流出する。流体噴出口３０を含む近傍領域は軸受溝３１が形成されている。主ガイド部材３３と筒状部材３２は異種材料が用いられる。主ガイド部材３３と筒状部材３２の表面は陽極酸化処理がなされて薄膜が形成された構造となっている。主ガイド部材３３と筒状部材３２とが異種材料であることから、陽極酸化処理を行った場合、表面に形成される薄膜の膜厚が異なって形成される。陽極酸化処理により膜成長が速い材料をガイド部材１１に選択し、ガイド部材１１より遅い材料を筒状部材３２に選択する。 （もっと読む）

【課題】高速回転時における安定性を確保できるとともにスピンドルの湾曲に対してスピンドルの損傷等をより低減することができる軸受装置を提供する。
【解決手段】所定の回転軸ＴＺ回りに回転する回転部材１１と、回転部材１１のスピンドル１２を収容して支持している軸受本体部２０と、を備え、軸受本体部２０の内壁における少なくとも一部の周回面には軸受油が充填されて流体軸受にてスピンドル１２を回転自在に支持する静圧ポケット２１が形成されて、静圧ポケット２１への軸受油の流路２２が設けられている軸受装置１であって、軸受本体部２０には外輪３１と内輪３３を有するベアリング３０が収容されており、外輪３１は軸受本体部２０の内壁に固定されている。そして、内輪３３とスピンドル１２との間には所定幅の間隙Ｄが設けられており、間隙Ｄには静圧ポケット２１から流出した軸受油が充填されている。 （もっと読む）

内部に軸穴（１０４）を有するハウジング（１０２）内に加圧可能な軸方向に延びるチャンバ（１１０）を有する気体軸受（１００）。そして、軸方向に延びるチャンバ（１１０）は、レーザ切削された複数の細孔（１１８）を経由して穴として規定される軸受表面（１０８）との流体の流通に供される。軸受表面（１０８）におけるレーザ切削された個々の細孔の端部（１２２）は、細孔の幅の最も狭い部分が軸受表面（１０８）よりも後方に配置されるようにすそ広がりに形成されている。この形状は、軸受すきまではなく細孔の中に圧力制限が発生せざるを得ないようにするので、軸受（１００）の負荷を支える機能が、軸が偏心を起こしている最中に確実に損われないようにすることが可能である。軸受表面は、軸に対して、軸方向および／または半径方向に向き合っていてもよい。軸方向のチャンバは、ハウジングの外側の円周部分が切れ目がなく、したがって他の目的にも使用可能であるように、軸方向に加圧可能であればよい。
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【解決手段】ガス軸受スピンドルのためのガス軸受アセンブリ（１）である。ガス軸受アセンブリ（１）は、ハウジング部（１１）と、ハウジング部（１１）内に設けられ、ハウジング部（１１）に対して弾性的に取り付けられた内側ラジアル軸受部（１０）と、を備える。内側ラジアル軸受部１０は、軸受面を有する内殻軸受部（１２）と、内殻軸受部（１２）とハウジング部（１１）との間に設けられた中間スリーブ部（１４）と、を含む。内側軸受殻部（１２）と中間スリーブ部（１４）との間に液体冷却チャネル（７）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】面精度の悪い接合面を有するハウジングを互いに組み付けても、使用給気圧力に対して自励振動発生圧力を十分高く保つことができる静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、回転軸１と、回転軸１を回転可能に支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間５をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲む固定部２０とを備えている。固定部２０はハウジング２およびシート４１，４２を含んでいる。ハウジング２は、複数の部材２１、２２、２３から構成されており、かつ複数の部材２１、２２、２３間の少なくとも１つの接合部にハウジング２より変形しやすい特性を有するシート４１，４２を介して複数の部材２１、２２、２３が結合されている。 （もっと読む）

【課題】円筒形部品（１２）を支持するのに適した装置（１８）及び方法を提供する。
【解決手段】本装置（１８）は、半球状凹面形状を備えた上面（４０）を有する受台（２８）と、受台（２８）の上面（４０）上に支持されたキャリッジ（３０）とを含む。キャリッジ（３０）は、下部表面（５０）と、円筒形部品（１２）と接触しかつ該円筒形部品（１２）を回転可能に支持するための要素を備えた対向配置された上部表面とを有する。キャリッジ（３０）の下部表面（５０）は、受台（２８）の上面（４０）と係合しかつ該受台（２８）の上面（４０）の半球状凹面形状と相補的な半球状凸面形状を有する。本装置（１８）はさらに、受台（２８）の上面（４０）に位置しかつ該上面（４０）内に凹設された潤滑剤リザーバ（４６）と、潤滑剤リザーバ（４６）に潤滑剤を送給するための機構（４８、５４）とを含む。キャリッジ（３０）の下部表面（５０）及び受台（２８）の上面（４０）は、潤滑剤リザーバ（４６）の周りにエンクロージャを形成する。 （もっと読む）

【課題】支持板の表面から噴出する気体によるワークの支持力を柔軟に調節することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】非接触支持装置は、エアを供給するエア通路と、エア通路から供給されるエアを透過させて表面から噴出させるフィルム５０と、フィルム５０の表面から噴出される気体を透過させて表面から噴出させる多孔質板６０とを備える。フィルム５０及び多孔質板６０は、リベット７１によって本体３０に固定されている。フィルム５０は内部に多数の空孔を有する多孔質フィルムであり、フィルム５０の通気抵抗は多孔質板６０の通気抵抗よりも大きく設定されている。 （もっと読む）

【課題】微小隙間絞りにより複数の静圧ポケットに圧力流体を送り込むことができる静圧軸受装置を提供。
【解決手段】静圧ポケット２４，２５，２６，６２に圧力流体を供給する連通路１６，１７と、絞り１と、圧力供給路１０と有する静圧軸受装置であって、絞りは、二枚の部材２，３間に設けられた微小間隙部１１と、それぞれの開口が互いに所定距離離隔して微小間隙部に直接開口する複数の連通路１６，１７の静圧ポケット側開口部６，７と、複数の静圧ポケット側開口部と所定距離離隔して微小間隙部に開口する入り口側開口部８とで構成し、入り口側開口部と圧力供給路とを連通する入り口路９とを設ける。微小間隙部は二枚の平面間２ａ，５ａに設けられた微小深さｈの凹断面溝３、又は軸受本体外周６３ｂとケーシング内径穴６４ａとの間に形成された微小周溝７１とする。 （もっと読む）

【課題】ベアリング剛性を高める方を優先するかエア消費流量を優先させるかに応じて、エア供給様式が変更されるエアスピンドルを提供する。
【解決手段】スピンドルハウジング（４８）には少なくとも２個のエア供給路（６５）が配設されており、ベアリングシャフト（５０）に配設される複数個のベアリング領域（５８）の幾つかはエア供給路（６５）の一方に接続され、複数個のベアリング領域（５８）の他の幾つかはエア供給路（６５）の他方に接続されている。エア供給路（６５）の各々は夫々別個の連通制御弁手段（５５）を介して圧縮エア供給源（５６）に接続されている （もっと読む）

【課題】簡素な制御により、迅速でスムーズな加減速により高速度化を実現できる、直線案内軸受装置などに用いられると好適なアクチュエータを提供する。
【解決手段】第１駆動モータ１０９を目標速度に追従する速度制御とし，第２駆動モータ１１０は、第１駆動モータ１０９の実際の速度に追従するような速度制御を行うことにより，相互の動作が干渉しない形で２つの駆動モータ１０９，１１０をともにフィードバック制御することが可能となる。さらに第２駆動モータ１１０の速度制御において、第１駆動モータ１０９の指令値をフィードフォワードとして加えることで，制御による位相遅れを少なくしている。これにより制御の応答性，減衰性が向上するという利点がある。 （もっと読む）

【課題】バーミラーを用いることなく、干渉計の測長光路を減圧して位置決め精度を向上させることで、ステージ外部の減圧が困難な加工装置等への適用及び装置の小型化を可能にする。
【解決手段】位置決め装置の固定部であるベース１は、Ｙガイド面２を有し、Ｙ凹空間部６、シール部７、Ｙ軸受８を有するＹスライダ３は、Ｙガイド面２に沿って移動する。Ｘ凹空間部９、シール部１０、Ｘ軸受１１を有するＸスライダ５は、Ｙスライダ３上をＸガイド面４に沿って移動する。干渉計２５ａ及びミラー２７ａ、２７ｂは、Ｘスライダ５のＸ凹空間部９に配置され、干渉計２５ｂ及びミラー２７ｃ、２７ｄは、Ｙスライダ３のＹ凹空間部６に配置される。各凹空間部６，９は、それぞれ排気ホース１５、１６によって減圧される。 （もっと読む）

【課題】 ステージの高さを抑え、かつ安定した位置決精度を保証できるようにする。
【解決手段】 互いに対向するガイド溝１１を持つ一対のガイドレール１０をＸ軸方向に設ける。一対のガイドレール１０の間に平板状のＸ軸スライダ２０を設けて、ガイド溝１１に沿ってＸ軸方向の移動が許容され、Ｙ軸方向の動きが規制されるようにする。Ｘ軸スライダ２０を囲むように略コ字型のＹ軸スライダ３０を装着する。Ｘ軸スライダ２０に対してＸ軸方向の動きが規制されてＸ軸スライダ２０がＸ軸方向に移動するとそれに伴ってＸ軸方向に移動し、Ｘ軸スライダ２０に対してＹ軸方向の動きが許容されて、Ｘ軸スライダ２０に対してＹ軸方向に移動できるようにする。一対のガイドレールのガイド溝１１とＸ軸スライダ２０との間、及びＸ軸スライダ２０とＹ軸スライダ３０との間にガスを供給して、そのガス圧によってＸ軸スライダ２０及びＹ軸スライダ３０を支持する静圧ガス軸受４０、５０をそれぞれ設ける。 （もっと読む）

【課題】 高精度の動圧発生楔部を簡易に形成できる流体軸受装置の軸受部材の製法等を提供する。
【解決手段】 基材１０Ａの内周面１０ａに溝を複数形成して静圧発生溝部１１を周方向に複数形成すると共に、静圧発生溝部で囲まれた動圧発生部１２に楔状の軸受隙間１６を形成するために、静圧発生溝部に対応する基材の外周面１０ｂに溝を複数形成して軸受隙間形成用溝部１４を形成する。そして、静圧発生溝部と軸受隙間形成用溝部との間の最薄肉部分１５ａが塑性変形する圧力を基材の内周面に加えて軸受隙間を形成する。これにより、動圧発生部の変位量を測定管理しながら基材内周面への加圧力を調整管理して楔状の軸受隙間を形成することができるため、従来の内径研削加工による場合と比較して高精度の楔状の軸受隙間を簡易に形成でき、製造効率を大幅に向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】外部の真空発生機と接続することなく、排出される軸受用気体を回収する機構を備えた静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、内部に形成された排気通路７を有し、かつ排気通路７が開口した外周面を有する円筒形状の回転軸１と、回転軸１を支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間５をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲む固定部２と、回転軸１の外周面のうち排気通路７の開口した部分を覆うように回転軸１に取り付けられた排気リング６とを備えている。排気リング６と回転軸１の外周面との間には排気通路７に通じる排気回収路２０が形成されている。排気回収路２０は、軸受隙間５の開口部２２と向かい合う位置に開口部２１を有している。 （もっと読む）

【課題】非接触型のエアーシリンダにおいて、ピストンがシリンダに接触せずに摺動できるエアーシリンダを提供する。
【解決手段】ピストン１４の外周部に複数に吹き出し孔３２を設け、この吹き出し孔３２から、加圧室に送り込まれた加圧空気を吹き出し、シリンダ１２の内周面とピストン１４の外周面とを非接触状態にする。 （もっと読む）

【課題】搬送部品の汚染を防止し、加工作業や組立作業を容易にし、製造コストの低減化を図る。
【解決手段】駆動用エアによりシリンダ１１の内部を移動体１２が往復動するエアスライド装置１０であって、シリンダ１１と移動体１２の間に所定の隙間を確保するようにベアリング部２８が周方向に沿って複数形成されており、各ベアリング部２８にエアベアリング用エアを供給することにより移動体１２がシリンダ１１の内面に非接触状態でシリンダ１１の内部を往復動するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】平行運動学などの駆動装置の運動学が従来技術と異なり、正確な位置決めが可能になる真空適用のためのテーブル装置を提供する。
【解決手段】真空適用のためのテーブル装置は空気静力学的軸受ユニットによりガイドされた移動テーブルとベースプレートを有する。軸受ユニット（１０）が、軸受ユニットの作動に必要なガスを供給及び排出する供給ライン及び吸い込みラインに連結し、各場合に少なくとも１つの段を有する、吸い込みチャネルと真空に対してシールするシーリングギャップとを有するシーリング装置を具備する。テーブル装置の特徴として、軸受ユニットが少なくとも部分的に回り継手として構成され、移動テーブルを横にガイドするドライブ（５）によって作動されるプッシュロッド（４）が、それぞれの回り継手の回転部品（２１）に連結し、プッシュロッドが中空であり、作動ガスを排出するための吸い込みラインの構成部品を構成する。 （もっと読む）

【課題】高精度な回転性能を有する静圧軸受パッド式回転装置を提供する。
【解決手段】静圧軸受パッド式回転装置は、固定体３と、固定体３に取付けられたアキシアルパッド５およびラジアルパッド１１と、軸線２を中心として回転可能なように軸線２の少なくともラジアル方向にてアキシアルパッド５およびラジアルパッド１１によって支持された回転体１と、回転体１を回転させるための駆動力を与える電動機とを備えている。電動機は、固定体３に取付けられたステータ９と、ステータ９とギャップを介して対向するように回転体に取付けられたロータ１０とを含んでいる。ステータ９およびロータ１０の少なくとも一方が軸線２に対してラジアル方向およびアキシアル方向に位置調整可能に取付けられている。 （もっと読む）

【課題】高い荷重能力およびダンピングを有するガス軸受を提供する。
【解決手段】追従性ハイブリッドガスジャーナル軸受（１０）のダンパーブリッジ（３６）は、ダンパーブリッジ（３６）の各々の側にダンパー空洞（４２）を形成するための、軸受パッド（１２）および外側リム（３４）の軸方向長さ（４０）より短い軸方向長さ（３８）を有する。一体式ワイヤメッシュダンパー（６２）がダンパーブリッジ（３６）の各々の側のダンパー空洞（４２）内に位置する。一体式復心ばね（４６、４８）が、軸受パッド（１２）に半径方向および回転の追従性を与えるように、内側リム（３２）と外側リム（３４）の間に配置される。このオイルフリー軸受設計は、ロータ形状の変化に対する追従性を保持しながら、今日追従性エーロフォイル軸受設計に固有の低いダンピングおよび低い荷重能力特性に対処する。 （もっと読む）