【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得るロール装置を提供すること。
【解決手段】ロール装置１は、中空のロール体２と、ロール体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関してロール体２を静圧気体によって支持すべくロール体２の両端部５及び６に夫々配されていると共にロール体２と軸体４との間に夫々介在されている一対の静圧気体軸受７及び８と、スラスト方向に関してロール体２を磁力によって支持する磁性軸受９とを具備している。 （もっと読む）

【課題】温度変化を少なくしたい場所への、熱量変動部からの熱の出入りを少なくする。
【解決手段】熱量制御器１９が、第１温度計１６が測定した第２流体の温度と第２温度計１７が測定した第２流体の温度との差と、流量計１８が測定した第２流体の流量とに基づいて第２流体の熱量を算出する。第２流体の熱量が所定値を越えたとき、熱量制御器１９が、第１恒温水循環装置１３とラジアル流路１０ａ，１０ｂとの間で第１流体の流量を調節する制御弁１４ａ，１４ｂを制御して第１流体の流量の増加調整を行う。また、第１恒温水循環装置１３を制御して第１流体の温度の低下調整を行う。この結果、第２流体の熱量の値が所定値以下になる。 （もっと読む）

【課題】潤滑液体の漏洩を防止しやすい構造で、始動トルクを低減するためのリフトポンプを備えたパッド型スラスト軸受、該パッド型スラスト軸受を用いた液中モータ、縦型液中モータポンプを提供すること。
【解決手段】軸受パッド４表面に潤滑液を加圧供給するリフトポンプ１２を備えたパッド型スラスト軸受であって、リフトポンプ１２の羽根車１２ａをスラスト軸受の軸受ハウジング１０内に設けた。また、リフトポンプ１２は、モータハウジング２２の一部が軸受ハウジング１０に挿入された状態で結合されている。 （もっと読む）

【課題】高精度で円滑に移動することを向上させた静圧案内装置を提供することにある。
【解決手段】直線状に延在するガイドレール１２ａ，１２ｂを備えるベッド１１と、ベッド１１のガイドレール１２ａ，１２ｂに沿って移動可能なコラムベッド１３とを具備し、ベッド１１のガイドレール１２ａ，１２ｂと対向するコラムベッド１３の摺動部１３ｃ，１３ｄに当該コラムベッド１３の移動方向に沿って複数の静圧ポケット２５〜２８，３１〜３６を設け、複数の静圧ポケット２５〜２８，３１〜３６の内のコラムベッド１３の移動方向にて両端部以外の静圧ポケット３１〜３６を両端部の静圧ポケット２５〜２８よりも小さくした。 （もっと読む）

【課題】減衰特性の高い静圧式の気体軸受を提供する。
【解決手段】気体軸受部は、空気供給口から供給される圧縮空空気を、オリフィスから固定軸受筒と浮動ブッシュとの間の隙間部分に通すことによって、固定軸受筒と浮動ブッシュとの間のスラスト面とラジアル面との間に形成される第一の軸受部と、空気供給口から供給される圧縮空空気を、ジョイント部を通って浮動ブッシュの管路を経由してオリフィスから浮動ブッシュと回転軸との間の隙間部分に通すことによって、浮動ブッシュと回転軸との間のスラスト面とラジアル面との間に形成される第二の軸受部とで構成され、フルイドダンパ機構は、磁性流体の粘性または隙間を変えることによって、第一の軸受部の減衰係数およびばね剛性を調整し、回転軸の外乱に対する整定時間を制御する。 （もっと読む）

【課題】加圧気体の通気経路の全領域で層流状態が維持されるように、オリフィス、通気溝などを構成することにより、振動の発生を防止できる高精度な静圧軸受装置および静圧軸受装置を備えたステージを実現する。
【解決手段】静圧軸受装置において、加圧気体の通気経路の全領域で層流状態が維持されるように、オリフィス１４、通気溝１１及び排気溝１２の形状などの構成を設計したものであり、通気溝１１の幅方向の断面形状が摺動面１０ａから離れる方向に凸の曲線を形成し、また、通気溝１１を、オリフィス１４を囲み環状に形成された環状溝１１ｂと、オリフィス１４を中心に環状溝１１ｂに向かって放射状に延設され、環状溝１１ｂとオリフィス１４とを連通する複数の分配溝１１ａとから、移動体の移動方向に対して対称となるように形成する。 （もっと読む）

【課題】主軸受が高速で移動し且つ急激に加速又は減速される場合でも、主軸受に搭載された搭載物に微振動が伝達しにくいアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータは、駆動プーリ１と、従動プーリ２と、両プーリ１，２の間に掛け渡された無端ベルト３と、ガイドレール４と、無端ベルト３に接続されガイドレール４に沿って直線移動する主軸受５と、カウンタガイドレール６と、無端ベルト３に接続されカウンタガイドレールに沿って直線移動するカウンタ軸受７と、を備える。主軸受５は、軸方向に並んだ３個の軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃが連結部材８により連結されてなる。これら軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃのうち軸受部材５Ｂは、無端ベルト３に接続されるベルト接続用軸受部材であり、軸受部材５Ａ，５Ｃは、搭載物を搭載する搭載物用軸受部材である。連結部材８は、軸方向には変形せず軸方向以外の方向には変形可能である。 （もっと読む）

【課題】簡便な構造で、高回転にも耐える回転機器用の流体軸受装置を提供する。
【解決手段】軸孔を区画する内周面に軸方向に所定幅の軸受面１ａを持つ軸孔部材１と、軸孔に回動自在に保持され軸受面に対向する軸面２ａをもつ軸部材２と、軸受面と軸面の間に流体を供給する流体供給手段とを有し、軸受面及び軸面はいずれも円錐台形の側周面状であり、流体供給手段は軸受面及び軸面との間に軸方向に流体を供給する。軸受面と軸面は円錐台形の側周面状であり、それらの間隙に流体が軸方向に供給されるので、軸部材２が軸孔部材１の軸心に付勢され、半径方向の荷重と、軸方向の荷重とを１つの機構で受けることができ、構造が簡単な回転機器が実現できる。軸部材２は軸上にタービン８を有し、軸孔部材１のノズル６からの噴流で回転する。 （もっと読む）

【課題】流体軸受けの流体軸受皿の底部や内外周方向にも潤滑油などの流体が確実に流れるようにして、流体軸受皿の底や内外周方向での流体の滞留をなくすとともに流体軸受皿の底に沈降する不純物を除去して清浄な流体とし、長期間にわたり流体軸受けとしての機能を確保して円滑な回転を可能とする平面ラップ／ポリッシュ盤を提供する。
【解決手段】流体軸受皿５の溝部内の下側軸受面５１に隣接する内周側底面部５２に内周側回収孔２７を、また、外周側底面部５３に外周側回収孔２８を設け、これら内周側回収孔２７と外周側回収孔２８との間をバイパス回路２９により内外で連通させて外周側への偏在をなくし、また、流体軸受皿５内に沈降する不純物を含む流体を回収するような平面ラップ／ポリッシュ盤とした。 （もっと読む）

【課題】定盤上の塵を簡単な構造で容易に除去する。
【解決手段】重量キャンセル装置４０のベース４１ａの下面に取り付けられたベースパッド１００では、軸受面１０６ａから定盤１２に向けて噴出する加圧空気が、コアンダ効果により軸受面１０６ａに連続して形成された傾斜面１０７に沿って流れる。この際、定盤１２上の塵Ｄがベルヌーイ効果により加圧気体に引きつけられ、その加圧気体とともに、定盤１２から離れる方向に案内される。加圧気体は、フィルタ部材１２６で濾過されてベースパッド１００外に排気される。ベースパッド１００は、特別な吸引装置などを用いることなく、定盤上１２の塵Ｄを吸引できるので構造が簡単である。 （もっと読む）

【課題】基板の平面度調整を行うために、基板を保持する保持手段の裏面を支持する支持手段と前記裏面とに隙間が生じないようにするステージ装置を提供することを課題とする。
【解決手段】保持手段の裏面と支持手段との間に空気を供給し、前記保持手段を前記支持手段から浮上させる軸受手段と、前記軸受手段から供給される気体の流量を検出する検出手段と、前記支持手段の駆動を制御する制御手段とを有し、前記制御手段は、前記軸受手段により前記保持手段を浮上させたときに、前記検出手段によって検出される流量が、所定の流量の範囲内になるように前記支持手段の駆動を制御する。 （もっと読む）

【課題】軸受本体を大型化する場合や、矩形板状以外の様々な形状の軸受本体を用いる場合であっても軸受本体を容易に加工することができる空気軸受の提供。
【解決手段】空気軸受２は、軸受本体３を備え、軸受本体３は、軸受面４１を有する矩形板状に形成される板状部材４と、軸受面４１の裏面４２に取り付けられる矩形板状の蓋部材５とを備える。軸受面４１には、空気を排気するための複数の排気孔が軸受面４１の四辺に沿って形成される。軸受面４１の裏面４２には、溝部４２１が裏面４２の四辺に沿って形成される。各排気孔は、溝部４２１に連通し、蓋部材５にて溝部４２１を覆うことで排気用流路を構成する。 （もっと読む）

【課題】所望の精度を保持し、かつスラスト負荷容量を高める。
【解決手段】エアスピンドル１では、ハウジング２にスラスト方向エア噴出手段及びラジアル方向エア噴出手段としてのステータ３が固定される。このステータ３の上面、下面、内径面には上エア噴出し面３ａ、下エア噴出し面３ｂ、内径エア噴出し面３ｃが形成されている。上エア噴出し面３ａの外周周りには、外周側負荷容量生成手段としての複数、例えば６個のパッド型エアベアリング１１〜１６が均等に配置されて構成される。このパッド型エアベアリング１１〜１６は、スラスト板上６と同一平面を受けるように構成される。 （もっと読む）

【課題】熱の発生や熱伝達を効果的に低減できる静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】この静圧気体軸受スピンドルＡは、主軸１を回転自在に支持する静圧気体軸受３と、前記主軸１にモータロータ８を固定してなり主軸１を回転駆動するモータ６とを備える。主軸１の一端部を被回転体を取り付けるための被回転体設置部１ａとする。この被回転体設置部１ａの材料として、主軸１の被回転体設置部１ａを除く主軸本体部１ｂよりも熱伝導率の低いジルコニアセラミックスを用いる。 （もっと読む）

【課題】高精度の機械加工を行うため、静圧軸受等に供給する圧油に脈動を生じることなく圧送することができる精密加工機の油圧供給装置を提供する。
【解決手段】本願発明の油圧供給装置は、コンプレッサ（第一圧縮空気供給機）３０と、このコンプレッサ３０で得られた圧縮空気を増圧する増圧弁（ブースターシリンダ）３１と、増圧弁３１で得られた圧縮空気を第二圧縮空気として供給装置貯蔵するレシーバタンク（第二圧縮空気供給機）３２と、レシーバタンク３２で得られた圧縮空気を介して圧力を有する油圧に変換して圧力変動を吸収するアキュムレータ３３と、静圧軸受に使用された作動油を回収する圧油タンク３５と、を備えて構成し、油圧の脈動や変動を防止・減少させている。また、さらに湯の温度を安定にするための油温調節ユニットを備え、油温についても安定に供給している。 （もっと読む）

【課題】可変絞り手段を有する静圧流体軸受装置において、絞り開度を増減させた際に発生する流体の流出層の厚さ（２部材の間隔）の変動を適切に抑制し、加工精度をより向上させることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】軸受ポケットと、流体を圧送する流体供給手段と、流体流路と、絞り量を変更可能な可変絞り手段と、を備え、絞り量を直接的または間接的に検出可能な絞り量検出手段と、可変絞り手段５６Ｖから軸受ポケット５６Ｐまでの経路における、可変絞り手段５６Ｖまたは流体流路５６Ｈまたは軸受ポケット５６Ｐの少なくとも一部に設けられて流体が充填されている部分の体積を増減可能な体積可変手段５６Ｅと、絞り量検出手段にて検出した絞り量に応じた体積変化量を算出するとともに、算出した体積変化量を相殺するように体積可変手段５６Ｅの体積を増減させる制御手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】回転モータの停止時にハンチング現象が生じないロータリエンコーダ制御式エアスピンドルを提供する。
【解決手段】回転軸３に固定されたディスク１３にパッド１８、１９が当接するため、回転モータ９の停止時における回転軸３の回転方向での振動が防止され、ハンチング現象が生じない。パッド１８はディスク１３の外縁部１３ｂに小さいな力で当接し且つ外縁部１３ｂが回転軸３の軸方向で変形可能なため、ディスク１３とパッド１８との当接が回転軸の本来の回転に影響を与えることはない。 （もっと読む）

【課題】流体軸受の負荷容量を増大し、且つ軸受の作動に必要となる流体の流量を低減する。
【解決手段】軸５０が挿通される軸受孔７と、流体軸受２の外周面に開口し、外部から流体が流入する流体流入孔９，１０と、流体軸受２内で軸受孔７を外囲し、流体流入孔９，１０に連通する流体流路１１と、流体流路１１を軸受孔７に連通させる流体絞り１４，１５と、を有し、流体流入孔９，１０が複数設けられ、流体流路１１が流体流入孔９，１０に対応して複数の分割流体流路１２，１３に仕切られ、分割流体流路１２，１３にはそれぞれ少なくとも１つの流体絞り１４，１５が連通している。 （もっと読む）

【課題】高速変動する外乱負荷による移動体の精度低下の抑制が可能な流体保持装置（静圧軸受け、静圧案内）を提供する。
【解決手段】流体保持装置において、主軸３と静圧軸受け４，５の外乱力による相対変位を計測する変位センサ９、１０と、静圧ポケットのランド部を前後進させるランド送り手段７、８と、を備え、主軸３と静圧軸受け４，５の外乱力による相対変位に応じてランド部を前後進することで、外乱力による静圧軸受け４，５と主軸３の相対変位を抑制し、外乱力による流体保持装置の精度低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】高速変動する外乱負荷による移動体の精度低下の抑制が可能な流体保持装置（静圧軸受け、静圧案内）を提供する。
【解決手段】流体保持装置において、主軸３と軸受け４，５の外乱力による相対変位を計測する変位センサ９、１０と、静圧ポケットのランド部の圧油を供給・吸引するランド圧油供給吸引手段７、８と、を備え、外乱力による軸受け４，５と主軸３の相対変位を抑制するようにランド部へ圧油を供給またはランド部の圧油を吸引することで、外乱力による流体保持装置の精度低下を抑制する。 （もっと読む）