【課題】移動ステージを比較的高い精度で停止させるとともに、移動ステージや固定軸体に生じた微振動を高い精度で抑制する。
【解決手段】一方向に延びた固定体と、前記固定体と離間して前記一方向に沿って移動する可動体とを備え、前記可動体には、前記固定体と対向して配置された板部材によって閉塞された空洞領域が設けられており、前記板部材が、前記空洞領域内の気圧と外部の気圧との差に応じて変形することを特徴とする移動装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】減衰性や制御性を高めることができ、また、クリーンルーム等の環境で使用する装置類に好適な流体軸受装置を提供する。
【解決手段】シャフト１と、シャフト１の外周に対して非接触状態の軸受２を備え、軸受２は、シャフト１の軸線方向における両側に、シャフト１の全周にわたって気体を供給する気体供給部３，３を備えると共に、両気体供給部３，３の間に、シャフト１の全周にわたって液体Ｌ１を供給する液体供給部４を備えた流体軸受装置としたことにより、気体による低摩擦機能に加え、液体の粘性によるダンパ機能を確保して減衰性や制御性を高めることができ、また、液体の漏出を阻止してクリーンルーム等の環境で使用する装置類に非常に好適なものとなった。 （もっと読む）

【課題】装置コストの増大を抑制しながらシール性能を高めた差動排気シール機構を有する静圧気体軸受スピンドルの提供。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、回転軸１と、軸受スリーブと、シールカバー１０と、吸引ポンプ２９、３０とを備える。軸受スリーブは、回転軸１の外周面の一部を取り囲み、回転軸１の外周面と間隙を介して対向するとともに間隙に気体を供給することでジャーナル軸受を構成する。シールカバー１０と回転軸１の外周面とが対向する領域では、シールカバー１０の表面と回転軸１の外周面との少なくともいずれか一方に、回転軸１の外周面を周回する環状溝１７が複数形成される。吸引ポンプ２９、３０は、環状溝１７に管路としての配管３１、３２を介して接続される。管路は、複数の環状溝１７と吸引ポンプ２９、３０とを接続するように途中で分岐点４０を有している。 （もっと読む）

【課題】 溶射セラミックスで形成されたステージはセラミックス層の気孔やマイクロクラックによってエアがリークしてステージの剛性が確保できないため、ステージの制御性能が低下していた。
【解決手段】 ガイド面がセラミックス溶射されたガイドおよびステージを有し、前記ガイドと前記ステージとの間のギャップをエアによる圧力と予圧マグネットによる吸引力とによって制御しながら前記ガイド面に沿って前記ステージを移動させる位置決め装置であって、前記ガイド面は、封孔処理された後に研磨されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安定性の低下を抑制し、不測の挙動を抑制できる流体軸受を提供する。
【解決手段】流体軸受は、第１部材の第１面に形成された第１凹部と、第１凹部の内側に形成された第２凹部と、第２凹部の内側に配置された流体吹出口とを備える。 （もっと読む）

【課題】
加圧空気の圧力損失を低減し、加圧気体の流量及び圧力の増大を抑制するエアスライダー装置を提供する。
【解決手段】
ガイドが形成され、本体ベースに固定される固定子と、前記ガイドに沿って移動される可動子と、を有し、前記可動子は、前記ガイドに対向して配置される複数の永久磁石と、隣接する前記複数の永久磁石の間に配置され、前記ガイドに向けて第１の加圧気体を噴出する第１の気体噴出部と、を有し、前記第１の加圧気体の静圧により前記可動子を、前記ガイドに対して非接触に浮上して支持するエアスライダー装置において、前記固定子に設けられ、前記可動子に向けて第２の加圧気体を噴出する第２の気体噴出部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転軸が高速回転をした場合においても安定して動作する気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】気体軸受スピンドル１は、回転軸１０と、軸受スリーブ３０とを備える。軸受スリーブ３０は、回転軸１０の側面の少なくとも一部に対向するように配置される。軸受スリーブ３０は、カーボンと、カーボンと線膨張係数の異なる材料との混合体を含む。 （もっと読む）

【課題】従来の球体浮上装置に比して微小差圧・微小流量での球体浮上を実現するための、球体浮上装置の設計手法および機構を提供する。
【解決手段】従来平面気体軸受で利用されている「円板形スロット絞りスラスト軸受」の設計法を、球面軸受に拡張する。スロット絞りは、給気絞りの形が円筒状になっているもので、これにより微小差圧・微小流量で作動することが知られている。この軸受形式を球面軸受に拡張するための、数式展開・物理的定式化を実施し、設計に重要な主要なパラメータを定量的に決定する手法を考案した。また、微小差圧・微小流量を実現するために、そのスロット絞りにおける空気噴出溝の幅を高精度で管理する必要がある。本発明では、これを球面スラスト軸受において十分な精度で管理可能な設計・加工手法を考案した。 （もっと読む）

【課題】回転軸の回転精度を良好に保つことが可能な気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】気体軸受スピンドルは、回転軸１と、スリーブ３、４と、ハウジング２とを備える。スリーブ３は、回転軸１の側面の少なくとも一部と隙間を介して対向するように配置される。ハウジング２は、開口部を有し、当該開口部の内部にスリーブ３、４および回転軸１を保持する。回転軸１では、ハウジング２の開口部側の端部に形成された開口に連通する空洞部としての空洞１ｂが形成される。回転軸１の側面に、回転軸１の側面を周回する円周溝１ａが形成されている。回転軸１では、円周溝１ａと空洞１ｂとを繋ぐ連通孔１ｃが形成されている。スリーブ３、４およびハウジング２には、円周溝１ａに液体や気体などの冷却媒体を供給する供給路２ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】エアーベアリングによって回転軸が支持される構成のスピンドルユニットにおいて、噴出されて使用済みとなったエアーが高温となることによりスピンドルユニットに連結されたコードやチューブが劣化するのを防止する。
【解決手段】回転軸２０の先端部に切削ブレードが装着され後端部に回転駆動部２２が連結され回転軸２０がスラストベアリング２１２及びラジアルベアリング２１４から噴出されるエアーによって回転可能に支持された構成のスピンドルユニット２において、噴出され回収したエアーを回転駆動部２２の後部側で開口する排気口２１９から排気することによりエアーが高温とならないようにしてコード２２ｃやチューブ２１６ａの劣化を防止する。 （もっと読む）

【課題】ピストン駆動機構の静圧気体軸受において、径方向の衝撃に対する軸受摺動面の損傷を防止することである。
【解決手段】ピストン駆動機構１０はピストンロッド１２と、シリンダの機能を有するハウジングを有し、ハウジング２０の前後側のエンドプレート２４，２６はピストンロッド１２の前後端を軸方向移動自在に支持し、そこに静圧気体軸受１００が設けられる。静圧気体軸受１００のところにおいて、銅系材料で構成される潤滑用メタル筒材１８，１９がピストンロッド１２に一体化されて設けられる。潤滑用メタル筒材１８，１９をピストンロッド１２ではなくて、ハウジングの静圧気体軸受部に設けることもできる。 （もっと読む）

【課題】密度が銅又は鋼の約１／３であり、粒子径は約０．１ｍｍ程度であるアルミニウム粉又はアルミニウムを主成分とする合金粉末を出発原料とし、通気性が高く、接着剤などの使用によりバックメタルへの接合が可能である軽量エアベアリング用多孔質焼結体を安価に製造できる方法を提供する。
【解決手段】平均直径が０．０５〜０．７ｍｍであり、９９．５％以上の純度を持つアルミニウム粉末又はシリコンを１〜１５質量％含有するアルミニウムシリコン合金粉末に、同径の水素化チタン粉末をアルミニウム１に対して０．０５〜０．２（質量比）となるように添加及び混合し、この混合粉末を黒鉛型に充填して加圧力２．５〜５ＭＰａで加圧成形し、さらにこれを真空中、焼結温度５００〜６５０°Ｃで焼結することを特徴とするアルミニウム又はアルミニウムシリコン合金を主成分とするエアベアリング２用多孔質焼結体の製造方法。 （もっと読む）

静圧型空気軸受は、第一の軸受面（２８）と、第一の軸受面（２８）に対面するように並置された第二の軸受面（３２）と、第一と第二の軸受面（２８）、（３２）の一方に設けられた少なくとも１つの流体供給口（３８）とを備える。前記流体供給口（３８）に入る、および／またはそこから出る圧縮性流体の流量を制限するための供給口絞り（４０）と、少なくとも１つの陥凹部（３４）が、第一と第二の軸受面（２８、３２）の一方に設けられ、１つ又は各々の前記陥凹部（３４）は、１つ又は各々の前記流体供給口（３８）と流体連通する。また、前記少なくとも１つの陥凹部（３４）と流体連通し、圧縮性流体が軸受から出るときの流量を制限する少なくとも１つの排出口絞り（３５）も設けられ、少なくとも１つの突出部（４２）が、前記少なくとも１つの陥凹部（３４）の少なくとも一部を画定する表面上に設けられている。１つの、または各々の突出部（４２）は、前記少なくとも１つの陥凹部（３４）の中に完全に収容される。
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【課題】 エア供給量を増やすことなく、スピンドルの高速回転が可能なスピンドルアセンブリを提供することである。
【解決手段】 スピンドルアセンブリであって、エア供給路を有するスピンドルハウジングと、中心に形成されたスピンドル挿入穴と、前記エア供給路からの圧縮エアを該スピンドル挿入穴に供給する複数の分岐路とを有し、前記スピンドルハウジング中に圧入されたベアリングシャフトと、該ベアリングシャフトのスピンドル挿入穴中に挿入されたスピンドルと、該スピンドルと前記ベアリングシャフトのスピンドル挿入穴を画成する内壁との間に形成されたラジアルエアベアリングと、前記エア供給路及び前記分岐路を介して前記ラジアルエアベアリングに圧縮エアを供給する圧縮エア供給源とを具備し、前記スピンドルの非回転時に該スピンドルの中心が前記スピンドル挿入穴の中心に対して下方側へ３〜１０μｍ偏心し、前記スピンドルと前記内壁最下端との間の隙間が５〜３０μｍであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】毎分数百回を超える高速で往復移動することの可能な往復移動装置とその駆動手段を提供し、この高速な往復移動に対処できる往復移動装置とその駆動手段、安定して駆動する駆動源とその制御手段、及び高速な激しい振動を抑える制振手段を提供する。
【解決手段】ガイドウェイと、このガイドウェイに支持されて往復動し、下面にガイドウェイに直交して形成された駆動溝を有する移動台と、この駆動溝に嵌入する駆動ピンをそれぞれ有する２個の回転アームと、この２個の回転アームを同期して相互に逆方向に回転させる駆動源とを有することを特徴とする往復移動装置によって達成される。 （もっと読む）

【課題】ピストンとシリンダとが接触するおそれを低減すること。
【解決手段】スターリングエンジン１００の高温側シリンダ３０Ｈは、スリーブ３０ＨＲと、シリンダブロック３０ＨＢとで構成される。スリーブ３０ＨＲは、内部を高温側ピストン２０Ｈが往復運動する。そして、スリーブ３０ＨＲは、スターリングエンジン１００の作動流体を加熱するヒータ１０５に接続され、ヒータ１０５の熱が伝えられるように構成される。シリンダブロック３０ＨＢは、スリーブ３０ＨＲの外側に配置される。そして、スリーブ３０ＨＲとシリンダブロック３０ＨＢとの間には、所定の間隔が設けられて空気層が形成される。 （もっと読む）

【課題】ピストンとシリンダとが接触するおそれを低減すること。
【解決手段】ピストン２０は、シリンダ３０内を往復運動する。ピストン２０とシリンダ３０との間には、気体軸受ＧＢが形成される。ピストン２０は、頂面２０Ｔｔから頂面反対側端部２０Ｂｔに向かってピストン側段差部Ｋｐまでの外径が、ピストン側段差部Ｋｐから頂面反対側端部２０Ｂｔまでの外径よりも小さく形成される縮径部２１を備える。そして、この縮径部２１には、環状部材５０が嵌め合わされる。環状部材５０は、ピストン２０の縮径部２１の材料よりも熱膨張率が小さい材料で作られる。 （もっと読む）

【課題】ピストンとシリンダとが接触するおそれを低減すること。
【解決手段】ピストン２０の側周部２０Ｓであって、ピストン側段差部Ｋｐからピストン２０の頂面反対側端部へ向かって所定の距離Ｌ３の範囲には、ピストン側クリアランス徐変部２０Ｊが設けられる。ピストン側クリアランス徐変部２０Ｊは、ピストン側段差部Ｋｐを起点Ｖｓとし、ピストン側段差部Ｋｐからピストン２０の頂面反対側端部２０Ｂｔへ向かって所定の距離Ｌ３の位置を終点Ｖｆとする。ピストン側クリアランス徐変部２０Ｊは、ピストン側段差部Ｋｐからピストン２０の頂面反対側端部へ向かって、ピストン２０の直径が徐々に小さくなるように形成される。 （もっと読む）

【課題】ピストンとシリンダとの間に気体軸受を介在させる構造において、ピストンとシリンダとの間への異物の侵入を抑制して、ピストンやシリンダの耐久性低下を抑制すること。
【解決手段】ピストン２０とシリンダ３０との間には気体軸受ＧＢが形成される。ピストン２０の頂面側ピストン径変化部ＧＴ１と頂面反対側ピストン径変化部ＧＴ２との間に、気体軸受ＧＢが形成される。ピストン２０の頂面側ピストン径変化部ＧＴ１及び頂面反対側ピストン径変化部ＧＴ２には、それぞれ頂面側環状部材４０Ｔ及び頂面反対側環状部材４０Ｂが取り付けられる。頂面側環状部材４０Ｔ及び頂面反対側環状部材４０Ｂは、シリンダ３０の内面３０Ｓよりも硬度の低い材料で構成される。 （もっと読む）

【課題】シール隙間への加工液の浸入を抑制することができる、静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】この静圧気体軸受スピンドルは、貫通孔２８の形成された回転軸１を備える。また、静圧気体軸受を介して回転軸１を回転可能に支持するハウジング２を備える。また、貫通孔２８の内部を減圧して、貫通孔２８の一方の端部が開口するワークチャック面３０にワークを吸着固定する、吸着機構を備える。カバー８には、貫通孔２８の内部の圧力を変化させるための気体が流通する、通気口２６が形成されている。回転軸１とハウジング７との間には、通気口２６と静圧気体軸受とを隔てるシール隙間が形成されている。また、通気口２６とシール隙間とが連通する通路に設けられており、貫通孔２８の内部を通気口２６側へ流れる液体のシール隙間への浸入を抑制する、液流抑制部をさらに備える。 （もっと読む）