【課題】流体軸受けにおける作動流体の利用効率を向上させる。
【解決手段】第一部材および第一部材の表面に沿って移動する第二部材の間隙３０１に気体を供給する圧送部３４０と、間隙３０１から気体を圧送部３４０に帰還させる帰還部３９４とを備える。上記帰還部３９４は、圧送部３４０から間隙３０１に供給された気体が、間隙３０１から外部に向かって流れる過程で、間隙３０１から気体を帰還させてもよい。上記圧送部３４０および上記帰還部３９４は、第二部材に搭載されて、第二部材と共に移動してもよい。上記圧送部３４０は、加圧された気体を収容したタンクを含んでもよい。上記帰還部３９４は、第二部材に搭載されて第二部材と共に移動しつつ、第一部材および第二部材の間から漏れ出す気体を吸引して回収する回収部を更に有してもよい。 （もっと読む）

【課題】高速変動する外乱負荷による移動体の精度低下の抑制が可能な流体保持装置（静圧軸受け、静圧案内）を提供する。
【解決手段】流体保持装置において、主軸３と静圧軸受け４、５の外乱力による相対変位を計測する変位センサ９、１０と、静圧ポケットのリセス体積を増減する体積増減手段７、８と、を備え、変位センサ９、１０により検出された変位を抑制するように、体積増減手段７、８によりリセス体積を増減することで、外乱力による流体保持装置の精度低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受にて支持されたスピンドルにベルトを介して回転動力を伝達する回転動力伝達装置において、作業性が良く、より高精度にベルト張力を測定することができる回転動力伝達装置を提供する。
【解決手段】静圧軸受は、スピンドルＳに対向しているハウジングの対向面に形成された、円周方向に並べられた複数の静圧ポケットＰＲ１〜ＰＲ４にて構成され、各静圧ポケットは、回転軸ＴＺを挟んで互いに対向する位置に配置されており、スピンドルは、ベルト２２の張力にてベルト引張り方向に引張られている。回転軸に対してベルト引張り方向に位置している静圧ポケットである増負荷静圧ポケットＰＲ２と、増負荷静圧ポケットに対向する位置の静圧ポケットである対向静圧ポケットＰＲ４と、に加えられている負荷を測定可能な負荷測定手段Ｓ１、Ｓ２を備え、負荷測定手段にて測定した負荷に基づいて、ベルトの張力を算出する張力検出手段５０を備えている。 （もっと読む）

【課題】主軸装置と工作物とを相対移動させて工作物を加工する工作機械における、衝突時の損傷防止機能を提供する。
【解決手段】主軸２を保持する軸受け４を外輪ケース５により保持し、外輪ケース５は、衝突時の軸方向負荷が所定の値を超えたに場合に、転がり軸受け４主軸２と共に後方へ移動する。衝突検知センサ３により衝突を検知すると、所定時間内に主軸送りモータを停止させる。外輪ケース５の後退ストロークは、衝突開始から主軸送りモータが停止までに要する時間より衝突時の外輪ケース５の後退時間が長くなるように、設定されている。このことにより、主軸２と工作物１１の衝突時に所定の値以上の力が転がり軸受け４に負荷されないので転がり軸受け４を損傷することなく工作機械を停止できる。 （もっと読む）

【課題】制御手段が停止した場合のテーブルの惰性進行をバネの反力により抑制し、テーブルに過度の負荷が発生したエマージェンシーにおいてのみ静圧軸受けを接地させる２段構えのフェールセーフ機構を実現できるようにする。
【解決手段】本体ベース１と、本体ベース１上で静圧軸受け３，４により空気浮上され、リニアモータによりＹ方向に移動し、保持した基盤等を所定の位置まで搬送する位置決めテーブル機構５を備えた基盤搬送装置において、本体ベース１上に設置され、伸縮動作により突出し、テーブル機構５と接触してＹ方向への進行を抑制するよう構成されたリーフスプリング１０と、リーフスプリング１０が一定量以上変位したときに押下されるリミットスイッチ１１と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】自動調心機能を持つ、組立て部品化した静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】静圧気体軸受１を軸の外周面に対向配置される内筒筐体２と、ハウジングＨの内周面に対向配置される外筒筐体３とから成し、内筒筐体又は外筒筐体の互いに対向する面にラジアル軸受面３ａ及びスラスト軸受面３ｂを設け、軸受面を静圧気体軸受の内部に設ける。ラジアル軸受隙間に対して裏側の面にＯリング４を設け、スラスト軸受隙間に対して裏側の面であって、Ｏリングが備えられた筐体にバネ５を設け、Ｏリングとバネに軸とハウジングとの不均一な隙間量を吸収させるとともに、外筒筐体を軸とハウジングとの角度変化に追従して連続的に首を振るように動かす。 （もっと読む）

【課題】大重量の回転体をそのスラスト荷重を相殺し又は低減した状態で垂直軸の回りに安定してかつ高精度に回転可能に軸支する回転体軸支構造を提供する。
【解決手段】垂直起立状態のポール１０２により、中心回転部１１２を備え、この中心回転部１１２にポール１０２に沿って垂直配置される外側回転物を連結した回転体を垂直配置で軸支する回転体浮上軸支構造であって、ポール１０２の開口端側から内方下方に至る位置に設けた不凍液１３３を収納した浮力室１３１と、不凍液１３３内に臨ませたフロート１３５と、このフロート１３５下部の浮力室１３１の下端を貫いてポール１０２内を下方に延長した垂直軸とを具備し、フロート１３５に作用する浮力により回転体のスラスト荷重を分担させて浮上状態で回転可能に軸支する浮上軸受部１２１と、ラジアル荷重を分担する上部側のラジアル軸受部１２２と、ラジアル荷重を分担する下部側のラジアル軸受部とを有する。 （もっと読む）

【課題】従来の静圧軸受よりも構造が簡略化でき、高い静剛性を広い荷重範囲で実現できる静圧軸受および圧力制御ユニットの提供。
【解決手段】軸受面１Ａを有する軸受本体１と、軸受本体１の軸受面１Ａに圧力油を吐出する吐出流路３と、軸受本体１の内部に形成され、吐出流路３に圧力油を供給する圧力油供給室２と、圧力油供給室２内部に収容され、吐出流路３に供給される圧力油の流量を制御する弾性ヒンジ機構１０と、圧力油供給室２に圧力油を供給する給油流路４と、を備え、弾性ヒンジ機構１０は、絞り板１１と、絞り板１１を案内する保持板１２およびリンク板１３と、絞り板１１を付勢して所定の位置に保持する弾性ヒンジ１４と、を備える静圧軸受および圧力制御ユニット。 （もっと読む）

【課題】スピンドルとハウジングとの軸受隙間の大きさを可変として、高い剛性を必要とする場合にスピンドルの剛性をより高くするとともに、必要とするエネルギーの増加量をより抑制することができる流体軸受装置を提供する。
【解決手段】スピンドルＳは、回転軸ＴＺ方向の一方に向かって径が小さくなるテーパ面ＭＰを有するテーパ部ＳＴと、回転軸方向の一方の方向に向かう流体の力を受ける軸方向力受動面ＭＪを有する軸方向力受動部ＳＪとを有し、テーパ面に対向しているテーパ対向面Ｍ１にはテーパ部ポケットＰ１〜Ｐ４が周方向に分割されて形成されており、軸方向力受動面に対向している軸方向対向面Ｍ２に軸方向ポケットＰＢが形成されている。スピンドルが回転軸に交差する方向の力である負荷Ｆを受けると、軸方向力受動面の受ける力を大きくしてスピンドルをハウジングに対して相対的に回転軸方向の一方の方向に移動させる剛性増加手段を備えている。 （もっと読む）

静止部材と、静止部材に対して回転可能な回転可能部材と、静止部材と回転可能部材とを相互に接続し、潤滑流体によって分けられる作動面を有するハイドロベアリングとを含み、潤滑流体は、少なくとも１１０の粘度指数を有する少なくとも１つの合成エステルベース流体と、１０から５０００ｐｐｍの少なくとも１つの導電性誘導剤と、潤滑流体の全重量を基準として、０．０１重量％から５重量％の少なくとも１つの酸化防止剤と、潤滑流体の全重量を基準として、０．０１重量％から５重量％の少なくとも１つの耐摩耗添加剤とを含む、ディスクドライブスピンドルモータ。
（もっと読む）

【課題】案内面の損傷を低減させるステージ装置を提供する。
【解決手段】
本発明のステージ装置は、ステージ部４と、ステージ部４の移動を案内する案内面を含む静圧軸受ガイド５と、ステージ部４に保持され且つ案内面に向けて気体を噴出するエアパッド２と、ステージ部４に保持され且つ案内面に対向した永久磁石３とを有するステージ装置であって、 静圧軸受ガイド５は、磁性体を含み且つ永久磁石３に対向した突出部を含む金属部７と、金属部７の硬度より高い硬度を有し、金属部７を被覆し、且つ案内面を有するセラミック部６とを含む。 （もっと読む）

【課題】被案内可動体を案内軌道に沿って移動させる際、被案内可動体の移動速度に係わらず、被案内可動体を任意の目標停止位置に停止可能な磁気ダンパーを備えたエアスライド装置を提供する。
【解決手段】被案内可動体１２を案内軌道面に対して非接触形態で支持する静圧気体軸受と、該案内軌道に沿って走行中の被案内可動体に対して制動力を負荷する磁気ダンパー２０とを有するエアスライド装置１０であって、前記磁気ダンパー２０は、一対の磁石ユニット２６の各々が、該導電性ダンパープレート２４の対応する側面に対して間隔を隔てて配置され、それにより、前記被案内可動体１２が前記案内軌道に沿って走行中に、該導電性ダンパープレート２４が前記磁石ユニット２６を横切ることにより、前記導電性ダンパープレート２４に生じる渦電流に基づいて、前記被案内可動体１２に対して制動力を負荷することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ロボットや多自由度ステージ等に用いられる球面軸受に要求される、広い揺動角度と高い軸受剛性とを有し、回転揺動方向の平滑な動作と微小な角度の位置決めとを可能にし、且つ、長期間にわたって高精度を維持できる高い耐久性の全てを満足する球面軸受を提供する。
【解決手段】 軸部と球体部とを有する回転揺動体と、この回転揺動体の球体部に外嵌する凹面部を有する軸受体とから構成される球面軸受において、前記軸受体の凹面部を半球若しくはそれより浅い球面状に形成し、且つ、前記回転揺動体の球体部と前記軸受体の半球状の凹面部との少なくとも一方を磁石として、この磁石の吸引力によって前記揺動回転体と前記軸受体とを一体に保持すると共に、前記回転揺動体の球体部と前記軸受体の半球状の凹面部との少なくとも一方に静圧ポケットを刻設して、該静圧ポケットに圧油を供給して静圧軸受とすることを特徴とする球面軸受によって達成される。 （もっと読む）

【課題】剛性自動補償静圧平面軸受装置とその方法の提供。
【解決手段】本剛性自動補償静圧平面軸受装置は、スロットル、第１チャンバ及び第２チャンバを包含し、スロットルは載置台に設置され、且つスロットルの一端よりフレキシブルで変形可能な支持手段が延伸され、第１チャンバは該支持手段のスロットルと反対の一端に形成され、且つスロットルを貫通する給液管路と連通し、第２チャンバは支持手段と載置台の間に形成され、並びに第２チャンバは支持手段上の連通孔を介して第１チャンバと連通する。負荷が変化する時、第１チャンバの圧力がそれにより変化し、並びに連通孔を介して第２チャンバに伝導され、第２チャンバの圧力変化により支持手段が微量変形し、これにより第１チャンバの容積が変化してその平均圧力が変化することで軸受の剛性自動補償が行われる。 （もっと読む）

【課題】圧縮気体を供給した際に生じる保持リングのずれを抑制することが可能な気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】気体軸受スピンドル１は、回転軸１０と、スリーブ３０と、ハウジング２０とを備えている。スリーブ３０は、非金属焼結体からなる軸受部３１と、Ｏリング４１，４２を介してハウジング２０に対してスリーブ３０を保持する金属製の保持リング３２とを含んでいる。そして、保持リング３２と軸受部３１とは、軸受部３１の外周面と保持リング３２の内周面との境界面である第１嵌合面８１と、スリーブ貫通穴３３からの距離が第１嵌合面８１よりも大きく、第１嵌合面８１から見てスリーブ貫通穴３３の延びる方向におけるスリーブ貫通穴３３の中央側に形成された軸受部３１の外周面と保持リング３２の内周面との境界面である第２嵌合面８２とにおいて接触している。 （もっと読む）

【課題】
転写ピンを懸吊支持するための内孔部分で、転写ピンをエアフローティングすることにより、転写ピンに掛かる摺動抵抗や付勢力をなくし、転写時のランドにかかる荷重を転写ピンの自重のみにすると共に転写ピンのセンタリングによる位置精度の向上を図ること。

【解決手段】
第１に、転写ピンと被転写物を相対的に接近させる昇降手段を備え、転写ピンの先端を被転写物の転写部位に当接させてフラックスを転写する装置とする。
第２に、転写ピンは外周を拡大させた拡径部を備える。
第３に、転写ピンを上下に遊貫させる内孔が形成され、内孔に転写ピンの拡径部を係合させて転写ピンを懸吊支持する支持部材を備える。
第４に、内孔に開口する通気路と、通気路に気体を供給する手段とを備える。
第５に、遊貫させた転写ピンと内孔の隙間に気体を供給して転写ピンに浮上力を生じさせてフラックスを転写する。 （もっと読む）

【課題】高い応答性を有する可変自成絞りにより、広い周波数領域にわたり高剛性化を実現した静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】軸受面の一部に、可撓性を持つ可撓部材７による可撓性軸受面１を有し、前記可撓部材に、自成絞りを形成する給気孔３を設け、可変自成絞りとして作用させる。軸受隙間Ｃｒ内の気体の圧力変化を、ダイレクトに可撓性軸受面１に伝えることができ、また、可動物体を持たないために、高い応答性を有する可変自成絞りを実現できる。これにより、広い周波数領域にわたり高剛性化を実現した静圧気体軸受を提供できる。 （もっと読む）

【課題】スピンドル回転数の回転数の標準域（10000rpm〜60000rpm）と共に、高速域（例えば70000rpm〜100000rpm）においてもスピンドルの上下運動を抑制し、スピンドルのカジリ現象を防止することができるスピンドルアセンブリを提供する。
【解決手段】スピンドル（４８）を低速で回転させる際には、スピンドル（４８）の非回転時にスピンドル（４８）の軸心がベアリングシャフトの中心に対して偏心量Ｘμmで下方に偏心するように圧縮エアが供給され、スピンドル（４８）を所定の回転数を越える高速で回転させる際には、スピンドル（４８）の非回転時にスピンドル（４８）の中心がベアリングシャフトの中心に対して偏心量Ｘμmよりも大きい偏心量Ｙμmで下方に偏心するように、スピンドルアセンブリの複数のエア噴射領域から圧縮エアが噴出される。 （もっと読む）

【課題】周囲の磁性体の影響を受けない可動部の平衡位置を保つ機構を備えた直線駆動装置を提供すること。
【解決手段】チャンバー１３とチャンバー１４のそれぞれにエアタンク１５，１６を取り付ける。エアタンク１５はチャンバー１３と連通管１７により連通しており、エアタンク１６はチャンバー１４と連通管１８により連通している。エアタンク１５には圧力調整装置１９、エアタンク１６には圧力調整装置２０が接続されており、エアタンク内の圧力を調整できるようになっている。エアタンク１５，１６とチャンバー１３，１４とは連通管１７，１８によって連通していることから、チャンバー１３内の圧力とチャンバー１４内の圧力とをそれぞれ圧力調整装置１９，２０によって調整できる。チャンバー１３，１４には軸受面７から排気エアが流入することによって、カウンタスライド３を平衡位置に保持できる。 （もっと読む）

【課題】回転軸と軸受が接触しても軸受の摩耗を最小限に抑えることができる静圧気体軸受装置を提供する。
【解決手段】静圧気体軸受装置１０は、回転軸２の外周面と対向するラジアル軸受面１３Ａ、１３Ｂを有する軸受ブロック１１と、回転軸２と軸受ブロック１１との間の軸受隙間に加圧気体と液体潤滑剤のミストとを混合した潤滑混合気を供給する潤滑流体供給装置２３とを備える。 （もっと読む）