【課題】静圧軸受を含む軸受構造、及び静圧軸受へのオイルの供給構造を簡略化することができて、装置全体を小型に構成することができる静圧軸受を用いた移動案内装置を提供する。
【解決手段】案内体１２上に静圧ポケット１４Ａ，１４Ｂを介して移動体１３を支持するとともに、駆動手段により移動体１３を移動させるように構成する。駆動手段としてリニアモータ１５を用いる。リニアモータ１５の固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の吸引力あるいは反発力を静圧ポケット１４Ａの部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用させる。 （もっと読む）

【課題】温度上昇に伴って回転体が膨張して軸方向に伸びた場合でも、静圧気体軸受による良好な軸受性能が発揮できるエアスピンドルを提供する。
【解決手段】固定軸１はラジアル方向への突出部１ａと、突出部１ａを挟んだ両側の軸受部１ｂを有する。１対の静圧気体軸受３を、軸受部１ｂに外嵌し、Ｏリング５により軸方向で移動可能に取り付ける。これにより、静圧気体軸受３は、ハウジング２の内周面と対向するラジアル軸受面３１と、端部材４および突出部１ａの端面と対向するアキシアル軸受面３２を有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造でエアスピンドルの回転体を冷却できるようにする。
【解決手段】回転体であるハウジング２の内周面の、固定軸１の突出部１ａと対向する位置に凹部２１を形成する。突出部１ａの両側に静圧気体軸受３を配置する。突出部１ａの軸方向中央位置に、凹部２１と排気路１３を連通する連通路１４を設ける。凹部２１と静圧気体軸受３との間に気体導入隙間５を形成する。ラジアル軸受面３１を通った気体は、積極的に気体導入隙間５から凹部２１に入り、凹部２１に溜まった気体で回転するハウジング２が冷却される。 （もっと読む）

【課題】ジャーナル軸受としての性能を低下させることなくＪＯＰ機構を備えたジャーナル軸受。
【解決手段】回転軸Ｒの外周側に周方向に間隔をあけて複数が設置され、回転軸を外周側から支持する軸受パッド４と、互いに周方向に隣り合う軸受パッド４の間にそれぞれ設けられ、回転軸の外周面に対して潤滑油を供給する給油ノズル６，７とを備えるジャーナル軸受１において、複数の給油ノズルのうち回転軸Ｒの下方に位置する少なくとも一の給油ノズル６に、回転軸の停止時に回転軸の外周面に接触する接触面８が設けられ、給油ノズル６の内側に穿設された高圧油供給孔を介して潤滑油よりも圧力の大きい高圧油を接触面に供給する高圧油供給手段１１を備えるジャーナル軸受を提供する。 （もっと読む）

【課題】取付面の位置の変化を抑制することができる静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、設置面ＰＳに固定される静圧気体軸受スピンドルであって、端面に取付面１ａを有する回転軸１と、回転軸１を回転可能に支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間１０をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲むハウジング２と、ハウジング２の軸線ＡＸ方向に互いに離れて配置され、ハウジング２を設置面ＰＳに固定するための第１の固定台３および第２の固定台４とを備えている。取付面１ａに対して第１の固定台３より離れた位置に配置された第２の固定台４が軸線ＡＸ方向に直線的に案内可能な直線案内機構５を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】環境温度が低温になっても、スピンドルが回転不能に陥るのを防止できる空気静圧軸受スピンドル装置、これを用いた回転霧化装置および塗装装置を提供する。
【解決手段】軸部２２およびフランジ部２３を有するスピンドル２１、軸受本体３１、軸部２２との間にラジアル隙間４３を有するラジアル軸受部材４１Ａ，４２Ａ、および、フランジ部２３との間にスラスト隙間４５を有するスラスト軸受部材４１Ｂ，４２Ｂを備えた空気静圧軸受スピンドル装置２０において、環境温度が２０℃の状態においてスラスト隙間が４０μｍ以下に形成され、環境温度が０℃の状態においてスラスト隙間が１０μｍ以上確保されるように、軸受本体３１およびスラスト軸受部材４１Ｂ，４２Ｂに用いる材料の線膨張係数が選択されている。 （もっと読む）

【課題】真空槽の外部に動力源を配置して、直線移動力や回転移動力を真空槽内に導入するときに、オーリングの変形によってリークが発生することの無い真空装置を提供する。
【解決手段】真空槽２１の開口２２に筒状部材１１を設け、筒状部材１１と開口２２に挿通した動力伝達軸１２の先端を真空槽２１内に挿入し、根本を真空槽２１の外部に配置された動力源１６に取り付ける。筒状部材１１内周面の噴出装置１７からベアリングガスを噴出し、筒状部材１１と動力伝達軸１２とを非接触にして動力源１６を動作させて動力伝達軸１２を直線移動と回転移動させる。噴出装置１７と開口２２との間に複数の排気溝を設け、真空槽２１に近い排気溝を最も大きな排気コンダクタンスで、真空排気装置１５に接続する。開口２２に最近の排気溝内の圧力を低くすることができ、真空槽２１内を高真空雰囲気にすることができる。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールに対してスライダを着座させる際の姿勢制御を有効に行える案内装置を提供する。
【解決手段】第１の支持面１３ａの凹部１３ｄと第２の支持面１３ｂの凹部１３ｆとが、独立して流体の供給を中止可能な配管系即ち第１通路１３ｈ、第２通路１３ｉを介して、圧縮空気源Ａ，Ｂに接続されているので、例えばバルブＶ２を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第２の支持面１３ｂと第２の案内面１２ｂとの隙間を維持しつつ、第１の支持面１３ａが第１の案内面１２ａに着座することができ、或いはバルブＶ３を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第１の支持面１３ａと第１の案内面１２ａとの隙間を維持しつつ、第２の支持面１３ｂが第２の案内面１２ｂに着座することができ、これによりスライダ１３を静止した際に、これに連結されたテーブル等に載置されたワークを精度良く位置決めすることができ、加工精度や検査精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】膨張タービンの回転軸を静圧気体軸受で支持するにあたり、軸受にガスを供給するラインに専用圧縮機を設けずに回転軸の支持に必要な圧力のガスを軸受に安定供給可能にする。
【解決手段】液化システム１００は、液化原料ガスの圧力が所定部分３ｂ，３ｃで所定圧Ｐ０以上に保たれるように液化原料供給源１からの液化原料ガスを送るフィードライン３と、冷媒を循環させるための冷媒循環ライン５と、所定圧Ｐ０以上のガスの供給を受けて膨張タービン１４Ｈ，１４Ｌの回転軸を回転可能に支持する静圧気体軸受ＧＢと、静圧気体軸受ＧＢにガスを供給するために、フィードライン３の所定部分３ｂ，３ｃと静圧気体軸受ＧＢのガス入口４９とを接続する軸受供給ライン７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】長尺な部材や横断面サイズが大きくなっても自重たわみを改善することができるガイド部材を備え、製造コストの低減化を図ることができる静圧空気軸受直線案内装置を提供する。
【解決手段】案内方向に延在するガイド部材４と、ガイド部材に沿って案内方向に移動する可動体５と、この可動体を気体によって支持・案内する空気軸受部１３ａ〜１３ｈと、を備えた静圧気体軸受直線案内装置である。ガイド部材は、長尺方向が案内方向に平行に延在する一対の側板ガイド部材４ａ，４ａと、一対の側板ガイド部材の案内方向に直交する短尺方向の一端に結合し、案内方向に沿って延在する底板ガイド部材４ｂとを備えた横断面コ字状の部材である。


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【課題】 テーブル移動時のピッチングが極めて小さい静圧水軸受直動案内装置の提供。
【解決手段】 テーブル３１底面の前後側の少なくとも一方にガイドウエイ２に設けたコイル２４に対向して磁気バランサー３００を非磁性体支持板を介して付属させた静圧水軸受直動案内装置１。 （もっと読む）

【課題】エアの消費が抑制されるとともに、供給されるエアの圧力が低下してもエアスピンドルユニットにカジリ現象が生じないエアスピンドルユニットを提供する。
【解決手段】スラストエアベアリング４２とラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂを画成するスピンドルハウジング３８と、スピンドル２６に連結されてスピンドル２６を回転するモータ４４と、を備えたエアスピンドルユニット３６であって、スラストエアベアリング４２及び第１及び第２のラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂに高圧エアを分配するエア分配弁５６を具備している。エア分配弁５６は、エア供給源５８から供給されるエア圧が所定圧以上の場合は、第２のラジアルエアベアリング４０ｂのみにエアを供給し、供給されるエア圧が該所定圧未満の場合は、第１及び第２のラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂにエアを供給する。 （もっと読む）

【課題】可動体を浮上させる圧縮空気をガイドレールから噴出させることで、可動体をチューブレス構造とした静圧気体軸受直線案内装置の提供。
【解決手段】基台に固定されるガイドレール２、ガイドレール２の延出方向に沿って往復移動可能な可動体４(垂直方向受板４２、水平方向受板４４)、圧縮空気を噴出して可動体４をガイドレール２に対して浮上させて非接触に支持する静圧気体軸受部(多孔質部材)６、磁気吸引力により可動体４をガイドレール２に引き寄せる吸引部８(磁気吸引部材８ａ、永久磁石８ｂ)を備え、静圧気体軸受部６からの圧縮空気による可動体４のガイドレール２に対する浮上力と、可動体４をガイドレール２へ引き寄せる吸引部８からの磁気吸引力とを調整してバランスを図り、可動体４をガイドレール２に対して浮上させつつ、往復移動させるべく、静圧気体軸受部６をガイドレール２に配し、可動体４へ向けて圧縮空気を噴出させる。 （もっと読む）

【課題】 可動体の位置補正機能をより向上させた静圧スライダを提供する。
【解決手段】
静圧スライダ（１）は、固定体（２）と可動体（３）とを備え、可動体（３）は、該可動体（３）と固定体（２）との間の隙間（４）に供給される流体を介して固定体（２）に沿って相対移動可能である。固定体（２）および可動体（３）の一方は、隙間（４）に供給される流体が通過する貫通孔（５）を有する。貫通孔（５）の少なくとも一部は、隙間（４）における流体の圧力に応じて径が変化する。 （もっと読む）

【課題】非接触式のシール機構を用いることにより、リークを起こすことなく真空槽外の動力源が生成する回転動力を真空槽内に導入する技術を提供する。
【解決手段】
真空槽２１の開口２２に筒状部材１１を設け、筒状部材１１と開口２２に挿通した動力伝達軸１２の一端を真空槽２１内に挿入し、他端を真空槽２１の外部に配置された動力源１６に取り付ける。筒状部材１１内周面の噴出装置１７からベアリングガスを噴出し、筒状部材１１と動力伝達軸１２とを非接触にする。真空槽２１内を大気圧より低い圧力にすると、動力伝達軸１２に真空槽２１内に引き込む力がかかり、第二の板状部材３２が球状部材３３を介して第一の板状部材３１に押しつけられ、動力伝達軸１２は一定の向きに維持される。動力源１６を動作させて動力伝達軸１２を回転移動させると、動力伝達軸１２は一定の向きに維持されたまま筒状部材１１と接触せずに回転移動する。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールの軽量化、生産効率の向上、低コスト化を図ると共に、ガイドレールに沿って可動体を移動させて位置決めする際、負荷を非接触で安定してかつ効率良く支持することを可能にする。
【解決手段】一方向に沿って形成された凹部６ｇが同一向きに整列するようにレール構造体６Ｓ,６Ｔを相互に組み合わせたガイドレール２には、一方向に沿って延出した第１及び第２のガイド面６ｃ,６ｂが直交配置され、可動体４は、第１のガイド面６ｃに対向する第１の軸受パッド４ａ、第２のガイド面６ｂに対向する第２の軸受パッド４ｂを備え、各軸受パッド４ａ、４ｂの気体噴出部８から加圧気体を噴射すると共に、各軸受パッド４ａ、４ｂの磁石部１０とガイドレール２の磁性材Ｍとが互いに吸引し合って磁気吸引力を発生させることで、可動体４は、ガイドレール２に対して所定量浮上しつつ非接触で支持された状態で移動可能となる。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールの軽量化、生産効率の向上、低コスト化を図ると共に、当該ガイドレールに沿って可動体を移動させて位置決めする際において、負荷を非接触で安定してかつ効率良く支持することを可能にする静圧気体軸受直線案内装置を提供する。
【解決手段】一方向に沿って形成された凹部６ｇが同一向きに整列するようにレール構造体６Ｓ,６Ｔを相互に組み合わせたガイドレール２には、一方向に沿って延出した第１及び第２のガイド面６ｃ,６ｂが直交配置され、可動体４は、第１のガイド面６ｃに対向する第１の軸受パッド４ａと、第２のガイド面６ｂに対向する第２の軸受パッド４ｂとを備え、各軸受パッド４ａ、４ｂに設けられた気体噴出部８から可動体４とガイドレール２との間に加圧気体を噴射して導入することで、可動体４は、ガイドレール２に沿って非接触で移動可能となる。 （もっと読む）

【課題】高い回転精度を有し、低コストで製造することのできる静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】矢印方向に回転する回転体を気体膜を介して回転支持する多孔質体２は、回転体の回転方向に交互に配設された複数の有効通気部３と線状の非有効通気部４とを有する。複数の有効通気部３は、それぞれ非有効通気部４によって分離され、通気流量を個別に制御される。線状の非通気有効部４を、回転方向に垂直な軸に対して回転方向に傾斜させることで、通気流量の回転方向の分布を低減し、均一な気体膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】自動補償静圧ジャーナル軸受の提供。
【解決手段】この自動補償静圧ジャーナル軸受は、軸を取り付ける座体を有し、座体に軸を取り付ける孔が穿たれて円周面が形成され、軸と円周面の間に液圧液体を流通させる間隙があり、座体に少なくとも二つの注油孔が設けられ、円周面上に相互に対向するように設けられた少なくとも二つの第１チェンバ一がそれぞれ一つの注油孔に連通し、且つ各第１チェンバ一に隣接するようにそれぞれ第２チェンバ一が設けられ、座体に少なくとも二つのチャンネルが設けられ、各チャンネルの第２端はそれぞれ第１端と対向する第２チェンバ一に２連通する。これにより、軸受力が偏る時、その偏り方向とその対向の間隙を変更して、液圧液体に各通路をとおり、対向する第１チェンバ一と第２チェンバ一間で流量自動補償作用を発生させる。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受に加わる外乱負荷に対し、軸受剛性の維持に必要な厚さの流体膜が形成されるようにし、安定した軸受剛性を得ることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】静圧ポケットと、静圧ポケットに加圧流体を供給する流体供給手段と、流体供給手段から静圧ポケットに至る流体流路１３と、流体流路１３の途中に設けられ、ダイアフラム４３と、弁座４５と、ダイアフラム４３と弁座４５に囲われ、加圧流体が充填される絞り空間部４４ｂを有し、ダイアフラム４３の変形により、ダイアフラム４３と弁座４５との間の絞りの開度Ｄと、絞り空間部４４ｂの体積が変動する可変絞り４０と、静圧ポケットの圧力検出手段と、ダイアフラム４３を変形させるダイアフラム変形手段５０と、検知された圧力に応じて、ダイアフラム変形を作動させることにより、絞りの開度Ｄと絞り空間部４４ｂの体積の変動を制御する制御手段を備えた。 （もっと読む）