【課題】加工性を大幅に改善したサイアロン焼結体または窒化珪素焼結体を含む超精密加工機に最適な部品を提供する。
【解決手段】β−窒化珪素粉末に焼結助剤を添加して焼結してなるサイアロン焼結体または窒化珪素焼結を用いて流体静圧案内装置部品または工具支持部品とする。これらの焼結体の曲げ強度は、４００〜６００ＭＰａ、ヤング率は、２６０ＧＰａ以上、室温における熱膨張係数は、１．５×１０^−６／Ｋ以下、比重は、３．２７以下、ＳＥＰＢ法による破壊靭性値は、４〜５．５ＭＰａ・ｍ^１／２であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】流体を殆ど消費せず、優れた体積効率を呈し、比較的コンパクトで、ロータを所定位置に保持する界面での摩耗がなく長寿命で、高速での作動に適したターボマシンを提供する。
【解決手段】ロータが半径方向所定位置にあることを確保する半径方向位置決め手段（４０、４２；２４０、２４２；３４０、３４２）と、高速時にロータ（１０Ｒ、１１０Ｒ）の軸線方向バランスをとるための、少なくとも１つのブレード形ホイールに配置された非接触軸線方向バランシング装置（３８）とを有する、ロータ（１０Ｒ、１１０Ｒ）およびステータ（１０Ｓ）が設けられたターボマシン（１０、２１０、３１０）。ターボマシンは、半径方向位置決め手段（４０、４２；１４０、１４２）とは別のスラストベアリング（３６、１３６）を有し、スラストベアリングは、低速時にロータを軸線方向にバランスさせ、高速時には非接触でロータを軸線方向にバランスさせる。 （もっと読む）

【課題】モータビルトインのスピンドル装置において、ロータとステータの芯合わせを正確かつ簡単に行う。
【解決手段】スピンドル装置１であって、前方側に工具Ａを取り付け可能な回転軸１０と、回転軸１０を中心軸Ｐ上に収容し、当該回転軸１０を軸受１２を介して回転自在に支持する本体ハウジング１３と、回転軸１０の後方側に設けられ、回転軸１０を回転駆動するモータ部１１と、本体ハウジング１３の後方部に固定され、モータ部１１を収容するモータハウジング１４と、を有している。モータ部１１は、回転軸１０の後方部に当該回転軸１０と同軸上に固定されたモータ軸４０と、当該モータ軸４０の外周面に固定された環状のロータ４１と、当該ロータ４１に対向しモータハウジング１４の内周面に固定された環状のステータ４２を有し、モータハウジング１４の内周面のステータ４２が固定されていない位置又はモータハウジング１４の外周面には、ステータ４２の内周面４２ａと同心の環状の位置合わせ面Ｅが形成されている。 （もっと読む）

【課題】被支持体の急速な動きに対しても、被支持体の位置または姿勢を修正可能な静圧軸受装置および静圧軸受装置による被支持体の支持方法の提供。
【解決手段】静圧軸受装置の制御装置は、位置センサ５ａ〜５ｃによる検出結果に基づき、スライドテーブル２の基台１に対する変位速度が所定値Ｇよりも大きい場合には、容積変更装置４のピエゾアクチュエータを作動させて、ポケット部２７ａ、２７ｅの容積を増減させポケット部２７ａ、２７ｅ内の圧力を変更することにより、スライドテーブル２の基台１に対する位置または姿勢を修正する。また、スライドテーブル２の基台１に対する変位速度が所定値Ｇ以下の場合には、油圧装置によってポケット部２７ａ〜２７ｆ内に供給する油圧の圧力または量のうちの少なくともいずれかを変化させて、スライドテーブル２の基台１に対する位置または姿勢を修正する。 （もっと読む）

【課題】モータビルトインのスピンドル装置において、補助軸受のモータ軸に対する芯合わせを簡単に行う。
【解決手段】スピンドル装置１であって、前方側に回転具を取り付け可能な回転軸１０と、回転軸１０を中心軸上に収容し、当該回転軸１０を軸エア受１２を介して回転自在に支持する本体ハウジング１３と、回転軸１０の後方部に当該回転軸１０と同軸上に固定されたモータ軸４０を回転させて回転軸１０を回転駆動するモータ部１１と、モータ部１１を収容するモータハウジング１４と、モータ軸４０を回転自在に支持する補助エア軸受１５と、補助エア軸受１５を収容する軸受ハウジング１６とを有している。補助エア軸受１５は、軸受ハウジング１６の内周面に固定され、軸受ハウジング１６の内周面には、補助エア軸受１５の内周面と同心の環状の位置合わせ面Ｇが形成されている。 （もっと読む）

【課題】従来よりも微細な穴を形成する際に発生する微小な送り負荷を安定して測定することが可能なスピンドルモータを提供する。
【解決手段】筒状筐体１１０と、モータ１２０と、穿孔工具把持部１５０と、筒状筐体１１０内でモータ１２０の回転軸と一体になって回転可能で、かつ、モータ２１０の回転力を穿孔工具把持部１５０に伝達するための回転体であって、先端側軸受面及び基端側軸受面を有する鍔部１３４が外周部に形成された回転体１３０と、筒状筺体１１０に弾性部材２４０を介してかつ送り方向に沿って微動可能に固定され、鍔部１３４における先端側軸受面及び基端側軸受面を挟み込んで穿孔工具把持部１５０からの送り負荷を受ける空気静圧軸受２２０と、送り方向に沿った空気静圧軸受２２０の変位に基づいて送り負荷を測定する送り負荷測定装置１４０とを有するスピンドルモータ１００。 （もっと読む）

【課題】回転が阻止され且つ高い回転剛性を有するスライド軸を備える油静圧スライド装置を提供する。
【解決手段】油静圧スライド装置が、往復駆動源３と、往復駆動源３によって往復駆動される、多角形横断面を有するスライド軸４と、油圧によってスライド軸４を摺動可能に支持する油静圧軸受５とを具備する。油静圧軸受５はスライド軸４が嵌挿される軸受穴５４を備え、油静圧軸受５の軸受穴５４の複数の内側面５５の各々が、スライド軸４の縦軸線Ａ_Zに対して垂直な方向に並べられて形成された少なくとも二つの静圧ポケット９１を備えており、静圧ポケット９１の各々に油圧を供給するためのオリフィス９２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】多孔質焼結金属層とステンレス鋼からなる裏金との間に剥離等を生じることなく強固な接合一体化を行わしめることができると共に多孔質焼結金属層の気孔率を高めて当該多孔質焼結金属層を流通する圧縮気体による浮上量を高めることができる多孔質静圧気体軸受用の軸受素材及びこれを用いた多孔質静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】ステンレス鋼からなる裏金２と、この裏金２の一方の面に接合層３を介して一体にされた多孔質焼結金属層４とを具備しており、多孔質焼結金属層４の粒界に無機物質粒子が分散含有されており、無機物質粒子を含有する多孔質焼結金属層４は、４重量％以上１０重量％以下の錫と、１０重量％以上４０重量％以下のニッケルと、０．１重量％以上０．５重量％未満の燐と、残部が銅からなる軸受素材。 （もっと読む）

軸受機能およびシール機能を有し、動力損失を低減することができる静圧アキシャルすべり軸受を使用する装置および方法を提供する。該装置の静圧アキシャルすべり軸受は、アキシャルすべり軸受表面によって形成され、流体膜によって分けられ、該装置が稼動している間に相対回転を可能に構成されている。該装置は、第１および第２の構成要素を有し、それらは第１および第２のアキシャルすべり軸受表面(28,30,36,38,40,42)を形成している。これらを組み合わせて、第１および第２のアキシャルすべり軸受表面は、静圧アキシャルすべり軸受に対して軸受表面およびシール表面として機能する。該装置は、第１および第２のアキシャルすべり軸受表面が、第１の運動方向において相対回転することを可能に構成されており、少なくとも第２のアキシャルすべり軸受表面は、第１の運動方向において振動波形を備える表面形状(44)を有する。
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【課題】流体の漏出を抑制できる継手装置を提供する。
【解決手段】継手装置は、第１流路が形成された第１部材と、第２流路が形成され、第１部材とは異なる第２部材と、第１流路と第２流路とを導通させた状態で第１部材と第２部材とを回転可能に接続する支持部と、第１部材と第２部材との間に配置された気体軸受とを備えている。 （もっと読む）

【課題】従来のバランス修正手段では修正できない大きなアンバランスを容易に修正することができる、静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】この静圧気体軸受スピンドル１は、軸線Ｏ回りに回転する回転部２と、静圧気体ジャーナル軸受２１および静圧気体スラスト軸受２２ａ，２２ｂを介して回転部２を回転可能に支持する固定部１０と、回転部２に固定されたバランス修正用リング３１とを備える。バランス修正用リング３１は、複数のリング固定ねじ３２を用いて回転部２に固定されており、回転部２とともに軸線Ｏ回りの回転運動を行なう。バランス修正用リング３１は、リング固定ねじ３２の締め付け量を調整することにより径方向の固定位置を変更可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】中空構造を形成するのに中空域成形のための型に頼らないで、より簡単な手順で中空域を形成する静圧空気軸受式直線案内用ガイドの製造方法およびガイドを提供する。
【解決手段】本発明の製造方法は泥漿を型内に流し込み、相手の一面に相対する空域と、空域を間に分離した２つの接合面とを有する第１成形体および第２成形体を成形する工程、第１および第２成形体を焼成して第１焼結ピース１５および第２焼結ピース１６を焼結する工程（図２（ａ））、第１焼結ピース１５および第２焼結ピース１６の接合面１４を平坦に仕上げる工程（図２（ｂ））、第１焼結ピース１５および第２焼結ピース１６の接合面を突き合わせて一体のレール材１７に組み立てる工程（図２（ｃ））、レール材１７を加工して決められた寸法を有するガイドレールに仕上げる工程（図２（ｄ）（ｅ））を含む。 （もっと読む）

【課題】回転軸の回転精度を向上させる。
【解決手段】軸受部２の内面を測定して得られた内径形状８に対して内外接する２つの同心円９、１０の中心を基準中心点１１として基準円５を設定する。基準円５の半径と軸受部２の内径との差分に基づいて、多孔質体である軸受部２から噴出される気体の流量を調整し、気体膜の圧力分布を均一にする。流量調整は、多孔質材表面の目止め量を周方向のそれぞれの領域において調整することによって行う。軸受部２に供給する気体の供給圧力を調整することによって、同様の流量調整を行ってもよい。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、気体静力学ベアリングエレメントによってガイドされる真空利用のためのテーブルを提供する。
【解決手段】 このテーブルは、固定して取り付けられている支持構造体とテーブルトップとを有しており、このテーブルトップは、スライドによって、固定して取り付けられている支持構造体に関するｘ方向とｙ方向とに移動可能である。スライドはガイドするための気体静力学ベアリングエレメントを備えており、これらの気体静力学ベアリングエレメントは、ガスベアリングを動作させるために必要とされるガスを供給するための供給ラインとこのガスを除去するための吸引ラインとに接続されている。吸引ラインは、少なくとも１つの可変長ライン装置を備え、このライン装置は第１管材と第２管材とを有し、これらの管材は接触せずに一方が他方の中に貫入し、少なくとも１つのシーリングギャップが管材の間に備えられている。 （もっと読む）

【課題】ラジアル軸受の内周面と回転スピンドルの外周面との隙間を、回転スピンドルの回転速度に対応して適正な隙間に形成することができる回転工具を装着するスピンドルユニット機構を提供する。
【解決手段】スピンドルハウジング３に配設され回転スピンドル４の外周面との間に、流体層を形成して流体支持するラジアル軸受６およびスラスト軸受８と、スピンドルユニット２のラジアル軸受およびスラスト軸受に高圧流体を供給する高圧流体供給手段１０とを具備するスピンドルユニット機構であって、ラジアル軸受は弾性変形が可能な材料によって形成され、内周面に高圧流体供給手段と、連通する複数の流体噴出孔が開口された円筒状の軸受スリーブからなり、円筒状の軸受スリーブを回転スピンドルの回転速度に対応して弾性変形することにより、縮径して該円筒状の軸受スリーブの内周面と該回転スピンドルの外周面との隙間を調整する隙間調整手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】真空中で使用される静圧気体軸受において、移動体の移動中におけるガス放出量増加を少量に抑えた静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】ガイド軸表面に、気体分子付着確率の低い材質でコーティングを行う等の気体分子付着量低減処理を施すことで、移動中のガス放出量を低減した。 （もっと読む）

【課題】振動や共振現象の発生を抑制し、長期間に亘って高い回転精度を維持することが可能なエアスピンドルおよびその接地方法を提供する。
【解決手段】エアスピンドルは、ハウジングと、静圧軸受により浮遊状態で回転自在にハウジングに支持された回転軸１４と、回転軸を接地する接地機構４０と、を備えている。接地機構は、導電性を有し回転軸の軸端に摺接したアースパッド４２と、アースパッドを、回転軸の中心軸と平行な方向に沿って移動可能に支持した支持アーム４４ａと、アースパッドを回転軸の軸端に向けて付勢した付勢部材４６と、を有している。 （もっと読む）

【課題】回転スピンドルを回転規制を多数回実施しても回転スピンドルの回転バランスを損なうことがない回転工具を装着するスピンドルユニット機構を提供する。
【解決手段】スピンドルユニット２のラジアル軸受６およびスラスト軸受８に高圧流体を供給する高圧流体供給手段１０とを具備する回転工具を装着するスピンドルユニット機構であって、ラジアル軸受６は弾性変形が可能な材料によって形成され内周面に該高圧流体供給手段１０と連通する複数の流体噴出孔６２が開口された円筒状の軸受スリーブ６からなっており、円筒状の軸受スリーブ６を選択的に弾性変形することにより縮径して内周面を回転スピンドル４の外周面を押圧せしめるスリーブ縮径手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】 可動部が基台に接触した際にこの接触を確実に検知することのできる気体軸受けの接触検知機構を提供することである。
【解決手段】 基台に対して可動部を絶縁状態で支持する気体軸受けの接触検知機構であって、該基台に一端が接続された抵抗値Ｒ１を有する第１抵抗体と、一端が電源に接続され他端が該第１抵抗体の他端に接続された抵抗値Ｒ２を有する第２抵抗体と、一端が該第１及び第２抵抗体の他端に接続され、他端がグランドに接続された抵抗値Ｒ３を有する第３抵抗体と、該第３抵抗体の前記一端と他端との間の電位差を検出する電位差検出手段と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造にもかかわらず、被駆動体の移動を高精度に制御することができる非接触アクチュエータ及びその制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】被駆動体３０を移動させるための第１非接触リニアアクチュエータ１０であって、環状をなし、その一端と他端との距離が増減するように伸縮する第１ベローズ１１と、第１ベローズ１１の一端を気密的に閉塞する第１天壁部１２と、第１ベローズ１１の他端を気密的に閉塞する第１底壁部１３と、第１ベローズ１１を伸縮させるため、第１ベローズ１１と第１天壁部１２と第１底壁部１３とで封止される気密空間１４ｂ内に流体を供給且つ気密空間１４ｂ内から流体を排出する第１導入導出部１４ａと、被駆動体３０に面して第１天壁部１２に形成され、被駆動体３０を非接触で支持する第１静圧軸受１５とを備える。 （もっと読む）