【課題】軸受の交換を容易にできるようにする。
【解決手段】ハウジング２と、ハウジング２に収納され、スラストディスク３ａを備えた主軸３と、主軸３のラジアル方向の支持を非接触で行うラジアル軸受部３０Ａ、及び、スラストディスク３ａのスラスト方向の支持を非接触で行うスラスト軸受部３０Ｂを一体的に備えたラジアル・スラスト軸受３０と、スラスト軸受部３０Ｂを主軸３の軸方向に貫通し、ラジアル・スラスト軸受３０とハウジング２とを固定する固定ボルト５０と、主軸３に設けられた回転子４ａ、及び、ハウジング２の内周側に回転子４ａと対向して設けられた固定子４ｂを有するモータ４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得るカムフォロアを提供すること。
【解決手段】カムフォロア１は、中空の転動体２と、転動体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関して転動体２を静圧気体によって支持すべく転動体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受手段７と、スラスト方向に関して転動体２を磁力によって支持する磁性軸受手段９及び１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】隙間調整機構などの装置を設けることなく、ダイアフラムと弁座との隙間を所定の隙間に設定できるダイアフラム式可変絞り装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】第1開口部２１が形成された第1ハウジング１１と、第1開口部２１と対向するように第２開口部２２が形成された第２ハウジング１２と、第1開口部２１の周縁部に形成された第1挟持部３２と、第２開口部２２の周縁部に形成された第２挟持部３３と、第1開口部２１と第２開口部２２との間に設けられ、第1挟持部２１と第２挟持部２２により周縁が挟持されたダイアフラム１３と、第１開口部２１に連通する流体導入路４１と、第1開口部２１に設けられた弁座４５と、ダイアフラム１３との弁座４５との隙間４３に応じた流体を排出する流体供給通路と、を備え、第１ハウジング１１の第1挟持部３２と弁座４５は別体となっており、第1挟持部３２は弁座４５に取り付け又は取り外しが可能とした。 （もっと読む）

【課題】定盤上の塵を簡単な構造で容易に除去する。
【解決手段】重量キャンセル装置４０のベース４１ａの下面に取り付けられたベースパッド１００では、軸受面１０６ａから定盤１２に向けて噴出する加圧空気が、コアンダ効果により軸受面１０６ａに連続して形成された傾斜面１０７に沿って流れる。この際、定盤１２上の塵Ｄがベルヌーイ効果により加圧気体に引きつけられ、その加圧気体とともに、定盤１２から離れる方向に案内される。加圧気体は、フィルタ部材１２６で濾過されてベースパッド１００外に排気される。ベースパッド１００は、特別な吸引装置などを用いることなく、定盤上１２の塵Ｄを吸引できるので構造が簡単である。 （もっと読む）

【課題】軸受本体を大型化する場合や、矩形板状以外の様々な形状の軸受本体を用いる場合であっても軸受本体を容易に加工することができる空気軸受の提供。
【解決手段】空気軸受２は、軸受本体３を備え、軸受本体３は、軸受面４１を有する矩形板状に形成される板状部材４と、軸受面４１の裏面４２に取り付けられる矩形板状の蓋部材５とを備える。軸受面４１には、空気を排気するための複数の排気孔が軸受面４１の四辺に沿って形成される。軸受面４１の裏面４２には、溝部４２１が裏面４２の四辺に沿って形成される。各排気孔は、溝部４２１に連通し、蓋部材５にて溝部４２１を覆うことで排気用流路を構成する。 （もっと読む）

【課題】生産性の低下や露光処理等への悪影響を抑制する。
【解決手段】一対の接続部材ＡＭ１１、ＡＭ１２を所定の軸周りに回転自在に接続する関節部ＪＴ１２を有する。関節部は、一対の接続部材を非接触で、所定の軸周り方向に相対的に回転自在、且つ所定の軸と直交する方向への相対移動を拘束するベアリング装置ＢＲ１２を有する。 （もっと読む）

【課題】構成を簡単にでき、コンパクト化が図れ、メンテナンスフリーでクリーンな真空排気ポンプを提供する。
【解決手段】中央に配置されたシャフト１１及びその周囲に取付けられた動翼１２を有するロータ１３と、ロータ１３を囲むケーシング１４及びケーシング１４の内側に設けられた静翼１５を有するステータ１６と、シャフト１１を回転自由に支持する軸受とを備える真空排気ポンプ１０であり、軸受に超電導磁気軸受１７、１８が使用され、かつステータ１６を冷却する冷媒に、超電導磁気軸受１７、１８に用いる冷媒が使用されている。 （もっと読む）

【課題】装置を追加することなく、停電が発生した場合でも、軸支持運転を比較的長時間保つことができるモータ制御装置を提供する。
【解決手段】停電検出器５５が停電を検出したとき、駆動側制御回路１１では、切替スイッチ５６によって回転角速度指令値ω^*を零に切り替えることにより、ベアリングレスモータ１を減速させ且つ駆動側のインバータ１３を介してベアリングレスモータ１から直流リンク回路４６側へベアリングレスモータ１の発電電力を回生するように駆動側のインバータ１３を制御し、この回生電力が直流リンク回路４６を介して軸支持側のインバータ１４へ供給される構成とする。また、リミッタ下限値調整回路５１では、電圧検出器５４で検出される直流リンク電圧値Ｖ_DCが直流リンク電圧設定値Ｖ_DC^*よりも低下したときに負の下限設定値を出力し、可変リミッタ５７では、この負の下限設定値を可変リミッタ５７の下限設定値として設定する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 面倒な制御ゲインテーブルを作成する必要がなく、磁気浮上運転前の調整に時間を要しない制御型磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 制御型磁気軸受装置は、回転体4を１つの水平な制御軸X方向の所定の目標位置に磁気吸引力により非接触支持するために前記制御軸X方向の両側から回転体4を挟むように配置された１対の電磁石29Xa,29Xbを備えているものであって、回転体4の目標位置からの前記制御軸X方向の変位を検出する変位検出手段と、回転体を目標位置に支持するために各電磁石29Xa,29Xbに一定のバイアス電流および回転体4の前記変位によって変化する制御電流からなる励磁電流を供給する電磁石制御手段とを備えている。電磁石制御手段が、バイアス電流を常に０とするゼロバイアス制御を行うもので、かつ、前記変位に応じて適応的に変化するゲインで負帰還する単純適応制御を行うものである。 （もっと読む）

【課題】 ステージの高さを抑え、かつ安定した位置決精度を保証できるようにする。
【解決手段】 互いに対向するガイド溝１１を持つ一対のガイドレール１０をＸ軸方向に設ける。一対のガイドレール１０の間に平板状のＸ軸スライダ２０を設けて、ガイド溝１１に沿ってＸ軸方向の移動が許容され、Ｙ軸方向の動きが規制されるようにする。Ｘ軸スライダ２０を囲むように略コ字型のＹ軸スライダ３０を装着する。Ｘ軸スライダ２０に対してＸ軸方向の動きが規制されてＸ軸スライダ２０がＸ軸方向に移動するとそれに伴ってＸ軸方向に移動し、Ｘ軸スライダ２０に対してＹ軸方向の動きが許容されて、Ｘ軸スライダ２０に対してＹ軸方向に移動できるようにする。一対のガイドレールのガイド溝１１とＸ軸スライダ２０との間、及びＸ軸スライダ２０とＹ軸スライダ３０との間にガスを供給して、そのガス圧によってＸ軸スライダ２０及びＹ軸スライダ３０を支持する静圧ガス軸受４０、５０をそれぞれ設ける。 （もっと読む）

【課題】エネルギーの利用効率を高めることができると共に、搬送部品の汚染を防止し、外側移動体の取り付け位置の調整作業を簡素化する。
【解決手段】本発明は、シリンダ１１の内部に給排される駆動用エアにより往復動する内側移動体１４と、内側移動体１４との間で作用する磁石３２，３７ａ，３７ｂの吸引力により内側移動体１４と共に往復動する外側移動体１６と、外側移動体１６の両端部においてシリンダ１１の外周面に覆設される蛇腹１８と、シリンダ１１の外周面と外側移動体１６との間の隙間１５に浮上用エアを供給する浮上用エア供給設備１９と、浮上用エア供給設備１９によって隙間１５に供給された浮上用エアをシリンダ１１の外周面と蛇腹１８との間のエア流路１７を介してタンク２０に戻す浮上用エア回収設備２１とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動や共振現象の発生を抑制し、長期間に亘って高い回転精度を維持することが可能なエアスピンドルおよびその接地方法を提供する。
【解決手段】エアスピンドルは、ハウジングと、静圧軸受により浮遊状態で回転自在にハウジングに支持された回転軸１４と、回転軸を接地する接地機構４０と、を備えている。接地機構は、導電性を有し回転軸の軸端に摺接したアースパッド４２と、アースパッドを、回転軸の中心軸と平行な方向に沿って移動可能に支持した支持アーム４４ａと、アースパッドを回転軸の軸端に向けて付勢した付勢部材４６と、を有している。 （もっと読む）

【課題】ピストンとシリンダとの間に気体軸受を介在させる構造において、ピストンとシリンダとの間への異物の侵入を抑制して、ピストンやシリンダの耐久性低下を抑制すること。
【解決手段】ピストン２０とシリンダ３０との間には気体軸受ＧＢが形成される。ピストン２０の頂面側ピストン径変化部ＧＴ１と頂面反対側ピストン径変化部ＧＴ２との間に、気体軸受ＧＢが形成される。ピストン２０の頂面側ピストン径変化部ＧＴ１及び頂面反対側ピストン径変化部ＧＴ２には、それぞれ頂面側環状部材４０Ｔ及び頂面反対側環状部材４０Ｂが取り付けられる。頂面側環状部材４０Ｔ及び頂面反対側環状部材４０Ｂは、シリンダ３０の内面３０Ｓよりも硬度の低い材料で構成される。 （もっと読む）

【課題】潤滑油を供給することがなく、メンテナンスフリーで環境にやさしい、静寂なリニアガイド装置を提供する。
【解決手段】正面視で左右面に凸状Ｖ字形の案内面１ａ，１ａを有する案内レール１と、左右面に凹状Ｖ字形の案内面２ａ，２ａを有し、案内レール１に遊嵌されたスライダ２と、を構えたリニアガイド装置１０において、案内レール１の左右面の凸状Ｖ字形の案内面１ａ，１ａのそれぞれの傾斜面に第１永久磁石３が配設され、スライダ２の左右面の凹状Ｖ字形の案内面２ａ，２ａのそれぞれの傾斜面に第２永久磁石４が配設されたことを特徴とするリニアガイド装置１０である。 （もっと読む）

【課題】ロータリーオートマイザー及びこのロータリーオートマイザーの空気軸受け保護システムを提供する。
【解決手段】本発明によれば、構造を簡単化させて製作コストを節減し、空気軸受けを用いることによりメンテナンスコストを節減すると共に、高速回転が可能になり、圧縮空気の供給が中断されるなどの非常時に圧縮空気を一時的に供給することにより空気軸受けの破損を防ぐことのできるなど、システム全体としての安定性及び耐久性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で回転機械本体の機種が識別でき、当該回転機械に接続したコントローラをその機種に最適な制御条件に設定することが容易に、且つ確実に設定接続できる回転機械装置における回転機械本体の機種識別方法、及び回転機械装置を提供すること。
【解決手段】磁気軸受部１０にて回転体Ｒを支承する回転機械本体に、該回転機械本体の機種毎に制御条件の適応したコントローラを制御ケーブル３０を介して接続する構成の回転機械装置において、制御ケーブル３０と回転機械本体の間、又は制御ケーブル３０とコントローラ４０の間に設置したアダプタユニット２３、２４，２５に、当該回転機械本体の機種を識別できる機種識別情報を搭載し、コントローラ４０側から該機種識別情報を認識できるようにした。 （もっと読む）

【課題】より簡単な構造を有し、作動操作やメンテナンスも簡単であると共に、各種検査による微調整にも対応できるエアフローティング機能を備えた車輌検査用エアフローティング装置を提供すること。
【解決手段】ベースプレートとこの上に配置されるエアフローティングテーブルとを含み、該フローティングテーブルが、その下部にテーブル支持手段を有しており、該テーブル支持手段が、該フローティングテーブルを上記ベースプレート上でフローティングさせるためのエアベアリング機能及び該テーブルを該ベースプレート上に固定させるための吸着機能を備えていることを特徴とする車輌検査用エアフローティング装置。 （もっと読む）

【課題】被加工物を支持する回転板の回転・停止が容易で、被加工物の両面処理できる装置を提供する。
【解決手段】円環状の回転板１と、該回転板１の下方に配置され、該回転板を磁気浮上させるための環状に配置された超伝導体６を有し、前記回転板１の下面には前記超伝導体６に対応して配置された浮上用永久磁石１ｃと、更に、前記回転板１に設けた浮上用永久磁石１ｃの外周側に回転用の永久磁石あるいは強磁性鋼板１ａ，１ｂと、該永久磁石に対応して回転磁界コイル４Ａを配置し、前記回転板１の永久磁石あるいは強磁性鋼板１ａ，１ｂと、前記回転磁界コイル４Ａとによって前記回転板１を非接触状態で回転駆動するように構成した磁気浮上回転処理装置。 （もっと読む）

【課題】工具交換のために主軸を簡単に取り外すことができる空気静圧軸受スピンドル装置を提供する。
【解決手段】主軸ヘッド１１の軸孔１１ａに主軸１２を挿入する。主軸１２の外周面１２ａに保持溝１２ｂを形成し、前記主軸ヘッド１１に形成した案内溝１８ａから保持板１９を挿入し、保持板１９の先端部を前記保持溝１２ｂに係合する。前記主軸ヘッド１１及び保持板１９に空気静圧軸受１４，１５及び空気静圧軸受２０，２１を設ける。前記保持板１９をシリンダ２４のピストンロッド２５により保持位置と退避位置との間で切り換え可能にする。シリンダ２４を作動して保持板１９を退避位置に移動することにより前記主軸１２を主軸ヘッド１１の軸孔１１ａから抜き取ることができ、工具１３が挿着された主軸１２の交換を容易に行うことができる。 （もっと読む）