【課題】自励振動を起こすことなく、安価な静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置を提供することにある。
【解決手段】静圧気体軸受１は、熱可塑性合成樹脂、又はこの熱可塑性合成樹脂にガラス繊維、ガラス粉末、炭素繊維もしくは無機充填材を３０〜５０質量％含有した補強充填材含有熱可塑性合成樹脂、又はアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されている軸受基体２と、軸受基体２に接着剤により接着一体化されている熱可塑性合成樹脂から形成されている合成樹脂製の軸受体３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】環境温度が低温になっても、スピンドルが回転不能に陥るのを防止できる空気静圧軸受スピンドル装置、これを用いた回転霧化装置および塗装装置を提供する。
【解決手段】軸部２２およびフランジ部２３を有するスピンドル２１、軸受本体３１、軸部２２との間にラジアル隙間４３を有するラジアル軸受部材４１Ａ，４２Ａ、および、フランジ部２３との間にスラスト隙間４５を有するスラスト軸受部材４１Ｂ，４２Ｂを備えた空気静圧軸受スピンドル装置２０において、環境温度が２０℃の状態においてスラスト隙間が４０μｍ以下に形成され、環境温度が０℃の状態においてスラスト隙間が１０μｍ以上確保されるように、軸受本体３１およびスラスト軸受部材４１Ｂ，４２Ｂに用いる材料の線膨張係数が選択されている。 （もっと読む）

【課題】エアースライド装置の軽量化を目的とする。
【解決手段】ガイドレール１２と、このガイドレール１２の上面部１２１と対向するパッド取付面１４１を有する可動体１４と、この可動体１４の前記パッド取付面１４１に埋設された複数の静圧気体軸受パッド１６とを備え、前記ガイドレール１２の上面部１２１に向けて前記静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１から噴出する気体により前記可動体１４をスライド可能に支持するエアースライド装置１０において、前記ガイドレール１２と前記可動体１４の少なくともどちらか一方の少なくとも一部を、炭素繊維プリプレグの積層体からなる炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）で形成したことを特徴とするエアースライド装置１０。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受によりラジアル荷重を支持する構成の両吸込横軸ポンプにおいて、締切点付近を含む小流量領域で主軸に作用する動的スラスト荷重を効果的に抑制する方法を提供する。
【解決手段】両吸込横軸ポンプ１の主軸２のラジアル荷重は静圧軸受８，９で支持される。背静圧軸受８，９には羽根車３の吐出口２１から吐出された圧力水が供給される。主軸３に取り付けられた受圧ディスク４３の主軸３の駆動側の面には静圧軸受８を通過後の圧力水の静圧が作用する。受圧ディスク４３の主軸２の反駆動側の面には、羽根車３の吸込口２０Ａ側の静水圧が作用する。 （もっと読む）

【課題】支持板の表面から噴出する気体によるワークの支持力を柔軟に調節することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】非接触支持装置は、エアを供給するエア通路と、エア通路から供給されるエアを透過させて表面から噴出させるフィルム５０と、フィルム５０の表面から噴出される気体を透過させて表面から噴出させる多孔質板６０とを備える。フィルム５０及び多孔質板６０は、リベット７１によって本体３０に固定されている。フィルム５０は内部に多数の空孔を有する多孔質フィルムであり、フィルム５０の通気抵抗は多孔質板６０の通気抵抗よりも大きく設定されている。 （もっと読む）

【課題】コスト低下を図り得ると共に、多孔質金属焼結体の細孔に気体を供給できる領域を広くできて、スラスト軸受として機能する気体噴出をも所望になし得る多孔質静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】多孔質静圧気体軸受１は、円筒状の多孔質金属焼結体２と同じく円筒状のハウジング８とを具備しており、多孔質金属焼結体２の内部には、当該多孔質金属焼結体２の細孔に気体を供給する気体供給通路３が設けられており、また多孔質金属焼結体２には、一端４が多孔質金属焼結体２の円筒状の外周面５で開口し、他端６が気体供給通路３に開口して当該気体供給通路３に高圧空気を導入する気体導入通路７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 焼付きを生じ得る程度の被軸受部材と静圧気体軸受との接触を未然に防止することのできる静圧気体軸受装置及びこれに用いられる限界荷重検知装置を提供すること。
【解決手段】 静圧気体軸受装置１は、回転軸２の被軸受面３と協働して軸受隙間４を形成する軸受面５から被軸受面３に向かって噴出する高圧気体に基づく軸受隙間４における気体圧力により回転軸２を支える導電性の多孔質静圧気体軸受７と、回転軸２及び多孔質静圧気体軸受７に電気的に接続されると共に、軸受隙間４における回転軸２と多孔質静圧気体軸受７との電気的接触に基づいて回転軸２から多孔質静圧気体軸受７に加えられる負荷荷重が限界に至った旨を検知する限界荷重検知装置８と、回転軸２を回転駆動させる駆動手段９と、限界荷重検知装置８による検知に基づいて駆動手段９による回転軸２の回転駆動を制御する駆動制御手段１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】回転軸が高速回転をした場合においても安定して動作する気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】気体軸受スピンドル１は、回転軸１０と、軸受スリーブ３０とを備える。軸受スリーブ３０は、回転軸１０の側面の少なくとも一部に対向するように配置される。軸受スリーブ３０は、カーボンと、カーボンと線膨張係数の異なる材料との混合体を含む。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、「ピン＋ピストン」（ピン及びピストン）のシステムの固有共振が最小化される、垂直方向及び水平方向に有効なエアベアリングを提供することである。
【解決手段】 エアベアリングは、底部プレート、底部プレートに可動に配置されたインタフェース部、インタフェース部の内部に可動に配置されると共に、底部プレートに対して水平及び垂直方向に除振支持される荷重を支持するピストン、及びピストンを荷重と接続する結合要素を有する。結合要素は、好ましくはピンを有し、当該ピンは、ピストンと接続される、特にピストンに螺着される。 （もっと読む）

【課題】スライダ装置の内部振動を抑制し、振動の少ない安定したスライダ装置を提供する。
【解決手段】第１の部材１０と、第１の部材１０を介して対向する部分を有し第１の部材に対して相対移動可能に配置された第２の部材２０と、第２の部材２０の第１の部材を介して対向する部分にそれぞれ設けられ第１の部材１０との間に空気による静圧を作用させて第１の部材１０を非接触で支持する空気静圧軸受３０Ａ〜３０Ｄとを備える。空気静圧軸受３０Ａは、第２の部材２０に固定的に配置される固定部３２Ａと、固定部３２Ａに対して第１の部材１０に向かう方向に進退自在に設けられ第１の部材１０に対して空気による静圧を供給する空気静圧部３３Ａを備える。さらに、空気静圧部３０Ａは、固定部３２Ａと空気静圧部３３Ａとの間にバネ部材３４Ａと、振動を減衰させる振動減衰部材３５Ａとを備える。 （もっと読む）

【課題】従来の静圧スライダでは、可動体の駆動中心と可動体を連結している支持体を含めた可動部の重心位置とが異なるため、位置決めの際に大きな振動を発生させやすく、高精度に位置決めすることができないという課題があった。また、可動体の傾きにより、固定体とのかじりが発生する課題があった。
【解決手段】略平行に配置された一対の固定体１と、各固定体１に囲繞して配置され、固定体１に沿って移動する一対の第１可動体２と、該一対の第１可動体２を連結する支持体３と、を備え、前記支持体３の少なくとも一端に、固定体１に対する第１可動体２の傾斜角度を検出する検出手段１２と、該検出手段１２により検出された傾斜角度に対応して第１可動体２の傾斜角度を調整する調整手段１１を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 取り外し、取り付け、洗浄が容易な静圧水軸受直動スライドウエイの提供。
【解決手段】 一対のセラミック製レール２１ａ，２１ｂをセラミック製レールベース２３上面に平行離間して設け、これらのレール２１ａ，２１ｂ間に電磁石２４を前記レールベース２３上面に向けて設けたガイドウエイ２と、セラミック製ハニカム構造のキャリッジベース３１の底面に二対のセラミック製パッド３３ａ〜３３ｄを前記レール２１ａ，２１ｂの上方に位置するよう設けるとともに、その底面中央位置にモータコイル３４を設けるとともに、そのモーターコイル３４とガイドウエイ２に設けた一方のレール２１ａ間にキャリッジベース３１の底面より下方に伸び長手方向側面下部であってレール２１ａ，２１ｂの長手方向内側面に対向する位置に一対のセラミック製パッド３３ｅ，３３ｆを離間して設けたセラミック製キーパー３２を設けたスライドウエイ３とから構成される。 （もっと読む）

【課題】 取り外し、取り付け、洗浄が容易なスライドウエイの提供。
【解決手段】 一対のセラミック製長尺状直方体レール２１ａ，２１ｂをセラミック製長尺状直方体レールベース２３上面に平行離間して設け、これらの長尺状直方体レール間に電磁石２４を前記長尺状直方体レールベース上面に設けたガイドウエイ（２）と、セラミック製ハニカム構造の長尺状直方体キャリッジベース３１の底面に二対のセラミック製パッド３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄを前記長尺状直方体レール上方に位置するよう設けるとともに、その底面中央位置にモータコイル３４をその底面が前記電磁石の上面に平行となるよう設けるとともに、その長尺状直方体キャリッジベースの一方の長手方向側面には内側下部に一対のセラミック製パッド３３ｅ，３３ｆを離間して前記長尺状直方体レール側面に対向する位置に設けたキーパー３２を設けたスライドウエイ（３）とから構成される静圧水軸受直動スライドウエイシステム。 （もっと読む）

【課題】自励振動が発生しにくい多孔質気体軸受を提供する。
【解決手段】ハウジング１内に回転軸３が挿通されており、この回転軸３は、ハウジング１の内周面に設けられた多孔質気体軸受４によって回転自在に支持されている。
多孔質気体軸受４を構成する多孔質グラファイト製の軸受部材５は、多孔質グラファイトの空孔を小さくする２つの処理が施されていて、軸受面の表面層９のみが芯部よりも空孔率が低くなっている。この２つの処理とは、多孔質グラファイトを形成するグラファイト粒子にガラス状カーボンを被覆して空孔率を低下させる処理と、空孔内に封孔材を配して空孔率をさらに低下させる処理である。 （もっと読む）

【課題】 常に非接触で極めて低い摩擦抵抗のみを伴って回転することが可能な信頼性の高いエアベアリングを提供すること、およびこのエアベアリングを備えたリング状モータを提供する。
【解決手段】 回転リング１１と回転リング支持体２１とによりリング状モータ１のエアベアリングの主要部が構成されている。回転リング支持体２１は円筒状の多孔質体リング２２を備えている。多孔質体リング２２と回転リング１１の円筒状の本体、および回転リング１１に設けられたフランジ１４，１５同士の対向する２つの面それぞれとの間には所定の大きさのエアギャップ３０が設けられている。回転リング支持体２１にはガス通路２３が設けられている。外部からのガスは、このガス通路２３から多孔質体リング２２を通ってエアギャップ３０へと導通される。 （もっと読む）

【課題】 負荷能力が大きく、回転軸の先端部の伸びの少ない高精度の静圧軸受スピンドルを提供すること。
【解決手段】 一対のスラスト軸受５，６は、ハウジング鍔部８より後方側（反負荷側）であって、一対のラジアル軸受３，４より後方側（反負荷側）に配置してある。さらに、スラスト軸受５，６は、回転軸１に形成した回転軸鍔部１ｂの両サイドで軸方向の荷重を支持する構造となっている。さらに、好適には、ハウジング２の材質の熱膨張係数は、回転軸１の材質の熱膨張係数より、大きく設定してある。 （もっと読む）

【課題】 製造コストの低減を図りつつ、摺動性を向上し、耐焼き付き性能を増大すること。
【解決手段】 テーブル２の案内面（空気軸受面）に、軸受隙間より小さくなるように配置してあるタッチダウンすべり軸受１０（摺動部材）が着脱自在に設けてある。タッチダウンすべり軸受１０は、例えば、摺動性の優れたグラファイト材から形成してある。このタッチダウンすべり軸受１０は、テーブル２の案内面で、進行方向の前側・後側と、幅方向の外側とに配置してある。タッチダウンすべり軸受１０の突出量は、軸受隙間より小さく、数μｍであるが、空気軸受の剛性と負荷容量との兼ね合い、又は、用途によって設定する。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールと可動体との間に焼付きが発生することを防止することのできるエアースライド装置を提供する。
【解決手段】ガイドレール１２の上面部１２１に向けて静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１から噴出する気体により可動体１４をスライド可能に支持するエアースライド装置において、静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１が可動体１４のパッド取付面１４１よりもガイドレール側に突出するようにパッド取付面１４１の両端部に逃げ面１８を設けた。 （もっと読む）

【課題】ピストン駆動機構の静圧気体軸受において、径方向の衝撃に対する軸受摺動面の損傷を防止することである。
【解決手段】ピストン駆動機構はピストンロッド１２と、シリンダの機能を有するハウジングを有し、ハウジング２０の前後エンドプレートはピストンロッド１２の前後端を軸方向移動自在に支持し、そこに静圧気体軸受１００が設けられる。静圧気体軸受１００のところにおいて、ピストンロッド１２の表面と、例えば後エンドプレート２６の内壁にはそれぞれ潤滑層が塗布される。すなわち静圧気体軸受１００が作動するとき、ピストンロッド１２と、後エンドプレート２６との間の隙間部分は、後エンドプレート２６側の潤滑層１０２，１０４、ピストンロッド１２側の潤滑層１０６、及び浮上のための気体層５９によって構成される。これらの潤滑層は衝撃等のバッファとして働く。 （もっと読む）

【課題】 軸受剛性及び負荷容量が大きく、自励振動の発生を抑制することのできる多孔質静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】 多孔質静圧気体軸受２０は、裏金２１と、裏金２１の一方の面２２に形成された円形の凹部２３と、裏金２１の円盤状面２４に形成された環状凹溝２５〜２８と、環状凹溝２５〜２８の夫々に連通している行き止り孔３０と、裏金２１の凹部２３に配されている多孔質金属焼結層３４とを具備しており、環状凹溝２５〜２７は、半密閉チャンバーとなっていると共に、最外側に位置する環状凹溝２８は、行き止り孔３０から多孔質金属焼結層３４の気孔への圧縮気体の供給源となっている。 （もっと読む）