【課題】 転動面間距離、転動面高さ及び転動面傾斜量を精度よく、且つ容易に測定することができる直動案内軸受装置を提供する。
【解決手段】 ころ６の軸方向の端部を該ころ６の循環方向に案内するころ端案内壁２８を保持器２３に設けることで、スライダ本体２Ａにつば部２５を設けずに、スライダ本体２Ａの両内側部の転動面５間の距離Ｗ１，Ｗ２を測定する転動面間距離測定部を、スライダ本体２Ａの両内側部にそれぞれ２カ所ずつ合計２組配置し、且つ一方の組を一対の略Ｖ字溝３０として上下の転動面５間に該転動面５と一体に加工すると共に、他方の組を一対の平面部３１として下側の転動面５の下部に該転動面５と一体に加工し、更に、一対の略Ｖ字溝３０の内の一カ所の略Ｖ字溝３０を転動面５の高さＨを測定する転動面高さ測定部として共用する。 （もっと読む）

【課題】ステージ駆動装置でありながらチャンバの変形に起因する悪影響を防止することのできるステージ駆動装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ１の外部に設けられたボールねじ駆動モータ１２と、ボールねじ駆動モータ１２の駆動力をボールねじ１１に伝達するトルク伝達軸１５と、トルク伝達軸１５の真空チャンバ貫通部をシールするシールユニット１６と、真空チャンバ１内に設けられたベース７と、を備えたステージ駆動装置において、シールユニット１６がベース７に対し固定され、真空チャンバ１とシールユニット１６との間がベローズ２８により弾性的に且つ気密に結合されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可動体が基台上を高速で送られる時、進行方向の前端部で潤滑油が巻き込まれることにより動圧が発生するが、この動圧により可動体が浮かび上がる量と傾く量を減少すること。
【解決手段】基台１の上に案内面２が形成され、この案内面上で潤滑油を介在させて動圧作用により可動体３を摺動可能に案内する送り案内装置において、可動体３の被案内面３ａに作用する動圧を大気に逃がす圧力開放手段として、可動体３の送り方向と直角方向に延びると共にその両端が大気と連通する油溝１５を、被案内面３ａを可動体３の送り方向に均等に分割するように複数設けた。 （もっと読む）

【課題】 ローラー装置を用いた移動装置において、ローラーの軸線方向のガタを好適に抑えるとともに、動作抵抗が小さく、ローラーの磨耗の少ない移動装置を提供する。
【解決手段】 支持レール２の案内面２ａには、移動体４を案内する案内方向に沿って溝部４０が形成され、ローラー６ｂ，７ｂの外周面には、溝部４０内に入り込む、溝部４０の深さより低い高さの突周部４２が形成され、溝部４０および突周部４２は、溝部４０の両縁部４０ａ，４０ｂと突周部４２の両縁部４２ａ，４２ｂとが当接し、突周部４２の外側面４２ｃが溝部４０の内側面４０ｃに当接しないように、溝部４０および突周部４２の当接する両縁部において、案内面２ａと溝部４０の内側面４０ｃとがなす角度θ１が、案内面２ａと突周部４２の外側面４２ｃとがなす角度θ２より小さくなるよう形成されている。 （もっと読む）

【課題】 高精度な直線移動が実現できる軸受構造及び該軸受構造を用いた直線駆動装置を得る。
【解決手段】 直線移動する可動部２側の軸受面の長さは固定部１側の軸受面より移動ストローク分以上長く成形されている。これにより、固定部１側の軸受面が可動部２側の軸受面に常に対向する。固定部１には空気供給源と接続され、固定部の軸受面には空気を噴射する空気吐出口が複数配設されて空気軸受を構成する。可動部２は固定部１が挿入する側のみ開口している。固定側にコイル、可動側に磁石を配設してリニアモータを形成し直線駆動装置とする。圧縮空気や電力を供給するケーブル９等は固定部１に接続され、可動部２には接続されないから、ケーブル等から外力が加わらず、高精度の運動が得られる。また、開口部が１箇所で剛性の強い可動部が得られ、圧縮空気の大きな力に耐えうる。 （もっと読む）

【課題】 この静圧形直動案内ユニットは，スライダを軌道レールに対して静圧で浮上させて相対摺動させ，スライダをコンパクトに，高精度に構成する。
【解決手段】スライダ１は多数のケーシング板３Ｐから成るケーシング３と噴出口１０に通じる供給口８を備えたエンドプレート４から成る。ケーシング３の軌道面６には，軌道レール１の軌道面５に対して流体を噴き出す噴出口１０が多数形成されている。軌道レール１の軌道面５は両側面３４に互いに直交する一対の傾斜面から形成されている。 （もっと読む）

【課題】 セパレータにより転動体の循環経路上の経路長変動による速度変動を十分に吸収して、転動体同士の押し合いを抑制し、これにより、転動体のスムースな公転を確保して作動性の向上を図る。
【解決手段】 互いに隣り合う転動体６間に介装されたセパレータ本体３１及び該セパレータ本体３１の転動体６の転動体転動溝の溝幅方向の端部に一体に設けられた腕部３２を有するセパレータ３０を備えた直動案内軸受装置であって、セパレータ３０のセパレータ本体３１を転動体転動溝の溝幅方向と略平行な方向に沿って分割し、該分割部分３３をそれぞれ前記腕部３２に連結する。 （もっと読む）

【課題】 この直動案内ユニットは，軌道レールを摺動するスライダを転動体を除く３部材で構成し，ケーシングにねじ等を使用せずに，３部材を固定して超小形化を可能する。【解決手段】樋状の軌道レール１を移動するスライダ２は，軌道溝２６とリターン路溝１９を形成したケーシング３，その上面側の嵌合溝２８に嵌入する上蓋４及びケーシング３の下面側の嵌合溝２９に嵌入する下蓋５から成り，上蓋４と下蓋５とはケーシング３を挟み込んでピン４４をピン孔１４に係合させて互いに固着されている。 （もっと読む）

【課題】 ２つの直動軸受に代えて使用することで、モーメント荷重を負担することができ、これにより、直動軸受装置を含む装置全体の軸方向長さを小さくすることができる直動軸受装置を提供する。
【解決手段】 外輪2は、円筒体2aおよびその両端の内向きフランジ部2bからなる１つの部材によって形成されている。保持器3は、第１ボール群5用の第１ポケット4aと第２ボール群6用の第２ポケット4bとを仕切る軸方向に長い仕切り部7を有する１つの部材によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ころの円滑な循環を確保することで、良好な作動性を得る。
【解決手段】 スライダ２が、軸方向に貫通する孔７内に挿入されて内部が転動体通路８ａをなす循環スリーブ８を有するスライダ本体２Ａと、両転動体転動溝３，５間の負荷軌道と転動体通路８ａとを連通する略円弧状の方向転換路３０ａ，３０ｂを有してスライダ本体２Ａの端部に固定されたエンドキャップ９とを具備した直動案内軸受装置であって、エンドキャップ９の方向転換路３０ａ，３０ｂの開口端に転動体通路８ａの一部を一体に形成する。 （もっと読む）

【課題】 保持器を変形がない状態でスライダに取り付けることで、スライダの円滑な走行を確保する。
【解決手段】 両転動体転動溝３，５間の負荷軌道を転動するころ６を保持すべく、該負荷軌道に沿って配置されて軸方向の両端部がエンドキャップ９に挿入されると共に、スライダ本体２Ａに軸方向に沿って形成された断面略Ｖ字状の位置決め溝２７に嵌合される断面略Ｖ字状の凸状部３１を有する樹脂製の保持器３０を備えた直動案内軸受装置において、保持器３０の凸状部３１を軸方向に所定の間隔で配置されたリブ４０で形成する。 （もっと読む）

【課題】 エンドキャップ内に形成される方向転換路に接続部が生じることを防止し、転動体の円滑な作動性を確保することにより、作動性の向上が可能な直動案内軸受装置を提供する。
【解決手段】 直動案内軸受装置１を、案内レール２と、案内レール２に相対移動可能に跨架されるスライダ４とから構成し、スライダ４を、スライダ本体８と、スライダ本体８の軸方向両端面にそれぞれ接合されるエンドキャップ１０とから構成し、エンドキャップ１０を、内側方向転換路５０の中間案内面５４及び外周案内面５６並びに外側方向転換路６０の内周案内面６２及び中間案内面６４が形成されたエンドキャップ本体４４と、内側方向転換路５０の内周案内面５２が形成されたリターンガイド４６と、外側方向転換路６０の外周案内面６６が形成された蓋部材４８とから構成する。 （もっと読む）

【課題】高精度な微位置調整が可能な位置調整装置を提供すること。
【解決手段】有底筒状容器１４内に合金鋼の基板２０を設け、この基板２０上に順次鋼球２３〜２５、可動支持板２７を設けてＸ−Ｙ―θ調整部１３を構成し、このＸ−Ｙ―θ調整部１３上にネジジャッキ部１１および可動ホルダ３０を設置し、ネジジャッキ部１１の雄ネジ部３２に螺合する上下動しない駆動雌ネジ３６と一体に設けた調整用ナット３７を回転させることにより雄ネジ部３２を上下方向に移動させ、被位置調整体の荷重による重負荷を調整用ナット３７と可動ホルダ３０間にスラスト玉軸受け４５を介在させることにより高精度な位置調整を可能にする。 （もっと読む）

【課題】 転動体の定まった単一の周期で繰り返し生じる通過振動に起因する振動や騒音をコストの上昇を招くことなく低減することのできる直動案内軸受装置を提供する。
【解決手段】 転動体列２２は多数の球状転動体１３と４種類の保持ピース２１Ａ〜２１Ｄとから構成される。保持ピース２１Ａ〜２１Ｄは転動体１３間の厚さＴ_A，Ｔ_B，Ｔ_C，Ｔ_DをＴ_A＞Ｔ_B＞Ｔ_C＞Ｔ_Dのようにそれぞれ異ならせて形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ローラのスキューを確実に防止し、しかも直線運動案内装置の剛性を上げることができる転がり案内装置を提供する。
【解決手段】 転がり案内装置は、ローラ転走面１ｂ…を有する軌道レール１と、ローラ転走面１ｂ…に対応する負荷ローラ転走面４ｄ…を含むローラ循環路を有して、該軌道レール１に相対運動自在に組み付けられる移動ブロック２と、ローラ循環路内に配列・収容されて、軌道レール１に対する移動ブロック２の相対運動に併せて循環する複数のローラ３…とを備える。ローラ３…は、略１．５＜Ｌ／Ｄａ＜略３の比を持つ。略１．５＜Ｌ／Ｄａとすることにより、ボール仕様の同一形番のものに比較して基本静定格荷重Ｃｏが大きくなる。また、Ｌ／Ｄ＜略３とすることにより、軸方向隙間ΔＬの寸法管理をそれ程厳密にせず、スキューの発生を確実に防止できる。 （もっと読む）