【課題】転動体無限循環路内でリテーナの総数（分割数）を最適な値に設定することで、転動体無限循環路内にて全リテーナを安定走行させることが可能な運動装置を提供する。
【解決手段】複数のリテーナＡ１〜Ａｎの各々の転動方向長さ寸法（ｍ）について、複数のリテーナＡ１〜Ａｎの内の負荷転動体転走路に存在するリテーナの合計転動方向長さ寸法Ｍ１が、転動体無限循環路の転動体軌道長の１／２よりも長くなるように設定する。 （もっと読む）

【課題】静圧滑りを除く接触滑りや動圧滑り等の滑り案内方式の直動案内装置において、摺動隙間を自動的に管理して機械精度の高精度化と長期安定化を図る。
【解決手段】直線状に延在し、摺動面を有する案内レール１０と、案内レールに沿って相対的に移動可能であるように前記案内レールに配置され、摺動面を有する移動体１１と、前記案内レールの摺動面と移動体１１の摺動面との間に介在するギブ１２と、を備え、前記ギブを定圧予圧して前記案内レールの摺動面と移動体１１の摺動面とを密着させる隙間調整機構１３を設けた。 （もっと読む）

【課題】ベースと軌道レールの新たな接合技術を完成させることによって、取付誤差を排除した高精度の運動案内装置を得る。
【解決手段】設置基準となるベース１０と、ベース１０に設置されるとともに、その表面に長手方向に延びる転動体転走溝４１ａを有する軌道レール４１と、軌道レール４１に複数の転動体を介して相対移動自在に組み付けられる移動ブロックと、を備える運動案内装置の製造方法であって、ベース１０と軌道レール４１とを、レーザブレージングにより接合するようにした。 （もっと読む）

【課題】高い精度を備えた運動案内装置ユニットを得る。
【解決手段】設置基準となるベースと、ベースに設置されるとともに、その外表面に長手方向に延びる転動体転走溝を有する軌道レールと、軌道レールに複数の転動体を介して相対移動自在に組み付けられる移動ブロックと、を備える運動案内装置ユニットでは、ベースに対して軌道レール素材を接合する接合工程（ステップＳ１２）と、ベースの基準に基づいて軌道レール素材に加工を行うことによって、転動体転走溝を加工成形する加工工程（ステップＳ１３）と、を含む処理を実行されることにより、運動案内装置ユニットが形成される。 （もっと読む）

【課題】加工誤差に起因して負荷分布が不均一となる影響を小さくする。
【解決手段】運動案内装置１０は、長手方向に沿って転動体転走溝１１ａが形成される軌道レール１１と、転動体転走溝１１ａに対向する負荷転動体転走溝２５が形成される移動ブロック２１と、転動体転走溝１１ａと負荷転動体転走溝２５とによって構成される負荷転動体転走路３２内に転動自在に設置される複数のボール１２とを有し、移動ブロック２１が軌道レール１１の長手方向で往復運動自在とされる装置である。そして、負荷転動体転走路３２は、２経路の負荷転動体転走路３２，３２が近接且つ並列配置されることによって１組の複列負荷転動体転走路３６を形成するように構成されており、この複列負荷転動体転走路３６は、組を成す２経路の負荷転動体転走路３２，３２同士でボール１２との接触角θ₁，θ₂が互いに異なるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】レール固定穴の各列における総数を減らしても、実際のピッチを大きくできるようにすることで、運動精度を確保しながら加工コストを抑え、生産性を向上させる。
【解決手段】列Ａでは、案内レール１の一端側から同じピッチＰ₁ で、レール固定穴３１ａ，３１ｂ，３１ｃ‥‥を形成する。列Ｂでは、列Ａのレール固定穴３１ａから長手方向でＰ₀ だけ離れた位置にレール固定穴３２ａを形成し、このレール固定穴３２ａから同じピッチＰ₂ でレール固定穴３２ｂ，３２ｃ‥‥を形成する。Ｐ₁ ＝Ｐ₂ ＝２Ｐ₀ である。列Ａおよび列ＢにおけるピッチＰ₁ ，Ｐ₂ の半分のＰ₀ をレール固定穴３１，３２のピッチと見做せるため、各列Ａ，Ｂでレール固定穴３１，３２を長手方向の同じ位置に設けた場合よりも、各列Ａ，Ｂのレール固定穴３１，３２の実際のピッチＰ₁ ，Ｐ₂ を大きくできる。 （もっと読む）

【課題】転動体の配列位相を必要に応じて容易に調整することのできる非循環式リニアガイド装置を提供する。
【解決手段】スライダが転動体循環路を持たない非循環式リニアガイド装置は、レール側軌道面上に転動体を転動自在に保持する手段として、案内レールの長手方向に沿って一定ピッチで配列された多数の転動体収容ポケット６２を有する転動体保持部材６１ａ〜６１ｄと、転動体保持部材６１ａ〜６１ｄをレール側軌道面とスライダ側軌道面との間に支持する複数の支持部材６３と、支持部材６３に転動体保持部材６１ａ〜６１ｄを締結する複数の止め螺子６４とからなる転動体ケージ６を備えている。 （もっと読む）

【課題】流体軸受け面の圧力分布を任意に調整し、浮上時の変形を抑制することを可能としたスライダーを実現する。
【解決手段】底面よりステージに向かって流体を噴出させて形成される流体軸受けを介して前記ステージ上を浮上して移動するスライダーにおいて、前記底面に形成された複数個の流体抜け穴と、前記流体抜け穴から流出する流体量を個別に調整する流体調整手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】運動案内装置の高精度化を図ることのできる新たな改良技術を提供することによって、従来技術に比べてさらなる高精度化を実現した運動案内装置を提供する。
【解決手段】運動案内装置１０を構成する移動ブロック２１は、移動ブロック本体部２２と、戻し部材２３と、一対のエンドプレート２４，２４とを備え、戻し部材２３の内周側方向転換溝とエンドプレート２４の外周側方向転換溝とが協働することによって、移動ブロック本体部２２に形成された負荷転動体転走溝と無負荷転動体転走路とをつなぐ方向転換路を形成する。そして、戻し部材２３が移動ブロック本体部２２を基準として取り付けられた後に、エンドプレート２４が移動ブロック本体部２２に取り付けられることにより、無限循環路が精度良く完成することとなる。 （もっと読む）

【課題】作業者が調整する必要がないだけでなく、常に、正確な軸受間隙で組み立てることが可能な、流体軸受構造を提供すること。
【解決手段】軸受ガイドと軸受（スライド）からなる流体軸受を組み立てる方法であって、前記ガイドと前記スライドとがそれぞれ熱膨張率の異なる材質を選択し、該流体軸受を使用する温度と異なる温度環境下で前記ガイドと前記スライドの軸受間隙部を密着させて組み立て、前記使用する温度での軸受間隙を組み立て時の前記温度環境の設定温度により調整可能とすることを特徴とした流体軸受構造。 （もっと読む）

【課題】 真空中においても極力リークを抑制できる高精度で信頼性に優れたスライド装置およびそれを用いた処理システムを提供すること。
【解決手段】 外周に稜部を有する案内支持体１０９と、流体を入出させる流路を有し案内支持体１０９の外周の一部を覆った状態で案内支持体１０９上で往復移動する可動体１０２とを備え、可動体１０２の流路から案内支持体１０９の外周へ圧縮流体を排出することにより可動体１０２を移動可能にしたスライド装置１００とし、案内支持体１０９の稜部１０７を、稜部１０９を支持する本体１０３の表面の材質より破壊靭性の高い材質で構成する。 （もっと読む）

【課題】上下・左右方向の走行精度の安定化・高精度化を図る。
【解決手段】運動案内装置１０は、長手方向に延びる一対の傾斜面１１ａ，１１ａを有するベース部材１１と、一対の傾斜面１１ａ，１１ａのそれぞれに設置される一対のレール部材１３，１３と、一対のレール部材１３，１３のそれぞれに対して複数の転動体を介して設置されるとともにレール部材１３の長手方向に沿って移動自在とされる一対の移動部材１４，１４と、一対の移動部材１４，１４に掛け渡して設置されるテーブル部材１６と、を備え、テーブル部材１６がベース部材１１の長手方向に沿って案内運動自在とされている。そして、一対のレール部材１３，１３は平行配置されており、また、ベース部材１１を幅方向の縦断面で見たときに、一対のレール部材１３，１３が、ベース部材１１の設置面に対して傾斜角度を持って設置されている。 （もっと読む）

【課題】転動体保持部材の寿命を延ばすとともに、転動体保持部材による各転動体の保持力を向上させることが可能な直動案内装置を提供する。
【解決手段】直動案内装置は、レール側転動体転動溝を有する案内レールと、レール側転動体転動溝に対向するスライダ側転動体転動溝を有するスライダと、レール側転動体転動溝とスライダ側転動体転動溝との間に転動自在に配設された複数の転動体３０と、隣り合う転動体３０の間にそれぞれ介装される複数の介装部４２及び複数の介装部４２を連結する連結部４１とを有する転動体保持部材４０とを備え、各介装部４２は、開口部４５を有し、転動体保持部材４０が、隣り合う転動体３０の外周面を各介装部４２の開口部４５を通じて互いに接触させた状態で、複数の転動体３０を保持している。 （もっと読む）

【課題】 簡単な手直し作業によって高い真直精度が確保されたレールをフレームに嵌合固定することで、精度が向上するとともに、コストダウンを図れる直動案内機構を提供する。
【解決手段】 直動案内機構は、転動体１と、この転動体１が接触して転動または回転するレール６および該レール６を嵌合固定したフレーム８とからなる案内装置９とを備え、案内装置９を、１つのフレーム８と、長手方向に分割して連続させてフレーム８の溝８ｂに嵌合固定した２本の短寸レール６ａ，６ｂとで構成する。２本の短寸レール６ａ，６ｂは、その中心軸線Ｃを一直線上に位置決めしてフレーム８の溝８ｂに嵌合固定される。 （もっと読む）

【課題】微少のうねりの振幅を可及的に抑制することにより、高品位な加工面および高い形状精度を得られるようになす。
【解決手段】工作機械の移動体を案内する転がり案内であって、円筒コロ列が複数並列に配列された有限転がり案内において、任意の円筒コロ列を隣の円筒コロ列に対して半ピッチずれた配列にする。 （もっと読む）

【課題】無限循環路内での転動体収容ベルトの引っ掛かりを防止または緩和し得る転動体収容ベルトおよび直動案内装置を提供する。
【解決手段】この転動体収容ベルト５０は有端状であり、その連結腕部５２は、その両端に、端に位置する間座部５９の端面よりもボール４６の並び方向に突出した突出部５６を有している。そして、この突出部５６の端部の位置は、両端部間に配置されるボール４６Ａの中心Ｏよりも、無限循環路の内外周方向での内周寄りに位置している。 （もっと読む）

【課題】転動体としてローラが組み込まれ，ケーシングを長く形成することに伴ってクラウニング部のクラウニング長さを長く形成され，高剛性で高精度で高寿命の性能を発揮できる。
【解決手段】ケーシング３の全長が軌道レールの幅の実質的に４倍に相当する長さに形成され，ケーシング３に形成された軌道面２２の両端部２９に形成されたクラウニング部１０のクラウニング長さＬｃがローラの直径の実質的に４倍の長さに形成され，クラウニング深さＨｃがスライダ２に基本静定格荷重の半分の荷重の負荷によって生じるローラと軌道面との弾性変形量に対応した深さに形成されている。 （もっと読む）

【課題】スライダ本体とエンドキャップとの位置決めを厳密に行わなくても、ボールが転動路から方向転換路に滑らかに入ることができるリニアガイド装置を提供する。
【解決手段】方向転換路３のボール進行方向に垂直な断面を、戻し路側の開口端では、ボールの直径より僅かに大きな直径Ｅの円とし、転動路側の開口端では、符号２１ｂで示す形状とする。 （もっと読む）

【課題】低コストながらシール機能を発揮できるアクチュエータを提供する。
【解決手段】駆動軸１１７が、ハウジング本体１０１Ａのねじ軸室１０１ｂの内周に嵌合した環状の支持部材１１８により摺動可能に支持されており、支持部材１１８は周方向の一部（１１８ａ）において切断されているので、支持部材１１８の外径φＡ及び内径φＢ共、その材料の持つ弾性特性により特に定まった値とせずとも、比較的大きな剛性を持つねじ軸室１０１ｂの内径に沿うようにならわせることが出来る。依って、精度良くねじ軸室１０１ｂを形成すれば、その内径中心に収まるべき駆動軸１１７の中心は、支持部材１１８の自由状態での外径φＡ及び内径φＢの差の肉厚ｔにのみにより位置が決まることとなる。従って、支持部材１１８の成形時には、外径寸法φＡ、内径寸法φＢ、及び両者の同芯度という拘束条件に比べて遙かに管理が容易となる、外径φＡと内径φＢの差である肉厚ｔのみを管理すれば足り、引いては安価な支持部材１１８を製作可能となる。 （もっと読む）

【課題】従来技術と比較して長寿命化を実現した新たな転がり案内装置を提供する。
【解決手段】転がり案内装置１０は、軌道レール１１と、軌道レールに複数のボール１３を介して移動自在に取り付けられる移動体２１とを有しており、複数のボール１３は、軌道レール１１とボール１３との間に形成された負荷転走路と、その負荷転走路の一端と他端とを結ぶように移動体２１に形成された無負荷転走路とから構成される無限循環路３３に設置されている。このような転がり案内装置１０において、無負荷転走路のみに対して、固体潤滑剤からなる微粒子を噴射することによって衝突固着された固体潤滑膜が形成されている。なお、上記固体潤滑膜は、無負荷転走路の一部の領域に対して膜厚が０．５μｍ〜３μｍの範囲内となるように形成されることが好ましい。 （もっと読む）