【課題】金属基材の表面に絶縁耐力が大きく安定な絶縁層と、剥がれることのない発熱層とを設けた発熱体を提供する。
【解決手段】金属基材の表面をアルマイト処理し、金属基材の表面にフッ素樹脂を塗布して焼成し、フッ素樹脂の表面をエッチングまたは化学処理し、フッ素樹脂の表面に導電体からなる発熱層を形成する。 （もっと読む）

【課題】加熱ヒータのオーバーコート層表面の平滑性を向上させ、定着不良の発生を抑える。
【解決手段】窒化アルミニウム等高熱伝導特性を有する長尺平板状の絶縁基板１１の一面に、銀・パラジウム等の通電により発熱が得られる発熱抵抗体１２１，１２２と電力を供給させるための銀、銀白金等の単位面積当たりの抵抗値が低く通電しても大きな発熱現象が起こりにくい給電用の下層の電極１４１，１５１とこの上に上層の電極１４２，１５２を絶縁基板１１に形成する。電極１４１，１５１に一端がそれぞれ一体形成された下層の接続導体１６１，１７１を形成し、電極１４２，１５２に一端がそれぞれ一体形成された上層の接続導体１６２，１７２を形成する。接続導体１６１，１７１は発熱抵抗体１２１，１２２とにギャップを置く。上層の接続導体１６２，１７２はギャップ間も埋める形で発熱抵抗体１２１，１２２上の一部にも形成する。 （もっと読む）

プラスチックウインドウを効果的に霜取りするためのシステムは、透明プラスチックパネルと、プラスチックパネルと一体形成された複数のグリッドラインを有するヒーターグリッドと、各グリッドラインを通る電流を等化させるための等化手段とを含む。
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【課題】 ２００℃以上の比較的に高温の領域内で使用することが可能で、しかも優れた可撓性あるいは柔軟性を有する面状発熱体を提供する。
【解決手段】 可撓性あるいは柔軟性を有するガラス繊維成形基板、好ましくは低温度で熱分解するバインダーを含まないガラス繊維成形基板の片側または両側に、好ましくはガラス繊維成形基板の平滑化材を介して、金属酸化物等の導電性薄膜を設けた構成とする。さらに必要に応じて、導電性薄膜の外側を電気絶縁層により被覆する。 （もっと読む）

自動車の窓用デフロスタアセンブリは、透明パネルと、ロボット分配機構によって透明パネルと一体形成されたデフロスタグリッドとを含む。デフロスタは、部分的に線形に形成された第１および第２の導電性母線と、第１の母線と第２の母線の間に延び、それに接続される複数の導電性グリッド線とを含む。
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【課題】 ウェハ支持部材の温度がばらつき、必要な均熱性や温度応答性が得られないという課題があった。
【解決手段】 厚みが２〜５ｍｍで１００〜２００℃のヤング率が２００〜４５０ＭＰａである板状セラミックス体の一方の主面にＡｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｄ、ＰｔおよびＲｈの少なくとも一種の金属粒子とガラスと金属酸化物とからなる抵抗発熱体を備え、他方の主面にウェハ加熱面を備えたウェハ支持部材であって、前記抵抗発熱体に電力を供給する給電部と、該給電部を囲む金属ケースとを有し、該金属ケースの開口部の外周に接触部材を介して前記板状セラミックス体の周辺部を接続してあり、前記板状セラミックス体の外周部に位置する前記抵抗発熱体は同心円状の円弧状パターンを有し、前記抵抗発熱体の外接円の直径を前記板状セラミックス体の直径の９２〜９５％とする。 （もっと読む）

【課題】絶縁基板の上面に形成された発熱体パタンの絶縁基板長手方向の素早い発熱を実現させるとともに、温度分布の均一化を図る。
【解決手段】アルミナ等のセラミック、ガラスセラミックまたは耐熱複合材料で形成された長尺平板状の絶縁基板１１上の長手方向に配線パタン１４，１５を並行させて形成する。配線パタン１４，１５の形成された同方向の一端にそれぞれ配線パタン１４，１５に電力を供給させる電極１２，１３を形成する。配線パタン１４，１５間に絶縁基板１１の長手方向に幅広のＡｇ（銀）・Ｐｄ（パラジウム）をはじめとする銀系材料や、ルテニウム系、炭素系等などの発熱体ペーストをスクリーン印刷、高温で焼成し所定の抵抗値を有する膜厚が１０μｍ程度の帯状の発熱抵抗体１６を形成する。発熱抵抗体１６は、電極１２，１３から離れるに従い長さを短く形成する。 （もっと読む）

【課題】コントローラによりヒータの領域ごとの温度制御を可能とし、複数の温度の異なる物体の温度をそれぞれ検出して、これらの物体の温度を常に一定に保持できるシート状温度制御装置を提供する。
【解決手段】柔軟性を有するシート基体１１と、このシート基体１１上に形成した複数のストライプ状の下部電極配線１２と、下部電極配線１２に接続し、シート基体１１上にアレイ状に配置されたシート状の抵抗発熱体１３と、抵抗発熱体１３と直列に接続した一方向性素子１７と、一方向性素子１７に接続し、下部電極配線１２に対して交差して設けた複数のストライプ状の上部電極配線１８と、下部電極配線１２と上部電極配線１８とが接続され、抵抗発熱体１３の発熱を制御するコントローラ１９とを備えた構成からなる。 （もっと読む）

【課題】 被処理物保持面の加工が安価で部品コストの低減を図ることができ、且つ被処理物保持面における均熱均熱性に優れ、必要に応じて急速昇温及び急速冷却が可能な半導体製造装置用の保持体を提供する。
【解決手段】 抵抗発熱体７を有する板状でＡｌＮ等からなるセラミックスヒータ５の上に、被処理物９を保持するＡｌ等からなる金属製保持部１０を備えている。金属製保持部１０内には、冷却媒体が中央付近から放射状に移動し、外周縁に排気されるように流路１２が形成されている。この保持体１０は、コータデベロッパでのフォトリソグラフィー用樹脂の加熱硬化又は半導体絶縁膜の加熱焼成に用いられる。 （もっと読む）

【課題】面状発熱体の発熱による構成各部の変形を抑え付けてフローリング材の隆起や繋ぎ目部分のめくり上がりを防止する。
【解決手段】面状発熱体２の上面に上部板材、下面に断熱材層を介して下部板材をそれぞれ重ねられて一体化されたものである。面状発熱体２は、上下に重ねられかつ外周縁が接合された２枚の絶縁シート２ａ，２ｂより成る。一方の絶縁シート２ａの内面には、発熱部２０と電極部２１とから成る複数の導電領域８Ａ〜８Ｆが中間に第１の非導電領域８０を介在させて形成されている。各導電領域８Ａ〜８Ｆの領域内には、スポット状であって他方の絶縁シート２ｂに接合された第２の非導電領域８１が形成されている。前記断熱材層には、面状発熱体２の第１、第２の各非導電領域８０，８１が対応する位置に、釘打ちが可能な木質部が設けられている。 （もっと読む）

【課題】安価なコストで発熱抵抗体が形成された絶縁基板を効率よく発熱させるとともに、ひびや割れの発生を抑えることが可能な定着ヒータを実現する。
【解決手段】窒化アルミニウム等の高熱伝導特性を有する長尺平板状の絶縁基板１１の一方の面に、銀・パラジウム等の通電により発熱が得られる発熱抵抗体１２１〜１２３と電力を供給させるための銀、銀白金等の単位面積当たりの抵抗値が低く通電しても大きな発熱現象が起こりにくい給電用の電極部１４〜１６を形成する。発熱抵抗体１２１〜１２３上には、オーバーコート層１７を形成する。発熱抵抗体１２１〜１２３が形成された絶縁基板１１の反対面に絶縁基板１１より熱伝導率が高い材料を用いて、急激な電力の給電を行った場合に、最も発熱する部分に放熱パターン１８１，１８２を形成する。 （もっと読む）

【課題】電気カーペット等の面状発熱体に関するもので、廃棄時に、容易に第一の発熱体を取り外せる面状発熱体を提供することで、リサイクルを促進する。
【解決手段】面状発熱体は、第一の発熱体１の近傍に、表布２を溶融するための第二の発熱体を設け、リサイクル時に容易に第一の発熱体を取り外せるように構成することで、第一の発熱体をリサイクルできるとともに、表布２と断熱材３をサーマルリサイクルしても、ダイオキシンの発生の無い面状採暖具を提供することができるようになる。 （もっと読む）

【課題】電気伝導性層を含む積層構造のフィルム又はシートの形をした新しい電気発熱体を提供すること。
【解決手段】本発明の発熱体は、新しい発熱体（８）であって、少なくとも一つの基材（１）と、融解温度が当該発熱体の動作温度より高くそして当該基材へ薄い層として付着させることができる少なくとも１種のポリマーの分散液、溶液又は粉体から得られた結合剤（３）により当該基材へ付着している少なくとも一つの電気抵抗層（４）とを含む。 （もっと読む）

【課題】 パーティクルの発生を極力低減させることができ、特にウエハのフォトリソグラフィー工程に使用されるコータデベロッパー等に特に好適に使用することができる、ウエハ加熱用ホットプレートを提供する。
【解決手段】 ウエハ加熱用ホットプレートは、セラミックスと半導体及び／又は金属との複合体１からなる。また、複合体１との間に絶縁層３を介して、金属箔をパターニングした発熱体２を有すると共に、可動式の冷却モジュール５を備えることができる。複合体１の材質としては、Ｓｉ−ＳｉＣ、Ａｌ−ＳｉＣ、Ａｌ−ＡｌＮのいずれかが好ましい。また、複合体１の熱伝導率は１５０Ｗ／ｍＫ以上、熱膨張係数は１２×１０^−６／Ｋ以下であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 窒化アルミニウム焼結体の粒界強度の低下を極力防ぐことにより、パーティクルの発生の少ないサセプタを提供する。
【解決手段】 本発明の窒化アルミニウム焼結体は、含有するカドミウムとリンの量を一定値以下に制御する。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする窒化アルミニウム焼結体において、窒化アルミニウム焼結体中のカドミウムの含有量が１５０ｐｐｍ以下であり、かつリンの含有量が１００ｐｐｍ以下であることを特徴とする。前記窒化アルミニウム焼結体に、抵抗発熱体が形成されていることが好ましく、半導体加熱用部品として使用されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高温で連続使用が可能で、極めて均一な発熱領域を有し、発熱層および絶縁層が強固に一体化されたフレキシブルな面状発熱体及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る面状発熱体は、発熱層、電極、および絶縁層を積層してなる。発熱層では、ポリイミドからなるマトリックス樹脂中にカーボンナノ材料及びフィラメント状金属微粒子からなる導電性物質が実質的に均一に分散されて存在している。電極は、発熱層に電力を供給するためのものである。絶縁層は、発熱層および電極を被覆する。 （もっと読む）

【課題】着座時の衝撃を吸収し、かつ長時間快適に着座でき、しかも便座の暖房に無駄な電力を使用しない快適で省エネ性の高い便座装置を提供することを目的とする。
【解決手段】便器１０上面に装着される便座７において、少なくとも一部に使用者の体形に沿うように変形する弾性体層１３を備え、便座６内に面状便座ヒータ１２を設置することにより、便座６を暖房する面状便座ヒータ１２が使用者の臀部に違和感を与えることがなく、長時間快適に着座できるとともに面状便座ヒータの電力消費を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 Ａｕ、ＡｇやＰｔのような金属の単体を発熱抵抗体として使用したウエハ加熱装置は、発熱抵抗体の抵抗温度係数が４０００／℃以上と大きいため、ウエハ交換や設定温度変更のために急速昇温させようとした際、温度調節がうまくできずウエハの温度バラツキを低減できないという課題があった。
【解決手段】 ウエハ加熱装置の均熱板上に形成する発熱抵抗体の一部の抵抗値を小さくすることによって前記発熱抵抗体の抵抗値分布を調製する。 （もっと読む）

家電装置用液体加熱デバイス（１１）であって、本体（１）を含み、本体（１）は、本体（１）の一表面を覆う補足部材（３）と関係しており、これにより補足部材（３）と本体（１）との間に液体循環流路（４）が形成され、流路（４）が、液体貯蔵部に連結するように設計された入口（５）と加熱した液体を排出するように設計された出口（６）とを構成する２つの端部を有し、上記補足部材（３）が、流路内を移動する液体の加熱を可能とするために設けられた加熱抵抗器（２）を有する家電装置用液体加熱デバイス（１１）。流路（４）は出口から離れてはいるが流路（４）の入口（５）よりも出口（６）に近い位置に存在する最小液体フロー断面積を有する。
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【課題】 半導体製造工程でウエハを処理する高温域においてウエハ載置面の平面度を高め、加熱処理時におけるウエハ表面の均熱性を高めた半導体製造装置用セラミックスヒーターを提供する。
【解決手段】 セラミックス基板２ａ、２ｂの表面又は内部に抵抗発熱体３を有する半導体製造装置用セラミックスヒーター１であって、非加熱時（常温）のウエハ載置面の反り形状が０.００１〜０.７ｍｍ／３００ｍｍの凹状である。セラミックスヒーター１は、セラミックス基板２ａ、２ｂの表面又は内部に、更にプラズマ電極が配置されていても良い。また、セラミックス基板２ａ、２ｂは、窒化アルミニウム、窒化珪素、酸窒化アルミニウム、炭化珪素から選ばれた少なくとも１種が好ましい。 （もっと読む）