【課題】 ガラス管の曲成加工において、内部に収納した発熱体の酸化消耗を確実に抑制することができて、品質の低下やばらつきのないしかもどのような極率半径を有する曲管型ヒータ装置をも製造できる方法を提供するにある。
【解決手段】 内部に発熱体(1)が曲管状のガラス管(2)に収納され、両端に封止部(3)(4)が形成されている曲管型ヒータ装置(A)の製造方法であって、
直管型のガラス管(2a)内に発熱体(1)を収納した後、ガラス管(2a)内を不活性状態に保ったままガラス管(2a)を曲成し、然る後、必要に応じてガラス管(2a)内をウォッシングした後ガラス管(2)を封止することを特徴とする。
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【課題】 振動環境下においても、カーボンワイヤー発熱体と該カーボンワイヤー発熱体を収容したガラス管の内壁との衝突を抑制することにより、耐久性のあるヒータを提供する。
【解決手段】 ガラス管２内に封入されたカーボンワイヤー発熱体３と、前記カーボンワイヤー発熱体に電力を供給する接続線を有する二つの封止端子部４とを備え、前記カーボンワイヤー発熱体３と接続線５とを導電性部材７によって挟持し、かつ、導電性部材７と弾性体８が封止端子部４を構成するガラス管２，６の内部に収容され、前記導電性部材７を弾性体によってガラス管２，６の内壁に押し付けられることにより、ガラス管２，６の内壁に固定される。 （もっと読む）

【課題】 ヒータランプへの入力電力を大きくし高出力化しても、ヒータランプのバルブが黒化せず、しかも、被処理物を加熱するチャンバー内にバルブからの不純物が放出されない加熱ユニットを提供するものである。
【解決手段】 本発明の加熱ユニットは、ヒータランプ１を備えた加熱ユニットにおいて、ヒータランプ１を内蔵する両端に封止部１２が形成された外管２を有し、外管２内に冷却ガスを流すことを特徴とする。そして、外管２に冷却ガス流入管２２と冷却ガス流出管２３を設け、冷却ガス流入管２２と冷却ガス流出管２３によって、外管３を基台３に支持されている。さらには、ヒータランプ１は、内部にフィラメント１１を有し、外部リード棒１３がヒータランプ１の封止部１２から突出し、給電部材６が接続され、給電部材６が冷却ガス流入管２２と冷却ガス流出管２３内に挿通されている。 （もっと読む）

【課題】 光透過性の被加熱物への遠赤外線の照射を防止し、近赤外線で被加熱物の表面裏面を均一に加熱することができる加熱ユニットを提供することにある。
【解決手段】 本発明の加熱ユニットは、白熱ランプ１から放射された近赤外線によって被加熱物Ｗを加熱する加熱ユニットにおいて、白熱ランプ１と被加熱物Ｗとの間に、石英ガラス製の光制御部材２が設けられており、光制御部材２は、内部に光制御部材２を冷却するための冷却体が流れる冷却体流路２３が設けられていることを特徴とする。さらには、光制御部材２は、石英ガラス製の内側管２１と石英ガラス製の外側管２２とよりなる中空円筒状の２重管であって、内側管２１と外側管２２の間が冷却体が流れる冷却体流路２３となっている。 （もっと読む）

【課題】 ガラス管を介して液体に伝わる熱伝導を極力抑制することによって、エネルギー効率の良いヒータを提供する。
【解決手段】 ガラス管２内に封入されたカーボンワイヤー発熱体３と、前記カーボンワイヤー発熱体３に電力を供給する二つの封止端子部４とを備え、前記封止端子部４近傍のガラス管２ｂの内径が、前記ガラス管の他部分２ｃの内径より小さく形成され、かつカーボンワイヤー発熱体３が、弛むことなく封止端子部４，４間に形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】表面がフロスト加工された放射透過性のバルブ上に、膜厚を凹凸に変化させ、その膜厚を調整し形成させることにより、製造条件や膜材料を変えずに、容易に発光色をコントロールする。
【解決手段】石英ガラス製のバルブ１２の表面にフロスト加工を施して形成されたフロスト１９の深さを４μｍ超程度とする。フロスト１９上に１層目としてＳｉＯ_２を主成分とする低屈折率膜２１を、ディピング方式で塗布後に焼成して形成し、２層目にＦｅ_２Ｏ_３を主成分とする高屈折率膜２２を、ディピング方式で塗布後に焼成して形成する。３層目以降交互に低屈折率膜２１と高屈折率膜２２を交互に複数層形成する。 （もっと読む）

【課題】長期間使用した場合でも高い耐久性を発揮可能なセラミックヒータを提供する。
【解決手段】セラミックヒータ１は、絶縁体からなる柱状の基体１３と、基体１３の一端側内部に埋設された抵抗体１１と、抵抗体１１と接続された状態で基体１３に埋設されつつ基体１３の他端側に延びる一対の通電部１２ｂ、１２ｃと、各通電部１２ｂ、１２ｃと接続された状態で基体１３の他端側表面に露出する電極部１２ａ、１２ｄとを有している。両通電部１２ｂ、１２ｃは両電極部１２ａ、１２ｄと同一材料からなり、電極部１２ａ、１２ｄの軸方向の断面積Ｓ１は通電部１２ｂ、１２ｃの軸直角方向の断面積Ｓ２以上である。 （もっと読む）

【課題】 炭素フィラメントに一体に形成された支持部によって、簡単な炭素フィラメント連結構造により長時間使用できる炭素ヒータを提供する。また、炭素フィラメントの両端部に連結伝導体を挿入連結することで、炭素フィラメントと電極との連結構造及び連結作業が簡単かつ容易になり、製造費用を節減できる炭素ヒータを提供する。
【解決手段】 チューブ５０内に発熱体としての炭素フィラメント５２が備わり、前記炭素フィラメント５２に一体に形成された支持部５２ｂが、前記炭素フィラメント５２の長さ方向と直交する方向に突出されて前記チューブ５０内に支持される。 （もっと読む）

【課題】 発光効率が良好でありまぶしさを防止し、しかも光漏れがない電球ヒータ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 放射透過性バルブ１１と、この放射透過性バルブ１１の両端に各々有する封止部１８ａ，１８ｂと、前記放射透過性バルブの内部に保持されたフィラメント１２と、前記放射透過性バルブの前記封止部を除く外面に形成された積層膜とを備え、前記積層膜は、ＳｉＯ_２を主成分とする低屈折率層と、Ｆｅ_２Ｏ_３を主成分とする高屈折率層を交互に積層してなる膜であることを特徴とするチップレス形の電球ヒータ。 （もっと読む）

【課題】 シート状の炭素フィラメントをツイスト構造で配置して構成し、必要に応じて支持部を形成するか、支持ワイヤーを設置することで、全方向に均一な輻射エネルギーを放出できるともに、堅固なフィラメント支持構造を実現できる炭素ヒータを提供する。
【解決手段】 チューブ５０内にシート状の炭素フィラメント５２が備わり、前記炭素フィラメント５２が前記チューブ５０内にツイスト構造で配置されて炭素ヒータを構成する。 （もっと読む）

【課題】 定着ローラのウオームアップ時間を短縮する。
【解決手段】発熱体１ａがカーボン材よりなるカーボンヒータランプを用い、記録紙３とこの該記録紙３上の現像剤を発熱体１ａからの赤外線によって加熱する定着ローラと、この定着ローラに圧着するように位置する加圧ローラ１とを備えた定着装置において、記録紙３上の現像剤をカーボンヒータランプのランプ素管１によって直接加熱し、かつ、加圧する。その際、定着部位によって発熱量を変更し、あるいは、加圧ローラとのニップに熱量を集中させる。 （もっと読む）

【課題】 機械的強度がより強く、取り扱いが便利であり、また封止端子部を容易に形成することができ、しかも、許容電流を大きくでき、結果ヒータの許容温度範囲を大きくできる封止端子構造及びこれを用いたヒータを提供する。
【解決手段】 発熱体２がガラス部材３中に収納されたヒータの封止端子構造において、前記発熱体に電力を供給する接続線６ａ，６ｂと、前記接続線の一端を保持すると共にガラス部材３の端部を封止する、導電性金属材料からなる有底筒形状のキャップ部材７ａ、７ｂと、前記キャップ部材７ａ、７ｂの少なくとも内底面に設けられた、ガラス部材の端部と接するゴムパッキン部材８ａ，８ｂとを備え、前記ガラス部材３の端部を前記キャップ部材７ａ，７ｂに収容すると共に、ガラス部材３の端部角部が前記ゴムパッキン部材８ａ，８ｂの斜面部に接する。 （もっと読む）

【課題】 ウェハヒータアセンブリを提供することである。
【解決手段】 ウェハ加熱アセンブリは、単一のウェハ処理システムために、独特なヒータ部材を有して説明されている。加熱ユニットは、石英外筒で包まれるカーボンワイヤ素子を包含する。加熱ユニットは、ウェハに直接接触を可能にする石英としてコンタミネーションフリーである。カーボン「ワイヤ」または「編まれた」構造の機械的なフレキシビリティは、コイル構成を可能にし、そして、それは、ウェハ全体に独立したヒータゾーン制御を可能にする。ウェハ全体の複数の独立したヒータゾーンは、膜成長／堆積均一性を調整する温度勾配と、従来の単一ウェハシステムより優れている膜均一性およびウェハゆがみを最小とする高速熱調整とを可能にすることができる。 （もっと読む）

本発明は、小型で効率が高く、各種用途において容易に適応することができる汎用性の高い赤外線電球及びその赤外線電球を用いた加熱装置を提供するものであり、本発明の赤外線電球は、放射率が高く輻射エネルギー量の多い炭素系抵抗体である複数の発熱体を所望の位置及び所望の角度に正確に配置して、ガラス管内に封止して構成されており、この赤外線電を熱源として加熱装置が構成されている。
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【課題】 互いに結合された、長手方向に延びる少なくとも２つのスリーブ管が設けられており、スリーブ管は光および赤外線のために透光性であって、かつ周辺雰囲気に対して密閉されており、スリーブ管のうち少なくとも第１のスリーブ管が螺旋状白熱体を有しており、螺旋状白熱体が、シールされた管端部と外側の接続端子とを介して外部のエネルギ供給部に電気的に接続されている形式の、１つの赤外線放射器と１つの別の放射器とを有する放射装置を改良して、被覆体または溶媒中の色素ピグメントによる印刷体を迅速に乾燥させ、かつ同時に溶媒を迅速に蒸発させることができるような熱的な放射装置を提供する。
【解決手段】 放射バンド１０を有する第２のスリーブ管３が設けられており、該放射バンド１０が、シールされた端部１５，１６と外部接続端子１７，１８とを介して、外側のエネルギ供給部に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】 直径が５〜１５μｍであるカーボンファイバーを複数本束ねたカーボンファイバー束を複数本用いてワイヤー形状やテープ形状のような縦長形状に編み込み，その含有不純物量を灰分で１０ｐｐｍ以下としたヒータ部材（１１，１１１，１２１…１６１，２１２，２２２，４１１，５１５，６１２）を具備することを特徴とするカーボンヒータ。 （もっと読む）