【課題】部品点数を削減して組立作業性を向上するとともに、使用により疲労破壊が生じることを防止する。
【解決手段】被加熱物（例えば水）を収容する容器１９に、容器１９内の被加熱物を加熱するヒータ３１Ａ〜３１Ｃを配設した加熱機器のヒータ取付構造において、ヒータ３１Ａ〜３１Ｃを容器１９のヒータ取付部２７に略均一に接触するようにヒータ３１Ａ〜３１Ｃの外側に配設する金属製の被覆部材３７と、容器１９の外面に溶接により固着され、ヒータ３１Ａ〜３１Ｃおよび被覆部材３７を容器１９に向けて押さえ付けるように位置決めする金属製の位置決め部材４４とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】フィラメントとリード間およびリード同士間の不所望な放電を防止し、フィラメント以外から不所望の光放射を防止する。
【解決手段】発光管２内部に、各フィラメント４１１〜４５１の両端に一対のリード４１２〜４５２が連結されてなる複数のフィラメント体４１〜４５が、発光管の管軸に沿って順次に並んで配設され、各リードが封止部５において電気的に接続されて各フィラメントに対して各々独立に給電されるフィラメントランプ１において、発光管内部に、各リードを挿通する開口を備え、発光管の内面に近接するよう管軸に沿って配置され、各フィラメントと各リードとの間に介在する絶縁壁（内管）３と、発光管と絶縁壁とにより区画され、各リードに対応して設けられた複数のリード収容空間１１１〜１１５とを備え、各リードが、絶縁壁の開口を通って、各リード収容空間に、互いに短絡することなく配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、発熱体に対する保持部分における部分的な発熱を抑制して発熱体を確実に保持することができ、且つ安全性および信頼性の高い発熱体ユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の発熱体ユニットは、電圧が印加されて発熱するフィルムシート状の発熱体を保持するための弾性力を有する保持具が発熱体とともに容器内部に配置され、保持具の弾性力により容器内の所定位置に発熱体を保持し、電力供給部材からの電力を当該保持具を介して供給するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】ヒータプレートの十分な固定と精度の高い位置決めを実現でき、ヒータプレートを容易かつ安全に着脱できる半導体製造装置及びヒータプレート着脱治具並びにヒータプレートの着脱方法の提供。
【解決手段】ヒータ２を備えるヒータブロック１と、ヒータブロック１上に配置され、被加熱物が載置されるヒータプレート３と、ばねの力によりヒータプレート３を両外側から押圧する一対のレバー９、１０とを少なくとも備えるヒータユニット部を有し、ヒータブロック１の上面には、レバーの押圧方向に沿って配列された位置決めピン４と、一方のレバー側の端部に形成された段差部６とを備え、ヒータプレート３の下面には、レバーの押圧方向に沿って延在し、位置決めピン４に係合する位置決め溝５を備え、ヒータプレート３の上部には、プライヤの先端のＬ字型の治具に係合する一対の引っ掛け穴１３を備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造にて確実に球体を熱処理プレートに固定することができ、しかもプレートの上面と基板との間の間隔調整も容易な熱処理装置を提供する。
【解決手段】熱処理プレート１１には円筒状の孔部３１が穿設されている。孔部３１にはスペーサ３２とプロキシミティボール３０とが順に入れられる。スペーサ３２は、ステンレス鋼にて形成された円筒形状部材である。プロキシミティボール３０は、アルミナにて形成された球体である。それらの上からガイドキャップ３５を所定のトルクにて孔部３１に螺合する。ガイドキャップ３５がプロキシミティボール３０を下方へと押圧する力と、それに対抗するスペーサ３２からの反力によってプロキシミティボール３０が熱処理プレート１１に固定される。このときに、プロキシミティボール３０の上端部が熱処理プレート１１の上面１１ａから所定の高さだけ突出する。 （もっと読む）

【課題】複数のヒータ線を巻回した発熱体において、マイカ板に挟まれたヒータ線の発熱を良くするとともに、全体の形状を小型にし、さらに不具合の発生した発熱体の交換を簡単にする。
【解決手段】複数のヒータ線と、前記ヒータ線を各々に巻回するための大小二種類の絶縁板Ａ１１と絶縁板Ｂ２１と、前記絶縁板Ａ１１と前記絶縁板Ｂ２１を固定するスペーサＡ１３からなる発熱体で、二枚の前記絶縁板Ｂ２１を向かい合わせに間隔を空けて前記スペーサＡ１３により固定し、固定された二枚の前記絶縁板Ｂ２１に前記ヒータ線を巻回してなる発熱体Ｂ２８と、前記発熱体Ｂ２８を囲うように前記スペーサＡ１３に二枚の前記絶縁板Ａ１１を固定し、固定された二枚の前記絶縁板Ａ１１にヒータ線を巻回してなる発熱体Ａ１４とで構成した。 （もっと読む）

【課題】給電用の電極の位置をステアリングホイールの形状に拘らず自由に設定できるようにする。
【解決手段】複数の絶縁されたヒータ素線１１が経編みされ、ループを綴る方向である経編み方向Ｖの両端部１２Ａ、１２Ｂに隔置された状態で電極１３Ａ、１３Ｂが設けられた網目状発熱体１２と、網目状発熱体１２を経編み方向Ｖと直交する方向Ｈで電気的に２つに分離する絶縁線１１’からなる絶縁部１０とを備え、絶縁部１０で電気的に２つに分離された網目状発熱体１２ａ、１２ｂの網目状発熱体１２ａは経編み方向Ｖで分離され、この２つの網目状発熱体１２ａａ、１２ａｂの各分離端にはそれぞれ給電用の電極１４Ａ、１４Ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明では、炭素繊維発熱体と形状保持機能を有する発熱体とを組み合わせて発熱体を構成するため、炭素繊維自体の優れた特性を活かしつつ、炭素繊維のみからなる発熱体では、到底、奏することができない形状保持性と耐震強度を付与した状態で発熱させることができるヒータの提供を目的とする。
【解決手段】ガラス管１３の内部に収容した発熱体１２を、柔軟性を有する長尺状の炭素繊維発熱体１７と、該炭素繊維発熱体１７のガラス管１３内における変形を規制する長尺状の規制体１８とで構成し、上記規制体１８を、ガラス管１３に収容した形状のまま保持可能な形状保持性材料で形成し、ガラス管１３の軸方向の両端部側に、上記発熱体１２がガラス管１３の軸方向に配されるよう上記規制体１８の軸方向の両端部をそれぞれ固定支持する支持部１６を具備したヒータ１１。 （もっと読む）

【課題】コネクタ接続時の通電端子の変形防止を通電端子の設計自由度の高い手段により達成することができ、かつ、ハウジング部材の装着作業性の向上とを達成できる電気ヒータ装置を提供すること。
【解決手段】ヒータ積層体１０の一端側に、複数の発熱部材７０に跨り、かつ、発熱部材７０に対して他端方向への移動を規制されてストッパ部材９０を装着し、このストッパ部材９０を、発熱部材７０の間隔を一定に保持可能に形成し、かつ、このストッパ部材９０に、発熱部材７０への装着状態で折曲片７７ａに沿って配置され、この折曲片７７ａがコネクタ接続時の通電端子７７への入力で変位するのを規制するストッパ部を形成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、裏面加熱用のヒータを電極と確実に最適な位置で接続することが可能な半導体製造装置を提供する。
【解決手段】本発明の半導体製造装置は、ウェーハを裏面から加熱するためのヒータエレメント１１と、ヒータエレメント１１と一体化され、ヒータエレメント１１に電圧を印加するための第１の接続部１２ａ及び第２の接続部１２ｂと、第１の面で第1の接続部１２ａと接触、固定され、第１の接続部１２ａに電圧を印加するための第１の電極１４ａと、第1の面と面方向が９０度異なる第２の面で第２の接続部１２ｂと接触、固定され、第２の接続部１２ｂに電圧を印加するための第２の電極１４ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】らせん状に進行する帯状体２を真空中で均一に高温加熱することが可能なヒータユニット６０を提供する。
【解決手段】らせん状に進行する帯状体２に対して真空中で熱処理を行うヒータユニット６０であって、複数の金属線を撚り合わせた線材が帯状体２と平行な水平面内においてつづら折り状に配置された線材ヒータ６２を備えている。その線材ヒータ６２は、第１支持部材６４および第２支持部材７４により、フレーム９０に対して伸縮自在に支持されている。 （もっと読む）

【課題】 基板加熱面上に噴出するガスの噴出量のばらつきを低減させることができ、基板の成長膜の生成等に影響を与えずに、基板加熱面上に反応膜が堆積することを抑制することができる加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置１００は、基板が載置される基板加熱面１０ａ及び基板加熱面１０ａの反対側に位置する加熱部材裏面１０ｂを有し、抵抗発熱体１１が埋設された板状の加熱部材１０と、加熱部材１０の加熱部材裏面１０ｂ側に配置され、加熱部材裏面１０ｂと対向する対向面２０ａを有する補助部材２０とを備え、加熱部材裏面１０ｂと対向面２０ａとの間には、基板加熱面１０ａ上に噴出するガスの経路である面状ガス経路１４ａが形成されていることを特徴とする加熱装置。 （もっと読む）

【課題】発熱部材とその発熱部材を取り囲むチューブとの間の接触が防止できる構造の発熱体を提供する。
【解決手段】本発明の発熱体は、チューブと、該チューブ内に配置される発熱部材と、前記チューブの長さ方向に横切って配置され、前記チューブと前記発熱部材との間を離隔させる支持部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】 工具の噛み合わせの調整を容易に行うことのできるヒータパネル用クリップピン部品連およびこれを用いたヒータパネルの製造方法を提供する。
【解決手段】 ヒータパネル用クリップピン部品連１１は、第１クリップピン単体１４と第２クリップピン単体１６とがそれぞれのピン体１２、１５の長手方向に直交する方向に配列されており、それぞれのピン体１２、１５の隣位する相互間を配列方向に沿って接続する電力供給配線部を兼ねた継ぎ手部１０を有するとともに、第１クリップピン単体１４の先端部がテープ状基体部１７に接続され、かつ、テープ状基体部１７にカウント用ピン体１８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 従来技術の問題を回避できるようにし、特に加熱装置上への温度センサの配置を簡単にできるようにする。
【解決手段】 ホブ（３０）は、支持体（２２）と、その上に取り付けられた加熱導体（２６）とからなる複数の輻射加熱装置（２０）を有する。ガラス封体部（１３、１４）内に感応素子（１５）を有する細長い管状の温度センサ（１１）が、支持体に沿って延在して、わずかに上方に突出する程度まで、支持体に埋め込まれている。接続部（１６）を備えた端部が、支持体（２２）の縁部まで、又はさらにはそれを越えるまで延出している。 （もっと読む）

【課題】 窓ガラスの結露防止用ヒータにおいて、各種異なる横幅の窓ガラスへの対応が可能なヒータを提供することを目的とする。
【解決手段】 第１帯板状体２ａと第３帯板状体２ｂとをその左端部において第１主コネクタ部２ｃに固定すると共に右端部において第１従コネクタ部２ｄに固定して形成した第１発熱ユニット２と、第２帯板状体３ａと第４帯板状体３ｂとをその右端部において第２主コネクタ部３ｃに固定すると共に左端部において第２従コネクタ部３ｄに固定して形成した第２発熱ユニット３とからなり、前記第１従コネクタ部２ｄが有する透孔２ｄ１、２ｄ２に前期第２帯板状体３ａと前記第４帯板状体３ｂを摺動自在に挿通すると共に前記第２従コネクタ部３ｄの透し孔にも前記第１帯板状体２ａと第３帯板状体２ｂを摺動自在に挿通して、長手方向の長さの調節が可能なヒータ１を形成した。 （もっと読む）

【課題】 被加熱体が小さい場合や、被加熱体における加熱しようとする領域が小さい場合であっても、導電体を十分に発熱させて、被加熱体を的確に加熱することができる電気こてを提供する。
【解決手段】 微小領域に適合した間隙を隔てて設けられかつ導電性を有する２つの電極に、被加熱体に向かって設けられた導電体を導電体保持手段によって保持する。 （もっと読む）

【課題】この発明は、反射ミラーで覆われた白熱ランプヒータを持つ白熱ランプヒータユニットにおいて、該白熱ランプの発光部を該反射ミラー焦点に正確に配置調整でき、且つ、白熱ランプヒーターユニットを、該反射ミラーで覆われた該白熱ランプへの冷却を可能にし、高い効率で点灯しても長寿命である白熱ランプヒータユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】この発明の白熱ランプヒータユニットは、管状白熱ランプと、該管状白熱ランプを取り囲む樋状の反射ミラーとより成る白熱ランプヒーターユニットにおいて、前記反射ミラーの頂部に該フィラメントを臨む位置調整用のスリット部が設けられ、該反射ミラーの長手方向に沿った側面部に、該フィラメントが貫通して見える一対の調整孔が設けられ、該調整孔を結ぶ仮想線上に該反射ミラーの第1の焦点があることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】異なる発光分布の２灯の直管形の白熱電球の発光分布を、所望の発光量を得ながら確実な取り付け可能とする。
【解決手段】発光分布がそれぞれ異なるヒータの役割を果たす白熱電球Ｌ１，Ｌ２のピンチシール部１３，１４を、セラミックスからなる直方体形状の絶縁性のベース部材１９，２０の嵌合凹部２１，２２にそれぞれ挿入する。この状態で、白熱電球Ｌ１，Ｌ２の発光分布が所望の状態になるように白熱電球Ｌ１，Ｌ２の管軸方向に調整し、その後嵌合凹部２１，２２に耐熱性の接着剤２６，２７を充填し固化させることで、異なる発光分布の白熱電球Ｌ１，Ｌ２をベース部材１９，２０に取り付けることができる。 （もっと読む）

【課題】 線状の発熱体を蛇行状に設置する際に発熱体の直線部同士の間隔を容易に維持することができ、しかも、必要に応じて直線部同士の間隔を広狭させることのできる、設置作業負担が少なくしかも汎用性の高い発熱体設置用冶具を提供する。
【解決手段】 線状の発熱体３を直線部３ａと折り返し湾曲部３ｂとが交互に形成された蛇行状に設置するための発熱体設置用冶具であって、発熱体３の取り付け箇所に設置される取り付けベース２としての複数の棒状体４と、該棒状体４上に載置されて発熱体３の各直線部３ａをそれぞれ保持する複数の保持具１とを備え、棒状体４には一定間隔毎に係止孔２１が形成され、保持具１には係止孔２１に凹凸係合する係止突起２２が形成されている。 （もっと読む）