【課題】剥離前の形状及び特性を保った良好な状態で転置工程を行えるような、剥離工程を用いて半導体装置及び表示装置を作製できる技術を提供する。よって、より高信頼性の半導体装置及び表示装置を装置や工程を複雑化することなく、歩留まりよく作製できる技術を提供することも目的とする。
【解決手段】透光性を有する第１の基板上に光触媒物質を有する有機化合物層を形成し、光触媒物質を有する有機化合物層上に素子層を形成し、光を第１の基板を通過させて、光触媒物質を有する有機化合物層に照射し、素子層を前記第１の基板より剥離する。 （もっと読む）

【課題】比較的低い温度で、従って、熱分解が殆どなしに、又は実質的になしにて、蒸着にてアモルファス膜を形成することができる新規な１，３，５−トリス（ジアリールアミノ）ベンゼン類を提供する。更に、このような１，３，５−トリス（ジアリールアミノ）ベンゼン類からなる正孔注入及び／又は輸送剤を用いてなる有機エレクトロルミネッセンス素子を提供する。
【解決手段】一般式（Ｉ）


で表される１，３，５−トリス（ジアリールアミノ）ベンゼン類。 （もっと読む）

【課題】上部電極を厚膜に形成して低抵抗化を実現すること、上部電極を厚膜に形成した場合に、上部電極にヒロックが発生することを防止すること、自発光パネルにおいてヒロックや電気的短絡等による表示不良を防止すること、等。
【解決手段】自発光パネルでは、上部電極８は、金属材料とともに有機材料を蒸着して形成された、金属材料に有機材料を含む導電性混合層である。上記構成の自発光パネルでは、上部電極８を厚膜に形成して低抵抗化を実現することができる。また上部電極８の抵抗値が低減して低消費電力化を実現することができる。金属材料のみで上部電極を形成した場合と比べて、膜内の応力が緩和されて小さくなり、ヒロックなどの発生を防止することができる。ヒロックや電気的短絡等による表示不良を防止することができるので、信頼性の高い自発光パネル１を作製することができる。 （もっと読む）

【課題】有機発光素子の色変換層の層構成を単純化できるとともに、比較的簡便な方法で高効率で、かつ、有機発光素子に流す電流及び有機発光素子の劣化による色の変化のない白色発光素子を提供する。
【解決手段】基板と、発光部と、該発光部からの発光を吸収して、該発光部から発光される光の波長より長波長の光を発光する色変換層を有する有機発光素子であって、前記発光部は基板側から第１電極、有機発光体、第２電極を有し、前記色変換層が蛍光色素と無機窒化物からなることを特徴とする有機発光素子。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ簡易に有機ＥＬ素子の温度を計測することが可能な発光装置及び発光装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０と、基板１０上に設けられた第１電極１４と、第１電極１４上に設けられた有機層１６と、有機層１６上に設けられた第２電極１８と、第１電極１４と有機層１６と第２電極１８とを有する発光素子３０とを備える発光装置であって、基板１０上の発光素子３０には、有機材料からなり、レーザ光の照射により発光素子から伝熱される熱に基づいたラマン散乱光を放出する検査部１２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板上の電極等にクラックを発生し、これに伴い配線電極の断線を引き起こす可能性のある、誘電体層の端部の急峻な膜厚変化を解消した、複数層を有する複合基板とその製造方法、および複合基板を用いたＥＬ素子パネルを提供する。
【解決手段】複合基板１は、基板３上に所定のパターンに形成された第１の電極層５と、その上に厚膜誘電体層７と、さらに厚膜誘電体層９が順次積層された構造である。複合基板の最上層にある厚膜誘電体層９の端部が、下層の厚膜誘電体層７の端部を覆い、基板上に形成される。ＥＬ素子パネルは、複合基板上に、発光層、薄膜誘電体層、更に第２の電極層が積層されている。基板上の電極等にクラックを発生し、これに伴い配線電極の断線を引き起こす可能性のある、誘電体層の端部の急峻な膜厚変化を解消した、複数層を有する複合基板とその製造方法、および複合基板を用いたＥＬ素子パネルを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】有機エレクトロルミネッセンス表示装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】塗布法により基板の全面に発光性有機機能層を成膜することで形成される有機ＥＬ表示装置において、発光領域以外の不要な発光性有機機能層をプラズマによるドライエッチングにより除去する場合、発光領域を含む陰極上に保護部材を設けることで、発光領域内の発光層を含む有機機能層は発光領域以外の有機機能層の除去工程時に発生するプラズマによる有機機能層へのダメージを防ぐことが出来る。 （もっと読む）

【課題】発光部に抵抗の低い材料を用いてもクロストークが生じず、視認性の高い発光装置を提供する。
【解決手段】本発明の発光装置は、陰極１５４と陽極１４１との間に発光層１４０Ｂを有し、前記陰極１５４は、前記発光層１４０Ｂとの電子の注入障壁が異なる第１陰極層１５４Ａと第２陰極層１５４Ｂを有し、相対的に前記発光層１４０Ｂとの電子の注入障壁が小さい第１陰極層１５４Ａがパターニングされてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】欠陥の少ない膜を形成することができる成膜方法を提供する。また、均質な膜を形成することができる成膜方法を提供する。また、低電圧駆動が可能な発光素子の作製方法を提供する。また、発光効率の高い発光素子の作製方法を提供する。
【解決手段】基板の表面の少なくとも一部を露出させるように基板保持手段に基板を固定し、蒸着材料が充填された蒸発源から蒸着材料を気化させ、気化している蒸着材料に対しレーザビームを照射し、基板の表面に蒸着材料を堆積させることにより、欠陥が少なく、均質な膜を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】改良されたエレクトロルミネッセンス特性を有し、かつ、ＯＬＥＤを製造するために通常に用いられている真空蒸着技術を用いて容易に製造されるという利点を有する可撓性のＯＬＥＤを製造する。
【解決手段】有機材料の小分子をベースとするヘテロ構造を用いた可撓性ＯＬＥＤは提供され、そのＯＬＥＤにおいて、ホール輸送層、電子輸送層および／または発光層は、別個に存在するならば、非ポリマー材料、即ち、小分子を含む層を含む。さらに、ホール輸送層、電子輸送層および／または発光層が、存在するならば、真空蒸着技術を用いて製造されうる、可撓性ＯＬＥＤの製造法に関する。 （もっと読む）

【課題】素子のリークや短絡のない高品質で生産性の高い有機ＥＬ素子の製造方法及び有機ＥＬパネルを提供することである。
【解決手段】フレキシブル基体に第１の電極を形成する工程と、第１の電極を形成する工程の後に、発光面にスペーサを形成する工程と、スペーサを形成する工程の後に、有機層を形成する工程と、第２の電極を形成する工程とを含む有機ＥＬ素子の製造方法。 （もっと読む）

安定で管理された蒸着によってマグネシウムの蒸着物を形成する。マグネシウムの含有量が４３．３４質量％以下であるマグネシウム−銅組成物を用いてマグネシウム蒸着を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、製造適性に優れた端面発光型発光素子およびその製造方法を提供するものであり、特に光取りだし効率が改良された製造適性に優れた端面発光型発光素子およびその製造方法を提供することである。
【解決手段】光透過性の基板上に一対の電極、および該電極間に少なくとも１層の発光層を挟持した積層構造体を有し、該積層構造体の端面より発光を取り出す端面発光型発光素子であって、該発光を取り出す端面以外の少なくとも１つの端面において、前記基板の前記積層構造体を担持する面、あるいは、該基板の前記積層構造体を担持する面とは反対の面に対して該端面が成す角度が鋭角であり、該端面に光反射層を設けてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】特性の揃った有機ＥＬパネルを効率よく製造することができる有機ＥＬパネルの製造方法及びこの製造方法により製造された有機ＥＬパネルを提供する。
【解決手段】フレキシブル基板に少なくとも第１の電極と発光層を含む一層以上の有機層と第２の電極とで構成される有機エレクトロルミネッセンス素子を含む有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、基板保持部に保持されたフレキシブル基板の上に、蒸発源にセットされた原料を蒸発させて成膜することで有機エレクトロルミネッセンス素子を形成するための有機層成膜工程を有し、基板保持部がフレキシブル基板を曲げて保持した状態で成膜する。 （もっと読む）

【課題】マスクの温度上昇の抑制が図れる有機ＥＬ素子のマスククリーニング技術を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ素子の有機層の形成に用いられるマスクをクリーニングする有機ＥＬ素子用マスククリーニング装置であって、マスクを収容するチャンバと、チャンバ内に設けられ、マスクに向けてエッチング用ガスを吐出するガス吐出部と、チャンバ内に設けられ、マスクから離隔して配置されるとともに当該マスクと対向する金属製の冷却部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＴＥＧの電気的特性を測定することにより、蒸着工程による半導体装置内の素子の電気的特性の変動を管理できるようにする。
【解決手段】アクティブマトリクス型ＥＬパネルの基板１００には、発光素子を形成するため蒸着法により膜が形成される蒸着領域１０１があり、この蒸着領域１０１内に画素領域１０２が設けられる。ＴＥＧ１０９は、蒸着工程で膜が形成される蒸着領域１０１内であって画素領域１０２の外側に設けられる。ＴＥＧ１０９を測定するための測定用端子部１１０は封止領域１０３外部に設けられる。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、蒸着精度を向上し、設計自由度を向上可能な有機EL表示装置を提供することにある。
【解決手段】アノードと、カソードと、アノードとカソードの間に挟まれる有機層を備えた複数の有機ＥＬ素子がマトリクス状に配置された有機ＥＬ表示装置において、前記複数の有機ＥＬ素子は、行方向で異なる色を発する有機ＥＬ素子を含み、該有機層の少なくとも一つの層は、その列方向の端部において、その蒸着の行方向の幅が最短部に向かって徐々に狭くなった円錐曲線の外縁を備えている。 （もっと読む）

【課題】画素の発光中心位置をより正確に配置することが可能な有機ＥＬディスプレイの製造技術およびそれに関連する技術を提供する。
【解決手段】有機ＥＬディスプレイの製造方法は、複数の開口を有するマスクを被処理基板に対して位置決めする工程と、当該マスクを用いた蒸着によって複数の画素のそれぞれに対応する有機膜を形成する工程とを含む。マスクの各開口の中心位置は、それぞれ、対応画素の理想中心位置からマスク内の基準位置側に向けてシフトされている。 （もっと読む）

【課題】発光層形成に際しての工程の簡略化及びコストの低減を図ることができるだけでなく、発光効率を高めることが可能とされている有機ＥＬ素子を提供する。
【解決手段】発光層として、青色発光領域１１、赤色発光領域１２及び緑色発光領域１３をそれぞれ形成するための青色発光層Ｂ、赤色発光層Ｒ及び緑色発光層Ｇを有し、緑色発光層Ｇが、赤色発光領域１２において、赤色発光層Ｒの陰極側の面を覆うように設けられた緑色発光層延長部Ｇ１を有するように構成されている、３色塗分け方式で緑色発光層、赤色発光層及び青色発光層が形成されている有機ＥＬ素子１。 （もっと読む）

【課題】マスク成膜によるパターン形成時の熱負荷によるマスクの熱変形を抑制する。
【解決手段】パターンを形成する基板２の第１面側に配設されたマスク１と、基板２の第２面側からマスク１の温度を制御する複数のペルチェ素子５および冷却板６とを備え、各ペルチェ素子５の冷却力をマスク１の複数の領域ごとにそれぞれ制御する。例えば、成膜手段３に対向するマスク中央部はマスク周辺部より高温となるため、マスク中央部に配設されたペルチェ素子５の冷却力を高めてマスク全面を均一に冷却し、成膜中のマスク１の熱変形によるパターンの位置ずれや形状不良を防ぐ。 （もっと読む）