【課題】酸素および水分の透過率を最少化することができる表示装置を提供する。
【解決手段】本発明による表示装置は、表示素子が設けられている絶縁基板と、絶縁基板に対向して接合されるカバー基板と、絶縁基板とカバー基板のうちのいずれか一方の基板の周縁に沿って設けられ、相互に離隔して配置される複数の第１シーラントと、複数の第１シーラントの間に対応して絶縁基板とカバー基板のうちのもう一方の基板の周縁に沿って設けられる少なくとも一つの第２シーラントと、第１シーラントと第２シーラントとの間に介在される封止薄膜とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 薄膜形成用蒸着装置を提供する。
【解決手段】 本発明による薄膜形成用蒸着装置は、蒸着材料を加熱して蒸発させる蒸発源と、前記蒸発源から供給された気相の蒸着材料を移送する送り管と、前記送り管を開閉する開閉手段と、前記送り管に連結され、前記蒸着材料を基板に向けて噴射する噴射手段とを含んでなる。本発明によると、工程の進行によって、蒸着材料の供給を制御することができる。即ち、蒸着材料の供給が不要な場合、これを遮断することによって、蒸着材料の使用効率を極大化することができる。 （もっと読む）

【課題】 複数のルツボを利用した有機発光素子薄膜製作のための線形蒸発源を提供する。
【解決手段】 上面は開放されており、長い筒状に形成されるハウジングと、上面は開放されており、内部に蒸着用物質を入れるものであり、ハウジングに挿入される複数のルツボと、前記ルツボを加熱する加熱装置と、を備え、ルツボで蒸発された蒸着用物質がルツボの開口から広がる高さの各々異なる有機発光素子薄膜製作のための線形蒸発源。 （もっと読む）

【課題】マスクを用いた真空蒸着法によりアレイ基板上に薄膜パターンを形成した表示装置で輝点及び／又は滅点が発生するのを抑制する。
【解決手段】本発明の表示装置の製造装置は、真空チャンバＶＣと、真空チャンバＶＣ内でアレイ基板ＡＳを保持する基板ホルダＨＬＤ２と、真空チャンバＶＣ内でアレイ基板ＡＳの下面と向き合うようにマスクＭＳＫを保持するマスクホルダＨＬＤ２と、真空チャンバＶＣＸ内であってマスクＭＳＫの下方に配置される坩堝が収容する蒸発材料を加熱して気化させるヒータと、アレイ基板ＡＳ及び／又はマスクＭＳＫの電位を測定する電位計ＳＮＳ２と、電位計ＳＮＳ２の出力に基づいてアレイ基板ＡＳとマスクＭＳＫとの電位差を小さくする電位制御を行うコントローラＣＮＴとを具備する。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスが簡単な蒸着装置を提供することを目的とする。また、蒸着材料の電極への付着を防止する電極カバーを提供することを目的とする。
【解決手段】蒸着室と、被処理物を保持する保持部と、蒸発源と、電極と、電極カバーと、電源と有し、蒸着室は、上方に保持部を有し、下方に蒸発源と電極と電極カバーとを有し、電極カバーは、電極の露出面の少なくとも一部を覆っており、電極と前記電源とは電気的に接続されており、蒸発源と電源とは電気的に接続されており、抵抗加熱によって、蒸発源が加熱され、蒸発源に保持された材料が、前記蒸発源の上方に保持された被処理物に成膜される蒸着装置および蒸着装置に用いられる電極カバーを提供する。 （もっと読む）

封止されたプラズマ敏感性デバイスの作製方法。この方法は、基板に隣接してプラズマ敏感性デバイスを設けるステップと、非プラズマベースのプロセス、または修正型スパッタリングプロセスから選択されたプロセスを使用して、プラズマ保護層をプラズマ敏感性デバイス上に堆積するステップと、少なくとも１つのバリアスタックをプラズマ保護層に隣接して堆積するステップであって、その少なくとも１つのバリアスタックが、少なくとも１つのデカップリング層と、少なくとも１つのバリア層とを備え、プラズマ敏感性デバイスが基板と少なくとも１つのバリアスタックとの間で封止され、デカップリング層、バリア層、または両方がプラズマプロセスを使用して堆積され、封止されたプラズマ敏感性デバイスが、プラズマ保護層なしで作製された、封止されたプラズマ敏感性デバイスに比べて、プラズマによって引き起こされる損傷の量が低減されている、ステップとを含む。封止されたプラズマ敏感性デバイスもまた述べられている。
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【課題】発光特性の劣化が少ない有機エレクトロルミネッセンス素子を提供する。
【解決手段】透明基板２上に形成される透明電極４と、透明電極上に形成され画素領域を規定する開口６ａを有する無機層６と、開口及び該開口周縁部６ｂにおける無機層上面に形成される有機発光層８と、有機発光層の上面及び側面を覆い透明電極の対極となる上部電極１０と、上部電極の上面及び側面を覆う保護層１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ素子が用いられ、構造が簡単であり、電力効率の高い表示素子を提供する。
【解決手段】所定形状を表示する表示素子であって、透明絶縁基板上に、透明陽極と、有機ＥＬ化合物層と、該所定形状と略同一形状にパターニングされた陰極バッファー層と、陰極とがこの順序で積層された有機エレクトロルミネッセンス素子からなることを特徴とする表示素子。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気を解除することなく、蒸着材料の取替え作業が可能な補助真空チャンバを備える有機発光素子の蒸着装置及び蒸着材料の充填方法を提供する。
【解決手段】基板の一領域に蒸着材料を蒸着する工程を行う第１チャンバと、前記第１チャンバと接続され前記蒸着材料を充填する工程を行う第２チャンバと、前記第１チャンバ内に位置する第１ガイドレールと、前記第２チャンバ内に位置する第２ガイドレールと、前記第１ガイドレールと前記第２ガイドレールに沿って移動する移動装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】プールカラー具現のために基板上に有機薄膜を形成する時に、バッチタイプで基板装着後、ポンピング、蒸着及び基板取出しを一ラインで連続的に遂行することで、蒸着物質の加熱及び昇温にかかる時間を最小化することができる薄膜蒸着装置及びこれを利用した薄膜蒸着方法を提供する。
【解決手段】内部を真空で維持させるポンプ部を具備して、基板上に蒸着物質を蒸着する工程を遂行する少なくとも一つのチャンバと、前記チャンバ内部に蒸着物質が蒸着される前記基板及びマスクを支持する基板ホルダーと、前記チャンバ内部に前記基板と対向するように設置されて、少なくとも一つの蒸着物質を収納・加熱して蒸発させる多重蒸着物質るつぼと、前記蒸着物質の中で選択されるいずれか一つを局所的に加熱する加熱部とを具備する蒸発源と、前記チャンバを少なくとも一つのチャンバ安着位置に順次移動させるチャンバ移動手段と、を含む。 （もっと読む）

【課題】電子注入性を十分に確保すると共に、光透過率も維持可能な有機ＥＬ素子を提供する。
【解決手段】この有機ＥＬ素子は基板１上の陽極２と有機層１０と陰極３とからなり、有機層１０と陰極３との間には、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類金属から選ばれた金属と、アルカリ土類金属、希土類金属、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｄ、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｚｎから選ばれた金属からなる金属ハロゲン化物とを含有した介在層２０が５〜５０ｎｍで配置されている。介在層２０によって、陰極３の金属による有機層１０中のキレート材料への影響を抑制して、キレート材料の分解を抑制すると共に、アルカリ金属等を金属ハロゲン化物と混合して出現する半導体的な特性により電子注入性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】有機物の蒸着時にクリスタルセンサに熱衝撃が加えられるのを防止するために、カバーを冷却コイルラインから構成するクリスタルセンサ及びそれを備えた有機発光素子の蒸着装置を提供する。
【解決手段】チャンバと、前記チャンバ内部の一領域に装着されているステージと、前記ステージ上に備えられ、その内部に基板に蒸着する蒸着材料を保管する蒸着容器と、前記ステージ上に位置して前記蒸着容器を加熱する加熱装置と、前記蒸着材料が蒸着される位置に備えられるクリスタルセンサを含み、前記クリスタルセンサは、冷却コイルラインを備えるカバーと、前記カバーの内部に位置するセンサ回転モータと、前記カバーの内部に位置し、前記センサ回転モータと接続されるセンサ部とを含む。 （もっと読む）

【課題】大型の基板上への蒸着膜の成膜を、基板面内での膜厚分布の均一性を保ちつつ、長時間にわたって安定して行えるようにする。
【解決手段】真空蒸着チャンバー１内において、基板２に対して直線移動する第１の蒸着源３および第２の蒸着源４より有機ＥＬ材料を蒸発させて蒸着膜を成膜する。各蒸着源は蒸発材料を放出する微小面積の開口を有しており、各蒸着源毎に蒸発速度を検知する。そして検知された蒸発速度に基いて、基板への蒸着膜の堆積速度が一定になるように各蒸着源の直線移動の速度制御を個別に行う。例えば蒸発速度が低減した場合には直線移動速度を遅く、蒸発速度が増大した場合には直線移動速度を速くすることで堆積速度を一定に保つ。これにより膜厚分布の均一性が向上する。 （もっと読む）

【課題】メタルマスク用収納容器において、メタルマスク用収納容器内での発塵を防止し、収納、又は搬送時でのメタルマスク用収納容器内のメタルマスクの振動を防止し、メタルマスクへの傷、変形を防止することを可能としたメタルマスク用収納容器を提供する。
【解決手段】収納容器はメタルマスクを収納する箱部と、容器内を密閉する蓋部からなり、メタルマスクの裏面を支持する部分に角部材と、角部材のメタルマスクと接する面上に段差部と、メタルマスク裏面と接する段差部の面上にの弾性体層とを有し、蓋部はメタルマスクの表面と接する押さえ用部材と、押さえ用部材上の弾性体層とを有し、収納したメタルマスクが上、又は下側のゴム硬度４０〜５０のシリコンゴムからなる弾性体層に固定され、且つ載置したメタルマスクの自重によりゴム硬度４０〜５０のシリコンゴムの弾性体層に固定するメタルマスク用収納容器。 （もっと読む）

本発明は、基材棒と、各々前記基材棒上に形成された第１電極、前記第１電極上に形成された有機物層、および前記有機物層上に形成された第２電極を有し、前記基材棒上で前記基材棒の長さ方向に沿って連続して接触される複数の有機発光単位体であって、前記複数の有機発光単位体のうちのいずれか１つの有機発光単位体の第１電極は前記いずれか１つの有機発光単位体に隣接した他の１つの有機発光単位体の第２電極と相互接触するように配置されている複数の有機発光単位体と、を含むことを特徴とする有機発光素子およびその製造方法を提供する。
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【課題】低消費電力で、寿命の長い発光装置を提供する。
【解決手段】正孔注入材料および正孔輸送材料を含む混合領域と、正孔輸送材料およびホスト材料およびゲスト材料を含む混合領域と、ホスト材料およびブロッキング材料を含む混合領域と、ブロッキング材料および電子注入材料を含む混合領域が順に積層され、ホスト材料の濃度が高い領域のみに発光を呈する発光材料が添加された発光装置である。 （もっと読む）

【課題】大型基板上に複数のパネルを作製する多面取りプロセスを採用する場合、あるいは長時間製造を続ける場合などにおいて、一定の膜厚分布が安定して得られるようにする。
【解決手段】真空チャンバー１内で、基板５に対向して配置した蒸着源３から蒸発粒子７を蒸発させて、前記基板上に蒸着を行う。蒸着源位置制御機構４により基板５と蒸着源３に備えられた開口部３ａとの離間距離ＴＳを変化させることにより、前記基板上に成膜された薄膜の膜厚分布の経時変化を抑制する。 （もっと読む）

第１および第２の別個に蒸発した材料を混合して基板表面に堆積させて層を形成する方法である。この方法では、第１の材料が金属を含み、第２の材料は非金属であり、蒸発した材料が基板表面上に供給可能になるように配設された混合マニホールドを提供すること；第１および第２の材料を別個に蒸発させる第１および第２の加熱素子を提供し、蒸発した材料が混合マニホールド内に供給可能になるように加熱素子を配設すること；および、第１および第２の材料を制御された速度で計量して第１および第２の加熱素子にそれぞれ供給し、金属を含んだ蒸発した材料を混合マニホールドに供給し、ここで第１および第２の材料を混合した後、基板表面に堆積させて、金属を含んだ層を形成することを含む。
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本発明は、発光ダイオードに代表される、基板上に複数の層を積層してなる発光装置に関するものである。上記複数の層には、互いに電気的に接続しているアノード接触部と、カソード接触部と、上記アノード接触部および上記カソード接触部の間に配置されている発光層群と、が含まれる。上記発光層群は、ポリマー材料からなるポリマー層と、真空中で気化することによって蒸着可能な有機物質の分子であって、真空蒸着された小さな分子を含む低分子層と、を備えている。上記低分子層における小さな分子は、上記低分子層が上記カソード接触部に隣接して配置されている場合には、Ｆｃ／Ｆｃ⁺（フェロセン／フェロセニウム酸化還元ペア）に対して最大約−１．５Ｖの酸化電位を有するドナー分子であり、上記低分子層が上記アノード接触部に隣接して配置されている場合には、Ｆｃ／Ｆｃ⁺（フェロセン／フェロセニウム酸化還元ペア）に対して少なくとも約−０．３Ｖの還元電位を有するアクセプター分子である。
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【課題】照明装置を大面積化した際に、発光領域内での輝度のばらつきを抑制することができる照明装置を提供する。
【解決手段】透光性を有する基板上に透明導電膜からなる第１の電極を形成し、前記第１の電極上に発光物質を含む層を形成し、前記発光物質を含む層上に第２の電極を形成し、前記発光物質を含む層及び前記第２の電極に第１の開口部を形成して、前記第１の電極の一部を露出させ、前記第２の電極及び前記第１の開口部を覆うように絶縁膜を形成し、前記第１の開口部に形成された絶縁膜に第２の開口部を形成して、前記第１の電極の一部を露出させ、前記第２の開口部において前記第１の電極と電気的に接続される第３の電極を形成する。 （もっと読む）