【課題】本発明の課題は、蒸着精度を向上し、設計自由度を向上可能な有機EL表示装置を提供することにある。
【解決手段】アノードと、カソードと、アノードとカソードの間に挟まれる有機層を備えた複数の有機ＥＬ素子がマトリクス状に配置された有機ＥＬ表示装置において、前記複数の有機ＥＬ素子は、行方向で異なる色を発する有機ＥＬ素子を含み、該有機層の少なくとも一つの層は、その列方向の端部において、その蒸着の行方向の幅が最短部に向かって徐々に狭くなった円錐曲線の外縁を備えている。 （もっと読む）

【課題】画素の発光中心位置をより正確に配置することが可能な有機ＥＬディスプレイの製造技術およびそれに関連する技術を提供する。
【解決手段】有機ＥＬディスプレイの製造方法は、複数の開口を有するマスクを被処理基板に対して位置決めする工程と、当該マスクを用いた蒸着によって複数の画素のそれぞれに対応する有機膜を形成する工程とを含む。マスクの各開口の中心位置は、それぞれ、対応画素の理想中心位置からマスク内の基準位置側に向けてシフトされている。 （もっと読む）

【課題】発光層形成に際しての工程の簡略化及びコストの低減を図ることができるだけでなく、発光効率を高めることが可能とされている有機ＥＬ素子を提供する。
【解決手段】発光層として、青色発光領域１１、赤色発光領域１２及び緑色発光領域１３をそれぞれ形成するための青色発光層Ｂ、赤色発光層Ｒ及び緑色発光層Ｇを有し、緑色発光層Ｇが、赤色発光領域１２において、赤色発光層Ｒの陰極側の面を覆うように設けられた緑色発光層延長部Ｇ１を有するように構成されている、３色塗分け方式で緑色発光層、赤色発光層及び青色発光層が形成されている有機ＥＬ素子１。 （もっと読む）

【課題】 広範囲な蒸着レートの設定が可能で、安定した蒸着レートを得ることが可能な安価な蒸着源セルを提供する。
【解決手段】 蒸着装置に用いる蒸着源セル２０であって、上部に開口部を有する坩堝３０と、坩堝３０の開口部の面積を制限する絞り部４２を有する独立した絞り部材４０と、絞り部材４０を直接加熱するヒータ５０とを備える構成とした。これにより、坩堝内部にてランダムに蒸発した蒸着物質１１８の噴出流量、噴出速度及び噴出方向を安定させることができる。 （もっと読む）

【目的】
耐久性に優れた電極引出し部を実現し、長寿命で表示品位が高く、安定な生産が可能な発光ディスプレイパネルを提供する。
【解決手段】
基板上に、少なくとも陽極、発光層及び陰極が積層され、陽極と陰極が交差する領域が発光領域となる発光ディスプレイパネルであって、基板上には、各々が陰極の端部に接続される電極引出し部が形成され、電極引出し部の接続側端部には接続側端部を被覆する絶縁体層が形成され、陰極は絶縁体層上に乗り上げるように形成されるとともに、陰極の端部は電極引出し部の絶縁体層に被覆されない部分に接続されている。 （もっと読む）

【課題】膜を緻密にすることができる成膜方法を提供することを課題とする。また、均質な膜を形成することができる成膜方法を提供することを課題とする。そして、これらの成膜方法や成膜装置を適用して発光素子を作製することで、寿命が長く発光効率の高い発光素子を得る。
【解決手段】有機化合物２１１が充填された蒸発源２１０を有する成膜室２００内において、基板保持手段２０１に基板２０２を固定する。次に、この有機化合物２１１を気化させる。図において２１２は気化している有機化合物を表す。さらにここで、有機化合物を気化させて蒸着している最中に、気化している有機化合物２１２に対してレーザビーム２０３を照射する。 （もっと読む）

【課題】蒸発の起動停止および蒸発量を容易に調整できる。
【解決手段】蒸発容器２１内で材料収納部２０Ａに収容された材料を加熱溶融する第１加熱装置２２と、下部を溶融材料Ａに浸漬させて外周部材２３ａに同伴させ上方に搬送する円筒状の搬送ドラム２３と、搬送ドラム２３に同伴させて蒸発部２０Ｂに搬送された溶融材料Ａを加熱して蒸発させる第２加熱装置２４と、第２加熱装置２４の加熱温度を制御する蒸発制御装置とを具備した。 （もっと読む）

【課題】蒸発源の材料の減少に伴って蒸発流の密度分布の勾配が大きくなっても、均一な膜厚を形成できる。
【解決手段】真空蒸着室１１内で、蒸発源１の材料を加熱して気化し、蒸発源１の上方に配置された基板３の被蒸着面３ａに蒸着する時に、蒸発源１から放出された蒸発流の密度分布を複数の水晶振動子１５Ａ〜１５Ｃを介して膜厚センサ１５で検出し、膜厚制御装置２１により、前記密度分布の勾配が大きくなった時に、前記密度分布の勾配に応じて、鉛直距離調整装置１４により蒸発源１と被蒸着面３ａとの距離を増大させ、蒸発流の密度分布の均一性が低下することを抑制する。 （もっと読む）

【課題】複数段の有機層を持つ有機半導体を効率的に、かつ、一部の故障が発生しても、ライン停止することなく生産を継続でき、かつ、任意の段数の有機半導体を製造する方法及び装置を提供する。
【解決手段】複数段の有機層を持つ有機ＥＬパネルを製造する方法であって、電荷発生層蒸着室１、正孔注入層蒸着室２、正孔輸送層蒸着室３、発光層蒸着室４、電子注入層蒸着室５及びＡＬ蒸着室６よりなる蒸着処理ラインを並列に配置し、そのうちの一の蒸着処理ラインの入口からその出口へ基板を搬送しつつ該基板上に複数層よりなる第１段目の有機層ユニットを成膜した後、該基板を前記一の蒸着処理ラインの出口からバイパスライン８，９により搬出して並列に配置された蒸着処理ラインのうちの他の前記蒸着処理ラインの入口へ搬入し、更に、当該他の蒸着処理ラインの入口からその出口へ前記基板を搬送しつつ該基板上に複数層よりなる第２段目の有機層を成膜する。 （もっと読む）

【課題】有機発光素子の製造装置において、膜厚の均一性を失うことなく材料利用効率を向上させる。
【解決手段】蒸着源２０と、開口２３ａを有する膜厚補正板２３は、矢印で示すように、基板１に対して相対的にＸ方向へ移動する。膜厚補正板２３は、蒸着源２０と基板１との間に配置され、開口２３ａは、移動方向（Ｘ方向）の開口幅が開口２３ａの端部よりも中央部で狭い開口形状を有する。前記移動方向に交差するＹ方向に複数の蒸着源２０が設けられ、膜厚補正板２３は、複数の蒸着源２０のそれぞれに対応して独立した複数の開口２３ａを有する。 （もっと読む）

【課題】成膜時の基板とマスクを隙間無く良好に密着させる。
【解決手段】成膜面を下向きに配置した基板１０にマスク２０を密着させて、基板１０上に有機ＥＬ素子の有機ＥＬ層を成膜する。基板１０とマスク２０を密着させる前の状態で基板１０のたわみ量がマスク２０のたわみ量よりも大きくなるように設定しておき、マスク２０を基板１０に圧接することでマスク２０を基板１０のたわみ形状に倣わせて密着させ、その状態で蒸着を行う。マグネットや押圧装置を用いることなく、基板１０の自重によるたわみを利用してマスク２０と基板１０を密着させ、パターンずれ等のない高精度なパターンを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】スイッチング薄膜トランジスタ及び駆動薄膜トランジスタに要求される特性を同時に満たし、有機発光表示装置の特性を改善する。
【解決手段】本発明は、基板と、前記基板上に形成される第１及び第２信号線と、前記第１及び第２信号線と接続され、第１半導体を有するスイッチングトランジスタと、前記スイッチングトランジスタと接続され、第２半導体を有する駆動トランジスタと、前記駆動トランジスタと接続される第１電極と、前記第１電極と対向する第２電極と、前記第１電極と前記第２電極との間に形成される発光部材とを有し、前記第１半導体と前記第２半導体は互いに異なる層に形成される有機発光表示装置及びその製造方法に関する。 （もっと読む）

【解決手段】成膜室１０には、基板ステージ１２、蒸着材料１７が充填されている蒸発源１６が備えられている。成膜室１０の外部にレーザビームを発する光源２２が設けられている。光源２２からのレーザビームは光導入窓１４を通り、蒸着材料１６に照射される。レーザビームの照射により蒸着材料１６を気化し、基板３０に膜が形成される。
【効果】気化された蒸着材料は組成比が変化しないため、緻密な薄膜、歪みや欠陥の少ない均質な薄膜を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】従来技術の欠点を解消した、白色光を発光する有機エレクトロルミネセンスデバイスを提供する。
【解決手段】ここに開示されているのは、ａ）基板と、ｂ）この基板に配置された第１電極と、ｃ）この第１電極に配置され、２つ以上の発光材料を含む複合発光層と、ｄ）この複合発光層に配置された第２電極とを含む有機エレクトロルミネセンスデバイスであり、上記の電極により、共通にまた個別に複合発光層がアドレッシングされる。 （もっと読む）

【課題】発光物質及び溶融塩を含む発光層形成用組成物、並びにこの組成物を含有した高効率の有機電界発光素子の提供。
【解決手段】有機陽イオンと有機または無機陰イオンとを含み、例えば、１−エチル−３−メチルイミダゾリウム塩化物、側鎖に溶融塩を持つ高分子等である溶融塩および発光物質からなる組成物。溶融塩は、発光物質の総質量に対して0.001〜20質量含有され、発光物質は高分子発光材料等が使用される。該組成物を有機電界発光素子の発光層とすることにより、ディスプレイ駆動時に溶融塩によって電界誘導電荷分離層が発光層内に形成されてキャリア注入を改善することで、発光効率を向上させ、駆動電圧、寿命特性が改善される。 （もっと読む）

【課題】基板とマスクを高いアライメント精度で互いに密着させる。
【解決手段】基板１０の両端を、基板支持部材１１と平面部材１３の間に挟持し、基板１０の中央部を基板押圧部材１２によって凸形状に撓ませる。マスク２０も、マスク置台２１上でマスク押圧部材２２によって基板１０に向かって凸形状に撓ませる。マスク２０と基板１０の面方向のアライメントを行った後、両者を接近させて凸形状部を初期密着させ、基板押圧部材１２およびマスク押圧部材２２を後退させながら、マスク２０と基板１０の全面を互いに密着させる。マスク押圧部材２２は省略してもよい。 （もっと読む）

【課題】素子の耐衝撃性及び密封特性を高める平板表示装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】画素を含む画素領域とその以外の非画素領域に区分される第１基板と、前記第１基板の前記画素領域を含む所定領域に対向する第２基板と、前記第１基板と前記第２基板の間に形成されて前記第１基板と前記第２基板を密封するフリットを含み、前記第１基板の非画素領域はバッファー層が形成されている透明基板と前記バッファー層上に形成されて所定の領域がエッチングされている絶縁膜と前記絶縁膜上の所定領域にパターニングされて形成された第１金属膜及び前記第１金属膜の上部に形成される第２金属膜と前記絶縁膜と前記第２金属膜上に形成される保護膜を含む。 （もっと読む）

【課題】電子注入効率が高く低電圧駆動が可能な有機発光素子を製造する方法を提供する。
【解決手段】電子注入層を形成する工程は、ドーパントの原料であるドーパント材料５を収容容器３内でガス状態にする工程と、ガス状態のドーパント材料を収容容器３から基板までの間で加熱された媒体１を通過させる工程と、有機化合物を電子注入層として形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ素子の上部電極に接続された補助配線を、層構造を複雑化させることなくまた工程数の増加なく形成することが可能な表示装置および表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板３上の各画素にパターン形成された複数の下部電極９と、下部電極９と同一層からなり下部電極９に対して絶縁性を保って配置された補助配線９ａと、下部電極９の中央部を露出させる画素開口Ａと補助配線９ａに達する接続孔１７ａとを有して基板３上に形成された絶縁膜１７と、画素開口Ａの底部を覆うと共に隣接する画素間において端部の一部が重なる状態でパターン形成された有機層１１Ｂ，１１Ｇ，１１Ｒと、有機層１１Ｂ，１１Ｇ，１１Ｒを覆うと共に有機層１１Ｂ，１１Ｇ，１１Ｒ間において接続孔１７ａを介して補助配線９ａに接続された上部電極１３とを備えたことを特徴とする表示装置１’。 （もっと読む）

【課題】
簡単な構成で安定した蒸着を継続することができ、蒸着終了後のメンテナンスが容易に実施できる坩堝構造、及び蒸着方法を提供する。
【解決手段】
本発明による蒸着坩堝は、材料を充填する部分並びに当該材料の蒸発による蒸気圧を制御するオリフィス板で形成された蒸発室と、前記オリフィス板と蒸発された前記材料を蒸着坩堝の外側へ吐出する吐出板との間の空間に形成される圧力制御室とを備える。また、前記吐出板上に前記圧力制御室の外側に突き出る突起の上端に前記第２開口部を形成し、この突起部の側面にヒータを対向させ、且つこのヒータの上部で当該第２開口部よりも低い位置に断熱機構を設けてもよい。更に、前記蒸着坩堝には、前記圧力制御室の温度を、前記蒸発室の温度より高く保つように、互いに独立して温度設定が可能な蒸発室用ヒータと圧力制御室用ヒータとを設けた。 （もっと読む）