【課題】磁場発生器における温度の上昇を抑制することができるＸ線管装置を提供することを目的とする。
【解決手段】熱伝導率が互いに異なる複数の部品として、鉄からなる磁性部４Ａと銅からなる高熱伝導部４Ｂとを採用して、磁場発生器４を、磁性部４Ａおよび高熱伝導部４Ｂの積層構造に構成する。部品のうち高い方の熱伝導率である高熱伝導部４Ｂが放熱作用を有するように、冷却用のオイルなどに代表される冷媒あるいは磁場発生器４を固定する固定部を高熱伝導部４Ｂに接触させる。このように放熱作用を有することで、磁場発生器４で発生した熱は、部品のうち高い方の熱伝導率である高熱伝導部４に熱伝導して、放熱する。その結果、磁場発生器４における温度の上昇を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】イオン回収装置のイオン衝突面および／またはイオン衝突面に堆積した物質のスパッタリングによる再拡散を防止することができる極端紫外光光源装置を提供する。
【解決手段】ターゲットである溶融ＳｎのドロップレットＤにレーザ光を照射してプラズマを生成し該プラズマから極端紫外光を発生し、この極端紫外光の発生とともに生成されるイオンの流れ方向を磁場または電場によって制御する極端紫外光光源装置において、前記イオンを回収するイオン回収筒２０を設け、イオン回収筒２０のイオン衝突面Ｓａ，Ｓｂに、前記イオンによるスパッタ率が１原子／イオン未満となる金属であるＳｉを配置またはコートする。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の線量分布の差が低減されて、各検出器列からの投影データに基づき再構成される複数枚の断層画像の画質の差を抑えることができるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管は、電子線を放出する陰極と、陰極と対向する位置に傾斜面が形成され、放出された電子線が傾斜面に衝突することで、傾斜面の傾斜角度に応じた方向にＸ線を放出する円盤状のターゲットとを備え、ターゲットの傾斜面は、円周方向に等分された複数の領域からなり、複数の領域における傾斜角度は、互いに隣接する領域と異なり、隣接する領域の境界部分は、滑らかに繋がれている。 （もっと読む）

本発明は、移動面（１０）上に合焦する、第１の波長（λ_１）の第１の光ビームを放射する一次光源（Ｆ_１）から二次源を発生させる装置に関し、前記第１のビームは、二次ビーム（Ｆ_２）を発生させるために本装置と相互作用し、本装置はさらに、前記移動面上の、前記二次源の放射点の向きおよび位置を測定するために前記移動面の向きおよび位置を制御する光学素子を備えることを特徴とし、干渉計型測定によって移動面（１０）の向きおよび位置を制御する上記光学素子は、
− ２つの分岐に分割される制御レーザビーム（１１）であって、一方の分岐は、固定された基準ビームであり、他方の分岐は、移動面から反射される移動解析ビーム（１２）である、制御レーザビーム（１１）と、
− 前記基準ビームと前記解析ビームとを干渉させて干渉縞を発生させる手段と、
− 前記移動面の向きおよび位置に関する情報を搬送する干渉縞を撮像するカメラ型手段（１６）と、
− 前記干渉画像を解析する手段（１７）と、
− 前記情報搬送信号の解析に基づいて前記移動面の向きおよび位置を制御するフィードバックループを発生させる手段（１８）と、を含むことを特徴とする。
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【課題】高い変換効率を維持しつつ、長期間にわたって安定した信頼性の高い極端紫外光を生成することができる極端紫外光源装置を提供すること。
【解決手段】液体金属であるドロップレットＤにプリパルスＰ１を照射した後にメインパルスＰ２を照射してＥＵＶ光を生成する極端紫外光源装置において、プリパルスＰ１をドロップレットＤ１に照射しドロップレットＤ１の一部を残してプリパルスレーザ光照射側の該ドロップレットＤ１空間外の異なる空間にプリプラズマ１の空間を生成するプリパルスレーザと、プリプラズマ１の空間にメインパルスＰ２を照射してＥＵＶ光を生成するメインパルスレーザと、を備える。 （もっと読む）

【課題】回転陽極より発生する振動を効率よく低減できるようにしたＸ線管装置を提供する。
【解決手段】回転陽極４ｆを支持する回転陽極支持手段１０とＸ線管取り付け手段１４との間に、回転陽極が回転する際発生する振動を減衰する防振部材１０ｂを介在させたことにより、回転陽極や回転陽極支持手段等の製作精度や組み立て精度等が原因で振動が発生しても、防振部材により吸収、減衰されるため、Ｘ線管取り付け手段よりハウジング２側へ伝播される振動や、これに伴う騒音を大幅に低減することができる上、防振部材により回転陽極支持手段が軟支持構造となって、回転陽極より発生する振動を抑制するため、回転陽極自体の振動を軽減することもできる。 （もっと読む）

本発明は、出力定格が向上された撮像用のＸ線管に関し、より具体的には、回転陽極型のＸ線源を用いるＸ線に基づくスキャナシステム用のマルチセグメント陽極ターゲット１０２’に関する。Ｘ線管は、陽極ターゲット１０２’の表面に入射する電子ビーム１０５ａに晒された時にＸ線を放射する陽極ターゲット１０２’を備えた、回転可能に支持された実質的に円盤状の回転陽極１０２を有し、回転陽極ディスク１０２は２つ以上の陽極ディスクセグメント１０２ａ及び１０２ｂに分割され、各ディスクセグメントは、回転陽極ディスク１０２の回転軸１０３ａに垂直な平面に対して異なる鋭角αだけ傾斜された円錐面を有することにより、それ自身の焦点軌道幅を有する。電子ビーム１０５ａをパルス化する制御ユニットが設けられ、所与の角度範囲内の傾斜角αを有する選択可能な陽極ディスクセグメント１０２ａ若しくは１０２ｂ、又は陽極ディスクセグメント１０２ａ若しくは１０２ｂのうちの選択可能な組内の何れか１つに入射する時にのみスイッチオン状態を取るデューティサイクルを電子ビームが有するように電子ビーム１０５ａをパルス化するよう適応される。電子ビームのパルスシーケンスを制御することは、所望の視野の角度サイズβに応じた最小の取り得る傾斜角αを有する焦点スポット軌道１０６ｂの最適なセグメントを選択することを可能にし、最大の輝度の焦点スポット１０６及び最大化された出力定格を達成する助けとなる。本発明の利点は、従来の回転陽極と比較して向上された画像品質にある。
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本発明は、実質的に中心に孔の開けられた円盤の形態を有する、回転ターゲット用のマウントに関する。このマウントは、ニッケルベースの構造的に強化された超合金である材料から作られ、その周辺に沿ってより薄い領域が設けられる円盤の形状を取る。この薄い周辺領域と中央開口部を取り囲む厚い領域とは、３°と１０°の間の傾斜を有するショルダ領域によって分離され、この薄い周辺領域の中央孔を取り囲む厚い領域に対する厚さの比は、１．５と３の間にある。この超合金は、機械加工後に構造的強化処理を行ったインコネルである。このマウントの面のうちの少なくとも１つは、熱放射によって熱を放出するのに役立つ放射性の被覆で被覆される。
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異なった形状の円錐ビームで物体を走査するために、本発明は、可動式X線管を用いたCTスキャナを提供する（「X線管を複数の所定の位置の間で動かす」ことの意味は、陽極ディスクが複数の対応位置の間で動かされる一方、X線管のシェルは動かない状況も含む）。そのX線管は、軸方向に沿って動作可能であるだけでなく、CTスキャナ・ガントリーの半径方向に沿っても動作可能である。そのスキャナは、X線管を含み、X線管は：複数の焦点軌道を有する陽極ディスクであり、各焦点軌道が、他の焦点軌道の陽極角とは異なる陽極角を持ち円錐形状である、陽極ディスク；及び複数の焦点軌道の少なくとも１つをターゲットにした電子ビームを放射するように構成された第１陰極；をさらに含む。異なる焦点軌道が電子ビームによって照射されるとき、異なる形状の円錐ビームを持つX線ビームが生成される。
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【課題】Ｘ線を所望の検出予定領域に最適に照射できるＸ線装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線装置１は、Ｘ線を被検体Ｐに向けて発生するＸ線管２５と、被検体Ｐを透過したＸ線を検出するＸ線検出器１１と、Ｘ線管２５と前記Ｘ線検出器１１とを支持する支持部１２と、を備え、Ｘ線管２５は、電子線を第１方向Ａに向けて放出する陰極部２７と、陰極部２７と対向する位置に配され、第２方向Ｂを有する対向面３５ａが形成され、放出された電子線が当該対向面３５ａに衝突することで対向面３５ａの傾斜角度に応じた方向にＸ線を放出するターゲット３５と、陰極部２７とターゲット３５とを絶縁して支持する外囲器２９と、第１方向Ａと第２方向Ｂとの相対角を調整する角度調整可能な回転軸３７とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高輝度の電子線が照射された場合においても、ターゲット上に形成された電子線照射部の温度上昇を抑制し、熱応力によるターゲットの荒れを抑制するとともに、ターゲットの飛散を抑制して、高輝度のＸ線を安定して発生させる。
【解決手段】所定の電子線を発生させるための電子線源と、前記電子線の照射を受けて電子線照射部を形成し、この電子線照射部から所定のＸ線を生成するターゲットとを具え、前記ターゲットは、前記電子線照射部を中心として一定の半径ｒの曲率を有する半球状又は半円柱状の凸部を含むようにしてＸ線発生装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】１次Ｘ線の混入がほとんどない単色Ｘ線を発生させることができ、しかも放熱性に優れているため、大強度のＸ線を発生することができるＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】放熱性に優れた回転陽極のエッジ付近１次ターゲット層と２次ターゲット層を重ねて設置する。２次ターゲットで発生した特性Ｘ線は、回転陽極に近接したスリット２０より、ベリリウム層３０を介して電子ビームに対して垂直方向に取り出す。１次Ｘ線は、１次ターゲット層と、遮蔽材によって吸収されスリット２０からは、射出されない。 （もっと読む）

【課題】陽極が発生する熱の放出特性を向上させることができ、しかも、長期にわたって信頼性の高い回転陽極型Ｘ線管装置を提供する。
【解決手段】回転陽極型Ｘ線管装置は、Ｘ線透過板１１ｂと一体化された真空外囲器１１と、真空外囲器内のＸ線透過板上に形成され、真空外囲器と一体的に回転可能な透過型の陽極ターゲット１５と、真空外囲器を収納し、回転可能に保持し、陽極ターゲットと対向したＸ線放射窓３ａを有したハウジング３と、陰極１３と、陰極保持体１３ａと、軸受機構５５と、真空シール機構５３と、回転駆動装置と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】
より高い冷却効率を達成し、冷却剤への過度の熱的応力を防止したＸ線冷却システムを提供する。
【解決手段】 Ｘ線管冷却システムは、カソードシリンダー及びＸ線管ハウジングの間に接続され且つ電子源及びターゲットアノードの間に配置されたシールド構造を利用する。シールドはＸ線管の寿命を延長するべくＸ線管及びシールドの全体的な冷却を改善するため複数の冷却フィンを有し、該フィンは、冷却剤リザーバー内に浸漬されたとき、シールドから冷却剤への熱転移を改善することを容易にし、その冷却効果は、シールド内に形成された複数の通路により提供された対流冷却システムにより更に強化される。冷却ユニットは、リザーバーから流体を取り、流体を冷却し、冷却流体を冷却通路を通して循環させる。冷却剤は、通路から出力され、冷却フィンに亘って方向付けられる。通路は、シールドのある区分で、他の区分よりも大きい熱転移率を提供するように配位される。 （もっと読む）

大きな検出器アレイを持つコーンビームＣＴスキャナは、増加された散乱放射線に苦しむ。この放射線は、激しい画像アーチファクトをもたらす場合がある。本発明の例示的な実施形態によれば、散乱放射線を直接測定する検査装置が提供される。この測定は、アノードディスクの５つの標的領域５１２に配置されるスリット５１０を有するアノードディスク５００に含まれるＸ線管を用いて実行される。スリット開口部は、第２のアノード５５０からＸ線５５５の第２の源を交互に作成するためにＸ線管のカソードから電子ビーム５８０により少なくとも部分的に透過されるよう構成される。これにより、第２の源はＸ線検出器の散乱防止グリッドの焦点領域の外側に配置される。コーンビームＣＴスキャナは、コーンビームアーチファクトに苦しむ場合もある。スキャンデータの追加的なセットを測定するのに役立つあるＸ線管が説明される。
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【課題】バイアス電圧を安定させ、Ｘ線焦点サイズおよびＸ線強度を安定させることができるバイアス電圧制御回路およびこれを用いたＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】昇圧された高電圧に重畳されたバイアス電圧を検出し検出電圧を生成するバイアス電圧検出部５１と、同期クロックにより基準パルスを生成するパルス発生部６１と、検出電圧と基準パルスから発生させた鋸波との交点のタイミングでフィードバック用パルスを生成する信号変換部７１と、生成されたフィードバック用パルスを２次側の回路から１次側の回路に伝送する信号伝送部７４と、伝送されたフィードバック用パルスを用い基準パルスから発生させた鋸波をピークホールドして検出電圧を復元する検出電圧復元部７７と、復元された検出電圧に基づいて１次側の回路でバイアス電圧を制御する１次電圧制御部７８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】回転陽極型Ｘ線管を、冷却媒体を使用して冷却することにより、出力されるＸ線の特性を、長期に亘って安定に維持可能とする。
【解決手段】この発明の回転陽極型Ｘ線管装置は、陽極ターゲット（１５）と一体化された真空外囲器（１１）と、真空外囲器を収納し、回転可能に保持するハウジング（５）と、真空外囲器の陽極ターゲットに近接して冷却媒体が循環する循環路（５ｂ，５ｃ，７ｃ）と、陽極ターゲットに対向して静止するように真空外囲器内に収納配置された陰極（１３）と、陰極を支持する陰極支持体（１３ａ）と、真空外囲器とハウジングに固定された固定体との間に設けられた軸受機構（５５）と、陰極支持体またはハウジングに固定された固定体と真空外囲器との間に設けられた真空シール機構（５３）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】バリエーションに富んだＸ線を放出でき、Ｘ線管電流を増大できるＸ線管装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管装置は、互いに電子放出量の異なる２つのフィラメントを有した陰極と、陰極に対向配置され、陰極から放出される電子が衝突されることによりＸ線を放出する陽極ターゲットと、陰極及び陽極ターゲットを収容した真空外囲器と、を具備したＸ線管と、２つのフィラメントに電気的に接続され、２つのフィラメントを同時に駆動させるかどうか制御する制御部と、を備えている。 （もっと読む）

本発明の１実施例に従い、ガントリー回転子に一時的にエネルギーを貯蔵する検査装置が提供可能である。Ｘ線管の回転可能に取り付けられた電極は、高ピーク出力伝達を避けるために検査装置の回転部のＸ線管を駆動するためのエネルギー緩衝用のエネルギー貯蔵装置として使用可能である。特にＸ線管は、Ｘ線管のＸ線照射時間のために、Ｘ線照射時に回転電極の貯蔵エネルギーを回収し、そのエネルギーを変換し、Ｘ線管に管電流と高電圧を供給する事により、使用されても良い。
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リソグラフィ装置の光学部品に対して放電放射源の放射軸を位置合わせする方法は、アノードとカソードとの間の放電空間内の物質内に放電を生成し、電磁放射を生成するようにプラズマを形成することを含む。この放電は、前記放電空間に近接する表面上の領域をエネルギビームで照射することにより誘発される。前記領域の位置は、前記リソグラフィ装置の放射特性、および／または、前記リソグラフィ装置のコレクタの温度に応じて制御される。照射される領域の位置制御により、汚染バリア、照明システム、基板テーブル、および／または、投影システムなどの、異なるリソグラフィモジュールに対する放電軸の位置合わせが改善される。
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