【課題】放電チャンネルの位置を画定可能とし、放電チャンネルにおける高温プラズマ原料の密度を適宜設定できるようにし、また、ロングパルス化を可能するとすること。
【解決手段】高温プラズマ原料２１に第１のエネルギービーム２３を照射して気化させる。気化した原料が放電領域に到達したとき、電極１１，１２間にパルス電力を印加するとともに第２のエネルギービーム２４を照射する。これにより、プラズマが加熱励起されてＥＵＶ放射が行われる。放射されたＥＵＶ放射はＥＵＶ集光鏡２により集光され取り出される。第１、第２のレーザビーム２３，２４を照射しているので、高温プラズマ原料の空間密度分布を所定の分布に設定するとともに、放電チャンネルの位置を画定することが可能となる。また、放電経路にイオン密度が極端紫外光放射条件におけるイオン密度にほぼ等しい原料ガスを供給することで、ＥＵＶ放射のロングパルス化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】従来の製品より小形でありながら、しかも高エネルギーでより小径なスポットのＸ線を発射することが可能なＸ線源を得る。
【解決手段】Ｘ線源は、電子線を発射する電子線源と、この電子線源から発射された電子線を高周波電場で加速する加速管と、この加速管で加速された高エネルギの電子を衝突させてＸ線を放出するターゲットとを有する。加速管はターゲットに向けて発射される電子線のスポット径を１ｍｍ以下とし、ターゲットはＸ線案内孔を有するコリメータを備え、このコリメータのＸ線案内孔の孔径を０．６ｍｍ以下としている。より具体的には、電子線源から加速管に向けて発射される電子線のスポット径を１ｍｍ以下とし、加速管でこの電子線を加速し、前記のターゲットに衝突させる。 （もっと読む）

【課題】極端紫外光発生部から放出されるデブリが集光光学手段に到達しないように容器内のガスの流れを制御し得るようにすること。
【解決手段】集光鏡２の光射出側から光入射側へのガス流が形成されるように、集光鏡２の光射出側に第２ガス供給ユニット１６ｂ、第２ガス排気ユニット９ｂを配置し、第２ガス供給ユニット１６ｂから供給されるガスを集光鏡２の内側を通って第１ガス排気ユニット９ａから排気させる。そのため、例えば、容器（チャンバ１０）の内壁を内側に突き出させ、ガスがすべて集光鏡２の内側を通過するように構成する。また、ホイルトラップ３と集光鏡２を一体化し、集光鏡２の内側を流れたガスがホイルトラップ３の内側のみを通過するようにしてもよい。また、上記ガスとして、付着堆積したデブリを除去するクリーニング効果のあるクリーニングガス、あるいはその混合ガスを用いてもよい。 （もっと読む）

【課題】コレクタミラーの冷却機構と回転機構とを両立させることにより、コレクタミラーの寿命を伸長させる。
【解決手段】極端紫外光を反射する反射面が形成されており、プラズマから放射された極端紫外光を反射して所定の方向に導くコレクタミラー１０と、該コレクタミラーの背面側に配置された冷却媒体用流路２３と、該冷却媒体用流路に冷却媒体を導入する配管２１と、冷却媒体用流路から冷却媒体を導出する配管２２とを含む冷却装置２０と、コレクタミラーを円周方向に回転させる回転装置３０と、コレクタミラーの反射面における損耗量に関連付けられた値に基づいて、回転装置によってコレクタミラーを回転させるタイミングと回転角度とを決定する制御装置１００とを有する。 （もっと読む）

【課題】ＬＰＰ型ＥＵＶ光源装置において、コレクタミラーのメンテナンスのコストを低減する。
【解決手段】ターゲット物質にレーザビームを照射して該ターゲット物質をプラズマ化することにより極端紫外光を生成する極端紫外光源装置において、極端紫外光を集光する際に用いられるコレクタミラー１０であって、極端紫外光を反射する反射面が複数の領域に分割されており、複数の領域の内の一部の領域を含む交換用ミラー１２と、複数の領域の内の他の領域を含むコレクタミラー本体１１とを有し、交換用ミラー１２がコレクタミラー本体１１に対して取り外し可能となっている。 （もっと読む）

電子を放射するための陰極とダイナミック陽極とを含んでいるＸ線管を含んでいるＸ線結像システムを提供する。ダイナミック陽極は陰極から電子を受取り、非静止のＸ線ビームを発生する。ダイナミック陽極は非静止ビームを発生するために、Ｘ線ビームがオブジェクト上の第１の位置で誘導されている第１の位置と、Ｘ線ビームがオブジェクト上の第２の位置で誘導されている第２の位置との間で回転する。 （もっと読む）

【課題】出射側開口端から被検査体までの作動距離を長くすることができ、表面に凹凸がある被検査体の分析、蛍光Ｘ線分析、Ｘ線回折分析を被検査体の大きさに拘わらず行うことができるＸ線集束素子及び該Ｘ線集束素子を備えるＸ線照射装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線遮蔽部材２３は、入射側開口端の口径（キャピラリ２０の外径）と略同径の環状部材２３２からＸ線遮蔽部材２３を支持する３本の支持部材２３３をＸ線遮蔽部材２３の中心に向かって設け、環状部材２３２をキャピラリ２０に固定している。環状部材２３２、支持部材２３３、Ｘ線遮蔽部材２３は、タンタル、タングステン、モリブデンなどのＸ線を遮蔽する金属を用いて一体成形により形成する。Ｘ線遮蔽部材２３の軸方向寸法（厚さ）は、Ｘ線を遮蔽するのに十分な寸法に設定する。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも一つのＥＵＶ（ｅｘｔｒｅｍｅ ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）光源（３）と、特に、有効利用する波長の範囲で、前記ＥＵＶ光源（３）の、又は前記ＥＵＶ光源（３）の中間像の一つの強度変動及び／又は位置変化を測定する開口絞り及びセンサ装置（１）とを備えたＥＵＶ照明システムにおいて、前記開口絞り及びセンサ装置（１）は、開口絞り（２．１）とＥＵＶ位置センサ（２．３）とを有し、前記開口絞り及びセンサ装置（１）は、前記開口絞り（２．１）が前記ＥＵＶ光源（３）から、又はその中間像（７）の一つから発せられる照射の所定の立体角範囲が前記ＥＵＶ位置センサ（２．３）に当たるように配置される、ＥＵＶ照明システムに関する。 （もっと読む）

【課題】 診断用Ｘ線としての単色硬Ｘ線と治療用Ｘ線としての特性Ｘ線を切換えて発生することができる診断・治療用Ｘ線切換え発生装置を提供する。
【解決手段】 パルス電子ビーム１を加速して所定の直線軌道２を通過させる電子ビーム発生装置１０と、パルスレーザー光３を発生するレーザー発生装置２０と、パルスレーザー光３を直線軌道２上にパルス電子ビーム１に対向して導入するレーザー光導入装置３０と、パルス電子ビーム１の衝突により特性Ｘ線５を発生する金属ターゲット４２を直線軌道上の衝突位置２ａと軌道外の退避位置との間で移動可能なターゲット移動装置４０とを備える。金属ターゲット４２の衝突面は、衝突点２ａと空間的に同一位置に位置する。金属ターゲットの退避位置でパルス電子ビーム１とパルスレーザー光３の衝突で単色硬Ｘ線４を発生し、金属ターゲット４２の衝突位置でパルス電子ビーム１と金属ターゲット４２の衝突により同一の光源位置２ａから特性Ｘ線５を発生する。 （もっと読む）

【課題】 高輝度化及び小型化できるＸ線発生器を提供する。
【解決手段】 電子を発生する電子発生手段（カーボンナノチューブ２０、引き出し電極２４）及び支持部材１４に支持されたＸ線ターゲット１２を真空管１８内に備え、前記電子発生手段から前記Ｘ線ターゲット１２へ電子を照射することにより生じるＸ線を所定位置へ導く管状のＸ線ガイド手段（Ｘ線ガイドチューブ）３０を真空管１８外に備えるＸ線発生器において、真空管１８に設けた凹部２８にＸ線ガイド手段３０を挿入した構成とする。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線のノイズを低減させて、かつ正規のＸ線が制限されることなくＸ線を発生させることができるＸ線発生装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 陰極１１からの電子ビームＢのターゲット１２への衝突によりＸ線を発生させるＸ線管１において、ターゲット１２の陰極１１側とは反対側のＸ線発生側には、ターゲット１２に近接して遮蔽アパーチャ１９を配設しており、この遮蔽アパーチャ１９はＸ線通過孔１９ａを有している。Ｘ線検出器２の有効面積Ｓに相当したＸ線有効照射領域Ｔを少なくとも通すようにＸ線通過孔１９ａを形成している。このように形成することで、Ｘ線のノイズを低減させて、かつ正規のＸ線が制限されることなくＸ線を発生させることができる。 （もっと読む）

本発明は、所望波長範囲の放射波をある放出方向に発生させる方法に関する。本方法によれば、その波長が該所望範囲を含んでいる初期放射波を放射波供給源により作り出し、この初期放射波を、波長が所望範囲外の初期放射波のビームを実質的に除去するように濾波する。本発明の方法は、初期放射波のビームをその波長に応じて選択的に偏向させて、所望波長のビームを回収するように、初期放射波が通過するコントロール領域においてビームの屈折率の制御された分布を作り上げることにより濾波を行うことを特徴とする。本発明は関連する装置にも関する。
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ｘ線源アセンブリは、アセンブリに供給される電力レベルに基づいて電子が入射するスポットを有するアノードと、スポットで生成される発散Ｘ線を受け取り、アセンブリから出力Ｘ線を送るように結合された光学系とを含む。Ｘ線源アセンブリの動作中に出力Ｘ線の強度を動的に維持する制御系であって、アセンブリに供給される電力レベルを変更することにより、Ｘ線源アセンブリの少なくとも１つの動作条件が変化しても出力強度を維持する制御系が提供される。制御系は、例えばアセンブリに関連する電源を制御することにより、アセンブリに供給される電力レベルを変化させる少なくとも１つのアクチュエータを含むことができる。制御系は、出力強度を維持するためにアノードの温度および／または位置も変更することができる。

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ＣＴ撮像システムは、Ｘ線コーンビームを検査領域（１４）に挿入するＸ線管（１２、２１２）を含む。このＸ線管（１２、２１２）は、ターゲットの外部表面領域を持つ回転する円柱状陽極（３０、２３０、３３０、４３０）を含む。この円柱状陽極（３０、２３０、３３０、４３０）は長軸方向に並べられた円柱軸（３２）の周りを回転する。電子は、この円柱状陽極（３０、２３０、３３０、４３０）の前記ターゲットの外部表面領域上にある選択した焦点に向かい加速される。電子又は電磁気デフレクタは、前記円柱状検査領域の前記ターゲットの外部表面領域にわたって前記選択した焦点を前後に掃引する。前記撮像システムはさらに、円柱軸に平行な回転軸の周りにある検査領域の周りをＸ線管に回転させる回転ガントリ（２２）及び前記Ｘ線が前記検査領域（１４）を通過した後のＸ線を検出するように構成されるＸ線検出器を有する。
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