【課題】 簡単な装置と操作により、飽和濃度未満の任意の一定濃度のガスを溶解し、超音波洗浄の洗浄水として用いる際のキャビテーション力を調整することが可能な高純度の超純水を製造できる超純水製造装置および方法をする。
【解決の手段】 一次純水システムＡにおいて、原水を脱塩および脱気して一次純水を製造し、一次純水システムＡで得られる一次純水およびユースポイントから循環する二次純水を二次純水貯留槽１１において、窒素ガスでシールして貯留し、二次純水貯留槽１１から得られる窒素濃度が異なる二次純水を膜脱気装置１４で脱気して窒素を除去し、ガス溶解装置１６で脱気処理水にガスを添加してガスを溶解させる際、ガス溶解装置１６に供給するガス流量をガス流量制御装置１７により所定の流量に制御し、超純水を製造する。 （もっと読む）

【課題】原水中に含有するアルミニウムを効果的に除去し、水質の向上を達成すると共に、後段の膜処理装置に残留アルミニウムを付着するのを防止することを目的とする。
【解決手段】アルミニウム系の凝集剤で処理された原水に、凝集沈殿装置２においてポリ鉄、ポリシリカ鉄等の鉄系無機高分子凝集剤を添加し、残留アルミニウムを除去するアルミニウム除去工程と、アルミニウム除去工程を経由した処理水を膜処理装置４に通水する膜処理工程と、を有する純水製造方法。 （もっと読む）

【課題】ボイラシステムにおける復水配管の腐食とボイラの伝熱面の腐食とを薬剤を用いずにともに抑制する。
【解決手段】ボイラ２と、このボイラ２への給水ライン７と、前記ボイラ２からの蒸気が凝縮した復水を回収する復水配管４を備えたボイラシステム１であって、前記給水ライン７に、給水に含まれるアルカリ成分を除去するルーズＲＯ膜を備えた濾過膜部８を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】逆浸透膜装置と脱気装置とを組み合わせて成る純水製造装置であって、低コストで純水を製造でき、かつ、溶存炭酸ガス濃度を一層低減できる高性能な純水製造装置を提供する。
【解決手段】純水製造装置は、原水からイオン類およびコロイダル物質と共に溶存炭酸ガスを除去して純水を製造する純水製造装置であり、第１の逆浸透膜装置（２）、第１の脱気装置（３）、第２の逆浸透膜装置（６）及び第２の脱気装置（７）が順次に配置されている。また、第１の逆浸透膜装置（２）及び第２の脱気装置（７）として、疎水性の微多孔中空糸膜を使用した脱気膜装置が使用される。 （もっと読む）

【課題】薬剤を用いずに前記熱機器の伝熱面の腐食を抑制しつつ、前記熱機器の伝熱面の腐食抑制成分であって、前記伝熱面にスケールを発生させるものの濃度が、原水において高い場合に、前記のような問題を生ずることなく、前記伝熱面におけるスケールの発生を抑制する。
【解決手段】ボイラ２への給水ライン３に濾過膜部４を設けた水処理システム１であって、前記濾過膜部４の濾過膜として、前記ボイラ２の伝熱面の腐食促進成分を除去するとともに、前記ボイラ２の伝熱面の腐食抑制成分であって、前記伝熱面にスケールを発生させるものの一部を除去するルーズＲＯ膜を用いたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 復水利用の水質改質システムにおける腐食を防止することである。。
【解決手段】 非不動態化金属体の腐食を引き起こす腐食促進成分を捕捉するとともに、前記腐食の抑制に寄与する腐食抑制成分を透過する濾過処理部１３と、溶存気体を除去する第一脱気部１４と、前記濾過処理部１３にて改質されるとともに前記第一脱気部１４にて脱気処理された改質水を貯留する改質水貯留タンク５とをボイラ２への給水ライン３に設けた水質改質システムであって、ボイラ２の復水を脱気処理する第二脱気部２３を備え、前記第二脱気部２３で脱気処理された復水を前記改質水貯留部５へ供給し、改質水と復水とが混合された給水を前記ボイラ２へ供給することを特徴とする。また、前記第一脱気部１４を膜式脱気装置とし、前記第二脱気部２３を真空式脱気装置または窒素置換式脱気装置とする。 （もっと読む）

【課題】炭酸ガス（ＣＯ₂）を外部から供給することなく、透過水中の硬度を上昇させることができる低コストな飲料水製造装置及び飲料水の製造方法を提供する。
【解決手段】飲料水製造装置１０Ａは、海水１１を透過水１２と濃縮水１３とに分離する逆浸透膜（ＲＯ膜）１４を有する逆浸透膜装置１５と、前記濃縮水１３に酸１６を供給する濃縮水用酸供給部１７−１と、前記酸１６の供給された前記濃縮水１３から炭酸ガス（ＣＯ₂）１８を回収する脱炭酸塔１９と、前記脱炭酸塔１９において回収された前記炭酸ガス（ＣＯ₂）１８を前記透過水１２から一部抜き出した分岐透過水１２ａに吸収させる炭酸ガス（ＣＯ₂）吸収塔２１と、前記透過水１２中に硬度成分を溶出させる硬度成分溶出フィルター２２とからなり、前記濃縮水１３から炭酸ガス（ＣＯ₂）１８を回収し、回収した前記炭酸ガス（ＣＯ₂）１８を前記透過水１２の飲料水化に用いることができる。 （もっと読む）

【課題】濃縮室及び脱塩室にてスケールの発生を防止し、長期間安定的に運転することのできる電気脱イオン装置を提供する。
【解決手段】電気脱イオン装置１は、陰極１１と陽極１２との間に、複数のアニオン交換膜１３とカチオン交換膜１４とを交互に配列して濃縮室１５と脱塩室１６とを交互に形成してなり、濃縮室１５にバイポーラ膜２０を設けて濃縮室１５内を陰極側と陽極側とに区画してなり、脱塩室１６を被処理水の流れ方向の上流側から第１層１６Ａ及び第２層１６Ｂの少なくとも二層に分割してアニオン交換体３０Ａとカチオン交換体３０Ｂとからなるイオン交換体３０を充填し、第１層１６Ａに充填されるイオン交換体３０は、カチオン交換体３０Ｂを５０体積％以上含んでおり、第２層１６Ｂに充填されるイオン交換体３０は、アニオン交換体３０Ａを５０超〜８０体積％含む。 （もっと読む）

【課題】被処理水中に硬度成分が含まれていても、スケールを発生させることなく、長期間安定的にかつ安価で効率よく運転可能な電気脱イオン装置を提供する。
【解決手段】電気脱イオン装置は、陰極１２と陽極１１との間に、複数のアニオン交換膜１３とカチオン交換膜１４とを交互に配列して濃縮室１５と脱塩室１６とを交互に形成し、この濃縮室１５にバイポーラ膜２０を設けて濃縮室１５内を陰極側区画室１５Ａと陽極側区画室１５Ｂとに区画してなる。そして、陰極側区画室１５Ａの濃縮水の少なくとも一部は、被処理水として脱塩室１６に供給されるとともに、陽極側区画室１５Ｂに供給される。 （もっと読む）

【課題】原水を逆浸透膜処理装置に導入し、該逆浸透膜処理装置の透過水を電気再生式脱イオン装置又はイオン交換装置に供給して処理するに当たり、後段の脱イオン装置への給水のシリカの負荷を軽減して、安定かつ効率的に、シリカ濃度の低い純水を製造する。
【解決手段】逆浸透膜処理装置が、高分子を主成分とする阻止率向上剤によって処理された逆浸透膜を備える純水製造装置。逆浸透膜処理装置が、その一次側に高分子を主成分とする阻止率向上剤を供給するための阻止率向上剤供給手段を有する純水製造装置。定期的に、又は逆浸透膜処理装置の阻止率が低下した際に、高分子を主成分とする阻止率向上剤で逆浸透膜処理装置の逆浸透膜を処理する工程を有する純水製造方法。 （もっと読む）

【課題】塩素の除去を十分行うことができ、微量の鉄イオンが残存しても逆浸透膜の劣化を防止することができる膜分離方法および膜分離装置を提供する。
【解決手段】原液２ａを供給して膜分離を行う第一段目逆浸透膜モジュール３１と、更にその透過液５ａを供給して膜分離を行う第二段目逆浸透膜モジュール３２と、その第二段目逆浸透膜モジュール３２の供給液にアルカリ剤を添加するアルカリ剤添加手段６とを備える膜分離装置において、亜硫酸塩及び／又は重亜硫酸塩の残留濃度が２〜１０ｐｐｍになるように、前記第一段目逆浸透膜モジュールの供給液に亜硫酸塩及び／又は重亜硫酸塩を原液中の遊離塩素に対し過剰に添加する薬剤添加手段７を設けると共に、前記前記第一段目逆浸透膜モジュール３１が、亜硫酸塩及び／又は重亜硫酸塩を除去して、前記第二段目逆浸透膜モジュール３２の供給液における亜硫酸塩及び／又は重亜硫酸塩の濃度を０．５ｐｐｍ以下とするものである。 （もっと読む）

【課題】被処理水中に硬度成分が含まれていても、スケールを発生させることなく、長期間安定に運転することができる電気脱イオン装置を提供する。
【解決手段】陰極１２と陽極１１との間に、複数のアニオン交換膜１３とカチオン交換膜１４とを交互に配列して濃縮室１５と脱塩室１６とを交互に形成してなる電気脱イオン装置において、濃縮室１５にバイポーラ膜２０を設けて濃縮室１５内を陰極側区画室１５Ａと陽極側区画室１５Ｂに区画し、この濃縮室１５内にアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂との混合樹脂２１Ａ，２１Ｂを充填する。陰極側区画室１５Ａに充填される混合樹脂２１Ａは、カチオン交換樹脂の混合比率が高いものであり、陽極側区画室１５Ｂに充填される混合樹脂２１Ｂは、アニオン交換樹脂の混合比率が高いものである。 （もっと読む）

スケール生成能が低い電気化学的処理装置が開示されている。この装置は、アニオン交換及びカチオン交換の層化を目的とした各種の構成を有している。この処理装置は、更に、サイズの不揃いなイオン交換樹脂ビーズを含有してなるか及び／又は支配的な抵抗を与え、その結果、装置全体を通して均一な電流の分布を生じる、少なくとも一つの区画室を備えてなる。
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【課題】 水回収率を高くして大量の高純度水を回収するとともに、有機物を効率よく除去して有機物濃度の低い高純度水を低コストで得ることが可能な高純度水の製造装置、および方法を提供する。
【解決手段】 原水２に酸４を注入してｐＨ６以下に調整して脱気装置１で脱気し、脱気水１１を第１ＲＯ装置６で脱塩し、第１の透過液１３をｐＨ８．５以上に調整して第２ＲＯ装置８で脱塩し、第２の透過液１５を脱イオン装置９に脱イオンして高純度水１６を製造する。第２の濃縮液１９を酸化処理装置２１でＵＶ酸化して第１ＲＯ装置６に戻す。 （もっと読む）

【課題】酸等の薬品を添加することなく電気脱イオン装置の炭酸カルシウムのスケールの発生を防止することができ、かつ電気脱イオン装置により所定のレベル（水質）の純水を安定的に製造することができる純水製造装置を提供する。
【解決手段】純水製造装置１は、原水Ｗが供給される前処理装置２と、前処理装置２からの処理水Ｗ４が供給され、当該処理水Ｗ４中のイオン性物質を除去する電気脱イオン装置３とを有し、前処理装置２は、脱炭酸装置２１と、逆浸透膜２３と、脱気膜２４とをこの順に備えてなる。 （もっと読む）

【課題】 アルカリ処理が容易であり、且つ、優れた比抵抗値の透過水を安定して得ることができる水処理方法および水処理装置を提供する。
【解決手段】 被処理水を第１の逆浸透膜モジュール１に供給し、前記第１の逆浸透膜モジュール１からの透過水に脱気処理を施し、前記脱気処理した透過水にアルカリ処理を施してから、前記アルカリ処理した透過水を第２の逆浸透膜モジュール４に供給し、透過水を回収する。 （もっと読む）

【課題】吐出薬液に気泡が混入することを抑制することができる薬液供給装置、および薬液に混入した気泡に起因するパターン形成不良の発生を抑制することができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】薬液が貯蔵された容器１はフィルタハウジング５に導入管２を介して接続される。フィルタ６はフィルタハウジング５の下部側に配設される。薬液は、ポンプ３により容器１からフィルタハウジング５へ送出される。フィルタ６より上方のフィルタハウジング５の内面には、薬液に対して親和性を有する親液面１３が設けられている。フィルタハウジング５には、フィルタ６よりも下方に、流路を開閉する供給弁７が介在された供給管８を介して薬液を対象物に供給する供給部９が接続される。また、フィルタ６よりも上方に、流路を開閉する排出弁１１が介在された排出管１０を介して薬液を外部に排出する排出部１２が接続される。 （もっと読む）

【課題】 洗浄工場において出荷の直前に、イオン交換樹脂または限外ろ過膜の品質の良否を簡易且つ迅速に判定することができるイオン交換樹脂または限外ろ過膜の検査方法を提供する。
【解決手段】 被検体としてのイオン交換樹脂を充填したカラムまたは被検体としての限外ろ過膜を装填した限外膜ろ過装置に、溶存酸素を除去した超純水を供給して通水し、該カラムから流出したカラム流出水をウエハを装填したウエハホルダに供給してウエハと接触させ、接触後のウエハの表面状態を測定することにより、当該被検体としてのイオン交換樹脂または限外ろ過膜の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄工場において出荷の直前に、イオン交換樹脂または限外ろ過膜の品質の良
否を簡易且つ迅速に判定できるイオン交換樹脂または限外ろ過膜の検査方法を提供する。
【解決手段】 被検体としてのイオン交換樹脂を充填したカラムまたは被検体としての限
外ろ過膜を装填した限外ろ過膜装置に、溶存酸素を除去した超純水を供給して通水し、該
カラムから流出したカラム流出水を第１のウエハを装填したウエハホルダに供給して第１
のウエハと接触させ、接触後の第１のウエハの表面状態を測定すると共に、前記溶存酸素
を除去した超純水を樹脂カラムまたは限外ろ過膜装置に通水することなく、第２のウエハ
を装填したウエハホルダに供給して第２のウエハと接触させ、接触後の第２のウエハの表
面状態を測定し、第１のウエハの上記測定結果と第２のウエハの前記測定結果とを対比す
ることにより、当該被検体としてのイオン交換樹脂または限外ろ過膜の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】被処理水の制菌処理用に特別の機器を設けることなく被処理水を制菌することのできる、電気脱イオン装置を備えた燃料電池システムの制菌方法、及び電気脱イオン装置を備えた制菌可能な燃料電池システムを提供する。
【解決手段】燃料電池システム１は、燃料電池本体２と、燃料電池本体２の前段に設けられ、イオン交換膜によって区画された陰極室３１Ｂ及び陽極室３１Ａを有する電気脱イオン装置３１と、電気脱イオン装置３１の陰極室３１Ｂからの排出水（陰極水）を燃料電池システム１における制菌対象箇所に通水する返送管９とを備える。 （もっと読む）