【課題】給水タンクへの給水を開始したときにおける透過水の水質の悪化を低減させることができる膜濾過システムの運転方法を実現する。
【解決手段】給水中の不純物を除去する濾過膜部４と、ボイラ２へ供給するための給水を貯留する給水タンク６とがこの順で前記ボイラ２への給水ライン３と接続された膜濾過システム１の運転方法であって、前記濾過膜部４と前記給水タンク６との間の前記給水ライン３を閉鎖するとともに、前記濾過膜部４からの透過水を前記閉鎖箇所の上流側の前記給水ライン３から前記濾過膜部４の上流側の前記給水ライン３へ還流させる還流運転を、前記給水タンク６への給水を停止しているときに、前記給水タンク６への給水を開始するまでの所定時間行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】給水タンクへの給水を停止していた状態から給水を開始したときに、透過水の水質を短時間で所定の水質に回復させることができる膜濾過システムの運転方法を実現する。
【解決手段】濾過膜部４へ給水を供給して給水中の不純物を濾過し、濾過した後の前記濾過膜部４からの透過水を、ボイラ２へ供給するための給水として給水タンク６内に貯留する一方で、前記濾過膜部４からの濃縮水の一部を所定の量で系外へ排水するとともに、残部を前記濾過膜部４の上流側へ還流させる膜濾過システム１の運転方法であって、前記給水タンク６への給水を停止していた状態から給水を開始した後の所定時間、前記濾過膜部４からの濃縮水の排水量を前記所定量よりも少なくする水質回復運転を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】給水タンクへの給水を停止していた状態から給水を開始したときに、透過水の水質を安定させることができる膜濾過システムの運転方法を実現する。
【解決手段】濾過膜部４と給水タンク６との間の給水ライン３を閉鎖するとともに、前記濾過膜部４からの透過水を前記閉鎖箇所の上流側の前記給水ライン３から前記濾過膜部４の上流側の前記給水ライン３へ還流させる還流運転を、前記給水タンク６への給水を停止しているときに所定時間行った後、前記給水タンク６への給水を開始し、給水を開始してから所定時間、前記濾過膜部４からの濃縮水の排水量を所定量よりも少なくする水質回復運転を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
逆浸透膜処理を行う有機物含有水の前処理として、オゾンや過酸化水素等の酸化剤を用いずに逆浸透膜を汚染する微細な有機物等を予め低減させ、逆浸透膜の透過流束の低下を抑制できる水処理装置及び水処理方法を提供する。
【解決手段】
有機物含有水中の有機物を酸素含有気体の供給により低減する有機物低減槽と、前記有機物低減槽からの有機物低減水を逆浸透膜により、透過水と非透過水とに分離する逆浸透膜装置とを備えてなる水処理装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、超純水を製造するため、特に、液浸リソグラフィ法にて使用されるシステム及び方法に関する。本発明の１つの実施の形態において、液浸リソグラフィ装置にて使用される超純水を均一に提供することのできる自己密閉型のユースポイントキャビネットが提供される。本発明は、また、液浸リソグラフィ装置に対して所定の屈折率を有する材料を提供するシステム及び方法にも関する。 （もっと読む）

【課題】濾過膜部の下流側に設けられた開閉弁を閉状態にして濃縮水をブローするときに、濾過膜が破損することを防止することができる膜濾過システムを実現する。
【解決手段】ボイラ２への給水ライン３と接続されて給水中の不純物を除去する濾過膜部４と、この濾過膜部４の下流側の前記給水ライン３に設けられた開閉弁９と、前記濾過膜部４と接続されてこの濾過膜部４で発生した濃縮水を排水するための排水ライン１８とを備える膜濾過システム１であって、前記濾過膜部４からの透過水を、前記濾過膜部４と前記開閉弁９の間の前記給水ライン３から前記濾過膜部４の上流側の前記給水ライン３へ還流するための透過水還流ライン１０を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】逆浸透膜や軟化器などを前段に設置せずとも、脱塩室内の硬度スケールの析出を防止する省電力型のＥＤＩの運転方法及びＥＤＩを提供すること。
【解決手段】陽極側がアニオン交換膜で区画され陰極側がカチオン交換膜で区画され且つアニオン交換膜とカチオン交換膜の間に位置する中間のカチオン交換膜で区画されるメッシュ状スペーサーが装填された第１小脱塩室とイオン交換体が充填される第２小脱塩室を内包する脱塩室と、脱塩室と脱塩室の間に配置された濃縮室を備える電気式脱イオン水製造装置を用い、硬度成分を含有する被処理水を第１小脱塩室と第２小脱塩室にこの順序で直列に通水させ脱イオン水を得ると共に、脱塩室の硬度スケールの析出を防止する。 （もっと読む）

【課題】膜破断の発生と同時に漏出濁質の合流ろ過水への混入を防止し、かつ、発生した膜モジュールを迅速に特定し、破断していない正常な膜モジュールの運転を早期に再開させる膜ろ過処理装置を提供することにある。
【解決手段】演算手段１３の膜破断判定手段１３Ａは、濁質検出手段の計測値に基づいて膜ろ過手段での膜破断発生有無を判定する。透過水量調整手段１３Ｃは、膜破断発生と判定された場合に、膜ろ過手段の全ての膜モジュールを同一操作し、破断部および破断膜モジュールから漏出する水量比率を増加させるように調整する。破断膜特定手段１３Ｄは、透過水計測手段８の計測値に基づいて膜ろ過手段で破断した膜モジュールを特定する。運転モード設定手段１３Ｂは、破断膜モジュールのろ過運転を停止し、他の正常な膜モジュールを膜破断発生前の運転条件に復帰させる。 （もっと読む）

【課題】 塗布故障を未然に防止可能な塗布システム及び塗布方法を得る。
【解決手段】 塗布システム３２の供給系４２は、並列配置された２組の脱気装置４６Ａ、４６Ｂを有している。脱気装置４６Ａを使用しているときに、溶存酸素計６６による塗布液の溶存酸素量の測定値が閾値に達すると、その時点で未使用であった脱気装置４６Ｂが使用されるように、制御装置がバルブ４８、５０および真空ポンプ６２を切り替える。塗布システム３２の全体で高い脱気能力に維持されるので、塗布装置３４での塗布時の塗布故障を未然に防止できる。 （もっと読む）

【課題】 被処理水の制菌処理用に特別の機器を設けることなく制菌処理を行うことのできる、電気脱イオン装置を備えた水処理システム、及び当該水処理システムを用いた被処理水の制菌方法を提供する。
【解決手段】 水処理システム１は、電気脱イオン装置２と、前記電気脱イオン装置２の陰極室２２からの排水を前記電気脱イオン装置２の前段の所定の場所に通水する返送管９とを備える。 （もっと読む）

【課題】 フッ素成分を含む被処理水を環境に適合可能な状態にまで処理することができ、また、窒素化合物を含む被処理水の濃度に影響することなく、窒素化合物の処理を行うことができる水処理装置を提供する。
【解決手段】 フッ素分を含む被除去物が混入した被処理水から被除去物を分離するフッ素分除去装置２と、被除去物が分離された被処理水に少なくとも一対の電極２９、３０を少なくとも一部浸漬し、電気化学的手法により処理する電気化学的処理装置３と、電気化学的手法により処理された被処理水を、生物処理する生物的処理装置４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 アルカリなどの薬剤の添加や爆気のための設備を必要とせず、アンモニアの回収率が高く、かつ、廃水の種類に限定されずアンモニアを回収することのできるアンモニアの回収方法を提供する。
【解決手段】 予め陽極室３と陰極室７に電解質含有水を配水しておき、中間室４へアンモニア及び／又はアンモニウムイオンを含有する廃水を供給し、陽極２と陰極６の間に通電してアンモニア及び／又はアンモニウムイオンを含む陽イオンを陰極室７へ透析分離するとともに陰イオンを陽極室３へ透析分離し、陰極室７の電解質含有水をアルカリ性下で電気分解することにより陰極６から発生する水素ガスとともに陰極室６のアンモニア及び／又はアンモニウムイオンをアンモニアガスとして揮散させる。
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【課題】 原水の難分解性の汚染物質及び濁りを低コストで除去することができる水処理装置及び方法を提供する。更に、処理水の溶存オゾン濃度を低く維持することができる水処理装置及び方法を提供する。
【解決手段】 本発明による水処理装置(1)は、汚染物質及び濁りを含む原水にオゾンを注入するオゾン注入部(6)と、オゾン注入部(6)の下流側に接続された紫外線反応部(8)と、紫外線反応部(8)の下流側に接続された膜分離部(16)とを有する。紫外線反応部(8)では、オゾンを注入した原水に紫外線を照射することにより、汚染物質を分解して、原水を中間処理水にする。膜分離部(16)は、中間処理水を濾過する膜(14)を有し、それにより濁りを除去する。 （もっと読む）

本発明は脱塩された水性液を製造するための方法を提供する。この方法は、ガス抜きされた水性液（115）を逆浸透膜（110）を通過させることを含む。この方法はさらに、ガス抜きされた水性液（115）を生成させるために水性液をガス抜きする工程（105）を含んでいてもよい。 （もっと読む）

【課題】 薬剤を用いることなく、硬度分に起因するスケールの析出を抑制して濾過膜の目詰まりを防止することができ、さらに処理水の水質を維持することができる水処理方法を実現する
【解決手段】 機器へ供給される給水の水処理方法であって、軟水処理部５で軟水化処理した給水を濾過膜部７へ供給するとともに、この濾過膜部７で発生した濃縮水の排水量を、前記濾過膜部７への給水，前記濾過膜部７からの透過水および前記濾過膜部７からの濃縮水のいずれかの硬度分の検出値に応じて調節する。 （もっと読む）

【課題】流体の精製法を提供する。
【解決手段】ａ）〜ｅ）の工程からなる流体の精製法。ａ）イオン減少用区画と隣接するイオン濃縮用区画を複数有しこの各区画にイオン交換物質を収容する複数の区画に一定間隔で交互に配置されたアニオン交換膜とカチオン交換膜を配し、これらが電気的連通関連にある第１の電極と第２の電極との間に配置され、ｂ）イオン濃縮用区画を第１の方向に通る第１の流れとイオン減少用区画を第１の方向に通る第２の流れを形成する工程、ｃ）第１の電極に第１の極性を、第２の電極に第２の極性を付与し電圧を加え電位を生成させてイオン減少用区画を出る減少流体流れとイオン濃縮用区画を出る濃縮流体流れを生ずる工程、ｄ）イオン濃縮用区画を通る第１の流体流れの方向をこれと反対の第２の方向に逆転させる工程、ｅ）第１の流体流れがイオン濃縮用区画を第２の方向に流れている間にイオン減少用区画から減少流体生成物を回収する工程 （もっと読む）

【課題】熱交換器を用いることなく、得られる純水の水質変動が防止される純水製造装置を提供する。
【解決手段】原水は、活性炭濾過装置１によって濾過された後、逆浸透膜装置用給水ポンプ２を経て逆浸透膜装置３へ送られ、脱塩処理される。逆浸透膜装置３で脱塩処理された水は、水温センサ４ａを備えた水質センサ４と接触した後、電気脱イオン装置５へ送られ、電気脱イオン処理される。この電気脱イオン処理水は、水温センサ６ａを有した水質センサ６と接触した後、処理水（純水）として取り出される。水温センサ６ａの検知信号は、電気脱イオン装置通電制御回路８に入力され、電気脱イオン装置５からの処理水の導電率又は比抵抗が一定となるように、電気脱イオン装置５への印加電圧及び／又は通電電流を制御する。 （もっと読む）

【課題】 高濃度の硝酸性窒素を含む被処理水について、還元工程を経た被処理水を硝酸性窒素残留分含有水とアンモニア性窒素含有水とに効率良く分離でき、また、アンモニア性窒素含有水からアンモニア性窒素をｐＨ調整用アルカリ剤の添加が不要で低コストにて除去できる水処理方法及び装置を提供すること。
【解決手段】 硝酸性窒素を含む被処理水を還元触媒の存在下で水素ガスと接触させることにより、被処理水中の硝酸性窒素を窒素ガスとアンモニア性窒素に還元する還元工程と、前記還元工程によって還元処理されて硝酸性窒素残留分とアンモニア性窒素とを含む被処理水にバイポーラ膜を用いた電気分解を施すことにより、該被処理水を硝酸性窒素残留分含有水とアンモニア性窒素含有水とに分離する分離工程と、前記分離工程で得られたアンモニア性窒素含有水からアンモニア性窒素を除去するアンモニア除去工程とを含む水処理方法。 （もっと読む）

【課題】 水処理剤を使用することなく、ボイラの腐食と復水配管の腐食とをともに抑制できるボイラ用給水装置を実現する。
【解決手段】 復水を給水へ回収する復水配管１０を備えたボイラ用給水装置１であって、給水経路３と、この給水経路３に設けられた濾過処理部４と、この濾過処理部４の下流側へ未濾過水を供給するバイパス経路７と、前記給水経路３に設けられた濾過水流量制御バルブ１３と、前記バイパス経路７に設けられた未濾過水流量制御バルブ１４と、濾過水と未濾過水とを混合した給水が、蒸気ボイラ２の腐食と前記復水配管１０の腐食をともに抑制可能なアルカリ度となるように前記濾過水流量制御バルブ１３および前記未濾過水流量制御バルブ１４を開閉制御する制御部１５と、を備えて構成した。 （もっと読む）

本発明は、一般的には、溶解したガスを除去することにより水性液の導電率を向上又は増大させるための方法に関する。電気透析などの水をベ−スとした電解プロセスにおいて脱気した液を使用することで、そのようなプロセスの効率を有利に向上させることができる。
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