【課題】太陽電池に用いられる薄膜シリコンを成膜するためのプラズマＣＶＤ装置から排出される排ガスを排ガス処理システムを小型化する技術を提供する。
【解決手段】排ガス処理システムは、半導体製造装置１から排出される水素およびモノシランを含む混合ガスから膜分離によりそれぞれのガスを分離する。第３成分ガス添加部３は、混合ガスに第３成分ガスを添加する。膜分離部５は、水素を選択的に透過させる膜を有し、第３成分ガスが添加された混合ガスからモノシランと水素とを分離する。この構成において、第３成分ガス添加部３は、以下の式に従って第３成分の添加量を変化させる。
ΔＦ ＝ Ｃ_１×ΔＡ、Ｃ_１ ≧ ０．３
ここで、ΔＡは水素回収率の減少幅（％）、ΔＦは、第３成分ガスの添加量の減少幅（Ｌ／ｍｉｎ）、をそれぞれ表す。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置から排出される排ガスを処理するシステムを小型化する技術を提供する。
【解決手段】排ガス処理システム１００は、半導体製造装置１から排出される少なくとも水素およびモノシランを含む混合ガスを処理する。この排ガス処理システム１００は、半導体製造装置から排出された混合ガスを排気するポンプ部２と、ポンプ部２により排気された混合ガスを圧縮して後段へ送る圧縮機１１と、圧縮された混合ガスを集めて収容するガス収容部３と、ガス収容部３から供給された混合ガスの流量を制御する流量制御部４と、水素を選択的に透過させ、混合ガスからモノシランと水素を分離する膜分離部６と、を備える。これにより、半導体製造装置１から排出された混合ガスの圧力変動を緩和し、安定して排ガス処理システムを運転することができる。 （もっと読む）

【課題】ガス分離体とこれ固定保持する部材との接合箇所でガスの漏出が生じにくいガス分離体固定構造体およびその使用方法を提供する。
【解決手段】多孔質基体１１とその表面上に設けられたガス分離膜１２と有するガス分離体３と、ガス分離体３を収容する凹部２４を有する収容部材２１と、ガス分離体３の外周面１８と側壁２６との隙間２８に設けられたシール部材２２と、隙間２８において軸２０方向でシール部材２２を挟み込み加圧する締付部材２３と、を備え、ガス分離体３の熱膨張率に対する収容部材２１の熱膨張率の比が０．５５以上０．９５以下であるガス分離体固定構造体１。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置から排出される排ガスを処理する装置を小型化する技術を提供する。
【解決手段】排ガス処理システムは、半導体製造装置１から排出される少なくとも水素およびモノシランを含む混合ガスを処理する。排ガス処理システムは、水素を選択的に透過させる半透膜を有し、混合ガスからモノシランと水素を分離する膜分離部４と、膜分離部４によって分離された水素の回収率に関する情報を取得し、水素の回収率を算出する水素回収率取得手段と、水素回収率の変化に応じて膜分離部の透過側圧力を制御する圧力制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本願発明は、ガス分離膜に関する。本願発明のガス分離膜は、特に酸素と窒素との分離度が高く、酸素の透過速度が速く、機械的性質が優れ、再現性よく製造が可能で、使用条件で性能が安定しているので、窒素富化膜、酸素富化膜として好適である。
【解決手段】芳香族ジアミン成分として、少なくともジトリフルオロメチルジアミノジフェニルエーテル類を用いた特定の反復単位からなる芳香族ポリイミドであることを特徴とするガス分離膜。 （もっと読む）

【課題】熱移動及び物質移動に対する抵抗が少なく、プロセス設備容積を劇的に減少させるチャンスを創り出す化学反応器及び反応チャンバ及び気相反応物質を有する触媒化学反応を行う方法を提供する。
【解決手段】反応チャンバである反応器マイクロチャネル内に多孔性触媒物質１０６を配設してその間にバルク流路１０２、１０４を形成し、多孔性触媒物質は多孔性触媒物質内で分子拡散を行わせるために十分大きい孔径を有し、反応器マイクロチャネルに熱移動用マイクロチャネル４００を隣接させる。 （もっと読む）

【課題】 特定の反復単位からなる可溶性の芳香族ポリイミドで形成され、改良されたガス分離性能を有する非対称中空糸ガス分離膜を提供すること、特に水素ガスとメタンガスや窒素ガスとのガス分離性能などが改良された非対称中空糸ガス分離膜を提供すること、及び前記非対称中空糸ガス分離膜を用いたガス分離方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 テトラカルボン酸成分がジフェニルヘキサフルオロプロパン構造及びビフェニル構造からなるものであり、ジアミン成分がジアミノジベンゾチオフェン類、ジアミノジベンゾチオフェン＝５，５−ジオキシド類、ジアミノチオキサンテン−１０，１０−ジオン類又はジアミノチオキサンテン−９，１０，１０−トリオン類と、３，３’−ジアミノジフェニルスルホン類とからなる、特定の反復単位からなる可溶性の芳香族ポリイミドで形成された非対称中空糸ガス分離膜に関する。 （もっと読む）

【課題】本願発明は、ガス分離膜に関する。本願発明のガス分離膜は、特に酸素と窒素との分離度が高く、機械的性質が優れ、再現性よく製造が可能で、使用条件で性能が安定しているので、窒素富化膜、酸素富化膜として好適である。
【解決手段】芳香族ジアミン成分として、ジ（アミノフェノキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン類およびヘキサフルオロ置換構造を有するジアミンを用いた特定の反復単位からなる芳香族ポリイミドであることを特徴とするガス分離膜。 （もっと読む）

【課題】 長時間にわたり、安定した水素透過能力を保持する水素分離膜モジュールを提供する。
【解決手段】 水素分離膜と少なくとも２枚の多孔性の補強板とベースプレートとを順に積層する水素分離膜モジュールであって、水素分離膜と接合する第一の補強板が、その表面に接着層を有し、第一の補強板に接合する第二の補強板が、第一の補強板の接着層より薄い接着層を有するか、または有さない。 （もっと読む）

【課題】耐熱性、ガス透過性、分離選択性に優れ、折り曲げ試験にも耐え得る可撓性が付与されたガス分離膜及びピンホールの少ないガス分離膜及びその製造方法を提供するものである。本発明のガス分離膜により、優れたガス混合物の分離方法、ガス分離膜モジュール、ガス分離膜モジュールを含むガス分離装置を提供すること。
【解決手段】少なくとも１種の酸性ガスと少なくとも１種の非酸性ガスを含む混合ガスから少なくとも１種の酸性ガスを分離するためのガス分離膜であって、
分画分子量が５００，０００以下である多孔質膜、及び分離活性膜を有し、
該分離活性膜が、架橋ポリマーと、酸性ガスと相互作用し得る分子量が１５０，０００以下の化合物とを含有することを特徴とするガス分離膜。 （もっと読む）

【課題】Ｐｄ系合金水素分離膜と５Ａ族金属合金水素分離膜を併用することにより、従来の改質器より高い水素回収率が得られる水素分離システムを得る。
【解決手段】水素分離膜を支持する役割を果たす筺状もしくは円筒状の多孔質支持体もしくは多孔板からなる支持体の外周面に水素分離膜を配置し、当該水素分離膜の外周に改質触媒層を配置してなる水素分離型改質器を複数直列に配置してなる水素分離システムであって、前記水素分離膜は、被処理ガスの上流側にはＰｄ系合金水素分離膜を用い、被処理ガスの下流側には５Ａ族金属合金水素分離膜を用いてなることを特徴とする水素分離システム。 （もっと読む）

【課題】Ｐｄ系合金水素分離膜と５Ａ族金属合金水素分離膜を併用することにより、従来の改質器より高い水素回収率が得られる水素分離型改質器を得る。
【解決手段】水素分離膜を支持する役割を果たす筺状もしくは円筒状の多孔質支持体もしくは多孔板からなる支持体の外周面に水素分離膜を配置し、当該水素分離膜の外周に改質触媒層を配置してなる水素分離型改質器を複数直列に配置してなる水素分離システムであって、前記水素分離膜は、被処理ガスの上流側にはＰｄ系合金水素分離膜を用い、被処理ガスの下流側には５Ａ族金属合金水素分離膜を用いてなることを特徴とする２段式水素分離型改質器。 （もっと読む）

【課題】原料ガスのリークを抑制するとともに高純度の水素ガスが得られる水素分離装置を提供する。
【解決手段】水素を含有するガスから水素ガスを分離させるための水素分離筒３を改質触媒兼支持体である多孔質支持体６０及び水素透過膜１０で形成する。多孔質支持体６０は、多孔質支持層５０の外側表面を覆う反応防止層（第１多孔質層）４０、反応防止層４０の外側表面を覆うように形成された水素透過層３０及び水素透過層３０の外側を覆う反応防止層２０で構成されている。水素分離膜１０は、反応防止層２０を覆うように形成されている。水素透過層３０は、多孔質支持体６０中に層を形成するように、水素透過性金属材料Ｐｄが充填された層であり、水素透過膜１０はＰｄ薄膜である。このように水素分離層を二重にすることで、一方の水素透過層３０でリークが発生しても他方でリークを抑止できるので、純度の高い水素ガスを安定して供給することができる。 （もっと読む）

【課題】 特定の反復単位からなる可溶性の芳香族ポリイミドで形成され、改良されたガス分離性能を有する非対称中空糸ガス分離膜を提供すること、特に水素ガスとメタンガスや窒素ガスとのガス分離性能などが改良された非対称中空糸ガス分離膜を提供すること、及び前記非対称中空糸ガス分離膜を用いたガス分離方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 テトラカルボン酸成分がジフェニルヘキサフルオロプロパン構造及びビフェニル構造からなるものであり、ジアミン成分がジアミノジベンゾチオフェン類、ジアミノジベンゾチオフェン＝５，５−ジオキシド類、ジアミノチオキサンテン−１０，１０−ジオン類又はジアミノチオキサンテン−９，１０，１０−トリオン類と、３，３’−ジアミノジフェニルスルホン類と、ｍ−フェニレンジアミン類とからなる、特定の反復単位からなる可溶性の芳香族ポリイミドで形成された非対称中空糸ガス分離膜に関する。 （もっと読む）

【課題】有機ハイドライド等の脱水素反応を水素分離膜と組み合わせて水素を製造する場合において、簡便に脱水素反応の原料に水素を混合させ、脱水素反応触媒の性能低下を抑制することができる水素製造方法および脱水素反応器を提供する。
【解決手段】水素を選択的に透過する水素分離膜と、脱水素反応により水素を放出可能な有機化合物の脱水素反応を促進させる脱水素触媒を具備し、有機化合物が流通可能な、脱水素触媒を含む領域である反応側領域と、水素分離膜によって反応側領域から区画された、水素分離膜を透過した水素が流通可能な領域である透過側領域と、を有する流通式反応器であって、有機化合物の流通方向に沿って、水素分離膜が存在し脱水素触媒は存在しない部分Ｂと、水素分離膜と脱水素触媒とが存在する部分Ａとを、この順に含む有機化合物の脱水素反応器。この反応器を用いた水素製造方法。 （もっと読む）

【課題】 特定の反復単位からなる可溶性の芳香族ポリイミドで形成され、改良されたガス分離性能を有する非対称中空糸ガス分離膜を提供すること、特に水素ガスとメタンガスや窒素ガスとのガス分離性能などが改良された非対称中空糸ガス分離膜を提供すること、及び前記非対称中空糸ガス分離膜を用いたガス分離方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 テトラカルボン酸成分がジフェニルヘキサフルオロプロパン構造及びビフェニル構造からなるものであり、ジアミン成分がジアミノジベンゾチオフェン類、ジアミノジベンゾチオフェン＝５，５−ジオキシド類、ジアミノチオキサンテン−１０，１０−ジオン類又はジアミノチオキサンテン−９，１０，１０−トリオン類と、３，３’−ジアミノジフェニルスルホン類と、ジアミノ安息香酸類とからなる、特定の反復単位からなる可溶性の芳香族ポリイミドで形成された非対称中空糸ガス分離膜に関する。 （もっと読む）

メタン及び１種以上の高級炭化水素を含む天然ガス流の処理方法であって、（ｉ）前記天然ガス流の少なくとも一部を水蒸気と混合する工程と、（ｉｉ）前記混合物を１５０〜３００℃の範囲の吸気口温度で貴金属担持改質触媒に断熱的に通し、メタン、水蒸気、二酸化炭素、一酸化炭素、及び水素を含む改質ガス混合物を生成する工程と、（ｉｉｉ）前記改質ガス混合物を露点以下に冷却して水を凝縮し、前記凝縮物を除去して脱水改質ガス混合物を供給する工程と、（ｉｖ）前記脱水改質ガス混合物を、酸性ガス回収装置に通し、二酸化炭素、並びに前記水素及び一酸化炭素の少なくとも一部を除去し、それによってメタン流を生成する工程と、を含む、天然ガス処理方法が記載されている。前記メタン流は、燃料として使用してもよく、又は輸送若しくは貯蔵のために液化してもよい。また、あるいは、前記メタン流を、気化させたＬＮＧ流を含む天然ガス流の組成を調節してパイプライン仕様に合わせるために用いることもできる。
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【課題】本発明は、多孔体の内部に薄膜化した金属充填層を有する複合体の製造方法を提供すること。
【解決手段】多孔質基材の片側から金属源（イオン、微粒子、化合物）あるいは金属源及びゲル化剤を含む前駆体溶液を浸透させたのち、反対側から前駆体溶液が滲出する前に該前駆体溶液を固化させて細孔複合体（Ａ）を得る工程、前記細孔複合体（Ａ）に、前記前駆体溶液を浸透させた反対側から、還元剤を含む溶液を浸透させることにより、前記細孔複合体（Ａ）の細孔内に金属種核を担持させる工程、前記工程で得られた金属種核を担持した細孔複合体（Ｂ）を無電解メッキ処理する工程を含むことを特徴とする複合体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】孔やひびなどの欠陥の少ない状態にて水素選択透過性金属膜が多孔質基体によって支持されている水素分離体を提供する。
【解決手段】一の表面１１から他の表面１３まで連通する多数の細孔１５を有してセラミックスを主成分とする多孔質基体３と、多孔質基体３の一の表面１１に設けられる水素選択透過性金属膜５とを有し、多孔質基体３における水素選択透過性金属膜５と接触する部分の鉄含有量が０．１質量％以下である水素分離体１。 （もっと読む）