【課題】 振動や騒音の発生を抑制できる酸素濃縮器を提供すること。
【解決手段】 下部室７３には、コンプレッサ１７が配置されている。コンプレッサ１７の左右のヘッド８３、８５には、第１空気配管７９から左右に分岐した分岐空気配管８７、８９が接続されるとともに、第２空気配管８１から左右に分岐した分岐空気配管９１、９３が接続されている。コンプレッサ１７の底部は４個の制振ばね１０１〜１０７によって支持されており、第２制振系を構成する制振ばね１０１〜１０７のばね定数は、振動を抑制して騒音の発生を防止するために、０．０５１２〜０．１７８８ｋｇｆの範囲内に設定されている。また、第１、第２空気配管７９、８１と分岐空気配管８７〜９３により、コンプレッサ１７の上下方向等の振動を規制してコンプレッサ１７の揺動を抑制する第１制振系が構成されている。 （もっと読む）

【課題】 ガス化剤の使用量の適正化を図り、効率の良いガス化を達成できる流動層ガス化炉の提供、及び流動層ガス化炉を備えたガス化処理系統とメタン発酵槽を備えたメタン発酵処理系統からなるシステムを構築するにあたって、これらの処理系統にて発生する生成物を有効利用し、環境保全の観点から資源の有効利用及び排出物の減量化が可能である複合廃棄物ガス化処理システム及び方法の提供。
【解決手段】 有機系固形廃棄物をガス化する流動層ガス化炉１０を備えたガス化処理系統と、湿潤系廃棄物をメタン発酵処理するメタン発酵槽３０を備えたメタン発酵処理系統と、を備えた複合廃棄物ガス化処理システムにおいて、前記メタン発酵槽３０にて発生した発酵ガスからメタンガスと二酸化炭素とを分離するＶＰＳＡ装置３１を設け、分離した二酸化炭素を流動層ガス化炉に送給し、流動化ガスとして利用する。 （もっと読む）

本発明は、半導体処理装置内のガスから汚染物質を除去するための装置を含むシステムおよび方法を提供する。この装置は、少なくとも２つの並列フィルタステージが内部に設置されたフィルタユニットを含むことができる。フィルタステージは、貫流するガス中に存在する汚染物質の少なくとも一部を除去するように設計される。この装置は、フィルタステージ間にガスフローを分配するフローコントローラを備えることもできる。一実施形態では、コントローラは拡散プレートで構成することができる。本発明は、本発明のシステムまたは方法におけるガスフロー制御のためのサンプリングチューブオリフィスも提供する。他の実施形態では、クリーンルーム内のガスから汚染物質を除去するための装置は、ガスが装置を通過するときにガス内の汚染物質の少なくとも一部を除去するために使用される少なくとも２つの並列フィルタステージを有するフィルタユニットを含む。
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不純物の除去性能を高く維持しつつ、気体の温度安定性を向上させるフィルタ装置。フィルタ装置（７０）は、気体に含まれる不純物を除去するフィルタ（８０）と、気体の温度を所定の温度に調整する温度調整装置（７６）とを含む。フィルタ装置は、フィルタの上流側に配置され、かつフィルタを通過する前の気体の湿度を調整する湿度調整装置（８４）を更に含む。
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【課題】空気清浄機に備えた吸着手段の脱離処理を行うとき、脱離したガスが周囲に漏洩するようなことなく、また吸着手段の脱離処理及び空気清浄機の運転を効率よく行うことのできる空気清浄機及びその運転方法を提供する。
【解決手段】筐体５に備えた吸込口１５から吸入した空気中のＶＯＣを吸着除去するための吸着手段２３を前記筐体５内に備えた空気清浄機であって、前記吸着手段２３を、前記吸込口１５から空気を吸入して前記筐体５外へ排出する捕集流路と、前記吸着手段２３に吸着したＶＯＣを脱離するための脱離流路とへ移動可能に備え、前記脱離流路には、前記吸着手段２３を収容し加熱するための加熱室２５を備えており、前記加熱室２５には、前記吸着手段２３から脱離したＶＯＣを分解するためのガス分解除去装置３７又は加熱室２５内のＶＯＣを吸引し屋外に排出するための吸引排出手段７５が接続してある。 （もっと読む）

【課題】ユーザにとってより一層扱いやすい酸素濃縮器を提供すること。
【解決手段】 大気を原料として大気よりも酸素濃度の高い酸素ガスを生成する酸素ガス生成部２０の上方に蓋体３０を設け、蓋体３０の上に設置された容器１１１内の液体を用いて、酸素ガスの湿度を高める酸素濃縮器であって、酸素ガス生成部２０の一部２６０と容器１１１の一部１１１ｃとが係合することにより、容器１１１が蓋体３０の上に設置された状態での蓋体３０の開放を防止することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 組立が容易で、小型化に適した吸着式ガス生成装置を提供すること。
【解決手段】 製品タンク２２８の下部に直接吸着塔を接続する構成とし、製品タンクと吸着塔との間で従来必要であった配管を不要とした。また、吸着塔間を接続するパージオリフィスについても製品タンク内部に形成した流路を用いて形成することで、さらに配管を省略することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】外付けの第２の配管をなくす。密閉式燃料タンクと組み合わせて蒸発燃料を処理するに当り、パージガスの燃料濃度の時間的変化をゆるやかにして、エンジンに供給する燃料の空燃比の急変を抑制する。エンジンの運転性を良好にする。
【解決手段】燃料タンク５へ給油するときは電磁弁４が開き、蒸発ガス（ベーパ）が矢印Ｃに沿って流れ、主吸着剤室１２の活性炭１３等に吸着される。車両運転中、タンク高圧時は矢印Ｄのように蒸発ガスが流れる。第１の部屋２８から緩衝板３４の通路３４ａを通り、第２の部屋２９の活性炭３０を通過し、パージポート６からエンジン８の吸気通路へ流れる。パージ時は矢印Ｅのように流れる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造や液晶製造などの先端産業における原材料、半製品、製品の基材や基板表面の汚染を防止するための清浄気体の調製方法を提供する。
【解決手段】本発明は、基材又は基板表面の汚染を防止するための方法であって、クリーンルーム内の気体を、吸着手段および／または吸収手段と、除塵手段とに通すことによって、非メタン炭化水素濃度が０．２ｐｐｍ以下且つ微粒子濃度クラスが１０以下の清浄気体を調整し、得られた清浄空気を基材又は基板の表面と接触させることを特徴とする方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】造水量に対する造水コストを削減した造水システムを提供することを目的とする。
【解決手段】吸脱着体２２を有する水蒸気吸脱着部２１と、吸気部１１と、凝縮部３１と、排気部４１と、送風手段５１と、太陽電池６１とを備え、１日のうちで相対湿度が高くなる第１の時間帯に低温高相対湿度の外気からこの外気中に含まれる水蒸気を吸脱着体２２に吸着させ、１日のうちで相対湿度が低くなる第２の時間帯に太陽光と高温低相対湿度の外気を利用して吸脱着体２２から水蒸気を空気中に放出させ、この空気より凝縮部３１において水を凝縮させる造水システムであって、水蒸気吸脱着部２１内の空気と外気とを自然換気させる開閉可能な換気口２３が水蒸気吸脱着部２１に設けられ、この換気口２３は少なくとも第１の時間帯に開口されることを特徴とするものである。 （もっと読む）

本発明は、性能を改良し、必要であれば一体型フィルタに複数の濾過機能を組み込むことによって、粒子状物質及び気相汚染物質のような汚染物質を、汚染されやすい電子又は光学機器のような閉じた環境から濾過するためのデバイスに関する。濾過機能には、受動吸着フィルタが含まれる。その上、筐体内部に所望される機能に応じて、再循環フィルタ、拡散チューブ、及び外部実装機能をフィルタに付与できる。
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【課題】半導体製造や液晶製造などの先端産業における原材料、半製品、製品の基材や基板表面の汚染を防止するための清浄気体の調製方法を提供する。
【解決手段】本発明は、基材又は基板表面の汚染を防止するための方法であって、クリーンルーム内の気体を、吸着手段および／または吸収手段と、除塵手段とに通すことによって、非メタン炭化水素濃度が０．２ｐｐｍ以下且つ微粒子濃度クラスが１０以下の清浄気体を調整し、得られた清浄空気を基材又は基板の表面と接触させることを特徴とする方法を提供する。 （もっと読む）

呼吸マスクへの取り付けに好適なフィルターカートリッジ（５）は、空気入口（２７）、空気出口（３９）、および濾過される空気が入口から出口へ通過する際、空気がそれを通って移動するフィルター材料（１７、１９）を含むハウジングを有する。ハウジングの少なくとも一部は、フィルター材料の側面の周りで熱成形されるシート材料（２３）を含む。
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本発明は、空気あるいはガス流れから化学汚染物質および微粒子をろ過するために圧力損失の小さい構造を有するろ過アセンブリを提供することによって、酸性、塩基性、またはＶＯＣガスの除去のために、活性炭、イオン交換樹脂ビーズ、および液体形態のイオン交換体の限界を克服する。ろ過アセンブリは、圧力損失の小さい化学フィルタ、圧力損失の小さい微粒子フィルタ、および扇風機や送風機などの空気輸送デバイスを含み、全てがハウジング内で結合している。
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好ましい実施形態では、本発明は、分子状汚染物質に敏感な半導体処理ツールおよび処理に使用される、反応ガス用のガスフィルタを提供する。本発明の反応ガスフィルタは、圧力低下が改善され、それぞれ約１０ｐｐｂｖ以下および約５ｐｐｂｖ以下の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する入力ガスストリームに対して、それぞれ約１ｐｐｂｖ未満の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する出力ガスストリームを供給することができる。本発明の一態様では、本発明は、約０．５リットル以下のフィルタ媒体容積を用いて、それぞれ約１０ｐｐｂｖ以下および約５ｐｐｂｖ以下の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する入力ガスストリームに対して、それぞれ約１ｐｐｂｖ未満の濃度のアンモニアおよび二酸化硫黄を有する出力ガスストリームを供給することができる、圧力低下が改善された反応ガスフィルタを提供する。
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希釈VOCガス流からエネルギーを生成するための装置及び方法。装置100は、希釈VOCガスを濃縮VOC燃料に濃縮する濃縮器120を含む。濃縮VOC燃料は機関160の燃料入口に供給される。装置100は、濃縮器120内の吸着媒質上にVOCを吸着することによって作動される。濃縮器120はVOCの単位体積あたりの濃度を高める。吸着されたVOCはその後、濃縮VOC燃料流を形成するため脱離させられる。濃縮VOC燃料流は、液化VOC若しくは、より濃縮されたVOCガス流のいずれかでもよい。濃縮VOC燃料流はその後、運動エネルギー若しくは電気エネルギーを生成するため機関に送られる。 （もっと読む）

本発明は、吸着により空気を予備精製するための方法に関し、この方法は、交互に、並行して操作され、且つＴＳＡサイクルにおいて操作される２つの吸着容器を用い、各容器は、半径方向の吸着床に配置された吸着剤を含有し、各吸着サイクルは、（ａ）不純物が吸着温度（ｒａｄｓ）において、吸着剤上で除去され、空気が、求心的に吸着床を横切る吸着段階、（ｂ）前記不純物を脱着するために、Ｔｒｅｇ＞Ｔａｄｓである再生温度（Ｔｒｅｇ）において、吸着剤を、再生ガスをフラッシングすることにより再生する再生段階、および（ｃ）再生された吸着剤の温度を低下させる吸着剤冷却段階から成る。吸着の最大時間（ｒａｄｓ）は、１２０分であり、好ましくは６０〜１２０分である。再生ガスが、吸着剤を含有する床を遠心方向に洗うように、再生ガスを導入する。最大再生流量は、吸着流量の３５％である。再生温度には、吸着器の外側に配置された熱交換器によって到達する。
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【課題】空気吸入口の清掃や吸着剤の交換等のメンテナンスを容易に行うことができる簡易型空気清浄装置を提供すること。
【解決手段】ゼオライト粉末、セビオライト繊維、コロイダルシリカ等を含有するセラミック体からなる吸着剤を用い、ファンモータによって空気の流れを起こして脱臭、除塵、又は除湿を行う簡易型空気清浄装置であって、筒状体からなる装置本体の一端側に蓋体を、他端側に底板をそれぞれ着脱可能に設け、前記蓋体に空気吸入口を形成するとともに、前記底板に前記ファンモータを固定し、前記空気吸入口と前記ファンモータとの間の空間に、前記吸着剤を着脱可能に配設したことを特徴とする簡易型空気清浄装置。 （もっと読む）