【課題】目的ガスを含む混合ガスから高純度の目的ガスを取得するのに際し、目的ガスの分離性能の悪化を防止しつつ、装置構成のコンパクト化を図るのに適した方法と装置を提供する。
【解決手段】本方法は、吸着剤が充填された３塔以上の吸着塔を用いて、混合ガスから目的ガスを濃縮分離する方法であって、吸着塔に混合ガスを導入して混合ガス中の目的ガスを吸着剤に吸着させ、当該吸着塔から非吸着ガスを導出する吸着工程と、吸着塔に洗浄ガスを導入し当該吸着塔から洗浄オフガスを導出する洗浄工程と、吸着塔内を減圧して吸着剤から目的ガスを脱着させ当該吸着塔から脱着ガスを導出する脱着工程と、を含むサイクルを各吸着塔にて繰り返し行う。サイクルを通じていずれかの吸着塔にて吸着工程を常時的に行う。脱着工程を実行する脱着工程時間は、吸着工程を実行する吸着工程時間よりも長くされる。 （もっと読む）

【課題】低露点空気を発生する際のエネルギ消費量が小さい低露点空気発生装置を提供する。
【解決手段】低露点空気発生装置１０は、水分凝縮ユニット１２と、温度スイング吸着ユニット１４と、低露点空気供給ユニット１６を備えるとともに、接続される各ユニット間を流通する空気の流路を切り替える第一及び第二の４ポート自動流路切換機構２２ａ、２２ｂを有する。第一及び第二の４ポート自動流路切換機構２２ａ、２２ｂは、それぞれ、３つのポートを備える４つの電磁弁を組み合わせて一体化され、全体として、空気や再生用空気等の流入口又は流出口となる４ポートを有する。 （もっと読む）

【課題】トラブルの原因たる逆止弁を廃止し、静音化と長期性能の安定を実現する酸素濃縮装置を提供する。
【解決手段】原料空気を供給するコンプレッサー３と、上記コンプレッサー３から供給された原料空気中の窒素を吸着して酸素を濃縮する複数の吸着筒１２，１３と、各吸着筒１２，１３に対応して上記コンプレッサー３から原料空気を供給する吸着筒１２，１３を切り替えて開閉する電磁弁８，９とを備え、上記電磁弁８，９は上記コンプレッサー３からパイロットエアーが導入されることにより開閉するパイロット式の電磁弁８，９であり、上記パイロットエアーを導入するパイロットエアー流路にオリフィス３１を設けた。これにより、コンプレッサー３の吐出圧力に急激な変化が生じても、パイロットエアー圧力の変化に遅れを生じさせ、コンプレッサー３の吐出圧力が瞬間的に低下しても、パイロットエアーの圧力を維持して逆流を防止した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数用途に使用される工場エアーを用いることにより、エネルギーロスを小さくしたガス発生装置及びそのシステムを供給することを目的とする。
【解決手段】本発明は、ブースタ圧縮機により昇圧した工場エアーを気体分離装置に供給し、前記気体分離装置から所定のガスを取り出すことを特徴とする。また、本発明におけるガス発生装置は、ブースタ圧縮機により工場エアーを昇圧する昇圧工程と、前記昇圧された空気を気体分離装置により分離する分離工程とにより所定のガスを取り出すガス発生装置を提供するものである。 （もっと読む）

【解決課題】ＣＯによる水素吸蔵合金の被毒を最小限に抑制することにより、水素の回収率を向上させ、水素製造のシステムおよび設備全体の効率が高く、かつＤＳＳ運転性能ならびに構成機器、装置の起動性に優れ、かつ耐久性に優れ、しかも低コストで実施し得る高純度の水素製造方法を提供すること。
【解決手段】水素分離回収工程の水素吸蔵ステップで排出されるオフガスをオフガス蓄積タンクに蓄積する水素吸蔵オフガス蓄積工程と、各工程の実施による水素製造を一旦停止した後に再開するに当たって、ＣＯ吸着除去工程において使用された吸着除去器のＣＯ選択吸着剤に前記水素吸蔵オフガス蓄積工程で蓄積された水素吸蔵オフガスを流通させてＣＯ選択吸着剤の初期パージを行うＣＯ選択吸着剤初期パージ工程を備える高純度水素製造方法。 （もっと読む）

【課題】コンプレッサが作動してスリーブが発熱しても、効率良く冷却しつつ、騒音の発生や電力消費を抑制することができる酸素濃縮装置を提供すること。
【解決手段】ピストン１１Ｐ、１２Ｐと、ピストンを往復移動させるスリー１１，１２を有しスリーブ１１，１２内で原料空気を圧縮して圧縮空気を発生するコンプレッサ１０と、スリーブ１１，１２に対向する位置に配置された送風口３７，３８を有し、送風口３７，３８を通じてスリーブ１１，１２に冷却用の送風を行うファン３４，３６を有する。 （もっと読む）

【課題】 クリプトンやキセノン、ネオンを使用する半導体製造装置からの排ガスから不純物を効果的に除去してクリプトン等を循環再利用できるガス分離方法及び装置を提供する。
【解決手段】 クリプトン、キセノン、ネオンの少なくとも１種を含む混合ガス中の不純物成分を分離除去するにあたり、不純物成分のアンモニアと窒素酸化物とを脱硝触媒により窒素及び水蒸気に転化させてアンモニア及び窒素酸化物の少なくともいずれか一方を除去する触媒反応工程と、窒素酸化物を窒素と水蒸気とに転化する脱硝工程と、アンモニア及び水蒸気を吸着分離する第１吸着分離工程と、クリプトン、キセノン及びネオンを吸着する第２吸着剤に対して難吸着性の不純物成分を排出する第２吸着分離工程と、第２吸着分離工程で第２吸着剤に吸着したガス成分を回収する脱着回収工程と、第３吸着剤に接触させて易吸着性のガス成分を吸着分離する第３吸着分離工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】ＰＳＡ法を利用して高純度アルゴンを高収率で得るのに適したアルゴン精製方法と装置を提供する。
【解決手段】本発明のアルゴン精製方法では、原料ガスＧ₀を貯留槽１０に取り込み、また、吸着剤が充填された吸着塔３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃに向けて貯留槽１０から混合ガスＧ₁を供給する。そして、吸着工程と脱着工程を含むサイクルを各吸着塔にて繰り返し行う。吸着工程では、塔内が相対的に高圧である状態にて、当該吸着塔にガスＧ₁を導入してガスＧ₁中の不純物を吸着剤に吸着させ、且つ、アルゴンが富化されたガスＧ₂を当該吸着塔から導出する。脱着工程では、塔内を降圧して吸着剤から不純物を脱着させ、且つ、当該吸着塔からガスを導出する。また、脱着工程は、当該工程の開始から途中までにおいて吸着塔からガスＧ₅を導出する第１脱着工程と、吸着塔からガスＧ₆を導出する第２脱着工程とを含み、ガスＧ₅を貯留槽１０に戻す。 （もっと読む）

【課題】一酸化炭素と例えば水素などの不純物ガスとを含む混合ガスから高純度の一酸化炭素を得るのに適した方法と装置を提供する。
【解決手段】本発明の方法は、一酸化炭素吸着剤が充填された吸着塔を用いて一酸化炭素を含む混合ガスから一酸化炭素を濃縮分離する方法であって、例えば、吸着塔内が相対的に高圧である状態にて、当該吸着塔に混合ガスを導入して当該混合ガス中の一酸化炭素を吸着剤に吸着させ且つ当該吸着塔から非吸着ガスを導出する吸着工程と、吸着塔内を降圧して、吸着剤から一酸化炭素を脱着させ且つ当該吸着塔から脱着ガスを導出する脱着工程と、を含むサイクルを繰り返し行うものである。脱着工程は、当該脱着工程の開始から途中までにおいて吸着塔から第１脱着ガスを導出する第１脱着工程と、吸着塔から第２脱着ガスを導出する、第１脱着工程の後の第２脱着工程とを含み、第２脱着ガスが分離取得される。 （もっと読む）

【課題】大幅な小型軽量化と低騒音化と低振動化を同時に達成できるコンプレッサ及び酸素濃縮装置の提供。
【解決手段】１組の第１のピストンと第１の偏心カムと第１のシリンダ室と、１組の第２のピストンと第２の偏心カムと第２のシリンダ室と、１組の第３のピストンと第３の偏心カムと第３のシリンダ室と、１組の第４のピストンと第４の偏心カムと第４のシリンダ室とを備え、前記第１のピストン及び第２のピストンの共通の第１の中心軸と、前記第３のピストンの第４のピストンの共通の中心軸とを、互いに９０度ずらせて交差するように構成する。 （もっと読む）

【課題】大幅な小型軽量化と低騒音化と低振動化を同時に達成できるコンプレッサ及び酸素濃縮装置の提供。
【解決手段】 １組の第１のピストンと第１の偏心カムと第１のシリンダ室、１組の第２のピストンと第２の偏心カムと第２のシリンダ室、１組の第３のピストンと第３の偏心カムと第３のシリンダ室、１組の第４のピストンと第４の偏心カムと第４のシリンダ室、を備え、配管マニホルド、吸気フィルタ、排気マフラを一体構造とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、原料ガスから炭酸ガスを効率的に回収できる炭酸ガス回収方法および炭酸ガス回収装置を提供する。
【解決手段】吸着塔２Ａ（２Ｂ、２Ｃ）を復圧する復圧工程と、吸着塔２Ａ（２Ｂ、２Ｃ）に原料ガスを導入して、昇圧する昇圧工程と、吸着塔２Ａ（２Ｂ、２Ｃ）に原料ガスを導入して、原料ガスに含有されている炭酸ガスを吸着剤３に吸着させる吸着工程と、吸着塔２Ａ（２Ｂ、２Ｃ）から炭酸ガス以外のガスを離脱させる洗浄工程と、吸着剤３から炭酸ガスを離脱させて吸着塔２Ａ（２Ｂ、２Ｃ）から導出する回収工程とを行う。その際、洗浄工程において吸着塔２Ａ（２Ｂ、２Ｃ）から導出したオフガスを、オフガス貯留部４２に貯留させるようにした。このオフガス貯留部４２に貯留したオフガスを復圧に用いるようにし、また、このオフガスを吸着塔２Ａ（２Ｂ、２Ｃ）に導入する原料ガスに混合させることにより、その濃度を調節するようにした。 （もっと読む）

【課題】液体窒素ボンベや窒素ガス発生装置などを別途用いることなく、放電式オゾンガス発生装置における一対の電極間に流すための酸素含有ガスとして好適に利用することのできる酸素濃縮ガスを効率的に発生することのできる酸素ガス発生装置を提供する。
【解決手段】原料ガスＧ_０に含有される窒素及び水分を吸着筒Ｔに収容した吸着剤に吸着させ、吸着筒Ｔから酸素濃縮ガスＧ_１を導出する吸着工程と、吸着筒Ｔを減圧して前記吸着剤から窒素及び水分を脱着させ、前記吸着剤の吸着能を再生する再生工程とを繰り返し行うことにより、吸着筒Ｔに接続したガス流路αを通じて製品ガスＧ_３を装置外部へ取り出すことができるようにした酸素ガス発生装置において、ガス流路αにおける所定箇所Ａと吸着筒Ｔにおける所定箇所Ｂとをガス流路βで接続した。 （もっと読む）

【課題】吸着槽内の気体の流動性が高まることに起因して吸着手段に生じる不具合を防止することができる気体分離装置の提供。
【解決手段】圧縮機２により圧縮された圧縮空気を、吸着手段が充填された吸着槽１９に供給し、吸着槽１９内を昇圧させて製品ガスを生成する吸着工程と、吸着槽１９により生成された製品ガスを吸着槽１９から取り出す取出工程と、吸着槽１９により分離された製品ガス以外のガスを吸着槽１９から取り出す再生工程と、を順次行うように構成されており、吸着槽１９内の圧力を検出する圧力検出手段２８と、圧力検出手段２８からの出力信号に基づいて圧力変化速度を算出し、圧力変化速度の絶対値が所定値以上となったときに異常と判断する制御手段６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】吸着剤の交換が不要な酸素濃縮装置を提供する。
【解決手段】空気を圧縮するためのコンプレッサ２と、そのコンプレッサ２の圧縮空気が交互に供給され、かつ窒素を吸着・脱着する吸着剤が充填された複数の吸着層３とを備え、上記吸着層３の上流に、圧縮空気中の水分を除去するための吸湿剤が充填された吸湿層４を各々設けた酸素濃縮装置１において、上記吸湿層４と上記吸着層３との間に、水分濃度を検出するための水分センサ５を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】酸素濃縮装置の窒素吸着剤の寿命を長くすることができるオゾンシステムおよびオゾンシステムの吸着筒パージ方法を提供する。
【解決手段】酸素濃縮装置６と、オゾン発生装置７と、オゾン利用装置８と、オゾン分解装置１０とでオゾンシステム１が構成され、上記オゾンシステム１の運転を停止する際に、上記酸素濃縮装置６の吸着筒２４内に残存する水分を除去すべく、上記バッファタンク５に貯蔵した高濃度酸素あるいは上記コンプレッサ２からの圧縮空気をパージガスとして上記吸着筒２４に流すオゾンシステム１の吸着筒２４パージ方法において、上記パージガスを、上記オゾン分解装置１０の廃熱を用いて加熱した後、上記吸着筒２４に流すものである。 （もっと読む）

【課題】 患者が酸素流量や吸入時間を設定可能で且つ設定値を選択可能とする酸素濃縮装置を提供する。
【解決手段】 酸素濃縮装置であって、酸素濃縮空気の流量を入力する流量設定ボタン３５と、流量設定ボタン３５により入力された複数の酸素濃縮空気の流量を酸素吸入状況と関連付けて記憶するメモリと、メモリに記憶された酸素濃縮空気の流量を選択する設定切換えボタン３６とを有し、流量制御手段１５は、設定切換えボタン３６により選択された流量に基づいて、製品タンク１２から排出する酸素濃縮空気の流量を制御するものであり、設定切換えボタン３６は、安静、睡眠、労作時の各々の酸素吸入状況に適応した３つのボタン３６ａ，３６ｂ，３７ｃである。 （もっと読む）

【課題】最適な均圧箇所を選択でき、高濃度の酸素を得られる酸素濃縮器の均圧方法を提供する。
【解決手段】吸着筒４、５内の作動圧力を設定すると共に、吸脱着切替時間を予め設定し、その条件で吸着運転したときの切替直前の吸着筒４、５内での上流から下流へ至る酸素濃度分布を予め求めておき、その酸素濃度分布に応じて、上記吸着筒４、５の下流側で均圧する下流均圧、上記吸着筒４、５の上流側と下流側の両方で均圧する上下均圧、上記吸着筒４、５の上流側で均圧する上流均圧のいずれかを選択するものである。 （もっと読む）

【課題】運転停止中に吸着筒へ水分が拡散するのを防止する酸素濃縮器を提供する。
【解決手段】空気を圧縮するコンプレッサ２と、窒素を選択的に吸着する吸着剤ａ３を充填した複数個の吸着筒３ａ，３ｂと、コンプレッサ２からの圧縮空気を各吸着筒３ａ，３ｂに交互に供給して窒素を吸着させ、他方、吸着筒３ａ，３ｂの窒素を脱着させて排気するための切替手段４とを備えた酸素濃縮器１において、切替手段４と各吸着筒３ａ，３ｂ間に、圧縮空気中の水分を吸湿する吸湿剤ｍを充填した吸湿筒７ａ，７ｂを独立して設け、これら吸湿筒７ａ，７ｂと各吸着筒３ａ，３ｂ間に、酸素濃縮運転時は開放し、運転停止中は吸着筒３ａ，３ｂへの水分の浸入を遮断すべく閉止する遮断弁８ａ，８ｂを設けたものである。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工装置におけるレーザ発振部とレーザ照射部とを結ぶ光路に流されるパージガスに含有される二酸化炭素を除去するのに好適に用いることのできる圧力変動吸着式の二酸化炭素除去装置を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置におけるレーザ発振部とレーザ出射部とを結ぶ光路に流されるパージガスに含有される二酸化炭素を除去するための圧力変動吸着式の二酸化炭素除去装置３００において、二酸化炭素を吸着するための吸着筒３０２の内部に４Ａ型ゼオライトを収容した。 （もっと読む）