【目的】ボイラ給水を供給するための貯水タンクへ補給水を供給するに当り、補給水の軟水化および脱酸素処理の確実性を高める。
【構成】貯水タンク４０へ補給水を供給する注水路５１に設けた軟水化装置５３において、ナトリウム型陽イオン交換樹脂が充填された樹脂ユニット群から一つの樹脂ユニットを選択し、選択した樹脂ユニットを用いて補給水から硬度分を除去する。また、硬度分が除去された補給水を脱酸素装置５６に所定流量Ｘで通過させて補給水に含まれる溶存酸素を除去し、その補給水を貯水タンク４０へ供給して貯留する。軟水化装置５３と脱酸素装置５６との間において、補給水の硬度分濃度および水温をそれぞれ硬度分センサ５７および水温センサ５８で測定し、測定した硬度分濃度が所定濃度を超えたときは樹脂ユニットを他の樹脂ユニットに切替え、また、測定した水温が所定温度未満のときは所定流量Ｘ未満で補給水を脱酸素装置５６に通過させる。 （もっと読む）

【目的】ボイラ給水への薬剤の添加によらずに、蒸気ボイラでの腐食およびスケール生成を効果的に抑制する。
【構成】ナトリウム型陽イオン交換樹脂が充填された複数の樹脂ユニットを含む樹脂ユニット群を有する軟水化装置５３、ナノろ過膜を有するクロスフロー型ろ過装置５５および脱酸素装置５６で補給水を処理し、これにより得られる脱酸素処理されかつ塩化物イオンおよび硫酸イオンが除去された軟化水をボイラ給水として貯水タンク４０に貯留する。軟水化装置５３とろ過装置５５との間において、補給水の硬度分濃度、塩化物イオンと硫酸イオンとの合計イオン濃度並びに水温をそれぞれ測定し、硬度分濃度が所定濃度を超えたときは樹脂ユニット群において樹脂ユニットを他のものに切替え、合計イオン濃度が所定値を超える場合はろ過装置５５からのブロー量を多くし、水温が所定温度未満のときは補給水の流量を下げて脱酸素装置５６に通過させる。 （もっと読む）

【目的】ボイラ給水への薬剤の添加によらずに、蒸気ボイラでの腐食およびスケール生成を効果的に抑制する。
【構成】ナトリウム型陽イオン交換樹脂が充填された複数の樹脂ユニットを含む樹脂ユニット群を有する軟水化装置５３、ナノろ過膜を有するクロスフロー型ろ過処理装置５５および脱酸素装置５６で補給水を処理し、これにより得られる脱酸素処理されかつ塩化物イオン等の腐食促進イオン成分が除去された軟化水をボイラ給水として貯水タンク４０に貯留する。軟水化装置５３とろ過処理装置５５との間において、補給水の硬度分濃度、酸消費量（ｐＨ４．８）および水温をそれぞれ測定し、硬度分濃度が所定濃度を超えたときは樹脂ユニット群において樹脂ユニットを他のものに切替え、酸消費量（ｐＨ４．８）が所定値未満の場合はろ過処理装置５５からのブロー量を少なくし、水温が所定温度未満のときは補給水の流量を下げて脱酸素装置５６に通過させる。 （もっと読む）

【課題】電力コストが安価で、光源の交換が半永久的に不要なため維持管理負担が小さく、小型化された構造に形成可能で、有機物の分解効率の高い超純水製造装置を提供する。
【解決手段】被処理水の流路に沿って順に配置された有機質分解手段とイオン吸着手段からなる有機質除去装置を備えた超純水製造装置において、有機質分解手段は、光透過性を有する絶縁性材料により形成された管体と、管体の内周側又は外周側に積層され、かつ光透過性を有する導電層と、導電層上に積層され、かつ被処理水と接触する光触媒層と、この光触媒層を励起させる励起光を、管体の管壁部及び導電層を透過させつつ光触媒層に照射する発光ダイオードとを具備することを特徴とする超純水製造装置を使用する。 （もっと読む）

【課題】構造的に安定である難分解性の有機物を含む水を高効率にて分解することができる紫外線酸化装置と、この紫外線酸化装置を備えた有機物除去装置を提供する。
【解決手段】紫外線酸化装置２０は、有機物含有水を通水する筒形容器２１と、該筒形容器２１内に同軸状に配置された保護菅２２と、該保護菅２２内に配置された紫外線ランプ２３とを有している。保護菅２２の外周面と該筒形容器２１の内周面との間隔Ｙは、８ｍｍ以下である。これにより、難分解性の有機物が効率良く酸化分解され、ＴＯＣ除去率が向上する。この紫外線酸化装置２０の前段に、ペルオキソ二硫酸塩注入装置３１が設けられている。また、この紫外線酸化装置２０の後段に、酸化剤除去装置２３、微粒子除去膜装置３３、第１のイオン交換装置３４、熱交換器３５、脱気装置３６及び第２のイオン交換装置（交換型の非再生式イオン交換装置）３７がこの順に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 簡単な装置と操作により、飽和濃度未満の任意の一定濃度のガスを溶解し、超音波洗浄の洗浄水として用いる際のキャビテーション力を調整することが可能な高純度の超純水を製造できる超純水製造装置および方法をする。
【解決の手段】 一次純水システムＡにおいて、原水を脱塩および脱気して一次純水を製造し、一次純水システムＡで得られる一次純水およびユースポイントから循環する二次純水を二次純水貯留槽１１において、窒素ガスでシールして貯留し、二次純水貯留槽１１から得られる窒素濃度が異なる二次純水を膜脱気装置１４で脱気して窒素を除去し、ガス溶解装置１６で脱気処理水にガスを添加してガスを溶解させる際、ガス溶解装置１６に供給するガス流量をガス流量制御装置１７により所定の流量に制御し、超純水を製造する。 （もっと読む）

【課題】原水を逆浸透膜処理装置に導入し、該逆浸透膜処理装置の透過水を電気再生式脱イオン装置又はイオン交換装置に供給して処理するに当たり、後段の脱イオン装置への給水のシリカの負荷を軽減して、安定かつ効率的に、シリカ濃度の低い純水を製造する。
【解決手段】逆浸透膜処理装置が、高分子を主成分とする阻止率向上剤によって処理された逆浸透膜を備える純水製造装置。逆浸透膜処理装置が、その一次側に高分子を主成分とする阻止率向上剤を供給するための阻止率向上剤供給手段を有する純水製造装置。定期的に、又は逆浸透膜処理装置の阻止率が低下した際に、高分子を主成分とする阻止率向上剤で逆浸透膜処理装置の逆浸透膜を処理する工程を有する純水製造方法。 （もっと読む）

【課題】燃料電池を冷却する冷媒中に含まれるイオンを除去するイオン交換器において、イオン交換器内に空気が滞留するのを抑制すること。
【解決手段】イオン交換器１は、燃料電池２０の冷媒流路３０に備えられる。上流側の冷媒流路３６（３０）と接続する上流側接続孔７を含む天井６と、下流側の冷媒流路３７（３０）と接続する下流側接続孔９を含む底８とを有する容器と、前記容器内に充填され、冷媒中の不純物を吸着するイオン交換樹脂２とを備える。このイオン交換器１は、天井側６から底８側へ向けて、略重力方向に沿って冷媒を通過させる。天井６を傾斜させて、上流側接続孔７を天井６の重力方向の最高点を含む領域に配置することにより、空気（気泡）７０が天井６の傾斜に沿って移動し易くし、空気７０をイオン交換器１内の外部へ排出し易くする。 （もっと読む）

【課題】脱炭酸膜を通じて透過水中に空気等の気体を混入させてしまうことがなく、良好に純水の製造を行うことができる脱炭酸装置及び脱炭酸方法を提供すること。
【解決手段】この脱炭酸装置Ｂは、逆浸透膜装置Ａとイオン交換樹脂ボンベＣとの間に接続され、逆浸透膜装置Ａを透過した透過水４中の炭酸ガス４ａを脱気してイオン交換樹脂ボンベＣに向けて透過水４を送水する脱炭酸装置Ｂであって、脱炭酸膜Ｂ３と、脱炭酸膜Ｂ３の上流側に設けられ、透過水４の逆流を防止する逆止弁Ｖ１と、逆止弁Ｖ１の下流側に設けられ、脱気水５を陽圧状態に保持するリリーフ弁Ｖ２とを有している。 （もっと読む）

【課題】給水系または復水系配管に銅系材料が使用され、復水が脱気後再度補給水と共に
給水される純水給水ボイラ水系において、銅に腐食の影響を与えない給水・復水用ｐH調
整剤としてアンモニア以外の中和性アミンを使用して添加量を決定する際、ｐＨ計を使用
せずに管理できるボイラ水系の運転方法を提供すること。
【解決手段】脱気後の給水の電気伝導率を測定することにより、その値そのままか、また
はｐＨ値に換算し、設定値と比べて中和性アミンの添加量を増減することにより、腐食ト
ラブルなしにボイラ水系を運転することが出来る。 （もっと読む）

【課題】 洗浄工場において出荷の直前に、イオン交換樹脂または限外ろ過膜の品質の良
否を簡易且つ迅速に判定できるイオン交換樹脂または限外ろ過膜の検査方法を提供する。
【解決手段】 被検体としてのイオン交換樹脂を充填したカラムまたは被検体としての限
外ろ過膜を装填した限外ろ過膜装置に、溶存酸素を除去した超純水を供給して通水し、該
カラムから流出したカラム流出水を第１のウエハを装填したウエハホルダに供給して第１
のウエハと接触させ、接触後の第１のウエハの表面状態を測定すると共に、前記溶存酸素
を除去した超純水を樹脂カラムまたは限外ろ過膜装置に通水することなく、第２のウエハ
を装填したウエハホルダに供給して第２のウエハと接触させ、接触後の第２のウエハの表
面状態を測定し、第１のウエハの上記測定結果と第２のウエハの前記測定結果とを対比す
ることにより、当該被検体としてのイオン交換樹脂または限外ろ過膜の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄工場において出荷の直前に、イオン交換樹脂または限外ろ過膜の品質の良否を簡易且つ迅速に判定することができるイオン交換樹脂または限外ろ過膜の検査方法を提供する。
【解決手段】 被検体としてのイオン交換樹脂を充填したカラムまたは被検体としての限外ろ過膜を装填した限外膜ろ過装置に、溶存酸素を除去した超純水を供給して通水し、該カラムから流出したカラム流出水をウエハを装填したウエハホルダに供給してウエハと接触させ、接触後のウエハの表面状態を測定することにより、当該被検体としてのイオン交換樹脂または限外ろ過膜の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】ｐＨを９．５以上と高くする場合においても、アンモニア注入におけるＣＯ₂の影響がなく、系統中の電気伝導率の基準を維持することができるタービン設備及び排熱回収ボイラ装置及び水処理方法を提供する。
【解決手段】熱源からの熱によって蒸気を発生させる排熱回収ボイラ２と、排熱回収ボイラ２の蒸気により作動する蒸気タービン６と、蒸気タービン６の排気を復水する復水器８と、該復水器８で凝縮された復水５０を排熱回収ボイラ２側に復水ラインＬ₀を介して送給する給水系統とからなるタービン設備において、前記復水５０を供給する復水ラインＬ₀に、排熱回収ボイラ２のドラム内の給水のｐＨを９．５以上とすると共に、カチオンイオン交換カラムを通過した後の電気伝導率を０．３μＳ／ｃｍ以下とするように、ＣＯ₂を除いたアンモニアガス又はアンモニア原液又はアンモニア希釈液のいずれかを供給するアンモニア供給器５１を設けてなる。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、超純水を製造するため、特に、液浸リソグラフィ法にて使用されるシステム及び方法に関する。本発明の１つの実施の形態において、液浸リソグラフィ装置にて使用される超純水を均一に提供することのできる自己密閉型のユースポイントキャビネットが提供される。本発明は、また、液浸リソグラフィ装置に対して所定の屈折率を有する材料を提供するシステム及び方法にも関する。 （もっと読む）

【課題】レジスト上にナノサイズのバブル（気泡）や凹凸を発生させることのない液浸露光装置用超純水の製造方法及び製造装置を提供すること。
【解決手段】 超純水製造装置で処理され半導体製造工程へ洗浄水として供給される超純水を分取し脱気膜を通過させて溶存窒素ガス量が３ｍｇ／Ｌ以下、溶存酸素ガス量が５０μｇ／Ｌ以下になるまで脱気する。脱気した超純水をイオン交換装置、限外濾過膜に通過させて超純水中のイオン成分と微粒子を除去する。 （もっと読む）

【課題】電力コストが安価で、光源の交換が半永久的に不要なため維持管理負担が小さく、小型化された構造に形成可能で、有機化合物の分解効率の高い超純水製造装置を提供する。
【解決手段】被処理水の流路に沿って順に配置された有機質分解手段とイオン吸着手段からなる有機質除去装置を備えた超純水製造装置において、前記有機質分解手段は、被処理水の流路となる紫外線透過性材料からなる管体と、前記管体の被処理水と接する側に被着された光触媒層と、前記管体の光触媒の被着された側と反対側に前記光触媒層に向けて配置された紫外線を照射する発光ダイオードと、前記発光ダイオードを駆動させる電源装置とを具備する。 （もっと読む）

【課題】被電解水を有隔膜電解槽の各電解室へ導入する各導入管路の一方または両方に配設した原水処理装置の不要時の負荷を解消して、その使用の寿命を向上させる。
【解決手段】電解水生成装置を構成する両導入管路１２ａ，１２ｂの途中に配設されて被電解水の原水を処理する原水処理装置１５ａ，１５ｂと、導入管路１２ａ，１２ｂに配設されて原水処理装置１５ａ，１５ｂを迂回するバイパス管路１６ａ，１６ｂと、原水の導入を原水処理装置１５ａ，１５ｂ側とバイパス管路１６ａ，１６ｂ側に選択的に切替える切替弁（１７ａ，１７ｂ），（１７ｃ，１７ｄ）とを備え、電解運転時、原水処理が不要な方の原水処理装置１ａ，１５ｂの不要な負荷を防止する。 （もっと読む）

【課題】原水の凝集処理工程に鉱酸を全く添加することなく、又はその添加量を著しく少なくして、凝集処理を適正ｐＨ条件下で行うことができる水処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】原水としての工業用水に無機凝集剤を添加して凝集反応槽１で凝集処理した後、加圧浮上装置２及び二層濾過装置３で固液分離し、次いでカチオン交換塔４でカチオンを除去する。このカチオン交換塔４からの脱カチオン水を脱炭酸塔５で脱炭酸処理し、アニオン交換塔６でアニオンを除去して脱イオン水とする。脱炭酸塔５として気室をエジェクタで減圧するようにした膜脱気装置が用いられている。ＣＯ_２が溶解したエジェクタ排水の少なくとも一部を凝集反応槽１又は原水に添加して凝集反応槽１のｐＨを調整する。 （もっと読む）

【課題】原水の凝集処理工程に鉱酸を全く添加することなく、又はその添加量を著しく少なくして、凝集処理を適正ｐＨ条件下で行うことができる水処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】原水としての工業用水に無機凝集剤を添加して凝集反応槽１で凝集処理した後、加圧浮上装置２及び二層濾過装置３で固液分離し、次いでカチオン交換塔４でカチオンを除去する。このカチオン交換塔４からの脱カチオン水を脱炭酸塔５で脱炭酸処理し、アニオン交換塔６でアニオンを除去して脱イオン水とする。カチオン交換塔４からの処理水は酸性水であるので、その一部を凝集反応槽１又は原水に添加して凝集反応槽１のｐＨを調整する。 （もっと読む）

【課題】 装置の通水経路全体に対して熱水殺菌を効率的に行う機能を備えることによって、より安定した運転ができる無菌充填設備のリンサー排水回収装置を提供する。
【解決手段】 水処理ユニット３０と熱水供給ユニット４０とを備え、水処理ユニット３０は、過酸化物分解塔３１などの複数の水処理機器と、水処理ユニット３０の水処理機器を含む通水経路を分割して熱水殺菌するための熱水殺菌経路とを有し、熱水供給ユニット４０は、熱水殺菌用水を加熱するための水加熱装置４１と、水加熱装置４１へ熱水殺菌用水を供給するための熱水殺菌用水供給配管４２と、水加熱装置４１から複数の熱水殺菌経路へ熱水を供給するための熱水供給配管４３とを備えた。
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