【課題】 例えば処理済の基板上に付着した腐食性ガスなど処理ガスのガス成分が搬送室などの排気とともにそのまま外部へ排出されることを防止し，工場の排気設備などの負担を軽減する。
【解決手段】 ウエハに所定の処理を施すための処理ユニットと，この処理ユニットに対してウエハを搬出入する搬送室２００とを備える基板処理装置であって，搬送室２００は，搬送室２００内へ外気を導入する給気部２３０と，給気部２３０に対向して設けられ，搬送室２００内を排気する排気部２５０と，排気部２５０に設けられ，排気に含まれる少なくとも有害成分を除去する有害成分除去フィルタ２５６からなる排気フィルタ手段２５４とを設けた。 （もっと読む）

【課題】 本発明はオゾン臭気除去フィルターに関し、特に室内や工場内に設置される空気清浄機等に付設されるオゾン発生器のオゾン独自の臭気を除去すると共に、同時に他の臭気や塵芥等も除去することのできるオゾン臭気除去フィルターに関する。
【解決手段】 挟持材間にセラミック砕片を挟持収納し、該挟持材をフレームで固定してパネル状に形成し、該フレームの一辺がヒンジを介して開閉自在に形成されていることを特徴とし、挟持材間に挟持収納されるセラミック砕片がＳｉＯ_２を主成分とし、微量の金属成分を含む砕片であることを特徴とし、挟持材が金網又はプラスチック等の多孔状プレートで構成され、金網の網目又はプラスチック等の多孔状プレートの孔部の寸法が、セラミック砕片より小さく形成されていることをフィルターを特徴とし、且つ、オゾン臭気除去フィルターパネルが、ハウジングのガイドによって着脱自在に構成されていることを特徴とするオゾン臭気除去フィルターを提供する。 （もっと読む）

【課題】 煙道の設置作業の負担を軽減できるとともに、煙道の設置作業コストを確実に低減できる暖房器用排煙濾過装置を提案する。
【解決手段】 薪ストーブ２から屋外ER2に延びた煙道３に装着され、当該薪ストーブ２で被燃焼物を燃焼する際に発生した排煙を濾過し、当該排煙を清浄化するようにしたことにより、排煙から臭気及び未燃焼ガス分子を除去でき、これにより完全燃焼時のみならず比較的煙が多量に発生し易い着火時や最小燃焼時であっても臭気のない、かつ無色透明でなる排煙を確実に排出できるので、屋根H2の上方まで伸びる煙道の設置を回避でき、かくして煙道３の設置作業の負担を軽減できるとともに、煙道３の設置作業コストを確実に低減できる。 （もっと読む）

【課題】水分による貴金属の酸化活性の阻害を回避する。
【解決手段】酸化活性を有する貴金属を少なくとも含む排ガス浄化用触媒２を用いて排ガス中のPMを除去するにあたり、吸湿材３により水分量が低減された排ガスを触媒２に接触させる。
貴金属への水分の吸着が抑制されるため、NO＋O₂ ＝ [NO_x]^*の平衡反応が右方向へ円滑に進行し、生成する酸化活性種によってPMを低温域から効率よく酸化除去することができる。 （もっと読む）

【課題】 ごみ焼却炉からの排ガスをこれに活性炭を吹き込み、バグフィルターに導いて有害物質を除去するに際し、排ガス中のガス状金属水銀を、活性炭の物理吸着能が高く発揮される形態に変換することにより、高い除去率で除去できるようにしたごみ焼却炉排ガス中の水銀除去方法を提供すること。
【解決手段】 廃棄物が燃焼処理されているごみ焼却炉の二次燃焼室に塩化水素もしくは塩素を吹き込み、排ガス中の金属水銀を塩化第二水銀に変換し、ごみ焼却炉からの前記ガスを冷却し、該排ガスに活性炭を吹き込んだ後、この排ガスをバグフィルターに導入することにより、排ガス中の前記金属水銀を塩化第二水銀として除去することを特徴とするごみ焼却炉排ガス中の水銀除去方法。 （もっと読む）

粒子状物質フィルター（ＣＳＦ）、該フィルターの上流に配置された第一ＮＯ_ｘ吸収材（ＮＯ_ｘ（１））および該フィルターの下流に配置された第二ＮＯ_ｘ吸収材（ＮＯ_ｘ（２））を備えてなる、リーンバーン内燃機関用の排気機構。
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フィルタ層としてのエレクトレット帯電熱可塑性マイクロファイバーの不織ウェブであって、該マイクロファイバーは、その有効繊維直径が１０μｍを超え、固有抵抗が１０１４オーム・ｃｍを超える熱可塑性樹脂と、フルオロケミカル化合物またはオリゴマー、有機トリアジン化合物またはオリゴマー、ヒンダードアミン化合物、芳香族アミン化合物、窒素含有ヒンダードフェノール、金属含有ヒンダードフェノールおよびこれらの混合物から選択される添加剤とを含み、秤量が６０ｇ／ｍ²未満の該ウェブと、吸着粒子充填層を含むガス吸着層であって、任意で、該吸着層に結合された支持層および／またはカバー層をさらに含み、ガス吸着層の吸着粒子の秤量が少なくとも１５０ｇ／ｍ²であるガス吸着層とを含み、フィルタ層が、ガス吸着層の上流であり、フィルタ層およびガス吸着層が、共プリーツ加工されていて、任意でろ過媒体の１つ以上の外側端部以外は互いに実質的に結合されていない、ろ過媒体を含む車室エアフィルタ装置。
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本発明は、流体の流れ方向に対して上流側及び下流側を有し、多孔質高分子膜を含む膜フィルタ層と；その膜フィルタ層の上流側に配置され、流体の流れ方向に対して上流側及び下流側を有する第１のデプスフィルタ媒体層と；その第１のデプスフィルタ媒体層の上流側に取り外し可能に取り付けられた、少なくとも１つの追加デプスフィルタ媒体層とを含んでなる、流体流から粒子を除去するための再生可能な複合フィルタ媒体を提供する。この態様では、第１のデプスフィルタ媒体層が、膜フィルタ層に取り外し可能に取り付けられていてもよい。
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【課題】脱臭フィルターの寿命を大幅に向上できる空気清浄機を提供する。
【解決手段】吸い込み口１から吐出口２に至る風洞３内に、送風するファン４と、集塵フィルター５と、脱臭用の触媒６を有する脱臭フィルター７とを備えた空気清浄機である。これにおいて、前記脱臭フィルター７を集塵フィルター５の下流側に配設すると共に、脱臭フィルター７を加熱して脱臭フィルター５の触媒６を働かせるためのヒータ８を設ける。前記ファン４を駆動したときにヒータ８の作動を停止する脱臭運転と、ファン４を停止したときにヒータ８を作動させる再生運転とを繰り返し行うように制御する。 （もっと読む）

本発明は、半導体処理装置内のガスから汚染物質を除去するための装置を含むシステムおよび方法を提供する。この装置は、少なくとも２つの並列フィルタステージが内部に設置されたフィルタユニットを含むことができる。フィルタステージは、貫流するガス中に存在する汚染物質の少なくとも一部を除去するように設計される。この装置は、フィルタステージ間にガスフローを分配するフローコントローラを備えることもできる。一実施形態では、コントローラは拡散プレートで構成することができる。本発明は、本発明のシステムまたは方法におけるガスフロー制御のためのサンプリングチューブオリフィスも提供する。他の実施形態では、クリーンルーム内のガスから汚染物質を除去するための装置は、ガスが装置を通過するときにガス内の汚染物質の少なくとも一部を除去するために使用される少なくとも２つの並列フィルタステージを有するフィルタユニットを含む。
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【課題】 空気中の有害ガスの除去性能に優れると共に、微量アウトガス等の再放出が少く、難燃性を有するガス吸着濾材を提供する。
【解決手段】 ポリプロピレンなどの基材表面に、空気中の水分を吸収して前記基材表面において水分を保持する臭化リチウムなどの保湿剤を担持させ、その保水効果によって、水溶性（極性）ガスが引き寄せられ易く、また、滞留し易くして、酸性ガス、塩基性ガスなど所定のガスを吸着する硫酸亜鉛、炭酸カルシウムやヨウ素などの吸着剤を担持させたガス吸着濾材。 （もっと読む）

【課題】 真空装置や薄膜成長装置等のプロセス装置において、試料の出し入れに用いるロードロックに、水分除去および酸化防止のみならず、防塵および脱塵を、低コストで簡便に実行することができ、一連の生産プロセスラインに容易に乗せることができるクリーンユニット−プロセス装置融合システムを提供する。
【解決手段】 クリーンな環境に維持することができるクリーンユニット１０とプロセス装置１とを連結してクリーンユニット−プロセス装置融合システムを構成する。プロセス装置１は、蒸着装置、分子ビームエピタキシャル装置、イオンビームスパッタ装置等の真空装置や、有機金属気相成長装置、液相エピタキシャル装置等の薄膜成長装置、表面加工装置等である。クリーンユニット１０は、アクティブ防塵フィルター１６と循環ダクト１５とにより構成される循環型フィルターによりクリーンな環境に維持する。 （もっと読む）

【課題】 集塵フィルタを備えた高温集塵装置を採用した排ガス処理にて、集塵フィルタの目詰まりを防止し、ダイオキシン類の排出を低減することを可能とした排ガス処理方法及びシステムを提供する。
【解決手段】 廃棄物に焼却等の熱処理を施す熱処理設備１０と、前記熱処理設備の排ガスを集塵フィルタに通して飛灰を濾過集塵する高温集塵装置２０と、該高温集塵装置から排出された排ガスから熱回収するボイラ２１と、該ボイラにより降温された排ガスが導入される低温集塵装置２３と、を備え、前記排ガスに含有されるダイオキシン類等の有害物質を除去する排ガス処理システムにおいて、前記高温集塵装置２０の出口側の排ガス温度を５００〜１０００℃の温度域とするとともに、該高温集塵装置２０の上流側に、シリカ、アルミナを主成分とした高融点物質の粉体からなる緩衝剤３０を排ガス中に供給する。 （もっと読む）

【課題】通常の逆洗では除去しにくいダストを除去することで、集塵装置の集塵性能を維持するとともに、セラミックフィルタの長寿命化を可能とする。
【解決手段】多数の並列するガス流路（一次側：１ａ、二次側：１ｂ）の開口に交互に目封じ１１を設けた多孔性ハニカムセラミックフィルタ１を用いた集塵装置による、焼却炉の燃焼排ガス中の固形分を分離するろ過運転における逆洗方法も関する。一般廃棄物、汚泥、産業廃棄物などの焼却炉の燃焼排ガスを対象とした集塵装置の通常のろ過運転では、燃焼排ガスは、２００℃以下の温度に制御して行なわれる。本発明は、逆洗操作に先立って予め２５０℃以上のガス、例えば加熱空気を通過させ、堆積ダストを２５０℃以上に、１〜３時間、加熱するという熱作用によって、その組織を脆弱化して、逆洗によって脱落し易くできる。
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【課題】 蒸気を含んだ空気の異常な温度上昇を防止し、かつ、加湿量の低下を抑えることができる、加湿機能付き空気清浄機を提供する。
【解決手段】 加湿機能付き空気清浄機１は、空気清浄部２と、ファン２０と、蒸気発生部３と、蒸気搬送路５３と、サーミスタ２７と、加湿量制御部５５とを備えている。ファン２０は、空気清浄部２を通る空気の流れを生成する。蒸気発生部３は、ランプヒータ９を用いて蒸気を発生させる。蒸気搬送路５３は、ファン２０により生成された空気の流れを利用して蒸気発生部３で発生した蒸気を流す。サーミスタ２７は、蒸気搬送路５３を流れる蒸気を含んだ空気の温度を検出する。加湿量制御部５５は、サーミスタ２７により検出された温度に基づいて、蒸気発生部３における蒸気の発生量を制御する。 （もっと読む）

【課題】 Ｓｉ成分を含有する成膜系排ガスを排ガス処理工程に導入する場合、析出物付着による管の閉塞防止という本来の目的が達成でき、配管が必要以上に高温になるのを防止可能であり、かつ、管材とフッ素ラジカル等との反応物による配管の薄肉化および閉塞の防止が可能な排ガス処理方法を提供する。
【解決手段】 Ｓｉ成分を含有する成膜系排ガスを排ガス処理工程１０５により処理する排ガス処理方法において、前記排ガスを、真空ポンプ１０２によって管１０３を通じて前記排ガス処理工程１０５に導入する場合、前記管１０３の途中には逆止弁１０４が設けられており、前記管１０３において、少なくとも前記真空ポンプ１０２から前記排ガス処理工程１０５の間を、ヒーター１０９(加温手段)により、前記排ガスから析出物が析出しない温度に維持し、かつ前記ヒーター１０９(加温手段)の設定温度を１３０〜１８０℃の範囲にする。 （もっと読む）

本発明は，少なくとも一部が柔軟な流体透過性材料から作製される環状形態にある詰め物（９）を支承するロータ（６）を備える回転機械に関する。本発明の機械はまた，ロータ（６）を回転させる可変速度式の駆動手段と，ロータ（６）の回転速度の変化に応答して前述の詰め物（９）の変形を可能にする手段とを備える。この結果，本機械は，空気流を生成し，前記流れの中に含まれた物質を抽出し，かつ自己浄化工程を実行することが可能である。
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【課題】パティキュレートフィルタ５の上流側にＨＣを酸化する触媒を配置した排気ガス浄化装置１において、触媒でのＨＣの酸化反応効率を高めてフィルタ５に流入する排気ガス温度を高くする。
【解決手段】フィルタ５の上流側に上流側触媒３と下流側触媒４とを配置し、下流側触媒４の触媒金属のサポート材量を上流側触媒３のサポート材量よりも多くする。 （もっと読む）

【課題】 機械より発生するオイルミストは、小型で経済性に優れたミストコレクターが使用されている。このミストコレクターは、単にオイルミストを分離処理し、分離した油を再利用する構造である。従って、閉塞室を加工部品の取出し、又は加工資材の搬入等で開放した際にミストが拡散し、工場内外の空気が切削屑及び／又はミスト等で汚染されること、職場環境の悪化を招来すること等の弊害が考えられる。
【構成】 工場の機械と、その近傍のミストコレクターとによるオイルミストの環流方法であって、機械とミストコレクターとの間を吸込み用のホースと、吐出用のホースとで連繋し、また吐出用のホースに三方切換え弁を介して排気用のホースを設けた構造であり、汚染空気を吸込み用のホースでミストコレクターに導き、清浄空気を吐出用のホースで機械に環流し、清浄空気を切換え弁の制御で排気用のホースに導く構成としたオイルミストの環流方法である。 （もっと読む）

【課題】ＰＭを効率よく捕集するとともに圧損の上昇を抑制し、さらに、外周部においても捕集したＰＭを速やかに燃焼して浄化できるようにする。
【解決手段】フィルタ隔壁の少なくとも一部に、流入側セル20から流出側セル21に向かって、酸化触媒３を含みＰＭの少なくとも一部が通過する第１層23と、ＰＭの通過を抑制する第３層25と、第１層23と第３層25の間に形成され第３層25で通過が抑制されたＰＭが捕集される第２層24と、よりなる濾過集中部を形成した。
酸化触媒３による反応熱で温度が上昇した排ガスが第２層24に直接流入するので、第２層24に捕集されたＰＭが酸化触媒３によって効率よく酸化される。 （もっと読む）