【課題】連続的に走行する帯状基材に対して多層塗布を行う際に、高速で安定した薄膜塗布を効率よく行うことができるロール塗布方法及び装置を提供する。
【解決手段】連続的に走行する帯状基材１に対して、アプリケーターロール５を基材１と接触させて塗布液を基材１に塗布するロール塗布方法において、アプリケーターロール５に対してスリットダイ７により２層以上の多層コートを行い、その際のアプリケーターロール５上の塗布液膜厚さをｔ_ａ（μｍ）とした場合、アプリケーターロール５のロール径Ｄ_ａ（ｍｍ）をＤ_ａ≦３．３ｔ_ａ＋１３３．３とし、アプリケーターロール５の回転速度Ｖ_ａと基材１の速度Ｖ_Ｌが０．９≦Ｖ_ａ／Ｖ_Ｌ≦１．２となるように調整を行い、アプリケーターロール５から基材１に転写されずに残った塗布液は掻取装置６によって除去することを特徴とする帯状基材へのロール塗布方法。 （もっと読む）

【課題】バインダーの偏在を抑制できる電極シート製造装置を提供する。
【解決手段】集電箔Ｓに電極ペーストＰを塗工し、塗工した電極ペーストＰを乾燥させることにより電極シートを製造する電極シート製造装置１００であって、電極ペーストＰを、常温以上かつ電極ペーストＰに含まれる溶媒の揮発温度以下の予熱温度Ｔ０で予熱する加熱ユニット１１０と、加熱ユニット１１０によって予熱された電極ペーストＰを、集電箔Ｓに塗工するスロットダイ１２０と、スロットダイ１２０によって塗工された電極ペーストＰを、予熱温度Ｔ０と略同一の第一乾燥温度Ｔ１で乾燥させる第一乾燥炉１３０と、第一乾燥炉１３０によって乾燥させた電極ペーストＰを、電極ペーストＰに含まれる溶媒の揮発温度以上の第二乾燥温度Ｔ２で乾燥させる第二乾燥炉１４０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】フォトレジストの消耗量が節減されるノズルユニット、基板処理装置、及び基板処理方法が提供される。
【解決手段】本発明による基板処理装置は、基板を支持するプレートと、前記プレートに支持された前記基板に薬液を塗布するノズルユニットと、前記プレートに置かれる基板と前記ノズルユニットとの間の相対位置が変更されるように前記基板又は前記ノズルユニットを移動させる駆動ユニットと、を含む。前記ノズルユニットは、横方向が第１方向に沿って形成され、前記基板に第１薬液を吐出する第１吐出部と、横方向が前記第１方向に沿って形成され、前記基板に第２薬液を吐出する第２吐出部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】高粘度の塗布液を、無駄なく均一に基板上に塗布する。
【解決手段】レジスト塗布装置１の塗布ノズル３３は、その内部にレジスト液Ｒを貯留する貯留室６２が形成された本体部６０と、本体部６０の下面に形成され、レジスト液Ｒの表面張力によりその先端にレジスト液の液溜りを形成するスリット状の吐出口６１と、貯留室６２と吐出口６１とに連通するレジスト液流路６３と、を備え、レジスト塗布装置１は、塗布ノズル３３とウェハとを相対的に上下方向及び水平方向移動させる移動機構と、前記貯留室内部の圧力を調整する圧力調整機構７１と、を有している。圧力調整機構７１は、塗布ノズル３３とウェハとを相対的に移動させてウェハにレジスト液Ｒを塗布する間、吐出口６１からのレジスト液Ｒの吐出量が一定となるように、貯留室６２内部の圧力を調整し、且つ負圧に維持する。 （もっと読む）

【課題】曲げ剛性の高い可撓性支持体の塗工開始時に、膜厚が早く安定する塗工膜製造方法を提供する。
【解決手段】制御部８は、張力制御で可撓性支持体２を搬送する。制御部８は、主速ロール３を予め定められた一定の周速で回転させ、張力計６で測定した可撓性支持体２の張力が予め定められた一定値になるように従属ロール４の周速を制御する。続いて、吐出口５１から塗工液を吐出させ、塗工ヘッド５を可撓性支持体２に向けて移動させ、吐出口５１を可撓性支持体２に接触させる。吐出口５１が可撓性支持体２に接触した後、更に予め定められた距離だけ塗工ヘッド５を可撓性支持体２に押し込む。塗工が開始された後、可撓性支持体２の張力変動が安定した後に、張力制御から比率制御に切り換える。 （もっと読む）

【課題】量産化に適したガス拡散層前駆体の製造方法及び装置、並びにガス拡散層の製造方法及び装置を提供することを課題とする。
【解決手段】長尺の基材Ａを巻き出すステップと、熱硬化性樹脂、及び溶剤を含むガス拡散層用ペーストを基材Ａ上に塗布するステップと、基材Ａ上に塗布されたガス拡散層用ペーストを加熱して、熱硬化性樹脂の硬化温度未満の温度で溶剤を乾燥させるステップと、ガス拡散層用ペーストを乾燥させることにより形成されたガス拡散層前駆体Ｂを巻き取るステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】無端状の素地に均一に成膜することのできる成膜装置、及び成膜方法を提供する。
【解決手段】成膜装置１は、駆動源により回転するローラー３に無端ベルト５を巻掛し、ローラー３の回転に従わせ無端ベルト５を走行させる走行手段７と、無端ベルト５にスロット２５を近接させたダイ９と、ダイ９のスロット２５に塗布液３９を供給する供給手段１１と、ローラー３の軸方向にダイ９を移動させる移動手段１３とを備える。ダイ９のスロット２５に供給される塗布液３９が無端ベルト５に塗布される過程で、移動手段１３がダイ９をローラー３の軸方向に移動させる。 （もっと読む）

【課題】同時多層塗布方法にて、層どうしの界面が形成された積層体の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】複数の層形成用インキ、および難溶性化合物形成用インキを準備して、該複数の層形成用インキ、および該難溶性化合物形成用インキから、複数の層形成用インキ液層および難溶性化合物形成用インキ液層を各々形成して、該複数の層形成用インキ液層、および該難溶性化合物形成用インキ液層を、層形成用インキ液層と難溶性化合物形成用インキ液層と層形成用インキ液層との積層構造が形成されるように積み重ね、積み重ねた時に、該積層構造の層形成用インキ液層と層形成用インキ液層との間に難溶性化合物を形成させ、積み重ねられた該複数の層形成用インキ液層、および該難溶性化合物を基体に塗布し、乾燥する積層体の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】同時多層塗布法にて、層間の境目が形成され、かつ層間の密着性が良好な積層体を得る。
【課題を解決するための手段】複数の層形成用インキと硬化性化合物を含有させた硬化性インキを準備して、該複数の層形成用インキ、および該硬化性インキから、複数の層形成用インキ液層、および硬化性インキ液層を各々形成して、該複数の層形成用インキ液層、および該硬化性インキ液層を、層形成用インキ液層と硬化性インキ液層と層形成用インキ液層との積層構造が形成されるように積み重ね、積み重ねられた該複数の層形成用インキ液層、および該硬化性インキ液層を基体に同時に塗布し、乾燥した後、層間の該硬化性化合物を反応させる。 （もっと読む）

【課題】塗液の脈動による塗膜の膜厚ばらつきを低減させる。
【解決手段】塗液を供給する塗液供給ポンプ２と、基材に塗工するコーティングヘッド７と、塗液供給ポンプ２からコーティングヘッド７までを接続するメイン配管３と、メイン配管３に設けられた間欠塗工に使用できる塗液流路切替えバルブ４とを有した塗工装置１００において、塗液供給ポンプ２から塗液流路切替えバルブ４までの間に、一時的に塗液を蓄えることのできるアキュムレータ５を設け、さらにこのアキュムレータ５のガス空間領域の上端の位置が、コーティングヘッド７の吐出口の位置よりも高い位置となるように、アキュムレータ５を配置することで、配管圧力の経時変化にも耐え、塗液供給ポンプ２から発生する吐出脈動による膜厚ばらつきを低減させる。 （もっと読む）

【課題】電極用塗工塗膜を形成する際、塗工精度を保ちつつ、塗工部の終端部にヒゲ形状が生じないように塗工することが可能な二次電池の電極部材の塗工装置および塗工方法を提供すること。
【解決手段】塗料を吐出する塗工用ヘッド（５）と、塗工用ヘッド（５）に塗料を供給する塗料供給装置(１，２)と、塗料供給装置(１，２)から流路仕切弁（４）を介して塗工用ヘッド（５）へ塗料を送液するための第１の流路と、塗料供給装置(１，２)から流路仕切弁（４）を介して塗料供給装置(１，２)に塗料を還流させるための第２の流路と、塗工用ヘッド（５）の近傍に設けられ、塗工停止時に塗工用ヘッド（５）内の塗料を吸引する２つ以上の吸引バルブ（１０）とを備える電極部材の塗工装置。 （もっと読む）

【課題】塗布液が乾燥する前に撓みが生じる状態で持ち上げられる操作が行なわれる基板に対して塗布液を塗布する際に、出来上がった塗布膜の厚さ分布の均一性の悪化を抑制できる塗布方法及び塗布装置を提供する。
【解決手段】本発明の塗布方法は、表面ｆに塗布されたレジスト液ｒが乾燥する前に撓みが生じる状態で持ち上げられる操作が行なわれる基板Ｓに対して塗布液を塗布する塗布方法であって、前記操作で生じ得る基板（Ｓ）の撓みが大きい箇所が小さい箇所に比べてレジスト液ｒの厚さが薄くなるように基板Ｓの表面ｆにレジスト液ｒを塗布する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】チクソトロピー性の高い塗液であっても、塗工開始後から所望の目付け量で安定して塗工可能な塗工装置及びその塗工方法を提供すること。
【解決手段】塗工装置は、塗工開始前に塗工ヘッド（２）から塗液タンク（３）に還流する塗液経路を設け、所望の目付け量が得られる塗工時の塗工ヘッド（２）の内圧以上の圧力で還流可能なポンプ（３）を有する。このような構成により、塗工直前まで塗工ヘッド（２）内の圧力を塗工時と同じもしくはそれ以上に保ち、流動させておくことが可能となる。その結果、塗工開始時の塗液粘度を低減し、かつ流動性を確保することで、塗工開始からの目付け量の変動を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造でわずかな乾燥ムラの発生を抑制することができる塗布物の製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】搬送中の帯状の基材３に有機溶剤を含む塗布液を塗布した後、乾燥炉４を通過させて乾燥する装置であって、乾燥炉は塗布膜が搬入する搬入口を有する搬入側乾燥炉４ａと、塗布膜を搬出する搬出口を有する搬出側乾燥炉４ｃと、両者の間の少なくとも１つの中間乾燥炉４ｂとを備えており、搬入側乾燥炉内外の差圧を−０．１Ｐａ以上０．１Ｐａ以下の範囲となるように制御し、中間乾燥炉内部および搬出側乾燥炉内部の圧力を乾燥炉外部の圧力より１Ｐａ以下の範囲で低くなるように制御する。 （もっと読む）

【課題】連続走行するウェブに薄膜を形成する際、スジやムラ等の塗工欠陥の抑制を図り、安定して高性能、高機能な薄膜を得ることを可能にするダイコート塗工装置及び塗工方法を提供する。
【解決手段】連続走行するウェブに塗液を塗布する塗工装置であって、前記ウェブを走行させるバックロールと、バックロールに近接して設けられ、前記ウェブに塗布する塗液を押し出すスリットを有するダイヘッドと、ダイヘッドにおける前記スリットの上流側に設けられた減圧チャンバーと、前記減圧チャンバの上流側に設けられ、前記バックロールの外周面と同一の形状を有するバックブロックと、前記バックブロックのゆるやかな傾斜の掛かった形状を有する面に沿って前記ウェブの走行方向と逆方向にエアを噴射する第一のエアブロー機構を備えたことを特徴とするダイコート塗工装置。 （もっと読む）

【課題】プライミング処理の信頼性を保障しつつ洗浄液の使用量を一層削減すること。
【解決手段】スリットノズル７２の吐出口をプライミングローラ１４の頂部に対して平行に対向させ、スリットノズル７２に一定量のレジスト液Ｒを吐出させ、そのまま所定時間放置する。次に、プライミングローラ１４の回転を開始して、プライミングローラ１４の外周面上にレジスト液Ｒを巻き取り、その後もプライミングローラ１４の回転をそのまま継続させて、プライミングローラ１４に巻き取られた塗布液膜の自然乾燥を促し、所定時間経過後にプライミングローラ１４の回転を停止させて該塗布液膜を所定の待機用回転角位置に着かせ、該塗布液膜の自然乾燥を継続する。その後、この塗布液膜を洗浄によって除去する。 （もっと読む）

【課題】塗工材が基材の塗工面に塗工された塗工製品を、低コストで、かつ歩留まりをより高くして製造することができる塗工材塗工方法、及び塗工材塗工装置を提供する。
【解決手段】ダイ２と相対的に金属箔３１を搬送させながら、ダイ２のスリット３から吐出した塗工液４０を、金属箔３１の塗工面３１ａに塗工する塗工材塗工方法において、塗工面３１ａと対向する位置に配置されるダイ２の先端面２ａと、塗工面３１ａとの距離であるダイギャップＨで、塗工開始時を、第１ダイギャップＨ１とし、塗工液４０を所望の厚みｔ＝３０（μｍ）でコンスタントに塗工している状態にあるときを、第２ダイギャップＨ２（Ｈ２＜Ｈ１）とすると、塗工液４０をスリット３から吐出開始と同時に、ダイ２を金属箔３１と相対的に等速度Ｖで移動させることにより、ダイギャップＨを、第１ダイギャップＨ１から第２ダイギャップＨ２に小さくする。 （もっと読む）