【課題】 回転する基板の所定の表面領域をマスクで覆って薬液を噴霧することにより、薬液を節約し、塗布時間並びに乾燥時間を短縮しようとするスプレー併用スピンコート方法及びスピンコート装置を提供することである。
【解決手段】 水平に保持して回転される基板１の表面の所定領域をマスク３で覆い、上記基板１の上方に配置されたスプレーノズル４により該基板１の表面に薬液を噴霧し、上記基板１の所望領域に薄膜を形成するようにしたものである。これにより、薬液の使用量を減少させ、塗布時間及び乾燥時間を短縮させることができる。 （もっと読む）

【課題】 薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液を収容して密閉可能とされた薬液タンク１０と、この薬液タンク１０に薬液供給パイプ７で接続され外部からの高圧気体の送気により内部に発生する負圧を利用して上記薬液タンク１０からの薬液を負圧吸引して該薬液を噴射するノズル１１と、上記薬液供給パイプ７に対しノズル１１が接続された部位の近傍から分岐されて上記薬液タンク１０の上面に接続されその内部空間Ｓの空気を吸引して負圧を発生させる空気吸引手段１２と、上記薬液タンク１０内に形成される負圧空間Ｓに対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段１３とを備え、上記正圧供給手段１３により薬液タンク１０に供給する正圧ガスの圧力を調整することによって上記ノズル１１への薬液の供給流量を制御するものである。 （もっと読む）