【課題】 低い製造コスト及び高い歩留まりを維持しつつ、振動板及び圧電層にクロストークを抑制する為の溝を形成することが可能な液体移送装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の液体移送装置の製造方法は、振動板３０を流路ユニット２に接合したときに、この振動板３０の流路ユニット２とは反対側の面において、圧力室１４と重ならない領域に、圧力室１４の縁に沿って延びる溝３６を形成する溝形成工程と、振動板３０の流路ユニット２と反対側の面に、圧電材料の粒子を堆積させることにより、圧電層３１を形成する圧電層形成工程とを備えているため、クロストークを抑制する為の溝３０，３１を容易に形成することができ、さらに、圧電層３１に欠けやクラックが生じにくくなる。 （もっと読む）

【課題】 液滴吐出装置を用いて基板上にインクを吐出し、ワイピング操作やフラッシング操作等の吐出回復操作を暫時行わない場合でも、インクの吐出不良及び吐出位置のズレを防止した、液滴吐出装置の駆動方法、液滴吐出装置、電気光学装置、及び電子機器を提供する。
【解決手段】 液状体を吐出するためのノズルを備えた液滴吐出ヘッドに、駆動波形ＶＦを印加することによって液状体を吐出させる液滴吐出装置の駆動方法において、液滴吐出ヘッドから液状体を吐出させない間に、ノズルから液状体を吐出させることなく押し出させ、かつその状態から引き込ませる強さの駆動波形ＶＦを液滴吐出ヘッドに印加する。そして、ノズルの周辺部に付着した液状体を回収する。 （もっと読む）

【課題】 塗布量が微量であっても、安定して液状材料を適量塗布することができ、簡易な操作で運転コストの低い液状材料塗布装置等を実現する。
【解決手段】 線状部材７と、線状部材に液状材料４を供給する液状材料供給手段２０と、 線状部材に供給された液状材料を分断する液状材料分断手段３０と、分断した液状材料を線状部材とともに塗布対象物まで移動させる液状材料移動手段とを備える液状材料塗布装置。液状材料供給手段によって線状部材に液状材料を供給し、液状材料分断手段によって線状部材に供給された液状材料を分断し、液状材料移動手段によって分断した液状材料を線状部材とともに塗布対象物まで移動させることにより、塗布対象物に液状材料を塗布する。液状材料分断手段は、各々Ｖ字状の凹部を有し、相対向して位置する一対の板状部９、１０を互いに近接又は離間する方向に移動させて構成することができる。 （もっと読む）

【課題】 水頭値の変動を抑えてインクの吐出量のバラツキを抑え、また処理基板の大型化や吐出処理の高速化に対応可能となり、さらにメンテナンスについても容易にした液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】 液状体を吐出する液滴吐出ヘッド２と、液状体を貯留するとともに、液滴吐出ヘッド２にチューブ１１を介して接続されて液滴吐出ヘッド２に対して液状体を供給する、変形可能な容器３と、液３０を貯留するとともに、液３０に沈めた状態で容器３を収容する液槽４と、液槽４内の液３０の液面レベルを検出する液面センサ５と、液面センサ５で検出された液面レベルが予め設定した液面レベルとの間に差を生じた際に、液面センサ５で検出された液面レベルが予め設定した液面レベルとなるように液槽４内の液面レベルを調整する液面調整手段６と、を備え液滴吐出装置１。 （もっと読む）

【課題】塗布される蛍光体の供給重量又はドット・サイズを精度良く調整する。
【解決手段】噴射システムは、プラズマ・パネル６６に対する相対運動のため取り付けられた噴射ディスペンサ７０を有する。制御装置は、噴射ディスペンサに、パネルのセルに塗布される蛍光体の液体粒子６４を噴射させるよう動作可能である。ドットの位置及びサイズを示すフィードバック信号が、制御装置に通信される。引き続き塗布される蛍光体のドットのサイズ、速度オフセット及び／又は位置が、フィードバック信号に応答して、加熱又は冷却し、又は噴射ディスペンサのピストンのストロークを調整することにより制御される。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット装置内で圧力変動が発生しても、気泡混入による不吐出の発生を防止することで、塗布ヘッドのセットアップ時間を短縮してインクジェット塗布装置の稼働率を向上させるインクジェット塗布装置を提供する。
【解決手段】基板上に微量のインクを吐出する塗布ヘッドを備えるインクジェット塗布装置であって、塗布ヘッドの先端に設けられるノズル面の外側にインク面を形成させるインク面形成手段と、ノズル面の外側に形成されたインク面を除去するインク除去手段とを備えることで、塗布ヘッド内の気泡混入を抑制し、引いてはインクの不吐出の発生を防止することができる。これにより、従来はインク不吐出が解消されない場合は塗布ヘッド１１５を分解洗浄後、再度インクを充填する必要があったためセットアップに要していた時間が不要となり、装置の稼働率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 ノズルから組成物を吐出する際に、組成物の乾燥や固化等による吐出不良を起こさないノズルを有する液滴吐出装置の提供を課題とする。
【解決手段】 組成物を吐出するノズル孔を備えたノズル部と、組成物をノズル孔から吐出させるための加圧手段と、ノズル部の底面に組成物を供給する手段とを有し、ノズル部の底面に親液処理を施す。ノズル部の底面に組成物を供給する手段としては、例えば組成物が流れることが可能な流路をノズル部に設け、当該流路を介して組成物を流すことにより、ノズル部の底面に組成物を供給する。 （もっと読む）

【課題】 液滴の粘度が高い場合でも、液滴の飛行曲がりやミストの発生を防止することのできる液滴吐出装置、およびこの液滴吐出装置を用いた電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 液滴吐出装置で圧力発生素子に印加する駆動信号において、吐出用膨張要素Ｐ1は、期間ｔ12において電位が上昇する膨張成分Ｐ12と、期間ｔ13において電位が上昇する膨張成分Ｐ13と、期間ｔ14において電位が上昇する膨張成分Ｐ14とを備えており、各期間での電位勾配の絶対値は、下式
膨張成分Ｐ12の勾配＜膨張成分Ｐ13の勾配＜膨張成分Ｐ14の勾配
で示すとおりである。従って、吐出用膨張要素Ｐ1によって、圧力発生室３３の膨張速度が時間ととともに増大していく。 （もっと読む）

【課題】 ノズル孔径の微細化と駆動電圧の低電圧化とを両立し、かつ吐出先基板での液滴飛散を抑制して鮮明な微細パターンを形成できるようにする。
【解決手段】 静電吸引型流体吐出装置は、ノズル１１と絶縁性基板１６との間に電源１４から駆動電圧を印加して、ノズル１１内に供給された吐出流体１５に電荷を供給し、この吐出流体１５をノズル孔から絶縁性基板１６に吐出させる。ノズル１１の孔径はφ０．０１μｍ〜φ２５μｍであり、電源１４は、駆動電圧として、正負両極性に反転する両極性電圧であり、両極性電圧の印加時間と印加電圧値との積を極性毎に任意に変更し出力する。 （もっと読む）

【課題】 基板上に設けられた隔壁に囲まれた画素領域にインクを吐出する際に、隔壁の形状を確認後にインクを吐出することで製造時の歩留まりを向上し、製造コストを軽減させる液状体の描画方法、液状体の描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電気光学装置の駆動方法及び電子機器を提供する。
【解決手段】 基板上に形成された撥液性を有する隔壁２５５で囲まれた画素領域１１８Ｒ、１１８Ｇ、１１８Ｂに、液状体５０を吐出し描画する液状体５０の描画装置である。所定の位置の隔壁２５５の形状を検出する検出手段４１と、予め設定した基準を記憶しておく記憶手段４３とを備える。そして、検出手段４１による検出結果と記憶手段４３の基準とを比較して形状が正常であるか否かを判定する比較手段４４を備える。さらに、比較手段４４の結果により判定結果が正常でない場合には、液状体５０の吐出の中止を決定する描画決定手段４５を備える。 （もっと読む）

【課題】従来の薬液吐出装置では、ノズル先端の薬液が乾燥して変質してしまうため一定時間毎に薬液を廃棄するか、ノズル先端に接続する薬液回収ポッドから薬液を回収し、薬液瓶まで循環していた。しかし、薬液を循環する配管長が長くなり初期薬液投入量が大きくなる問題があった。
【解決手段】ノズルを二重管にして、内側ノズルは従来の薬液吐出に、外側ノズルは薬液を回収し循環させる構造を設ける。そして、ノズルを待機ポートに接続することにより薬液を循環させる。さらに待機ポートはフィルタを備えており、パーティクルの発生も防ぐことができる。ノズル上部には薬液を吸引し押し出すことのできるサックバックバルブと、内側ノズルと外側ノズルにはそれぞれ調整弁を接続しており、調整弁とサックバックバルブの動作により薬液をノズル先端部と待機ポート間でのみ循環させる。これにより循環する配管長を短くでき、初期薬液投入量を減らすことができる。 （もっと読む）

【課題】 シャッタとの接触によるノズルの開口端面の破損又は磨耗劣化を回避しつつ、ノズルからのインクの吐出状態を常に良好に保ち得るインクジェット塗布装置を提供する。
【解決手段】 液滴を噴射するための開口であるノズル吐出口５０を有するインクジェットヘッド４２と、ノズル吐出口５０近傍において、前記ノズル吐出口を覆うよう進退可能に設けられるシャッタ５１と、ノズル吐出口５０を覆う位置と該覆う位置から退避した位置との間においてシャッタ５１をノズル吐出口５０の開口端面に対して間隙を保って移動させる支持機構４９、５２、５３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 基板を狭持することなく、基板の位置決めを行うことができるプリアライメント装置及びこれを備えたアライメント装置及び液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器及び電子機器の製造方法を提供する。
【解決手段】 マザー基板１２７を吸着テーブル１９の上に載置したときに、マザー基板１２７の外形寸法Ｗ１よりも最短間隔Ｗ２が大きくなるようにマザー基板１２７に対してＸ方向の両側に配置したＸ方向ガイド部材８５と、Ｙ方向の両側に配置したＹ方向ガイド部材８６と、マザー基板１２７を吸着テーブル１９上に吸着して固定するエアー吸引・供給装置７１とを有し、Ｘ方向ガイド部材８５とＹ方向ガイド部材８６に囲まれた領域内にマザー基板１２７を載置した後に、エアー吸引・供給装置７１を用いて位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】 超音波を用いることなく、高粘度流体の吸い込みも容易で、残渣の取り残しをなくした洗浄ノズルを備えたウェット処理装置を提供する。
【解決手段】 被洗浄物８の表面に近接して配設され、外部から供給される洗浄用流体９を被洗浄物８の表面に帯状に吐出するためのスリット状の吐出口１０を有する供給口２と、吐出口１０から吐出された洗浄用流体９を排出する排出口３を有する洗浄ユニット１１を備え、吐出口１０の断面積が外部から供給される洗浄用流体９の供給口受け口部の開口断面積に対し、洗浄用流体９を被洗浄物８の表面に向けて吐出するための先端部が１を越える正数分の１倍の開口断面積を有してなる洗浄ユニットを被洗浄物８の移動方向に対して直交する方向に配置した。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡単で、設置が容易であり、不透明な基板の場合にも容易に使用可能なアライン装置を提供する。
【解決手段】 基板と前記基板にプリント作業を行うように、複数のオリフィスが備えられたプリントヘッドを整列するためのアライン装置に関し、前記プリントヘッドと前記基板を整列するように、前記基板と前記プリントヘッドとの間に備えられ、前記プリントヘッドのオリフィス及び前記基板を撮影するカメラユニットと、前記カメラユニットを前記基板と前記プリントヘッドとの間に移送自在に支持するカメラ移送部とを含む。 （もっと読む）

【課題】
ノズルと基板の平面上の位置と両者の距離を正確に認識し、ノズルのずれの正確な補正を行い、位置精度の良い接着剤の塗布を可能とする接着剤塗布装置とする。

【解決手段】
接着剤塗布装置に次の手段を付加した。
第１に、基板撮像手段を接着剤を吐出するノズルと一体に設ける。
第２に、ノズル吐出口の平面上の位置を認識するノズル撮像手段と、ノズル吐出口の高さ方向の位置を検出するノズル高さ検出手段とを設ける。
第３に、ノズル撮像手段によって基板撮像手段とノズル吐出口の平面上の位置関係を求める。
第４に、ノズル高さ検出手段によりノズル吐出口の高さ位置を求める。
第５に、求めた平面上の位置関係及び高さ位置をもとに、ノズルの移動を制御して接着剤を基板の所定位置に塗布する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、エアーを効率的にトラップし且つ排出可能な圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。
【解決手段】 圧力調整弁７は、機能液タンク９１からバルブハウジング内の１次室１２２に導入した機能液を、バルブハウジング内の２次室１２３を介して機能液滴吐出ヘッド１１に重力供給するとともに、大気に面し２次室１２３の１つの面を構成する円形のダイヤフラム１２５により、大気圧を調整基準圧力として、弁体１２６を開閉動作させて、２次室１２３を圧力調整し、バルブハウジング１２１に形成され、１次室１２２の内部エアーを排出する１次室側エア抜き部１４４と、バルブハウジング１２１に形成され、２次室１２３の内部エアーを排出する２次室側エア抜き部１６９と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 機能液タンクの設置自由度を確保可能であると共に、機能液流路を短縮可能な機能液供給装置等を提供することを課題としている。
【解決手段】 キャリッジ６３に搭載された機能液滴吐出ヘッド４１に機能液を供給する機能液供給装置４において、機能液タンク９１と、機能液タンク９１から１次室１７２に導入した機能液を、２次室１７３を介して機能液滴吐出ヘッド４１に供給すると共に、２次室１７３の１つの面を構成すると共に大気に面した円形のダイヤフラム１７５が受ける大気圧を基準調整圧力として、１次室１７２と２次室１７３とを連通する連通流路１７４を開閉する圧力調整弁１６１と、圧力調整弁１６１を介して、機能液タンク９１および機能液滴吐出ヘッド４１を接続する接続チューブ７２と、を備え、機能液タンク９１および圧力調整弁１６１は、キャリッジ６３に搭載されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ノズル孔径の微細化を図るとともに、高速吐出が可能で、長時間目詰まりなく安定して一定濃度の吐出液を吐出できる流体吐出方法を提供する。
【解決手段】 ノズル４内のインク２に対して静電界を印加するための静電界印加用電極９と、記録媒体８に電圧を印加する対向電極７とを備え、インク２と記録媒体８との間に発生する電界により、インク２をインク吐出孔４ｂから記録媒体８に吐出させる静電吸引型流体吐出装置において、ノズル４（ノズル吐出孔４ｂ）の孔径をφ０．０１μｍ〜φ２５μｍとするとともに、インク２として導電率が１０^−７（Ｓ／ｍ）以上のものを使用し、静電界印加用電極９に印加される駆動電圧として正負両極性に反転する両極性電圧を使用する。 （もっと読む）

【課題】 回路が簡易となりコストを抑えることができる液滴吐出装置及び液滴吐出方法および液滴吐出装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 液滴を吐出する複数のノズルユニット２９からなるノズルブロック２８をヘッド走査方向に沿って複数個備え、該ノズルブロック２８によって媒体上に液滴を塗布する液滴吐出装置において、前記各ノズルユニット２９の吐出特性ランクが前記ノズルブロック２８ごとに略同一に揃えられ、これら各ノズルユニット２９に対して共通する一つの駆動波形を与えて該ノズルユニットを駆動させる一つの駆動波形生成回路４７が設けられ、さらに、前記ノズルブロック２８の吐出特性ランクは、第１のノズルブロック２８Ａの吐出量をＡ、第２のノズルブロック２８Ｂの吐出量をＢ１，第３のノズルブロック２８Ｃ１の吐出量をＣ１とおくと、２Ａ＝Ｂ１＋Ｃ１という関係を満たす吐出特性ランクとなっている。 （もっと読む）