【課題】 高解像度化が図れ、かつ小型化も図れるようにした液滴吐出ヘッドの製造方法と、その製造方法によって製造される液滴吐出ヘッドと、その液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置の提供を課題とする。
【解決手段】 液滴を吐出するノズル５６と、ノズル５６と連通し、液体が充填される圧力室５０と、圧力室５０の一部を構成する振動板４８と、圧力室５０へ流路６６、６８を介して供給する液体をプールするプール室３８と、振動板４８を変位させる圧電素子４６と、を有する液滴吐出ヘッド３２の製造方法であって、支持基板７６上に振動板４８を設けるとともに、振動板４８に圧電素子４６を設け、配線９０を備えた天板４０を振動板４８に設けた後、支持基板７６を振動板４８から取り外してなる圧電素子基板７０に、圧力室５０が形成された流路基板７２を接合する。そして、この製造方法によって製造される液滴吐出ヘッド３２と、その液滴吐出ヘッド３２を備えた液滴吐出装置１０とする。 （もっと読む）

【課題】 基板のサイズの変化、リニアスケールなどの精度変化、装置自体の精度変化が発生しても、機能液の吐出位置精度を保持できる液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器を提供する。
【解決手段】 ワークＷをエリア毎に区画して、このエリア毎に検出開始位置を示す特徴点５４を配置しておき、この特徴点５４を検出する特徴点検出部７０と、特徴点検出部７０の位置検出結果に基づいて機能液の吐出を駆動制御する。この特徴点５４の検出に基づいて、特徴点検出部７０による検出内容をエリア毎に配置された特徴点５４をリセットしてから、印字開始位置を決める。 （もっと読む）

【課題】 多孔質材料の内部に液体を効率よく且つ高速で充填することができるスロットダイを提供する。
【解決手段】 スロットダイ（１）に、パーチクルボード（７）を受ける受け部（２ａ）を有する第一ダイブロック（２）と、液体を押し出すための第一開口（５ｂ）が設けられた第一シム板（５）と、第一シム開口から押し出された液体をパーチクルボードの縁部に押込むための第一押圧部（４ａ）が設けられた中間ダイブロック（４）と、液体を押し出すための第二開口（６ｂ）が設けられた第二シム板（６）と、第二開口から押し出された液体をパーチクルボードの縁部に押込むための第二押圧部（３ａ）が設けられた第二ダイブロック（３）とを設けた。受け部（２ａ）、第一押圧部（４ａ）、及び第二押圧部（３ａ）は、パーチクルボードの縁部の形状と相補的な形状を有する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、機能液を安定して吐出させることができると共に、機能液流路を延長させることのない吐出ヘッド装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明の吐出ヘッド装置１３は、機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッド６１と、機能液タンク１０１からの機能液を導入する１次室１６１、連通流路１６３を介して１次室１６１に連なり、流出ポート２０１から機能液滴吐出ヘッド６１に機能液を供給する２次室１６２、および大気圧を調整基準圧力として連通流路１６３を開閉する圧力調整部を有する圧力調整弁１４１と、接続流路が形成され、機能液滴吐出ヘッド６１および流出ポート２０１を接続する接続管ブロック３０１と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット法で用いるインクは、スクリーン印刷法などで用いられるインキに対して、低粘度であるため、密度の大きい金属粒子などを用いた場合に比較的短時間に沈降が発生し、沈殿した粒子や二次凝集した粒子により、インクジェットヘッドのノズル詰まりを発生させ、信頼性が低下する。
【解決手段】 溶質の密度が、溶媒の密度よりも大きいインクを用いるインクジェット記録装置において、装置使用時に、インクタンクからヘッドまでのインク流路に傾斜を有し、さらにヘッドへのインク導入部直前にインク排出部を具備した最下点を設ける。 （もっと読む）

【課題】 特に工業的に用いられる液滴吐出装置において、その液滴吐出ヘッドの吐出性能を容易にしかも短時間で検査することのできる検査装置と、これを用いて液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する液滴吐出検査方法とを提供する。
【解決手段】 液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査するための検査装置５５である。絶縁性の基板Ｓと、この基板Ｓに設けられた液滴を受けるための液滴受容部６２と、液滴受容部６２の内面部に露出した状態に設けられた複数の電極６４ａとを備え、液滴受容部６２を、吐出された液滴が正常に着弾したときの状態に対応した大きさに形成してなる検査体６０と、検査体６０の電極６４ａに接続して、液滴受容部６２における導電性を検出する検出器６１と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】 スピンレス方式で被処理基板上に処理液を供給ないし塗布する基板処理装置において基板の大型化に無理なく効率的に対応すること。
【解決手段】このレジスト塗布ユニット（ＣＴ）８２は、プロセスラインＡの方向（Ｘ方向）に長く延びるステージ１１２を有し、このステージ１１２上で基板Ｇを噴出口１２０からの空気圧で浮上させて同方向（Ｘ方向）に平流しで搬送しながら、ステージ１１２上方に配置された定置型のレジストノズル１１４より基板Ｇ上にレジスト液を供給して、基板上面に一定の膜厚でレジスト塗布膜を形成する。ステージ１１２の両端部の搬入、搬出領域に属する各噴出口１２０については、空気の噴出流量を基板Ｇとの相対的な位置関係で個別的かつ自動的に切り換える噴出制御部（流量切換弁）をステージ１１２の内部に設けている。 （もっと読む）

【課題】 形成する膜全体の厚さを均一にでき、しかも装置の大型化や複雑化を抑えて装置構成を簡略化した、液滴吐出装置とこれを用いた薄膜形成方法とを提供する。
【解決手段】 基体Ｓを載置するステージ３９の上方に設けられて基体Ｓに液滴を吐出する液滴吐出ヘッド３４と、ステージ３９の移動軸に対して少なくとも一方の側方に設けられたフラッシングエリアＦとを有した液滴吐出装置３０である。フラッシングエリアＦに、液滴吐出ヘッド３４からのフラッシングによる液滴を受ける第１の容器５０が設けられ、この第１の容器５０に第２の容器５２が接続されている。第２の容器５２は、液滴吐出ヘッド３４から吐出される液滴中の溶媒あるいは分散媒と同じ溶媒あるいは分散媒を貯留してなるとともに、第１の容器５０内に連通している。第２の容器５２には、内部の溶媒あるいは分散媒を第１の容器５０内に移送する移送手段５３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 供給チューブを利用して外部に設けられた容器から液滴吐出ヘッドに液状体を充填する際に、気泡が混入しない液状体を液滴吐出ヘッドに充填できるようにした、液滴突出装置及び液滴吐出ヘッドへの液状体充填方法を提供する。
【解決手段】 液状体が充填された容器４５と、液滴吐出ヘッド３４と、容器４５と液滴吐出ヘッド３４との間を接続する配管４６と、を備えた液滴吐出装置３０において、配管４６に、液状体の有無を判定する複数のセンサー２０が間隔をおいて設けられている。液滴吐出ヘッド３４を介して配管４６内を減圧し、液状体を配管５１内に吸引する減圧手段５１が設けられ、減圧手段５１に、減圧度を調整する調整手段５１ａが設けられ、センサー２０の判定を基に調節手段５１ａを制御する制御部２１が備えられている。 （もっと読む）

【課題】長期間の使用でも帯状のパターンを高精度に成形することができ、微小な吐出孔を容易に加工することができる塗工装置およびプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供すること。
【解決手段】材料を吐出する吐出孔７０が形成された塗工ダイ６０を基板と対向させた状態で基板と塗工ダイ６０とを相対移動させて基板上に材料の帯状パターンを形成する。塗工ダイ６０は、長尺の第１ブロック６１および第２ブロック６６を備え、この塗工ダイ６０の底面には、溝幅ａの第１の辺６３と溝深さｂの第２の辺６４を有した吐出孔７０が所定の間隔ｃで複数個設けられている。吐出孔７０は、第１ブロック６１に設けられた吐出孔用凹部６２および第２ブロック６６に設けられた吐出孔用平坦面６７を対向し、張り合わせることにより形成される。 （もっと読む）

２つの作動モードを利用した２つのチャンバを分離する圧電性材料の壁の形態をとるアクチュエータ。両方の作動モードは両方のチャンバにおける体積変位をもたらすが、しかし、一のチャンバ内でお互いを増加させ、他のチャンバ内でお互いに打ち消すように働く。このようなアクチュエータによって分離された多くのチャネルを有する液滴堆積のための流体ポンプは、隣接部分とは実質的に独立して働くそれぞれのチャネルによって動作させることができる。
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【課題】 溶剤系の液状物を吐出するノズルに目詰まりが発生することを確実に防止可能な液滴吐出装置、およびこの液滴吐出装置を用いた電気光学装置の製造方法を提案すること。
【解決手段】 液滴吐出装置１０では、液滴吐出ヘッド２２に乾燥防止用キャップ部材７６１を装着した際、液滴吐出ヘッド２２のノズル形成面と乾燥防止用キャップ部材７６１との間に構成される密閉空間８７内に対して、溶剤タンク８８から有機溶剤Ｍ′の蒸気が供給される。このため、ノズル２７内での液状物の乾燥が防止されるので、ノズル２７の詰まりを防止できる。 （もっと読む）

【課題】 水頭圧差の変化による吐出量の変動を抑え、膜のパターンや厚さについての精度を十分に高めることができるようにした、成膜装置とこれを用いた成膜方法を提供する。
【解決手段】 ノズル１８を有し、ノズル１８から基体上に液状体を吐出する吐出ヘッド３４と、吐出ヘッド３４に供給するための液状体を貯留するタンク４５と、を有してなる成膜装置３０である。吐出ヘッド３４は、圧力制御装置５２によってその内圧が制御可能な第１のチャンバー４１内に収容されている。 （もっと読む）

【課題】 各ノズルからの着弾精度を上げ、これによって高精度の膜パターンを形成できるようにした液滴吐出装置と、これを用いた膜パターン形成方法とを提供する。
【解決手段】 複数のノズルを有し、基体Ｓを載置するステージ３９の上方に設けられてノズルから基体Ｓ上に液滴を吐出する液滴吐出ヘッド３４と、液滴吐出ヘッド３４とステージ３９とを相対的に移動させる移動手段３２、３３と、液滴吐出ヘッド３４から吐出された液滴の着弾状態を検知する検知手段６０と、検知手段６０で検知された液滴の着弾状態に基づいて各ノズルの吐出特性を検出し、この吐出特性に基づいて液滴吐出ヘッド３４の吐出を制御する制御手段４０と、ステージ３９上に液滴吐出ヘッド３４から吐出される液滴中の溶媒あるいは分散媒の蒸気を供給する蒸気供給手段と、を備えた液滴吐出装置３０である。 （もっと読む）

【課題】 液滴の飛行状態の良否や液滴重量の精度を容易に、かつ同時に判定することのできる液滴吐出特性測定方法、液滴吐出特性測定装置、液滴吐出装置、およびこの液滴吐出装置を用いた電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 液滴吐出特性測定装置８０において、液滴吐出ヘッド２２とゲート部材８１とを対向させた状態で、ノズル２７から液滴Ｍ0を吐出する。その際、液滴Ｍ0は、その飛行特性が正常であれば液滴通過穴８２を通過して、液滴捕集部材８５に到達する。これに対して、液滴Ｍ0の飛行特性に不具合があれば、液滴Ｍ0の一部あるいは全部が液滴通過穴８２から外れるので、ゲート部材８１の表面８１１に着弾してしまう。それ故、液滴通過穴８２を通過した液滴Ｍ0の重量を求めれば、液滴Ｍ0の重量が正常か否かを判定できるとともに、液滴Ｍ0の飛行特性（着弾位置）が正常や否かを判定できる。 （もっと読む）

【課題】塗布量のばらつきを少なくし、安定した接着剤の塗布が可能であり、チップ部品間の隣接間隔が狭くても塗布された接着剤に接触することがなく、また、接着剤をノズル先端部に接触させないようにする。
【解決手段】プリント回路基板上に接着剤を塗布する接着剤塗布ノズルにおいて、ノズル先端部１の外周部に凸部２を設け、接着剤吐出部先端３が凸部２と接触しない隙間４を設ける。ノズル先端部の外形寸法を１．５ｍｍ×１．５ｍｍ以下に、接着剤吐出部の寸法を０．９ｍｍ×０．３ｍｍ以下に、凸部の高さを０．１５ｍｍ以下にし、ノズル先端部に補強加工を施す。 （もっと読む）

【課題】高密度配置に容易に対応し得るとともに、高密度配置した場合であってもクロストークの発生を回避することができ、安定した流体噴射特性を得られるようにする。
【解決手段】基板１２上に形成された振動アクチュエータ１１，１３，１５，１６と、当該振動アクチュエータ１１，１３，１５，１６によって流体に圧力変化が与えられる圧力室２２と、当該流体の排出口２５とを備えたを備えた機能素子において、前記基板１２に前記圧力室２２へ通じる少なくとも一つの貫通孔３０を設け、その貫通孔３０を介して前記圧力室２２内への流体の供給を行い、前記排出口２５を介して当該圧力室２２内からの当該流体の排出を行うように構成する。 （もっと読む）

【課題】 複数のノズルの吐出口の位置がそれらのノズルの交換、着脱に伴い位置ずれを生じても、各ノズルのこの位置ずれを解消し、ペーストパターンの描画精度を向上すること。
【解決手段】 複数のノズル２４Ａ〜２６Ａのそれぞれが吐出するペーストを基板１上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板１上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布装置１０において、各ノズル２４Ａ〜２６Ａによるペーストの実塗布位置Ｐ1〜Ｐ3を検出する検出装置３１〜３３と、各ノズル２４Ａ〜２６Ａ毎に、検出したペーストの実塗布位置Ｐ1〜Ｐ3が予め定めてあるペーストの目標塗布位置Ｐ10〜Ｐ30に対する位置ずれを演算し、上記位置ずれを解消するように各ノズル２４Ａ〜２６Ａを基板１に対し相対移動する制御手段３０を有してなるもの。 （もっと読む）

【課題】 液体を収容する容器を加圧し、装置本体への液体の適正供給と、装置本体の小型化を実現する液体収容容器を提供する。
【解決手段】 液体収容容器は、装置本体に供給するインクが収容される可撓性を有するインクパック２４と、該インクパック２４を格納するメインタンク９の外郭容器と、インクパック２４と前記外郭容器との間に形成される圧力室２５と、圧力室２５の内部に設置され、圧力室２５に外部から空気を導入し、且つ圧力室２５を加圧する空気加圧ポンプ８０と、を備え、圧力室２５を空気加圧ポンプ８０によって加圧し、インクパックから装置本体にインクを供給する。このことにより、装置本体へのインクの適正供給と、装置本体の小型化が実現できる。 （もっと読む）

【課題】 基板表面の親液領域における液体の挙動をシミュレーションする。
【解決手段】
親液領域における液体の塗布状態を変化させた場合の、基板表面における液体の界面エネルギーを変化毎に算出する界面エネルギー算出部２７を備える。 （もっと読む）