液滴吐出特性測定方法、液滴吐出特性測定装置、液滴吐出装置、および電気光学装置の製造方法
【課題】 液滴の飛行状態の良否や液滴重量の精度を容易に、かつ同時に判定することのできる液滴吐出特性測定方法、液滴吐出特性測定装置、液滴吐出装置、およびこの液滴吐出装置を用いた電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 液滴吐出特性測定装置８０において、液滴吐出ヘッド２２とゲート部材８１とを対向させた状態で、ノズル２７から液滴Ｍ0を吐出する。その際、液滴Ｍ0は、その飛行特性が正常であれば液滴通過穴８２を通過して、液滴捕集部材８５に到達する。これに対して、液滴Ｍ0の飛行特性に不具合があれば、液滴Ｍ0の一部あるいは全部が液滴通過穴８２から外れるので、ゲート部材８１の表面８１１に着弾してしまう。それ故、液滴通過穴８２を通過した液滴Ｍ0の重量を求めれば、液滴Ｍ0の重量が正常か否かを判定できるとともに、液滴Ｍ0の飛行特性（着弾位置）が正常や否かを判定できる。
【解決手段】 液滴吐出特性測定装置８０において、液滴吐出ヘッド２２とゲート部材８１とを対向させた状態で、ノズル２７から液滴Ｍ0を吐出する。その際、液滴Ｍ0は、その飛行特性が正常であれば液滴通過穴８２を通過して、液滴捕集部材８５に到達する。これに対して、液滴Ｍ0の飛行特性に不具合があれば、液滴Ｍ0の一部あるいは全部が液滴通過穴８２から外れるので、ゲート部材８１の表面８１１に着弾してしまう。それ故、液滴通過穴８２を通過した液滴Ｍ0の重量を求めれば、液滴Ｍ0の重量が正常か否かを判定できるとともに、液滴Ｍ0の飛行特性（着弾位置）が正常や否かを判定できる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出された液滴の吐出特性を測定する液滴吐出特性測定方法、液滴吐出特性測定装置、液滴吐出装置、および電気光学装置の製造方法に関するものである。さらに詳しくは、液滴吐出特性の測定技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出ヘッドのノズルから液滴を吐出してワーク上に定着させる液滴吐出装置としては、インクを吐出して紙などの媒体上に画像や文字等の記録を行うものの他、液状組成物を液滴吐出ヘッドのノズルから液晶装置用基板に吐出して液晶装置のカラーフィルタを形成するものが案出されている。かかる液滴吐出装置では、基板に対する液滴の着弾位置、および液滴量に高い精度が求められていることから、レーザを利用して液滴の飛行特性を計測するとともに、液滴重量を計測して吐出特性を測定することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−９４６２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１に記載の方法で吐出特性を測定するには、高価な光学系が必要であるため、コストが嵩むという問題点がある。また、一組のレーザ光源部とレーザ受光部では、液滴の平面的な飛行状態しか観測できないため、液滴の飛行状態を正確に観測するためには、複数組のレーザ光源部とレーザ受光部が必要であり、この点でも、コストが嵩むという問題点がある。
【０００４】
以上の問題を鑑みて、本発明の課題は、コストが嵩む光学系を用いることなく、液滴の飛行状態の良否や液滴重量の精度を容易に、かつ同時に判定することのできる液滴吐出特性測定方法、液滴吐出特性測定装置、液滴吐出装置、およびこの液滴吐出装置を用いた電気光学装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、本発明では、液滴吐出ヘッドのノズルの液滴吐出特性を測定する液滴吐出特性測定方法において、前記液滴の着弾位置許容範囲を規定する液滴通過穴を備えたゲート部材を前記ノズルに対向する位置に配置した状態で、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出し、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めることにより、液滴吐出特性の良否を判定することを特徴とする。
【０００６】
ノズルから吐出された液滴は、その飛行特性が正常であれば、予め規定されている着弾位置許容範囲内に着弾し、その飛行特性に不具合があれば、液滴の一部あるいは全部が着弾位置許容範囲から外れた位置に着弾する。従って、着弾位置許容範囲を規定する液滴通過穴を備えたゲート部材に向けてノズルから液滴を吐出し、液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めれば、液滴の重量が正常か否かを判定できる。また、その重量が適正か否かを判定すれば、液滴の飛行特性（着弾位置）が正常や否かを判定できる。それ故、コストが嵩む光学系を用いることなく、液滴の飛行状態の良否や液滴重量の精度を容易に、かつ同時に判定することができる。
【０００７】
本発明において、前記液滴吐出ヘッドには前記ノズルが複数、所定のピッチで形成されている場合が多く、この場合、前記ゲート部材には、前記ノズルに対応する位置に前記液滴通過穴が複数、形成されていることが好ましい。
【０００８】
本発明において、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めるにあたっては、前記ノズルから前記ゲート部材に対して複数回、液滴を吐出することが好ましい。ノズルから吐出される液滴の重量は、一般に数ｎｇ〜数１０ｎｇ程度であるので、液滴吐出特性の測定を行う際、ノズルから液滴を複数回、吐出させ、複数回分の液滴の総重量から１滴当たりの重量を算出すれば、測定誤差を小さくすることができる。
【０００９】
本発明において、前記ゲート部材に対して前記ノズル側とは反対側に、前記液滴通過穴を通過してきた液滴を捕集する液滴捕集部材を配置した状態で前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出することが好ましい。
【００１０】
本発明において、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めるにあたっては、例えば、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出する前の前記ゲート部材と前記液滴捕集部材の総重量を求めておき、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出した後、前記ゲート部材の表面に付着した液滴を除去し、しかる後に、前記ゲート部材と前記液滴捕集部材の総重量を求め、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出する前後の前記総重量の増加量を求めることにより、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求める。
【００１１】
この場合、前記ゲート部材として、少なくとも前記表面が前記液滴に対して撥液性を備えているものを用いることが好ましい。このように構成すると、前記ゲート部材の表面に付着した液滴を容易に、かつ確実に除去することができる。
【００１２】
また、前記ゲート部材の表面を自動的に払拭可能な払拭装置を設け、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出した後、前記払拭装置によって、前記ゲート部材の表面に付着した液滴を除去することが好ましい。
【００１３】
本発明において、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めるにあたっては、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出する前の前記液滴捕集部材の重量を求めておき、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出した後、前記液滴捕集部材の重量を求め、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出する前後の前記液滴捕集部材の重量増加量を求めることにより、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めることが好ましい。このように構成すると、ゲート部材の表面に付着した液滴を除去しなくても、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めることができる。ここで、ノズルからゲート部材に向けて液滴を吐出する際、ゲート部材を液滴捕集部材に重ねて配置してもよいが、ゲート部材を液滴捕集部材から離れた位置に配置すれば、液滴通過穴を通過して液滴捕集部材に到達した液滴がゲート部材に付着して測定精度が低下することを防止することができる。
【００１４】
本発明において、前記ゲート部材として、板状のものを用いることが好ましい。ゲート部材が板状であれば、ゲート部材の液滴通過穴の内部に液滴が付着しにくい。従って、ゲート部材の液滴通過穴の内部に付着した液滴について、その飛行状態が正常であったと見なすか不具合があったと見なすかに起因する測定精度の低下を抑えることができる。
【００１５】
本発明に係る液滴吐出特性測定方法を行うための液滴吐出特性測定装置では、前記ノズルから液滴を吐出する際に前記ノズルに対向する位置に配置され、前記液滴の着弾位置許容範囲を規定する液滴通過穴を備えたゲート部材と、該ゲート部材に対して前記ノズル側とは反対側に配置され、前記液滴通過穴を通過してきた液滴を捕集する液滴捕集部材と有している。
【００１６】
さらに、液滴吐出特性測定装置が、前記ゲート部材と前記液滴捕集部材の総重量、あるいは前記液滴捕集部材の重量を形成するための秤量装置を備えていることが好ましい。このように構成すると、秤量装置を別途、準備する必要がない。
【００１７】
このような液滴吐出特性測定装置を備えた液滴吐出装置は、例えば、電気光学装置用基板上に前記液滴を吐出して、当該電気光学装置用基板上に画素構成要素を形成する電気光学装置の製造方法に用いることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した液滴吐出装置の一例を説明する。
【００１９】
（液滴吐出装置の全体構成）
図１は、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。図２は、図１に示す電気光学素子製造装置の液滴吐出装置の要部を示す部分斜視図である。なお、液滴吐出装置によってカラー印刷やカラーの表示装置を製造する場合、通常、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の絵素を形成する必要がある。従って、液滴吐出装置については、１台で各色に対応する液滴を吐出可能に構成するか、所定の色に対応するものを複数台、準備することになるが、以下の説明では、後者において複数、準備した液滴吐出装置のうちの１台を説明する。
【００２０】
図１および図２において、液滴吐出装置１０は、各種の液状物を基板などのワーク上の所望位置に液滴として吐出するものであり、液状物を各種ワーク上に液滴として吐出するノズルを備える複数の液滴吐出ヘッド２２と、これらの液滴吐出ヘッド２２を保持する共通のキャリッジ２６とを有している。また、液滴吐出装置１０は、液滴吐出ヘッド２２の位置を制御するヘッド位置制御装置１７と、ワークとしての基板１２の位置を制御する基板位置制御装置１８と、液滴吐出ヘッド２２を基板１２に対して主走査移動させる主走査駆動手段としての主走査駆動装置１９と、液滴吐出ヘッド２２を基板１２に対して副走査移動させる副走査駆動手段としての副走査駆動装置２１と、基板１２を液滴吐出装置１０内の所定の作業位置へ供給する基板供給装置２３と、液滴吐出装置１０の全般の制御を司るコントロール装置２４とを有しており、ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、および副走査駆動装置２１によって、液滴吐出ヘッド２２（キャリッジ２６）と基板１２とを相対移動させる移動手段が構成されている。ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、および副走査駆動装置２１はベース９の上に設置され、それらの各装置は必要に応じてカバー１４によって覆われる。
【００２１】
図２に示すように、ヘッド位置制御装置１７は、液滴吐出ヘッド２２を面内回転させるαモータ４４と、液滴吐出ヘッド２２を副走査方向Ｙと平行な軸線回りに揺動回転させるβモータ４６と、液滴吐出ヘッド２２を主走査方向と平行な軸線回りに揺動回転させるγモータ４７と、そして液滴吐出ヘッド２２を上下方向へ平行移動させるＺモータ４８とを備えている。基板位置制御装置１８は、基板１２を載せるテーブル４９と、そのテーブル４９を矢印θのように面内回転させるθモータ５１とを備えている。主走査駆動装置１９は、主走査方向Ｘへ延びるＸガイドレール５２と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＸスライダ５３とを備えている。Ｘスライダ５３は、内蔵するリニアモータが作動するときにＸガイドレール５２に沿って主走査方向へ平行移動する。副走査駆動装置２１は、副走査方向Ｙへ延びるＹガイドレール５４と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＹスライダ５６とを備えている。Ｙスライダ５６は、内蔵するリニアモータが作動するときにＹガイドレール５４に沿って副走査方向Ｙへ平行移動する。
【００２２】
Ｘスライダ５３およびＹスライダ５６内においてパルス駆動されるリニアモータは、該モータに供給するパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精細に行うことができ、従って、Ｘスライダ５３に支持された液滴吐出ヘッド２２の主走査方向Ｘ上の位置やテーブル４９の副走査方向Ｙ上の位置などを高精細に制御できる。なお、液滴吐出ヘッド２２やテーブル４９の位置制御は、パルスモータを用いた位置制御に限られず、サーボモータを用いたフィードバック制御や、その他任意の制御方法によって実現することもできる。
【００２３】
再び図１において、基板供給装置２３は、基板１２を収容する基板収容部５７と、基板１２を搬送するロボット５８とを備えている。ロボット５８は、床、地面などといった設置面に置かれる基台５９と、基台５９に対して昇降移動する昇降軸６１と、昇降軸６１を中心として回転する第１アーム６２と、第１アーム６２に対して回転する第２アーム６３と、第２アーム６３の先端下面に設けられた吸着パッド６４とを備えており、吸着パッド６４は、空気吸引などによって基板１２を吸着できる。
【００２４】
また、液滴吐出ヘッド２２の近傍には、その液滴吐出ヘッド２２と一体に移動するヘッド用カメラ７９が配置されている。なお、ベース９上に設けた支持装置（図示せず）には基板用カメラ（図示せず）が配置され、基板用カメラは、基板１２を撮影可能である。
【００２５】
ここで、主走査駆動装置１９によって駆動されて主走査移動する液滴吐出ヘッド２２の軌跡下であって副走査駆動装置２１の一方の脇位置には、キャッピング機構７６およびクリーニング機構７７が配置され、他方の脇位置には、後述する液滴吐出特性測定装置８０が配置されている。キャッピング機構７６は、液滴吐出ヘッド２２が待機状態にあるときにノズルの乾燥を防止するための機構である。クリーニング機構７７は、液滴吐出ヘッド２２を洗浄するための機構である。
【００２６】
（液滴吐出ヘッドの構成）
図３は、液滴吐出ヘッド２２の構成を示す説明図である。図４（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、液滴吐出ヘッド２２の内部構造を模式的に示す説明図である。なお、液滴吐出ヘッド２２は、共通のキャリッジ２６に複数、保持されているが、それらは基本的に同一構成であるので、その１つを例に挙げて説明する。
【００２７】
図３に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、多数のノズル２７を列状に並べることによって形成されたノズル列２８を備えている。ノズル２７の数は、例えば１８０個であり、ノズル２７の穴径は例えば２８μｍであり、ノズル２７間のノズルピッチは例えば１４１μｍである。なお、液滴吐出ヘッド２２の基板１２に対する主走査方向Ｘおよびそれに直交する副走査方向Ｙは図示の通りである。すなわち、液滴吐出ヘッド２２は、そのノズル列２８が主走査方向Ｘと交差する方向へ延びるように位置設定され、この主走査方向Ｘへ平行移動する間に、液状物を複数のノズル２７から選択的に吐出することにより、基板１２内の所定位置に液滴を着弾させる。また、液滴吐出ヘッド２２は副走査方向Ｙへ所定距離だけ平行移動することにより、液滴吐出ヘッド２２による主走査位置を所定の間隔でずらせることができる。
【００２８】
図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、例えば、ステンレス製のノズルプレート２９と、それに対向する振動板３１と、それらを互いに接合する複数の仕切部材３２とを有している。ノズルプレート２９と振動板３１との間には、仕切部材３２によって複数の圧力発生室３３と、液溜り３４とが形成されている。複数の圧力発生室３３と液溜り３４とは通路３８を介して互いに連通している。振動板３１の適所には液状物供給穴３６が形成され、この液状物供給穴３６に液状物供給装置３７が接続される。この液状物供給装置３７は吐出されることとなる液状物Ｍを液状物供給穴３６へ供給する。供給された液状物Ｍは液溜り３４に充満し、さらに通路３８を通って圧力発生室３３に充満する。
【００２９】
ノズルプレート２９には、圧力発生室３３から液状物Ｍをジェット状（液滴Ｍ0）に噴射するためのノズル２７が設けられており、そのノズル２７が開口しているノズル形成面２７１は平坦面とされている。振動板３１の圧力発生室３３を形成する面の裏面には、この圧力発生室３３に対応させて圧力発生素子３９が取り付けられている。この圧力発生素子３９は、図５（Ｂ）に示すように、圧電素子４１ならびにこれを挟持する一対の電極４２ａおよび４２ｂを備えている。圧電素子４１は電極４２ａおよび４２ｂへの通電によって矢印Ｃで示す外側へ突出するように撓み変形し、これにより圧力発生室３３の容積が増大する。すると、増大した容積分に相当する液状物Ｍが液溜り３４から通路３８を通って圧力発生室３３へ流入する。
【００３０】
次に、圧電素子４１への通電を解除すると、この圧電素子４１と振動板３１とは共に元の形状へ戻る。これにより、圧力発生室３３も元の容積に戻るため、圧力発生室３３の内部にある液状物Ｍの圧力が上昇し、ノズル２７から基板１２へ向けて液状物Ｍが液滴Ｍ0となって噴出する。なお、ノズル２７の周辺部には、液滴Ｍ0の飛行曲がりやノズル２７の穴詰まりなどを防止するために、例えばＮｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥液状物層４３が設けられる。
【００３１】
（液滴吐出特性測定機構の構成）
図５は、図１に示す液滴吐出装置が備える液滴吐出特性測定装置８０の構成を示す説明図である。図６（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、液滴吐出特性測定装置８０によりノズル２７から吐出される液滴の吐出特性を測定する方法を示す説明図である。
【００３２】
図１、図２、および図５において、本形態の液滴吐出特性測定装置８０は、着弾位置許容範囲に着弾した液滴Ｍ0の重量を求めることにより、液滴吐出ヘッド２２の液滴吐出特性の良否を判定するものであり、液滴Ｍ0の着弾位置許容範囲を規定する液滴通過穴８２を備えた板状のゲート部材８１と、このゲート部材８１に対してノズル２７側とは反対側に配置される液滴捕集部材８５と、ゲート部材８１と液滴捕集部材８５の総重量、あるいは液滴捕集部材８５の重量を形成するための電子天秤８６（秤量装置）とを有している。
【００３３】
ゲート部材８１は、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）製の板であり、その全体が撥液性を備えている。また、ゲート部材８１において、液滴通過穴８２は列状に形成され、その数は、図３および図４を参照して説明したノズル２７と同一の１８０個である。また、液滴通過穴８２のピッチは、ノズル２７のピッチと等しく、１４１μｍである。従って、液滴吐出ヘッド２２を主走査方向Ｘに移動させて液滴吐出特性測定装置８０の真上位置まで移動させると、液滴吐出ヘッド２２のノズル形成面２７１とゲート部材８１が対向し、この状態で、ノズル２７の中心位置と液滴通過穴８２の中心位置とが平面的に一致することになる。ここで、ゲート部材８１に形成した液滴通過穴８２の穴径は、基板１２に対する液滴Ｍ0の着弾位置の許容範囲に相当する大きさに設定されている。
【００３４】
液滴捕集部材８５は、ゲート部材８１の液滴通過穴８２を通過してきた液滴Ｍ0を捕集するためのものであり、液滴保持層８３と、この液滴保持層８３を裏側で支持する支持板８４とからなる。液滴保持層８３は、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）製のワイプ布などから構成され、液滴通過穴８２を通過してきた液滴Ｍ0を受けた後、液滴Ｍ0を保持する。液滴保持層８３は、支持板８４は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などから構成されている。
【００３５】
（液滴吐出特性の測定方法１）
このように構成した液滴吐出特性測定装置８０を用いてノズル２７の液滴吐出特性を測定する方法を以下に説明する。ここで、ノズル２７から吐出される液滴Ｍ0は、１滴当たりの重量が数ｎｇ〜数１０ｎｇ程度であり、１滴当たりの重量を電子天秤８６で直接、測定することは精度上、困難である。そこで、以下に説明する方法では、全てのノズル２７から液滴Ｍ0を複数回、吐出させ、その液滴総重量から、１滴当たりの重量を算出する方法を採用している。
【００３６】
本形態では、まず、図６（Ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２のノズル形成面２７１とゲート部材８１とを所定の距離を介して対向させ、かつ、ノズル２７の中心位置と液滴通過穴８２の中心位置とを平面的に一致させる。その際、ゲート部材８１の表面８１１については、予め異物を拭き取っておく。
【００３７】
次に、各ノズル２７から液滴Ｍ0を複数回、吐出する。その際、液滴Ｍ0は、その飛行特性が正常であれば、予め規定されている着弾位置許容範囲内に着弾するのに対して、飛行特性に不具合があれば、液滴Ｍ0の一部あるいは全部が着弾位置許容範囲から外れた位置に着弾する。従って、ゲート部材８１に向けてノズル２７から液滴Ｍ0を吐出した際、液滴Ｍ0は、その飛行特性が正常であれば液滴通過穴８２を通過して、液滴捕集部材８５の液滴保持層８３に到達する。これに対して、液滴Ｍ0の飛行特性に不具合があれば、図６（Ｂ）に示すように、液滴Ｍ0の一部あるいは全部が液滴通過穴８２から外れるので、ゲート部材８１の表面８１１に着弾し、液滴通過穴８２を通過しない。それ故、ゲート部材８１に向けてノズル２７から液滴Ｍ0を吐出した後、液滴通過穴８２を通過した液滴Ｍ0の重量を求めれば、液滴Ｍ0の重量が正常か否かを判定できるとともに、その重量が適正か否かを判定すれば、ノズル２７からの吐出重量、および液滴Ｍ0の飛行特性（着弾位置）が正常や否かを判定できる。
【００３８】
そこで、本形態では、ノズル２７からゲート部材８１に向けて液滴Ｍ0を吐出する前のゲート部材９１と液滴捕集部材８５の総重量Ｗ11を電子天秤８６によって求めておき、ノズル２７からゲート部材８１に向けて液滴Ｍ0を吐出した後、ゲート部材８１の表面８１１に付着した液滴Ｍ0を拭き取り、しかる後に、ゲート部材８１と液滴捕集部材８５の総重量Ｗ12を電子天秤８６によって求める。
【００３９】
次に、ノズル２７からゲート部材９１に向けて液滴を吐出する前後の総重量Ｗ11、Ｗ12の増加量Ｗt（Ｗ12−Ｗ11）を求めることにより、液滴通過穴８２を通過した液滴Ｍ0の総重量Ｗtを求める。
【００４０】
次に、液滴通過穴８２を通過した液滴Ｍ0の総重量Ｗtをノズル２７の数、および各ノズル２７からの吐出回数で割れば、液滴通過穴８２を通過して液滴捕集部材８５に到達した液滴Ｍ0、１つ当たりの重量Ｗ1を算出することができる。従って、この重量Ｗ1が所定範囲内であれば、ノズル２７からの液滴吐出量、およびその飛行状態が正常であると判定することができる。
【００４１】
例えば、本願発明者等が行った実験において、液滴吐出ヘッド２２の各ノズル２７から正常な条件で液滴Ｍ0を１０万発ずつ吐出した場合と、不具合のある条件で液滴Ｍ0を１０万発ずつ吐出した場合とを比較したところ、正常な条件ではゲート部材８１の表面８１１が濡れることがないのに対して、不具合のあるな条件ではゲート部材８１の表面８１１が濡れてしまうという結果が得られた。また、液滴通過穴８２を通過して液滴捕集部材８５に到達した液滴Ｍ0、１つ当たりの重量Ｗ1は、正常な条件では１３ｎｇであったのに対して、不具合のある条件では９ｎｇであった。
【００４２】
このように本形態によれば、コストが嵩む光学系を用いることなく、液滴Ｍ0の飛行状態の良否（着弾位置の精度）や液滴重量の精度を容易に、かつ同時に判定することができる。
【００４３】
また、本形態では、ゲート部材９１として表面が撥液性のものを用いているため、ノズル２７からゲート部材８１に向けて液滴Ｍ0を吐出した後、ゲート部材８１の表面８１１に付着した液滴Ｍ0を除去するのが容易である。
【００４４】
さらに、本形態では、ゲート部材９１が板状で薄く、かつ、その全体が撥液性であるため、液滴通過穴８２の内面に液滴Ｍ0が付着しにくいので、液滴通過穴８２の内面に付着した液滴Ｍ0の重量に起因する測定誤差が発生しにくい。但し、このような誤差が発生しないようにするには、ゲート部材９１において、液滴通過穴８２の表面側の開口位置で着弾位置許容範囲を規定すればよく、さらに、液滴通過穴８２については、表面側で開口径が小さく、裏面側で開口径が大きなテーパ穴とすればよい。
【００４５】
なお、上記形態では、ゲート部材８１も含めて重量を計測するため、液滴Ｍ0の吐出前後でゲート部材８１の表面８１１を拭き取る必要がある。従って、多孔質部材などといった払拭部材をアームなどに保持してゲート部材８１の表面８１１を自動的に払拭する自動払拭装置を液滴吐出特性測定装置８０に付加し、この自動払拭装置によって、表面８１１に付着した異物や液滴Ｍ0を自動的に除去してもよい。
【００４６】
（液滴吐出特性の測定方法２）
本形態の液滴吐出特性測定装置８０を用いてノズル２７の液滴吐出特性を測定する別の方法を以下に説明する。本形態でも、ノズル２７から吐出される液滴Ｍ0は、１滴当たりの重量が数ｎｇ〜数１０ｎｇ程度であり、１滴当たりの重量を直接、測定することは精度上、困難であるので、以下に説明する方法では、全てのノズル２７から液滴Ｍ0を複数回、吐出させ、その液滴総重量から、１滴当たりの重量を算出する方法を採用している。
【００４７】
本形態では、まず、図６（Ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２のノズル形成面２７１とゲート部材８１とを所定の距離を介して対向させ、ノズル２７の中心位置と液滴通過穴８２の中心位置とを平面的に一致させる。
【００４８】
次に、各ノズル２７から液滴Ｍ0を複数回、吐出する。その際、液滴Ｍ0は、飛行特性が正常であれば、予め規定されている着弾位置許容範囲内に着弾し、その飛行特性に不具合があれば、液滴の一部あるいは全部が着弾位置許容範囲から外れた位置に着弾する。従って、ゲート部材８１に向けてノズル２７から液滴Ｍ0を吐出した際、液滴Ｍ0は、飛行特性が正常であれば液滴通過穴８２を通過して液滴捕集部材８５の液滴保持層８３に到達する。これに対して、液滴Ｍ0の飛行特性に不具合があれば、図６（Ｂ）に示すように、液滴Ｍ0の一部あるいは全部が液滴通過穴８２から外れるので、ゲート部材８１の表面８１１に着弾し、液滴通過穴８２を通過しない。それ故、ゲート部材８１に向けてノズル２７から液滴を吐出した後、液滴通過穴８２を通過した液滴Ｍ0の重量を求めれば、液滴Ｍ0の重量が正常か否かを判定できるとともに、その重量が適正か否かを判定すれば、液滴Ｍ0の飛行特性が正常や否かを判定できる。
【００４９】
そこで、本形態では、ノズル２７からゲート部材８１に向けて液滴Ｍ0を吐出する前の液滴捕集部材８５の総重量Ｗ21を電子天秤８６によって求めておき、ノズル２７からゲート部材８１に向けて液滴Ｍ0を吐出した後、ゲート部材８１を取り除き、液滴捕集部材８５の重量Ｗ22を電子天秤８６によって求める。
【００５０】
次に、ノズル２７からゲート部材９１に向けて液滴Ｍ0を吐出する前後の液滴捕集部材８５の重量Ｗ21、Ｗ22の増加量Ｗt（Ｗ22−Ｗ21）を求めることにより、液滴通過穴８２を通過した液滴Ｍ0の総重量Ｗtを求める。
【００５１】
次に、液滴通過穴８２を通過した液滴Ｍ0の総重量Ｗtをノズル２７の数、および各ノズル２７からの吐出回数で割れば、液滴通過穴８２を通過して液滴捕集部材８５に到達した液滴Ｍ0、１つ当たりの重量Ｗ1を算出することができる。従って、この重量Ｗ1が所定範囲内であれば、ノズル２７からの液滴吐出量、およびその飛行状態が正常であると判定することができる。よって、コストが嵩む光学系を用いることなく、液滴Ｍ0の飛行状態の良否（着弾位置の精度）や液滴重量の精度を容易に、かつ同時に判定することができる。
【００５２】
また、本形態では、ゲート部材９１が板状で薄く、かつ、その全体が撥液性であるため、液滴通過穴８２の内面に液滴Ｍ0が付着しにくいので、液滴通過穴８２の内面に付着した液滴Ｍ0の重量に起因する測定誤差が発生しにくい。但し、このような誤差が発生しないようにするには、ゲート部材９１において、液滴通過穴８２の裏面側の開口位置で着弾位置許容範囲を規定すればよく、さらに、液滴通過穴８２については、表面側で開口径が広く、裏面側で開口径が小さなテーパ穴とすればよい。
【００５３】
なお、上記形態では、ゲート部材８１を液滴捕集部材８５の上に重ねてノズル２７からゲート部材８１に向けて液滴Ｍ0を吐出したが、図７に示すように、ゲート部材８１を液滴捕集部材８５から浮かせ、所定の間隔をあけて対向配置させることが好ましい。このように構成すると、図６に示す方法と違って、液滴通過穴８２を通過して液滴捕集部材８５に到達した液滴Ｍ0の一部がゲート部材８１に付着してしまうことを防止できるので、測定精度を高めることができる。
【００５４】
［電気光学装置の構成、および製造方法の例］
電気光学装置の一例として、有機ＥＬ表示装置の構成およびその製造工程を説明する。図８は、電気光学物質として電荷注入型の有機薄膜を用いたＥＬ素子を備えた有機ＥＬ表示装置のブロック図である。図９〜図１１は、有機ＥＬ表示装置の製造工程の手順を示す製造工程断面図であり、有機ＥＬ表示装置の１画素分の断面に相当する。
【００５５】
図８において、有機ＥＬ表示装置５００ｐは、有機半導体膜に駆動電流が流れることによって発光するＥＬ素子をＴＦＴで駆動制御する表示装置であり、このタイプの表示装置に用いられる発光素子はいずれも自己発光するため、バックライトを必要とせず、また、視野角依存性が少ないなどの利点がある。ここに示す電気光学装置５００ｐでは、複数の走査線５６３ｐと、この走査線５６３ｐの延設方向に対して交差する方向に延設された複数のデータ線５６４と、これらのデータ線５６４に並列する複数の共通給電線５０５と、データ線５６４と走査線５６３ｐとの交差点に対応する画素５１５ｐとが構成され、画素５１５ｐは、画像表示領域１００にマトリクス状に配置されている。データ線５６４に対しては、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを備えるデータ線駆動回路５５１ｐが構成されている。走査線５６３ｐに対しては、シフトレジスタおよびレベルシフタを備える走査線駆動回路５５４ｐが構成されている。また、画素５１５ｐの各々には、走査線５６３ｐを介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング薄膜トランジスタ５０９と、このスイッチング薄膜トランジスタ５０９を介してデータ線５６４から供給される画像信号を保持する保持容量５３３ｐと、この保持容量５３３ｐによって保持された画像信号がゲート電極に供給されるカレント薄膜トランジスタ５１０と、カレント薄膜トランジスタ５１０を介して共通給電線５０５に電気的に接続したときに共通給電線５０５から駆動電流が流れ込む発光素子５１３とが構成されている。発光素子５１３は、画素電極の上層側には、正孔注入層、有機ＥＬ材料層としての有機半導体膜、リチウム含有アルミニウム、カルシウムなどの金属膜からなる対向電極が積層された構成になっており、対向電極は、データ線５６４などを跨いで複数の画素５１５ｐにわたって形成されている。
【００５６】
このような構成の有機ＥＬ表示装置５００ｐを製造するには、基板を用意する。ここで、有機ＥＬ表示装置５００ｐでは、後述する発光層による発光光を基板側から取り出すことも可能であり、また基板と反対側から取り出す構成とすることも可能である。発光光を基板側から取り出す構成とする場合、基板材料としてはガラスや石英、樹脂等の透明ないし半透明なものが用いられるが、特にガラスが好適に用いられる。また、基板に色フィルター膜や蛍光性物質を含む色変換膜、あるいは誘電体反射膜を配置して、発光色を制御するようにしてもよい。なお、基板と反対側から発光光を取り出す構成の場合、基板は不透明であってもよく、その場合、アルミナ等のセラミックス、ステンレス等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などを用いることができる。
【００５７】
本例では、図９（Ａ）に示すように、基板としてガラスからなる透明基板５０２を用意し、透明基板５０２に対して、必要に応じてＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）や酸素ガスなどを原料としてプラズマＣＶＤ法により厚さ約２００〜５００ｎｍのシリコン酸化膜からなる下地保護膜（図示せず）を形成する。
【００５８】
次に、透明基板５０２の温度を約３５０℃に設定して、下地保護膜の表面にプラズマＣＶＤ法により厚さ約３０〜７０ｎｍのアモルファスシリコン膜からなる半導体膜５２０ａを形成する。次に、半導体膜５２０ａに対してレーザアニールまたは固相成長法などの結晶化工程を行い、半導体膜５２０ａをポリシリコン膜に結晶化する。レーザアニール法では、例えばエキシマレーザでビームの長寸が４００ｍｍのラインビームを用い、その出力強度は、例えば２００ｍＪ／ｃｍ２とする。ラインビームについては、その短寸方向におけるレーザ強度のピーク値の９０％に相当する部分が各領域毎に重なるようにラインビームを走査する。
【００５９】
次に、図９（Ｂ）に示すように、半導体膜（ポリシリコン膜）５２０ａをパターニングして島状の半導体膜５２０ｂとし、その表面に対して、ＴＥＯＳや酸素ガスなどを原料としてプラズマＣＶＤ法により厚さ約６０〜１５０ｎｍのシリコン酸化膜または窒化膜からなるゲート絶縁膜５２１ａを形成する。なお、半導体膜５２０ｂは、図８に示したカレント薄膜トランジスタ５１０のチャネル領域及びソース・ドレイン領域となるものであるが、異なる断面位置においてはスイッチング薄膜トランジスタ５０９のチャネル領域及びソース・ドレイン領域となる半導体膜も形成されている。つまり、図９〜図１１に示す製造工程では二種類のトランジスタ５０９、５１０が同時に作られるのであるが、同じ手順で作られるため、以下の説明ではトランジスタに関しては、カレント薄膜トランジスタ５１０についてのみ説明し、スイッチング薄膜トランジスタ５０９についてはその説明を省略する。
【００６０】
次に、図９（Ｃ）に示すように、アルミニウム、タンタル、モリブデン、チタン、タングステンなどの金属膜からなる導電膜をスパッタ法により形成した後、これをパターニングし、ゲート電極５１０ｇを形成する。次に、この状態で高濃度のリンイオンを打ち込み、半導体膜５２０ｂに、ゲート電極５１０ｇに対して自己整合的にソース・ドレイン領域５１０ａ、５１０ｂを形成する。なお、不純物が導入されなかった部分がチャネル領域５１０ｃとなる。
【００６１】
次に、図９（Ｄ）に示すように、層間絶縁膜５２２を形成した後、コンタクトホール５２３、５２４を形成し、これらコンタクトホール５２３、５２４内に中継電極５２６、５２７を埋め込む。次に、層間絶縁膜５２２上に信号線、共通給電線及び走査線（図示せず）を形成する。ここで、中継電極５２７と各配線とは、同一工程で形成してもよく、その場合、中継電極５２６は、後述するＩＴＯ膜で形成されることになる。
【００６２】
次に、図９（Ｅ）に示すように、各配線の上面を覆うように層間絶縁膜５３０を形成した後、層間絶縁膜５３０に対して中継電極５２６に対応する位置にコンタクトホール５３２を形成する。次に、コンタクトホール５３２を埋めるようにＩＴＯ膜を形成し、さらにそのＩＴＯ膜をパターニングして、信号線、共通給電線及び走査線に囲まれた所定位置に、ソース・ドレイン領域５１０ａに電気的に接続する画素電極５１１を形成する。ここで、信号線及び共通給電線、さらには走査線に挟まれた部分が、後述する正孔注入層や発光層の形成場所となる。
【００６３】
次に、図１０（Ａ）に示すように、正孔注入層や発光層の形成場所を囲むように隔壁５０５を形成する。この隔壁５０５は、仕切り部材として機能するものであり、例えばポリイミド等の絶縁性有機材料で形成するのが好ましい。隔壁５０５の膜厚については、例えば１〜２μｍの高さとなるように形成する。また、隔壁５０５は、上述した液滴吐出ヘッド２２から吐出される液状物に対して撥液性を示すものが好ましい。隔壁５０５に撥液性を発現させるためには、例えば隔壁５０５の表面をフッ素系化合物などで表面処理するといった方法が採用される。フッ素化合物としては、例えばＣＦ４、ＳＦ５、ＣＨＦ３などがあり、表面処理としては、例えばプラズマ処理、ＵＶ照射処理などが挙げられる。このようにして、正孔注入層や発光層の形成場所、すなわち、これらの形成材料の塗布位置とその周囲の隔壁５０５との間には、十分な高さの段差５３５が形成される。
【００６４】
次に、図１０（Ｂ）に示すように、透明基板５０２の上面を上に向けた状態で、正孔注入層の形成材料５４０ａを、上述した液滴吐出装置１０の液滴吐出ヘッド２２より、前記隔壁５０５に囲まれた塗布位置、すなわち隔壁５０５内に選択的に塗布する。その際、形成材料５４０ａは、流動性が高いため水平方向に広がろうとするが、塗布された位置を囲んで隔壁５０５が形成されているので、形成材料５４０ａは隔壁５０５を越えてその外側に広がることがない。ここで、正孔注入層の形成材料５４０ａとしては、ポリオレフィン誘導体である３，４−ポリエチレンジオシチオフェン／ポリスチレンスルフォン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）を正孔注入材料として用い、これを有機溶剤を主溶媒として分散させてなる分散液が好適に用いられる。但し、正孔注入材料としては、前記のものに限定されることなく、ポリマー前駆体がポリテトラヒドロチオフェニルフェニレンであるポリフェニレンビニレン、１，１−ビス−（４−Ｎ、Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキサン、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アルミニウム等を用いることもできる。
【００６５】
このようにして形成材料５４０ａを液滴吐出ヘッド３４から吐出して所定位置に配置した後、液状の形成材料５４０ａに対して乾燥処理を行い、形成材料５４０ａ中の分散媒を蒸発させる。その結果、図１０（Ｃ）に示すように、画素電極５１１上に固形の正孔注入層５１３ａ（画素構成要素）が形成される。
【００６６】
次に、図１１（Ａ）に示すように、透明基板５０２の上面を上に向けた状態で、上述した液滴吐出装置１０の液滴吐出ヘッド２２より液状物として発光層の形成材料５４０ｂを、前記隔壁５０５内の正孔注入層５１３ａ上に選択的に塗布する。発光材料としては、例えば分子量が１０００以上の高分子材料が用いられる。具体的には、ポリフルオレン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、またはこれらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素、例えばルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等をドープしたものが用いられる。なお、このような高分子材料としては、二重結合のπ電子がポリマー鎖上で非極在化しているπ共役系高分子材料が、導電性高分子でもあることから発光性能に優れるため、好適に用いられる。特に、その分子内にフルオレン骨格を有する化合物、すなわちポリフルオレン系化合物がより好適に用いられる。また、このような材料以外にも、例えば特開平１１−４０３５８号公報に示される有機ＥＬ素子用組成物、すなわち共役系高分子有機化合物の前駆体と、発光特性を変化させるための少なくとも１種の蛍光色素とを含んでなる有機ＥＬ素子用組成物も、発光層形成材料として使用可能である。このような発光材料を溶解あるいは分散する有機溶媒としては、非極性溶媒が好適とされ、特に発光層が正孔注入層５１３ａの上に形成されることから、この正孔注入層５１３ａに対して不溶なものが用いられる。具体的には、キシレン、シクロへキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等が好適に用いられる。なお、形成材料５４０ｂの吐出による発光層の形成は、赤色の発色光を発光する発光層の形成材料、緑色の発色光を発光する発光層の形成材料、青色の発色光を発光する発光層の形成材料を、それぞれ対応する画素に吐出し塗布することによって行う。また、各色に対応する画素は、これらが規則的な配置となるように予め決められている。
【００６７】
このようにして各色の発光層形成材料５４０ｂを吐出した後、液状の発光層形成材料５４０ｂに対して乾燥処理を行い、発光層形成材料５４０ｂ中の分散媒を蒸発させる。その結果、図１１（Ｂ）に示すように、正孔層注入層５１３ａ上に固形の発光層５１３ｂ（画素構成要素）が形成される。これにより、正孔層注入層５１３ａと発光層５１３ｂとからなる発光素子５１３を得る。
【００６８】
なお、形成材料５４０ｂの乾燥処理については、形成材料５４０ｂのガラス転移点未満の温度、例えば１００°未満の温度で加熱することにより、乾燥するのが好ましい。このような温度で乾燥することにより、形成材料５４０ｂ中の溶剤の蒸発速度を比較的低く抑えることができるとともに、形成材料５４０ｂの液状化による流動も抑えることができ、その結果、得られる発光層５１３ｂについても十分に平坦化することができる。また、発光層形成の際の乾燥処理によって生じる熱的ダメージが、発光層５１３ｂだけでなく正孔注入層５１３ａに対しても小さくなり、初期輝度の低下などによる表示性能の低下が抑制される。
【００６９】
次に、図１１（Ｃ）に示すように透明基板５０２の表面全体に、あるいはストライプ状に、ＬｉＦ／Ａｌ（ＬｉＦとＡｌとの積層膜）やＭｇＡｇ、あるいはＬｉＦ／Ｃａ／Ａｌ（ＬｉＦとＣａとＡｌとの積層膜）を蒸着法等によって成膜し、対向電極５１２を形成する。その後、封止を行った後、さらに配線等の各種要素を形成することにより、有機ＥＬ素子を備えた有機ＥＬ表示装置５００ｐ（電気光学装置）を製造する。
【００７０】
（その他の適用例）
なお、上記形態では、本発明を有機ＥＬ表示装置の製造工程に用いた例であったが、液晶表示装置のカラーフィルタ（画素構成要素）の形成などに本発明を適用してもよい。また、インクジェットプリンタと称せられる液滴吐出装置に本発明を適用してもよい。
【００７１】
また、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、実施形態で挙げた具体的な材料や構成などは一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示す液滴吐出装置の要部を示す部分斜視図である。
【図３】図１に示す液滴吐出装置に用いた液滴吐出ヘッドの構成を示す説明図である。
【図４】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、図３に示す液滴吐出ヘッドの内部構造を模式的に示す説明図である。
【図５】図１に示す液滴吐出装置に構成した液滴吐出特性測定装置の説明図である。
【図６】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、図５に示す液滴吐出特性測定装置によりノズルの液滴吐出特性を測定する方法を示す説明図である。
【図７】図５に示す液滴吐出特性測定装置によりノズルの液滴吐出特性を測定する別の方法を示す説明図である。
【図８】有機ＥＬ表示装置のブロック図である。
【図９】有機ＥＬ表示装置の製造工程の手順を示す断面図である。
【図１０】有機ＥＬ表示装置の製造工程の手順を示す断面図である。
【図１１】有機ＥＬ表示装置の製造工程の手順を示す断面図である。
【符号の説明】
【００７３】
１０ 液滴吐出装置、１２ 基板、２２ 液滴吐出ヘッド、２７ ノズル、２７１ ノズル形成面、８０ 液滴吐出特性測定装置、８１ ゲート部材、８２ 液滴通過穴、８３ 液滴保持層、８４ 支持板、８５ 液滴捕集部材、８６ 電子天秤（秤量装置）、Ｍ 液状物、Ｍ0 液滴
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出された液滴の吐出特性を測定する液滴吐出特性測定方法、液滴吐出特性測定装置、液滴吐出装置、および電気光学装置の製造方法に関するものである。さらに詳しくは、液滴吐出特性の測定技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出ヘッドのノズルから液滴を吐出してワーク上に定着させる液滴吐出装置としては、インクを吐出して紙などの媒体上に画像や文字等の記録を行うものの他、液状組成物を液滴吐出ヘッドのノズルから液晶装置用基板に吐出して液晶装置のカラーフィルタを形成するものが案出されている。かかる液滴吐出装置では、基板に対する液滴の着弾位置、および液滴量に高い精度が求められていることから、レーザを利用して液滴の飛行特性を計測するとともに、液滴重量を計測して吐出特性を測定することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−９４６２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１に記載の方法で吐出特性を測定するには、高価な光学系が必要であるため、コストが嵩むという問題点がある。また、一組のレーザ光源部とレーザ受光部では、液滴の平面的な飛行状態しか観測できないため、液滴の飛行状態を正確に観測するためには、複数組のレーザ光源部とレーザ受光部が必要であり、この点でも、コストが嵩むという問題点がある。
【０００４】
以上の問題を鑑みて、本発明の課題は、コストが嵩む光学系を用いることなく、液滴の飛行状態の良否や液滴重量の精度を容易に、かつ同時に判定することのできる液滴吐出特性測定方法、液滴吐出特性測定装置、液滴吐出装置、およびこの液滴吐出装置を用いた電気光学装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、本発明では、液滴吐出ヘッドのノズルの液滴吐出特性を測定する液滴吐出特性測定方法において、前記液滴の着弾位置許容範囲を規定する液滴通過穴を備えたゲート部材を前記ノズルに対向する位置に配置した状態で、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出し、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めることにより、液滴吐出特性の良否を判定することを特徴とする。
【０００６】
ノズルから吐出された液滴は、その飛行特性が正常であれば、予め規定されている着弾位置許容範囲内に着弾し、その飛行特性に不具合があれば、液滴の一部あるいは全部が着弾位置許容範囲から外れた位置に着弾する。従って、着弾位置許容範囲を規定する液滴通過穴を備えたゲート部材に向けてノズルから液滴を吐出し、液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めれば、液滴の重量が正常か否かを判定できる。また、その重量が適正か否かを判定すれば、液滴の飛行特性（着弾位置）が正常や否かを判定できる。それ故、コストが嵩む光学系を用いることなく、液滴の飛行状態の良否や液滴重量の精度を容易に、かつ同時に判定することができる。
【０００７】
本発明において、前記液滴吐出ヘッドには前記ノズルが複数、所定のピッチで形成されている場合が多く、この場合、前記ゲート部材には、前記ノズルに対応する位置に前記液滴通過穴が複数、形成されていることが好ましい。
【０００８】
本発明において、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めるにあたっては、前記ノズルから前記ゲート部材に対して複数回、液滴を吐出することが好ましい。ノズルから吐出される液滴の重量は、一般に数ｎｇ〜数１０ｎｇ程度であるので、液滴吐出特性の測定を行う際、ノズルから液滴を複数回、吐出させ、複数回分の液滴の総重量から１滴当たりの重量を算出すれば、測定誤差を小さくすることができる。
【０００９】
本発明において、前記ゲート部材に対して前記ノズル側とは反対側に、前記液滴通過穴を通過してきた液滴を捕集する液滴捕集部材を配置した状態で前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出することが好ましい。
【００１０】
本発明において、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めるにあたっては、例えば、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出する前の前記ゲート部材と前記液滴捕集部材の総重量を求めておき、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出した後、前記ゲート部材の表面に付着した液滴を除去し、しかる後に、前記ゲート部材と前記液滴捕集部材の総重量を求め、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出する前後の前記総重量の増加量を求めることにより、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求める。
【００１１】
この場合、前記ゲート部材として、少なくとも前記表面が前記液滴に対して撥液性を備えているものを用いることが好ましい。このように構成すると、前記ゲート部材の表面に付着した液滴を容易に、かつ確実に除去することができる。
【００１２】
また、前記ゲート部材の表面を自動的に払拭可能な払拭装置を設け、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出した後、前記払拭装置によって、前記ゲート部材の表面に付着した液滴を除去することが好ましい。
【００１３】
本発明において、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めるにあたっては、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出する前の前記液滴捕集部材の重量を求めておき、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出した後、前記液滴捕集部材の重量を求め、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出する前後の前記液滴捕集部材の重量増加量を求めることにより、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めることが好ましい。このように構成すると、ゲート部材の表面に付着した液滴を除去しなくても、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めることができる。ここで、ノズルからゲート部材に向けて液滴を吐出する際、ゲート部材を液滴捕集部材に重ねて配置してもよいが、ゲート部材を液滴捕集部材から離れた位置に配置すれば、液滴通過穴を通過して液滴捕集部材に到達した液滴がゲート部材に付着して測定精度が低下することを防止することができる。
【００１４】
本発明において、前記ゲート部材として、板状のものを用いることが好ましい。ゲート部材が板状であれば、ゲート部材の液滴通過穴の内部に液滴が付着しにくい。従って、ゲート部材の液滴通過穴の内部に付着した液滴について、その飛行状態が正常であったと見なすか不具合があったと見なすかに起因する測定精度の低下を抑えることができる。
【００１５】
本発明に係る液滴吐出特性測定方法を行うための液滴吐出特性測定装置では、前記ノズルから液滴を吐出する際に前記ノズルに対向する位置に配置され、前記液滴の着弾位置許容範囲を規定する液滴通過穴を備えたゲート部材と、該ゲート部材に対して前記ノズル側とは反対側に配置され、前記液滴通過穴を通過してきた液滴を捕集する液滴捕集部材と有している。
【００１６】
さらに、液滴吐出特性測定装置が、前記ゲート部材と前記液滴捕集部材の総重量、あるいは前記液滴捕集部材の重量を形成するための秤量装置を備えていることが好ましい。このように構成すると、秤量装置を別途、準備する必要がない。
【００１７】
このような液滴吐出特性測定装置を備えた液滴吐出装置は、例えば、電気光学装置用基板上に前記液滴を吐出して、当該電気光学装置用基板上に画素構成要素を形成する電気光学装置の製造方法に用いることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した液滴吐出装置の一例を説明する。
【００１９】
（液滴吐出装置の全体構成）
図１は、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。図２は、図１に示す電気光学素子製造装置の液滴吐出装置の要部を示す部分斜視図である。なお、液滴吐出装置によってカラー印刷やカラーの表示装置を製造する場合、通常、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の絵素を形成する必要がある。従って、液滴吐出装置については、１台で各色に対応する液滴を吐出可能に構成するか、所定の色に対応するものを複数台、準備することになるが、以下の説明では、後者において複数、準備した液滴吐出装置のうちの１台を説明する。
【００２０】
図１および図２において、液滴吐出装置１０は、各種の液状物を基板などのワーク上の所望位置に液滴として吐出するものであり、液状物を各種ワーク上に液滴として吐出するノズルを備える複数の液滴吐出ヘッド２２と、これらの液滴吐出ヘッド２２を保持する共通のキャリッジ２６とを有している。また、液滴吐出装置１０は、液滴吐出ヘッド２２の位置を制御するヘッド位置制御装置１７と、ワークとしての基板１２の位置を制御する基板位置制御装置１８と、液滴吐出ヘッド２２を基板１２に対して主走査移動させる主走査駆動手段としての主走査駆動装置１９と、液滴吐出ヘッド２２を基板１２に対して副走査移動させる副走査駆動手段としての副走査駆動装置２１と、基板１２を液滴吐出装置１０内の所定の作業位置へ供給する基板供給装置２３と、液滴吐出装置１０の全般の制御を司るコントロール装置２４とを有しており、ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、および副走査駆動装置２１によって、液滴吐出ヘッド２２（キャリッジ２６）と基板１２とを相対移動させる移動手段が構成されている。ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、主走査駆動装置１９、および副走査駆動装置２１はベース９の上に設置され、それらの各装置は必要に応じてカバー１４によって覆われる。
【００２１】
図２に示すように、ヘッド位置制御装置１７は、液滴吐出ヘッド２２を面内回転させるαモータ４４と、液滴吐出ヘッド２２を副走査方向Ｙと平行な軸線回りに揺動回転させるβモータ４６と、液滴吐出ヘッド２２を主走査方向と平行な軸線回りに揺動回転させるγモータ４７と、そして液滴吐出ヘッド２２を上下方向へ平行移動させるＺモータ４８とを備えている。基板位置制御装置１８は、基板１２を載せるテーブル４９と、そのテーブル４９を矢印θのように面内回転させるθモータ５１とを備えている。主走査駆動装置１９は、主走査方向Ｘへ延びるＸガイドレール５２と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＸスライダ５３とを備えている。Ｘスライダ５３は、内蔵するリニアモータが作動するときにＸガイドレール５２に沿って主走査方向へ平行移動する。副走査駆動装置２１は、副走査方向Ｙへ延びるＹガイドレール５４と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したＹスライダ５６とを備えている。Ｙスライダ５６は、内蔵するリニアモータが作動するときにＹガイドレール５４に沿って副走査方向Ｙへ平行移動する。
【００２２】
Ｘスライダ５３およびＹスライダ５６内においてパルス駆動されるリニアモータは、該モータに供給するパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精細に行うことができ、従って、Ｘスライダ５３に支持された液滴吐出ヘッド２２の主走査方向Ｘ上の位置やテーブル４９の副走査方向Ｙ上の位置などを高精細に制御できる。なお、液滴吐出ヘッド２２やテーブル４９の位置制御は、パルスモータを用いた位置制御に限られず、サーボモータを用いたフィードバック制御や、その他任意の制御方法によって実現することもできる。
【００２３】
再び図１において、基板供給装置２３は、基板１２を収容する基板収容部５７と、基板１２を搬送するロボット５８とを備えている。ロボット５８は、床、地面などといった設置面に置かれる基台５９と、基台５９に対して昇降移動する昇降軸６１と、昇降軸６１を中心として回転する第１アーム６２と、第１アーム６２に対して回転する第２アーム６３と、第２アーム６３の先端下面に設けられた吸着パッド６４とを備えており、吸着パッド６４は、空気吸引などによって基板１２を吸着できる。
【００２４】
また、液滴吐出ヘッド２２の近傍には、その液滴吐出ヘッド２２と一体に移動するヘッド用カメラ７９が配置されている。なお、ベース９上に設けた支持装置（図示せず）には基板用カメラ（図示せず）が配置され、基板用カメラは、基板１２を撮影可能である。
【００２５】
ここで、主走査駆動装置１９によって駆動されて主走査移動する液滴吐出ヘッド２２の軌跡下であって副走査駆動装置２１の一方の脇位置には、キャッピング機構７６およびクリーニング機構７７が配置され、他方の脇位置には、後述する液滴吐出特性測定装置８０が配置されている。キャッピング機構７６は、液滴吐出ヘッド２２が待機状態にあるときにノズルの乾燥を防止するための機構である。クリーニング機構７７は、液滴吐出ヘッド２２を洗浄するための機構である。
【００２６】
（液滴吐出ヘッドの構成）
図３は、液滴吐出ヘッド２２の構成を示す説明図である。図４（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、液滴吐出ヘッド２２の内部構造を模式的に示す説明図である。なお、液滴吐出ヘッド２２は、共通のキャリッジ２６に複数、保持されているが、それらは基本的に同一構成であるので、その１つを例に挙げて説明する。
【００２７】
図３に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、多数のノズル２７を列状に並べることによって形成されたノズル列２８を備えている。ノズル２７の数は、例えば１８０個であり、ノズル２７の穴径は例えば２８μｍであり、ノズル２７間のノズルピッチは例えば１４１μｍである。なお、液滴吐出ヘッド２２の基板１２に対する主走査方向Ｘおよびそれに直交する副走査方向Ｙは図示の通りである。すなわち、液滴吐出ヘッド２２は、そのノズル列２８が主走査方向Ｘと交差する方向へ延びるように位置設定され、この主走査方向Ｘへ平行移動する間に、液状物を複数のノズル２７から選択的に吐出することにより、基板１２内の所定位置に液滴を着弾させる。また、液滴吐出ヘッド２２は副走査方向Ｙへ所定距離だけ平行移動することにより、液滴吐出ヘッド２２による主走査位置を所定の間隔でずらせることができる。
【００２８】
図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、例えば、ステンレス製のノズルプレート２９と、それに対向する振動板３１と、それらを互いに接合する複数の仕切部材３２とを有している。ノズルプレート２９と振動板３１との間には、仕切部材３２によって複数の圧力発生室３３と、液溜り３４とが形成されている。複数の圧力発生室３３と液溜り３４とは通路３８を介して互いに連通している。振動板３１の適所には液状物供給穴３６が形成され、この液状物供給穴３６に液状物供給装置３７が接続される。この液状物供給装置３７は吐出されることとなる液状物Ｍを液状物供給穴３６へ供給する。供給された液状物Ｍは液溜り３４に充満し、さらに通路３８を通って圧力発生室３３に充満する。
【００２９】
ノズルプレート２９には、圧力発生室３３から液状物Ｍをジェット状（液滴Ｍ0）に噴射するためのノズル２７が設けられており、そのノズル２７が開口しているノズル形成面２７１は平坦面とされている。振動板３１の圧力発生室３３を形成する面の裏面には、この圧力発生室３３に対応させて圧力発生素子３９が取り付けられている。この圧力発生素子３９は、図５（Ｂ）に示すように、圧電素子４１ならびにこれを挟持する一対の電極４２ａおよび４２ｂを備えている。圧電素子４１は電極４２ａおよび４２ｂへの通電によって矢印Ｃで示す外側へ突出するように撓み変形し、これにより圧力発生室３３の容積が増大する。すると、増大した容積分に相当する液状物Ｍが液溜り３４から通路３８を通って圧力発生室３３へ流入する。
【００３０】
次に、圧電素子４１への通電を解除すると、この圧電素子４１と振動板３１とは共に元の形状へ戻る。これにより、圧力発生室３３も元の容積に戻るため、圧力発生室３３の内部にある液状物Ｍの圧力が上昇し、ノズル２７から基板１２へ向けて液状物Ｍが液滴Ｍ0となって噴出する。なお、ノズル２７の周辺部には、液滴Ｍ0の飛行曲がりやノズル２７の穴詰まりなどを防止するために、例えばＮｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥液状物層４３が設けられる。
【００３１】
（液滴吐出特性測定機構の構成）
図５は、図１に示す液滴吐出装置が備える液滴吐出特性測定装置８０の構成を示す説明図である。図６（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、液滴吐出特性測定装置８０によりノズル２７から吐出される液滴の吐出特性を測定する方法を示す説明図である。
【００３２】
図１、図２、および図５において、本形態の液滴吐出特性測定装置８０は、着弾位置許容範囲に着弾した液滴Ｍ0の重量を求めることにより、液滴吐出ヘッド２２の液滴吐出特性の良否を判定するものであり、液滴Ｍ0の着弾位置許容範囲を規定する液滴通過穴８２を備えた板状のゲート部材８１と、このゲート部材８１に対してノズル２７側とは反対側に配置される液滴捕集部材８５と、ゲート部材８１と液滴捕集部材８５の総重量、あるいは液滴捕集部材８５の重量を形成するための電子天秤８６（秤量装置）とを有している。
【００３３】
ゲート部材８１は、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）製の板であり、その全体が撥液性を備えている。また、ゲート部材８１において、液滴通過穴８２は列状に形成され、その数は、図３および図４を参照して説明したノズル２７と同一の１８０個である。また、液滴通過穴８２のピッチは、ノズル２７のピッチと等しく、１４１μｍである。従って、液滴吐出ヘッド２２を主走査方向Ｘに移動させて液滴吐出特性測定装置８０の真上位置まで移動させると、液滴吐出ヘッド２２のノズル形成面２７１とゲート部材８１が対向し、この状態で、ノズル２７の中心位置と液滴通過穴８２の中心位置とが平面的に一致することになる。ここで、ゲート部材８１に形成した液滴通過穴８２の穴径は、基板１２に対する液滴Ｍ0の着弾位置の許容範囲に相当する大きさに設定されている。
【００３４】
液滴捕集部材８５は、ゲート部材８１の液滴通過穴８２を通過してきた液滴Ｍ0を捕集するためのものであり、液滴保持層８３と、この液滴保持層８３を裏側で支持する支持板８４とからなる。液滴保持層８３は、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）製のワイプ布などから構成され、液滴通過穴８２を通過してきた液滴Ｍ0を受けた後、液滴Ｍ0を保持する。液滴保持層８３は、支持板８４は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などから構成されている。
【００３５】
（液滴吐出特性の測定方法１）
このように構成した液滴吐出特性測定装置８０を用いてノズル２７の液滴吐出特性を測定する方法を以下に説明する。ここで、ノズル２７から吐出される液滴Ｍ0は、１滴当たりの重量が数ｎｇ〜数１０ｎｇ程度であり、１滴当たりの重量を電子天秤８６で直接、測定することは精度上、困難である。そこで、以下に説明する方法では、全てのノズル２７から液滴Ｍ0を複数回、吐出させ、その液滴総重量から、１滴当たりの重量を算出する方法を採用している。
【００３６】
本形態では、まず、図６（Ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２のノズル形成面２７１とゲート部材８１とを所定の距離を介して対向させ、かつ、ノズル２７の中心位置と液滴通過穴８２の中心位置とを平面的に一致させる。その際、ゲート部材８１の表面８１１については、予め異物を拭き取っておく。
【００３７】
次に、各ノズル２７から液滴Ｍ0を複数回、吐出する。その際、液滴Ｍ0は、その飛行特性が正常であれば、予め規定されている着弾位置許容範囲内に着弾するのに対して、飛行特性に不具合があれば、液滴Ｍ0の一部あるいは全部が着弾位置許容範囲から外れた位置に着弾する。従って、ゲート部材８１に向けてノズル２７から液滴Ｍ0を吐出した際、液滴Ｍ0は、その飛行特性が正常であれば液滴通過穴８２を通過して、液滴捕集部材８５の液滴保持層８３に到達する。これに対して、液滴Ｍ0の飛行特性に不具合があれば、図６（Ｂ）に示すように、液滴Ｍ0の一部あるいは全部が液滴通過穴８２から外れるので、ゲート部材８１の表面８１１に着弾し、液滴通過穴８２を通過しない。それ故、ゲート部材８１に向けてノズル２７から液滴Ｍ0を吐出した後、液滴通過穴８２を通過した液滴Ｍ0の重量を求めれば、液滴Ｍ0の重量が正常か否かを判定できるとともに、その重量が適正か否かを判定すれば、ノズル２７からの吐出重量、および液滴Ｍ0の飛行特性（着弾位置）が正常や否かを判定できる。
【００３８】
そこで、本形態では、ノズル２７からゲート部材８１に向けて液滴Ｍ0を吐出する前のゲート部材９１と液滴捕集部材８５の総重量Ｗ11を電子天秤８６によって求めておき、ノズル２７からゲート部材８１に向けて液滴Ｍ0を吐出した後、ゲート部材８１の表面８１１に付着した液滴Ｍ0を拭き取り、しかる後に、ゲート部材８１と液滴捕集部材８５の総重量Ｗ12を電子天秤８６によって求める。
【００３９】
次に、ノズル２７からゲート部材９１に向けて液滴を吐出する前後の総重量Ｗ11、Ｗ12の増加量Ｗt（Ｗ12−Ｗ11）を求めることにより、液滴通過穴８２を通過した液滴Ｍ0の総重量Ｗtを求める。
【００４０】
次に、液滴通過穴８２を通過した液滴Ｍ0の総重量Ｗtをノズル２７の数、および各ノズル２７からの吐出回数で割れば、液滴通過穴８２を通過して液滴捕集部材８５に到達した液滴Ｍ0、１つ当たりの重量Ｗ1を算出することができる。従って、この重量Ｗ1が所定範囲内であれば、ノズル２７からの液滴吐出量、およびその飛行状態が正常であると判定することができる。
【００４１】
例えば、本願発明者等が行った実験において、液滴吐出ヘッド２２の各ノズル２７から正常な条件で液滴Ｍ0を１０万発ずつ吐出した場合と、不具合のある条件で液滴Ｍ0を１０万発ずつ吐出した場合とを比較したところ、正常な条件ではゲート部材８１の表面８１１が濡れることがないのに対して、不具合のあるな条件ではゲート部材８１の表面８１１が濡れてしまうという結果が得られた。また、液滴通過穴８２を通過して液滴捕集部材８５に到達した液滴Ｍ0、１つ当たりの重量Ｗ1は、正常な条件では１３ｎｇであったのに対して、不具合のある条件では９ｎｇであった。
【００４２】
このように本形態によれば、コストが嵩む光学系を用いることなく、液滴Ｍ0の飛行状態の良否（着弾位置の精度）や液滴重量の精度を容易に、かつ同時に判定することができる。
【００４３】
また、本形態では、ゲート部材９１として表面が撥液性のものを用いているため、ノズル２７からゲート部材８１に向けて液滴Ｍ0を吐出した後、ゲート部材８１の表面８１１に付着した液滴Ｍ0を除去するのが容易である。
【００４４】
さらに、本形態では、ゲート部材９１が板状で薄く、かつ、その全体が撥液性であるため、液滴通過穴８２の内面に液滴Ｍ0が付着しにくいので、液滴通過穴８２の内面に付着した液滴Ｍ0の重量に起因する測定誤差が発生しにくい。但し、このような誤差が発生しないようにするには、ゲート部材９１において、液滴通過穴８２の表面側の開口位置で着弾位置許容範囲を規定すればよく、さらに、液滴通過穴８２については、表面側で開口径が小さく、裏面側で開口径が大きなテーパ穴とすればよい。
【００４５】
なお、上記形態では、ゲート部材８１も含めて重量を計測するため、液滴Ｍ0の吐出前後でゲート部材８１の表面８１１を拭き取る必要がある。従って、多孔質部材などといった払拭部材をアームなどに保持してゲート部材８１の表面８１１を自動的に払拭する自動払拭装置を液滴吐出特性測定装置８０に付加し、この自動払拭装置によって、表面８１１に付着した異物や液滴Ｍ0を自動的に除去してもよい。
【００４６】
（液滴吐出特性の測定方法２）
本形態の液滴吐出特性測定装置８０を用いてノズル２７の液滴吐出特性を測定する別の方法を以下に説明する。本形態でも、ノズル２７から吐出される液滴Ｍ0は、１滴当たりの重量が数ｎｇ〜数１０ｎｇ程度であり、１滴当たりの重量を直接、測定することは精度上、困難であるので、以下に説明する方法では、全てのノズル２７から液滴Ｍ0を複数回、吐出させ、その液滴総重量から、１滴当たりの重量を算出する方法を採用している。
【００４７】
本形態では、まず、図６（Ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２のノズル形成面２７１とゲート部材８１とを所定の距離を介して対向させ、ノズル２７の中心位置と液滴通過穴８２の中心位置とを平面的に一致させる。
【００４８】
次に、各ノズル２７から液滴Ｍ0を複数回、吐出する。その際、液滴Ｍ0は、飛行特性が正常であれば、予め規定されている着弾位置許容範囲内に着弾し、その飛行特性に不具合があれば、液滴の一部あるいは全部が着弾位置許容範囲から外れた位置に着弾する。従って、ゲート部材８１に向けてノズル２７から液滴Ｍ0を吐出した際、液滴Ｍ0は、飛行特性が正常であれば液滴通過穴８２を通過して液滴捕集部材８５の液滴保持層８３に到達する。これに対して、液滴Ｍ0の飛行特性に不具合があれば、図６（Ｂ）に示すように、液滴Ｍ0の一部あるいは全部が液滴通過穴８２から外れるので、ゲート部材８１の表面８１１に着弾し、液滴通過穴８２を通過しない。それ故、ゲート部材８１に向けてノズル２７から液滴を吐出した後、液滴通過穴８２を通過した液滴Ｍ0の重量を求めれば、液滴Ｍ0の重量が正常か否かを判定できるとともに、その重量が適正か否かを判定すれば、液滴Ｍ0の飛行特性が正常や否かを判定できる。
【００４９】
そこで、本形態では、ノズル２７からゲート部材８１に向けて液滴Ｍ0を吐出する前の液滴捕集部材８５の総重量Ｗ21を電子天秤８６によって求めておき、ノズル２７からゲート部材８１に向けて液滴Ｍ0を吐出した後、ゲート部材８１を取り除き、液滴捕集部材８５の重量Ｗ22を電子天秤８６によって求める。
【００５０】
次に、ノズル２７からゲート部材９１に向けて液滴Ｍ0を吐出する前後の液滴捕集部材８５の重量Ｗ21、Ｗ22の増加量Ｗt（Ｗ22−Ｗ21）を求めることにより、液滴通過穴８２を通過した液滴Ｍ0の総重量Ｗtを求める。
【００５１】
次に、液滴通過穴８２を通過した液滴Ｍ0の総重量Ｗtをノズル２７の数、および各ノズル２７からの吐出回数で割れば、液滴通過穴８２を通過して液滴捕集部材８５に到達した液滴Ｍ0、１つ当たりの重量Ｗ1を算出することができる。従って、この重量Ｗ1が所定範囲内であれば、ノズル２７からの液滴吐出量、およびその飛行状態が正常であると判定することができる。よって、コストが嵩む光学系を用いることなく、液滴Ｍ0の飛行状態の良否（着弾位置の精度）や液滴重量の精度を容易に、かつ同時に判定することができる。
【００５２】
また、本形態では、ゲート部材９１が板状で薄く、かつ、その全体が撥液性であるため、液滴通過穴８２の内面に液滴Ｍ0が付着しにくいので、液滴通過穴８２の内面に付着した液滴Ｍ0の重量に起因する測定誤差が発生しにくい。但し、このような誤差が発生しないようにするには、ゲート部材９１において、液滴通過穴８２の裏面側の開口位置で着弾位置許容範囲を規定すればよく、さらに、液滴通過穴８２については、表面側で開口径が広く、裏面側で開口径が小さなテーパ穴とすればよい。
【００５３】
なお、上記形態では、ゲート部材８１を液滴捕集部材８５の上に重ねてノズル２７からゲート部材８１に向けて液滴Ｍ0を吐出したが、図７に示すように、ゲート部材８１を液滴捕集部材８５から浮かせ、所定の間隔をあけて対向配置させることが好ましい。このように構成すると、図６に示す方法と違って、液滴通過穴８２を通過して液滴捕集部材８５に到達した液滴Ｍ0の一部がゲート部材８１に付着してしまうことを防止できるので、測定精度を高めることができる。
【００５４】
［電気光学装置の構成、および製造方法の例］
電気光学装置の一例として、有機ＥＬ表示装置の構成およびその製造工程を説明する。図８は、電気光学物質として電荷注入型の有機薄膜を用いたＥＬ素子を備えた有機ＥＬ表示装置のブロック図である。図９〜図１１は、有機ＥＬ表示装置の製造工程の手順を示す製造工程断面図であり、有機ＥＬ表示装置の１画素分の断面に相当する。
【００５５】
図８において、有機ＥＬ表示装置５００ｐは、有機半導体膜に駆動電流が流れることによって発光するＥＬ素子をＴＦＴで駆動制御する表示装置であり、このタイプの表示装置に用いられる発光素子はいずれも自己発光するため、バックライトを必要とせず、また、視野角依存性が少ないなどの利点がある。ここに示す電気光学装置５００ｐでは、複数の走査線５６３ｐと、この走査線５６３ｐの延設方向に対して交差する方向に延設された複数のデータ線５６４と、これらのデータ線５６４に並列する複数の共通給電線５０５と、データ線５６４と走査線５６３ｐとの交差点に対応する画素５１５ｐとが構成され、画素５１５ｐは、画像表示領域１００にマトリクス状に配置されている。データ線５６４に対しては、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを備えるデータ線駆動回路５５１ｐが構成されている。走査線５６３ｐに対しては、シフトレジスタおよびレベルシフタを備える走査線駆動回路５５４ｐが構成されている。また、画素５１５ｐの各々には、走査線５６３ｐを介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング薄膜トランジスタ５０９と、このスイッチング薄膜トランジスタ５０９を介してデータ線５６４から供給される画像信号を保持する保持容量５３３ｐと、この保持容量５３３ｐによって保持された画像信号がゲート電極に供給されるカレント薄膜トランジスタ５１０と、カレント薄膜トランジスタ５１０を介して共通給電線５０５に電気的に接続したときに共通給電線５０５から駆動電流が流れ込む発光素子５１３とが構成されている。発光素子５１３は、画素電極の上層側には、正孔注入層、有機ＥＬ材料層としての有機半導体膜、リチウム含有アルミニウム、カルシウムなどの金属膜からなる対向電極が積層された構成になっており、対向電極は、データ線５６４などを跨いで複数の画素５１５ｐにわたって形成されている。
【００５６】
このような構成の有機ＥＬ表示装置５００ｐを製造するには、基板を用意する。ここで、有機ＥＬ表示装置５００ｐでは、後述する発光層による発光光を基板側から取り出すことも可能であり、また基板と反対側から取り出す構成とすることも可能である。発光光を基板側から取り出す構成とする場合、基板材料としてはガラスや石英、樹脂等の透明ないし半透明なものが用いられるが、特にガラスが好適に用いられる。また、基板に色フィルター膜や蛍光性物質を含む色変換膜、あるいは誘電体反射膜を配置して、発光色を制御するようにしてもよい。なお、基板と反対側から発光光を取り出す構成の場合、基板は不透明であってもよく、その場合、アルミナ等のセラミックス、ステンレス等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などを用いることができる。
【００５７】
本例では、図９（Ａ）に示すように、基板としてガラスからなる透明基板５０２を用意し、透明基板５０２に対して、必要に応じてＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）や酸素ガスなどを原料としてプラズマＣＶＤ法により厚さ約２００〜５００ｎｍのシリコン酸化膜からなる下地保護膜（図示せず）を形成する。
【００５８】
次に、透明基板５０２の温度を約３５０℃に設定して、下地保護膜の表面にプラズマＣＶＤ法により厚さ約３０〜７０ｎｍのアモルファスシリコン膜からなる半導体膜５２０ａを形成する。次に、半導体膜５２０ａに対してレーザアニールまたは固相成長法などの結晶化工程を行い、半導体膜５２０ａをポリシリコン膜に結晶化する。レーザアニール法では、例えばエキシマレーザでビームの長寸が４００ｍｍのラインビームを用い、その出力強度は、例えば２００ｍＪ／ｃｍ２とする。ラインビームについては、その短寸方向におけるレーザ強度のピーク値の９０％に相当する部分が各領域毎に重なるようにラインビームを走査する。
【００５９】
次に、図９（Ｂ）に示すように、半導体膜（ポリシリコン膜）５２０ａをパターニングして島状の半導体膜５２０ｂとし、その表面に対して、ＴＥＯＳや酸素ガスなどを原料としてプラズマＣＶＤ法により厚さ約６０〜１５０ｎｍのシリコン酸化膜または窒化膜からなるゲート絶縁膜５２１ａを形成する。なお、半導体膜５２０ｂは、図８に示したカレント薄膜トランジスタ５１０のチャネル領域及びソース・ドレイン領域となるものであるが、異なる断面位置においてはスイッチング薄膜トランジスタ５０９のチャネル領域及びソース・ドレイン領域となる半導体膜も形成されている。つまり、図９〜図１１に示す製造工程では二種類のトランジスタ５０９、５１０が同時に作られるのであるが、同じ手順で作られるため、以下の説明ではトランジスタに関しては、カレント薄膜トランジスタ５１０についてのみ説明し、スイッチング薄膜トランジスタ５０９についてはその説明を省略する。
【００６０】
次に、図９（Ｃ）に示すように、アルミニウム、タンタル、モリブデン、チタン、タングステンなどの金属膜からなる導電膜をスパッタ法により形成した後、これをパターニングし、ゲート電極５１０ｇを形成する。次に、この状態で高濃度のリンイオンを打ち込み、半導体膜５２０ｂに、ゲート電極５１０ｇに対して自己整合的にソース・ドレイン領域５１０ａ、５１０ｂを形成する。なお、不純物が導入されなかった部分がチャネル領域５１０ｃとなる。
【００６１】
次に、図９（Ｄ）に示すように、層間絶縁膜５２２を形成した後、コンタクトホール５２３、５２４を形成し、これらコンタクトホール５２３、５２４内に中継電極５２６、５２７を埋め込む。次に、層間絶縁膜５２２上に信号線、共通給電線及び走査線（図示せず）を形成する。ここで、中継電極５２７と各配線とは、同一工程で形成してもよく、その場合、中継電極５２６は、後述するＩＴＯ膜で形成されることになる。
【００６２】
次に、図９（Ｅ）に示すように、各配線の上面を覆うように層間絶縁膜５３０を形成した後、層間絶縁膜５３０に対して中継電極５２６に対応する位置にコンタクトホール５３２を形成する。次に、コンタクトホール５３２を埋めるようにＩＴＯ膜を形成し、さらにそのＩＴＯ膜をパターニングして、信号線、共通給電線及び走査線に囲まれた所定位置に、ソース・ドレイン領域５１０ａに電気的に接続する画素電極５１１を形成する。ここで、信号線及び共通給電線、さらには走査線に挟まれた部分が、後述する正孔注入層や発光層の形成場所となる。
【００６３】
次に、図１０（Ａ）に示すように、正孔注入層や発光層の形成場所を囲むように隔壁５０５を形成する。この隔壁５０５は、仕切り部材として機能するものであり、例えばポリイミド等の絶縁性有機材料で形成するのが好ましい。隔壁５０５の膜厚については、例えば１〜２μｍの高さとなるように形成する。また、隔壁５０５は、上述した液滴吐出ヘッド２２から吐出される液状物に対して撥液性を示すものが好ましい。隔壁５０５に撥液性を発現させるためには、例えば隔壁５０５の表面をフッ素系化合物などで表面処理するといった方法が採用される。フッ素化合物としては、例えばＣＦ４、ＳＦ５、ＣＨＦ３などがあり、表面処理としては、例えばプラズマ処理、ＵＶ照射処理などが挙げられる。このようにして、正孔注入層や発光層の形成場所、すなわち、これらの形成材料の塗布位置とその周囲の隔壁５０５との間には、十分な高さの段差５３５が形成される。
【００６４】
次に、図１０（Ｂ）に示すように、透明基板５０２の上面を上に向けた状態で、正孔注入層の形成材料５４０ａを、上述した液滴吐出装置１０の液滴吐出ヘッド２２より、前記隔壁５０５に囲まれた塗布位置、すなわち隔壁５０５内に選択的に塗布する。その際、形成材料５４０ａは、流動性が高いため水平方向に広がろうとするが、塗布された位置を囲んで隔壁５０５が形成されているので、形成材料５４０ａは隔壁５０５を越えてその外側に広がることがない。ここで、正孔注入層の形成材料５４０ａとしては、ポリオレフィン誘導体である３，４−ポリエチレンジオシチオフェン／ポリスチレンスルフォン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）を正孔注入材料として用い、これを有機溶剤を主溶媒として分散させてなる分散液が好適に用いられる。但し、正孔注入材料としては、前記のものに限定されることなく、ポリマー前駆体がポリテトラヒドロチオフェニルフェニレンであるポリフェニレンビニレン、１，１−ビス−（４−Ｎ、Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキサン、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アルミニウム等を用いることもできる。
【００６５】
このようにして形成材料５４０ａを液滴吐出ヘッド３４から吐出して所定位置に配置した後、液状の形成材料５４０ａに対して乾燥処理を行い、形成材料５４０ａ中の分散媒を蒸発させる。その結果、図１０（Ｃ）に示すように、画素電極５１１上に固形の正孔注入層５１３ａ（画素構成要素）が形成される。
【００６６】
次に、図１１（Ａ）に示すように、透明基板５０２の上面を上に向けた状態で、上述した液滴吐出装置１０の液滴吐出ヘッド２２より液状物として発光層の形成材料５４０ｂを、前記隔壁５０５内の正孔注入層５１３ａ上に選択的に塗布する。発光材料としては、例えば分子量が１０００以上の高分子材料が用いられる。具体的には、ポリフルオレン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、またはこれらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素、例えばルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクリドン等をドープしたものが用いられる。なお、このような高分子材料としては、二重結合のπ電子がポリマー鎖上で非極在化しているπ共役系高分子材料が、導電性高分子でもあることから発光性能に優れるため、好適に用いられる。特に、その分子内にフルオレン骨格を有する化合物、すなわちポリフルオレン系化合物がより好適に用いられる。また、このような材料以外にも、例えば特開平１１−４０３５８号公報に示される有機ＥＬ素子用組成物、すなわち共役系高分子有機化合物の前駆体と、発光特性を変化させるための少なくとも１種の蛍光色素とを含んでなる有機ＥＬ素子用組成物も、発光層形成材料として使用可能である。このような発光材料を溶解あるいは分散する有機溶媒としては、非極性溶媒が好適とされ、特に発光層が正孔注入層５１３ａの上に形成されることから、この正孔注入層５１３ａに対して不溶なものが用いられる。具体的には、キシレン、シクロへキシルベンゼン、ジハイドロベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等が好適に用いられる。なお、形成材料５４０ｂの吐出による発光層の形成は、赤色の発色光を発光する発光層の形成材料、緑色の発色光を発光する発光層の形成材料、青色の発色光を発光する発光層の形成材料を、それぞれ対応する画素に吐出し塗布することによって行う。また、各色に対応する画素は、これらが規則的な配置となるように予め決められている。
【００６７】
このようにして各色の発光層形成材料５４０ｂを吐出した後、液状の発光層形成材料５４０ｂに対して乾燥処理を行い、発光層形成材料５４０ｂ中の分散媒を蒸発させる。その結果、図１１（Ｂ）に示すように、正孔層注入層５１３ａ上に固形の発光層５１３ｂ（画素構成要素）が形成される。これにより、正孔層注入層５１３ａと発光層５１３ｂとからなる発光素子５１３を得る。
【００６８】
なお、形成材料５４０ｂの乾燥処理については、形成材料５４０ｂのガラス転移点未満の温度、例えば１００°未満の温度で加熱することにより、乾燥するのが好ましい。このような温度で乾燥することにより、形成材料５４０ｂ中の溶剤の蒸発速度を比較的低く抑えることができるとともに、形成材料５４０ｂの液状化による流動も抑えることができ、その結果、得られる発光層５１３ｂについても十分に平坦化することができる。また、発光層形成の際の乾燥処理によって生じる熱的ダメージが、発光層５１３ｂだけでなく正孔注入層５１３ａに対しても小さくなり、初期輝度の低下などによる表示性能の低下が抑制される。
【００６９】
次に、図１１（Ｃ）に示すように透明基板５０２の表面全体に、あるいはストライプ状に、ＬｉＦ／Ａｌ（ＬｉＦとＡｌとの積層膜）やＭｇＡｇ、あるいはＬｉＦ／Ｃａ／Ａｌ（ＬｉＦとＣａとＡｌとの積層膜）を蒸着法等によって成膜し、対向電極５１２を形成する。その後、封止を行った後、さらに配線等の各種要素を形成することにより、有機ＥＬ素子を備えた有機ＥＬ表示装置５００ｐ（電気光学装置）を製造する。
【００７０】
（その他の適用例）
なお、上記形態では、本発明を有機ＥＬ表示装置の製造工程に用いた例であったが、液晶表示装置のカラーフィルタ（画素構成要素）の形成などに本発明を適用してもよい。また、インクジェットプリンタと称せられる液滴吐出装置に本発明を適用してもよい。
【００７１】
また、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、実施形態で挙げた具体的な材料や構成などは一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示す液滴吐出装置の要部を示す部分斜視図である。
【図３】図１に示す液滴吐出装置に用いた液滴吐出ヘッドの構成を示す説明図である。
【図４】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、図３に示す液滴吐出ヘッドの内部構造を模式的に示す説明図である。
【図５】図１に示す液滴吐出装置に構成した液滴吐出特性測定装置の説明図である。
【図６】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、図５に示す液滴吐出特性測定装置によりノズルの液滴吐出特性を測定する方法を示す説明図である。
【図７】図５に示す液滴吐出特性測定装置によりノズルの液滴吐出特性を測定する別の方法を示す説明図である。
【図８】有機ＥＬ表示装置のブロック図である。
【図９】有機ＥＬ表示装置の製造工程の手順を示す断面図である。
【図１０】有機ＥＬ表示装置の製造工程の手順を示す断面図である。
【図１１】有機ＥＬ表示装置の製造工程の手順を示す断面図である。
【符号の説明】
【００７３】
１０ 液滴吐出装置、１２ 基板、２２ 液滴吐出ヘッド、２７ ノズル、２７１ ノズル形成面、８０ 液滴吐出特性測定装置、８１ ゲート部材、８２ 液滴通過穴、８３ 液滴保持層、８４ 支持板、８５ 液滴捕集部材、８６ 電子天秤（秤量装置）、Ｍ 液状物、Ｍ0 液滴
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドのノズルの液滴吐出特性を測定する液滴吐出特性測定方法において、
前記液滴の着弾位置許容範囲を規定する液滴通過穴を備えたゲート部材を前記ノズルに対向する位置に配置した状態で、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出し、
前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めることにより、液滴吐出特性の良否を判定することを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項２】
請求項１において、前記液滴吐出ヘッドには前記ノズルが複数、所定のピッチで形成され、
前記ゲート部材には、前記複数のノズルに対応する位置に前記液滴通過穴が複数、形成されていることを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項３】
請求項１または２において、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めるにあたっては、前記ノズルから前記ゲート部材に対して複数回、液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかにおいて、前記ゲート部材に対して前記ノズル側とは反対側に、前記液滴通過穴を通過してきた液滴を捕集する液滴捕集部材を配置した状態で前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項５】
請求項４において、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出する前の前記ゲート部材と前記液滴捕集部材の総重量を求めておき、
前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出した後、前記ゲート部材の表面に付着した液滴を除去し、
しかる後に、前記ゲート部材と前記液滴捕集部材の総重量を求め、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出する前後の前記総重量の増加量を求めることにより、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めることを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項６】
請求項５において、前記ゲート部材として、少なくとも前記表面が前記液滴に対して撥液性を備えているものを用いることを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項７】
請求項５または６において、前記ゲート部材の表面を自動的に払拭可能な払拭装置を設け、
前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出した後、前記払拭装置によって、前記ゲート部材の表面に付着した液滴を除去することを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項８】
請求項４において、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出する前の前記液滴捕集部材の重量を求めておき、
前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出した後、
前記液滴捕集部材の重量を求め、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出する前後の前記液滴捕集部材の重量増加量を求めることにより、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めることを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項９】
請求項８において、前記ゲート部材を前記液滴捕集部材から離れた位置に配置することを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項１０】
請求項４ないし９のいずれかにおいて、前記ゲート部材として、板状のものを用いることを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項１１】
液滴吐出ヘッドのノズルから吐出される液滴の吐出特性を測定する液滴吐出特性測定装置であって、
前記ノズルから液滴を吐出する際に前記ノズルに対向する位置に配置され、前記液滴の着弾位置許容範囲を規定する液滴通過穴が形成されたゲート部材と、
該ゲート部材に対して前記ノズル側とは反対側に配置され、前記液滴通過穴を通過してきた液滴を捕集する液滴捕集部材と、
を有することを特徴とする液滴吐出特性測定装置。
【請求項１２】
請求項１１において、さらに、前記ゲート部材と前記液滴捕集部材の総重量、あるいは前記液滴捕集部材の重量を形成するための秤量装置を備えていることを特徴とする液滴吐出特性測定装置。
【請求項１３】
請求項１１または１２に規定する液滴吐出特性測定装置を備えていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１４】
請求項１３に規定する液滴吐出装置を用いて電気光学装置用基板上に前記液滴を吐出して、当該電気光学装置用基板上に画素構成要素を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１】
液滴吐出ヘッドのノズルの液滴吐出特性を測定する液滴吐出特性測定方法において、
前記液滴の着弾位置許容範囲を規定する液滴通過穴を備えたゲート部材を前記ノズルに対向する位置に配置した状態で、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出し、
前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めることにより、液滴吐出特性の良否を判定することを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項２】
請求項１において、前記液滴吐出ヘッドには前記ノズルが複数、所定のピッチで形成され、
前記ゲート部材には、前記複数のノズルに対応する位置に前記液滴通過穴が複数、形成されていることを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項３】
請求項１または２において、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めるにあたっては、前記ノズルから前記ゲート部材に対して複数回、液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかにおいて、前記ゲート部材に対して前記ノズル側とは反対側に、前記液滴通過穴を通過してきた液滴を捕集する液滴捕集部材を配置した状態で前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項５】
請求項４において、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出する前の前記ゲート部材と前記液滴捕集部材の総重量を求めておき、
前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出した後、前記ゲート部材の表面に付着した液滴を除去し、
しかる後に、前記ゲート部材と前記液滴捕集部材の総重量を求め、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出する前後の前記総重量の増加量を求めることにより、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めることを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項６】
請求項５において、前記ゲート部材として、少なくとも前記表面が前記液滴に対して撥液性を備えているものを用いることを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項７】
請求項５または６において、前記ゲート部材の表面を自動的に払拭可能な払拭装置を設け、
前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出した後、前記払拭装置によって、前記ゲート部材の表面に付着した液滴を除去することを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項８】
請求項４において、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出する前の前記液滴捕集部材の重量を求めておき、
前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出した後、
前記液滴捕集部材の重量を求め、前記ノズルから前記ゲート部材に向けて液滴を吐出する前後の前記液滴捕集部材の重量増加量を求めることにより、前記液滴通過穴を通過した液滴の重量を求めることを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項９】
請求項８において、前記ゲート部材を前記液滴捕集部材から離れた位置に配置することを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項１０】
請求項４ないし９のいずれかにおいて、前記ゲート部材として、板状のものを用いることを特徴とする液滴吐出特性測定方法。
【請求項１１】
液滴吐出ヘッドのノズルから吐出される液滴の吐出特性を測定する液滴吐出特性測定装置であって、
前記ノズルから液滴を吐出する際に前記ノズルに対向する位置に配置され、前記液滴の着弾位置許容範囲を規定する液滴通過穴が形成されたゲート部材と、
該ゲート部材に対して前記ノズル側とは反対側に配置され、前記液滴通過穴を通過してきた液滴を捕集する液滴捕集部材と、
を有することを特徴とする液滴吐出特性測定装置。
【請求項１２】
請求項１１において、さらに、前記ゲート部材と前記液滴捕集部材の総重量、あるいは前記液滴捕集部材の重量を形成するための秤量装置を備えていることを特徴とする液滴吐出特性測定装置。
【請求項１３】
請求項１１または１２に規定する液滴吐出特性測定装置を備えていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１４】
請求項１３に規定する液滴吐出装置を用いて電気光学装置用基板上に前記液滴を吐出して、当該電気光学装置用基板上に画素構成要素を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２００６−１５６９３（Ｐ２００６−１５６９３Ａ）
【公開日】平成１８年１月１９日（２００６．１．１９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−１９８０３１（Ｐ２００４−１９８０３１）
【出願日】平成１６年７月５日（２００４．７．５）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年１月１９日（２００６．１．１９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年７月５日（２００４．７．５）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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