ペースト塗布方法及び装置
【課題】 複数のノズルの吐出口の位置がそれらのノズルの交換、着脱に伴い位置ずれを生じても、各ノズルのこの位置ずれを解消し、ペーストパターンの描画精度を向上すること。
【解決手段】 複数のノズル２４Ａ〜２６Ａのそれぞれが吐出するペーストを基板１上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板１上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布装置１０において、各ノズル２４Ａ〜２６Ａによるペーストの実塗布位置Ｐ1〜Ｐ3を検出する検出装置３１〜３３と、各ノズル２４Ａ〜２６Ａ毎に、検出したペーストの実塗布位置Ｐ1〜Ｐ3が予め定めてあるペーストの目標塗布位置Ｐ10〜Ｐ30に対する位置ずれを演算し、上記位置ずれを解消するように各ノズル２４Ａ〜２６Ａを基板１に対し相対移動する制御手段３０を有してなるもの。
【解決手段】 複数のノズル２４Ａ〜２６Ａのそれぞれが吐出するペーストを基板１上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板１上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布装置１０において、各ノズル２４Ａ〜２６Ａによるペーストの実塗布位置Ｐ1〜Ｐ3を検出する検出装置３１〜３３と、各ノズル２４Ａ〜２６Ａ毎に、検出したペーストの実塗布位置Ｐ1〜Ｐ3が予め定めてあるペーストの目標塗布位置Ｐ10〜Ｐ30に対する位置ずれを演算し、上記位置ずれを解消するように各ノズル２４Ａ〜２６Ａを基板１に対し相対移動する制御手段３０を有してなるもの。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶パネルの基板上に塗布されるシール剤等のペースト塗布方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ペースト塗布方法として、特許文献１に記載の如く、ペーストが満たされた新らしいペースト収納筒をペーストが消費された使用済みのペースト収納筒に対して交換したとき、ペースト収納筒のノズルの吐出口の位置が機械的な取付精度等により交換前後でずれても、ノズルが吐出するペーストにより所望のペーストパターンを基板上に描画できるように、「ペースト収納筒の交換前後でのペーストの塗布位置のずれを検出し、この位置ずれを解消するように基板又はノズルを支持するＸ、Ｙテーブルを移動するもの」を開示している。
【特許文献１】特開平5-329423
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１のペースト塗布方法は、単一ノズルを用いるものを前提としており、複数のノズルを用いた場合に、各ノズルの吐出口の位置がそれらの交換前後で互いに独立にずれると、各ノズルのその位置ずれを解消することができず、ペーストパターンの描画精度を確保できない。
【０００４】
本発明の課題は、複数のノズルの吐出口の位置がそれらのノズルの交換、着脱に伴い位置ずれを生じても、各ノズルのこの位置ずれを解消し、ペーストパターンの描画精度を向上することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の発明は、複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布方法において、各ノズルによるペーストの実塗布位置が予め定めてあるペーストの目標塗布位置に対する位置ずれを検出し、ノズル毎の上記位置ずれを解消するように各ノズルを基板に対し相対移動させるようにしたものである。
【０００６】
請求項２の発明は、請求項１の発明において更に、前記複数のノズルのうちの１つを基準ノズルとするとともに、他のノズルを可動ノズルとし、各可動ノズルについて演算した前記位置ずれが基準ノズルについて演算した前記位置ずれに対する位置ずれの差を解消するように当該可動ノズルを移動させ、基準ノズルについて演算した前記位置ずれを解消するように基板を移動させるようにしたものである。
【０００７】
請求項３の発明は、請求項２の発明において更に、前記位置ずれが、前記基板の表面に平行なＸ方向及び前記基板の表面に平行で前記Ｘ方向と直交するＹ方向の位置ずれのとき、前記可動ノズルのＸＹ方向の移動、及び前記基板のＸＹ方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消し、前記基板のＸＹ方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なうようにしたものである。
【０００８】
請求項４の発明は、請求項２の発明において更に、前記位置ずれが、前記基板の表面に平行なＸ方向及び前記基板の表面に平行で前記Ｘ方向と直交するＹ方向の位置ずれのとき、前記基準ノズルのＸ方向の移動、前記可動ノズルのＸＹ方向の移動、及び前記基板のＹ方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消し、前記基準ノズル及び可動ノズルのＸ方向の移動、及び前記基板のＹ方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なうようにしたものである。
【０００９】
請求項５の発明は、複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布装置において、前記複数のノズルと前記基板とを前記基板の表面に平行なＸ方向及び前記基板の表面に平行で前記Ｘ方向に直交するＹ方向に相対的に移動させる第１移動手段と、前記複数のノズル同士のＸＹ方向における相対的な位置関係を変更する第２移動手段と、各ノズルによるペーストの実塗布位置が予め定めてあるペーストの目標塗布位置に対する位置ずれを検出する検出装置と、ノズル毎の上記位置ずれを解消するように各ノズルを基板に対し相対移動する制御装置とを有してなるようにしたものである。
【００１０】
請求項６の発明は、請求項５の発明において更に、前記複数のノズルのうちの１つを基準ノズルとするとともに、他のノズルを可動ノズルとし、前記制御手段が、各可動ノズルについて演算した前記位置ずれが基準ノズルについて演算した前記位置ずれに対する位置ずれの差を解消するように当該可動ノズルを移動させ、かつ基準ノズルについて演算した前記位置ずれを解消するように基板を移動させるようにしたものである。
【００１１】
請求項７の発明は、請求項６の発明において更に、前記第１移動手段が、前記基板をＸＹ方向に移動させるものであり、前記第２移動手段が、前記基準ノズルに対して前記可動ノズルを個別にＸＹ方向に移動させるものであり、前記制御手段が、前記可動ノズルのＸＹ方向の移動、及び前記基板のＸＹ方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消するとともに、前記基板のＸＹ方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なうようにしたものである。
【００１２】
請求項８の発明は、請求項６の発明において更に、前記第１移動手段が、前記各ノズルをそれぞれＸ方向に移動させ、前記基板をＹ方向に移動させるものであり、前記第２移動手段が、前記基準ノズルに対して前記可動ノズルを個別にＸＹ方向に移動させるものであり、前記制御手段が、前記基準ノズルのＸ方向の移動、前記可動ノズルのＸＹ方向の移動、及び前記基板のＹ方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消するとともに、前記基準ノズル及び可動ノズルのＸ方向の移動、及び前記基板のＹ方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なうようにしたものである。
【００１３】
請求項９の発明は、複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布方法において、前記複数のノズルは、１つを基準ノズルとするとともに他のノズルを可動ノズルとし、前記基準ノズルの実塗布位置と前記可動ノズルの実塗布位置との予め定めてある相対的な位置関係に対する位置ずれを前記可動ノズル毎に検出し、上記位置ずれを解消するように前記可動ノズルを前記基板に対して個別に相対移動させるようにしたものである。
【００１４】
請求項１０の発明は、複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布装置において、前記複数のノズルは、１つを基準ノズルとするとともに他のノズルを可動ノズルとし、前記複数のノズルと前記基板とを前記基板の表面に平行なＸ方向及び前記基板の表面に平行で前記Ｘ方向に直交するＹ方向に相対的に移動させる第１移動手段と、前記可動ノズルを前記基準ノズルに対してＸＹ方向に相対的に移動させる第２移動手段と、前記基準ノズルの実塗布位置と前記可動ノズルの実塗布位置との予め定めてある相対的な位置関係に対する位置ずれを前記可動ノズル毎に検出する検出装置と、上記位置ずれを解消するように前記第２移動手段を制御する制御装置とを有してなるようにしたものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、複数のノズルの吐出口の位置がそれらのノズルの交換、着脱に伴い位置ずれを生じても、各ノズルのこの位置ずれを解消し、ペーストパターンの描画精度を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１はペースト塗布装置の一例を示す斜視図、図２はノズルの吐出口の位置とペーストの塗布位置との関係を示し、（Ａ）はノズルの位置調整前の模式図、（Ｂ）はノズルの位置調整後の模式図、図３は基板に対するペーストの塗布位置を示し、（Ａ）は全体斜視図、（Ｂ）はカメラの視野を示す模式図、図４はノズル交換時のノズルの位置調整手順を示す流れ図である。
【実施例】
【００１７】
ペースト塗布装置１０は、図１に示す如く、基板１に所望のパターンでペーストを塗布するものであり、架台１１上にＸＹ方向（Ｘ方向とＹ方向）に駆動制御されるＸＹテーブル１２が搭載され、このＸＹテーブル１２上に吸着台１３が固定され、この吸着台１３上に基板１が吸着される。
【００１８】
ペースト塗布装置１０は、架台１１に、ＸＹテーブル１２をまたぐコラム１４を固定し、図２に示す如く、コラム１４の中央に固定テーブル１５を固定し、コラム１４の固定テーブル１５を挟む両側にＸＹ方向（Ｘ方向とＹ方向）に駆動制御されるＸＹテーブル１６、１７を搭載し、各テーブル１５〜１７のそれぞれにＺ方向に駆動制御されるＺテーブル１８、１９、２０を搭載し、各Ｚテーブル１８〜２０のそれぞれに塗布ヘッド２１、２２、２３を設けている。各塗布ヘッド２１〜２３は、ペースト収納筒２４、２５、２６を着脱自在に保持可能にし、各ペースト収納筒２４〜２６の先端にノズル２４Ａ、２５Ａ、２６Ａを備えている。固定テーブル１５に対応するノズル２４Ａを基準ノズルとし、ＸＹテーブル１６、１７に対応するノズル２５Ａ、２６Ａを可動ノズルとする。
【００１９】
ペースト塗布装置１０は以下の如く基本動作する。
(1)吸着台１３上に供給された基板１を吸着台１３の吸着によって保持する。
【００２０】
(2)制御装置３０は、Ｚテーブル１８〜２０の駆動を制御し、Ｚテーブル１８〜２０に設けてあるレーザ距離計の検出結果により、各ノズル２４Ａ〜２６Ａの吐出口を基板１に対する所定高さ位置にセットする。
【００２１】
(3)制御装置３０は、ＸＹテーブル１２の駆動を制御して基板１を移動させるとともに、更にペースト収納筒２４〜２６に加える圧縮空気を制御してペースト収納筒２４〜２６内のペーストをノズル２４Ａ〜２６Ａから吐出させ、基板１上の３位置のそれぞれにペーストパターンＬ1、Ｌ2、Ｌ3を描画する。
【００２２】
しかるに、ペースト塗布装置１０にあっては、ペースト収納筒２４〜２６のペーストが使い尽くされると、塗布ヘッド２１〜２３に対する新旧ペースト収納筒２４〜２６（ノズル２４Ａ〜２６Ａ）の交換がなされる。そして、各ノズル２４Ａ〜２６Ａの吐出口の位置がそれらの交換の前後で位置ずれしても、各ノズル２４Ａ〜２６Ａのこの交換に伴なう位置ずれを解消し、ペーストパターンの描画精度を向上するため、以下の構成を備える。
【００２３】
ペースト塗布装置１０は、各ノズル２４Ａ〜２６Ａによるペーストの実塗布位置を撮像するＣＣＤカメラ３１、３２、３３を各塗布ヘッド２１〜２３に備える。尚、中央の塗布ヘッド２１のカメラ３１は省略し、両側の塗布ヘッド２２、２３に設けたカメラ３２、３３の一方を用いて、ノズル２４Ａによる実塗布位置も併せて撮像することとしても良い。
【００２４】
制御装置３０は、ノズル２４Ａ〜２６Ａ毎に、カメラ３１〜３３の撮像画像に基づいて検出したペーストの実塗布位置Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3が、予め定めてあるペーストの目標塗布位置Ｐ10、Ｐ20、Ｐ30に対する位置ずれ（Δｘ1，Δｙ1）、（Δｘ2，Δｙ2）、（Δｘ3，Δｙ3）を演算し、これらの位置ずれを解消するように各ノズル２４Ａ〜２６Ａを、ＸＹテーブル１２上の吸着台１３に吸着されている基板１に対し相対移動する。即ち、ＣＣＤカメラ３１〜３３と制御装置３０は、本発明の検出装置を構成する。
【００２５】
本実施例では、ノズル２４Ａ〜２６Ａのうちの１つを基準ノズル２４Ａとし、他を可動ノズル２５Ａ、２６Ａとした。そこで、制御装置３０は、(a)各可動ノズル２５Ａ、２６Ａについて演算したそれらの交換に伴なう位置ずれ（Δｘ2，Δｙ2）、（Δｘ3，Δｙ3）が、基準ノズル２４Ａについて演算したその交換に伴なう位置ずれ（Δｘ1，Δｙ1）に対する位置ずれの差（Δｘ2−Δｘ1，Δｙ2−Δｙ1）、（Δｘ3−Δｘ1，Δｙ3−Δｙ1）を求め、この差を解消すべく当該可動ノズル２５Ａ、２６Ａを駆動するようにＸＹテーブル１６、１７を駆動制御するとともに、(b)ＸＹテーブル１２を制御し、基準ノズル２４Ａについて演算したその交換に伴なう位置ずれ（Δｘ1，Δｙ1）を解消するように基板１を移動させつつ、各ノズル２４Ａ〜２６Ａが吐出するペーストにより基板１上の３位置のそれぞれにペーストパターンＬ1〜Ｌ3を描画するように基板１を移動させる。即ち、制御装置３０は、上述(a)のＸＹテーブル１６、１７による可動ノズル２５Ａ、２６ＡのＸＹ方向の移動、及び上述(b)のＸＹテーブル１２による基板１のＸＹ方向の移動により、各ノズル２４Ａ〜２６Ａの交換に伴なう前記位置ずれを解消するとともに、上述(b)のＸＹテーブル１２による基板１のＸＹ方向の移動により、各ノズル２４Ａ〜２６ＡによるペーストパターンＬ1〜Ｌ3の描画を行なう。
【００２６】
従って、ペースト塗布装置１０において、ペースト収納筒２４（ノズル２４Ａ）〜ペースト収納筒２６（ノズル２６Ａ）の交換に際し、制御装置３０によるノズル２４Ａ〜２６Ａの位置調整動作は以下の如くなされる（図４）。
【００２７】
(1)ペースト収納筒２４（ノズル２４Ａ）〜ペースト収納筒２６（ノズル２６Ａ）の交換に伴なうノズル２４Ａ〜２６Ａの位置調整開始指令により、ＸＹテーブル１２上の吸着台１３に吸着させた捨て打ち基板(又はダミー基板)１Ａの有無をチェックする。そして、基板１Ａ「無」の場合、アラームを不図示のモニタに表示する等してオペレータにその旨を報知し、基板１Ａ「有」の場合、次のステップに移行する。
【００２８】
(2)各ノズル２４Ａ〜２６Ａが吐出するペーストを捨て打ち基板１Ａに対し、図２、図３に示す如く、捨て打ち塗布する。ノズル２４Ａ〜２６Ａの吐出口の位置がそれらの交換に伴なってずれていると、ペーストの実塗布位置Ｐ1〜Ｐ3はずれ、ペーストパターンＬ1〜Ｌ3は図２（Ａ）に示す如く、基板1上に想定される目標ペーストパターンＬ10〜Ｌ30に対し平行移動的にずれる。
【００２９】
(3)カメラ３１〜３３を用いて、各ノズル２４Ａ〜２６Ａによるペーストの実塗布位置Ｐ1〜Ｐ3を検出する。制御装置３０は、カメラ３１〜３３が撮像した点状又は線状のペースト膜の画像を処理し、当該ペースト膜の重心（点又は線巾の中央位置）が制御装置に予め定めてあるペーストの目標塗布位置Ｐ10、Ｐ20、Ｐ30に対する位置ずれ（Δｘ1，Δｙ1）、（Δｘ2，Δｙ2）、（Δｘ3，Δｙ3）を演算により求める。これにより、目標塗布位置Ｐ10〜Ｐ30に対する実塗布位置Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3の位置ずれを求める。
【００３０】
尚、線巾の中央位置に基づいて目標塗布位置Ｐ10〜Ｐ30に対する実塗布位置Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3の位置ずれを求める場合には、ペーストをＸ方向に沿う直線状及びＹ方向に沿う直線状に塗布し、Ｘ方向に沿う直線状ペーストの線巾の中央位置とＸ方向の目標塗布位置との差、ＸＹ方向に沿う直線状ペーストの線巾の中央位置とＹ方向の目標塗布位置との差から各ノズル２４Ａ〜２６Ａの目標塗布位置Ｐ10〜Ｐ30に対する実塗布位置Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3の位置ずれを求める。
【００３１】
(4)ノズル２４Ａ〜２６Ａ毎に演算した実塗布位置Ｐ1〜Ｐ3の上述した位置ずれを解消するように各ノズル２４Ａ〜２６Ａを、ＸＹテーブル１２上の吸着台１３に吸着されている基板１に対し相対移動させる。
【００３２】
本実施例では、各可動ノズル２５Ａ、２６Ａについて演算したそれらの交換に伴なう位置ずれ（Δｘ2，Δｙ2）、（Δｘ3，Δｙ3）が、基準ノズル２４Ａについて演算したその交換に伴なう位置ずれ（Δｘ1，Δｙ1）に対する位置ずれの差（Δｘ2−Δｘ1，Δｙ2−Δｙ1）、（Δｘ3−Δｘ1，Δｙ3−Δｙ1）を求め、この差分だけ差を解消する方向へ当該可動ノズル２５Ａ、２６Ａを移動させるようにＸＹテーブル１６、１７を駆動制御し、更に基板１のためのＸＹテーブル１２を制御し、基準ノズル２４Ａについて演算した位置ずれ（Δｘ1，Δｙ1）を解消するように基板１を移動することにより、各ノズル２４Ａ〜２６Ａの交換に伴なう前記位置ずれを解消する。
【００３３】
尚、ペースト塗布装置１０あっては、各ノズル２４Ａ〜２６Ａの交換に伴なう位置ずれを以上のように解消した状態下で、制御装置３０によるＸＹテーブル１２の制御により基板１を移動し、各ノズル２４Ａ〜２６Ａが吐出するペーストにより基板１上の３位置のそれぞれにペーストパターンＬ1〜Ｌ3の描画を行なう。このとき、ペーストパターンＬ1〜Ｌ3は目標ペーストパターンＬ10〜Ｌ30に合致するものになる（図２（Ｂ））。
【００３４】
本実施例によれば以下の作用効果を奏する。
(a)ノズル２４Ａ〜２６Ａ毎に、ペーストの目標塗布位置Ｐ10〜Ｐ30に対する実塗布位置Ｐ1〜Ｐ3の位置ずれを演算し、この塗布位置の位置ずれを解消するように各ノズル２４Ａ〜２６Ａを基板１に対し相対移動させる。これにより、複数のノズル２４Ａ〜２６Ａの吐出口の位置がそれらの交換前後で位置ずれし、結果として各ノズル２４Ａ〜２６Ａによるペーストの塗布位置Ｐ1〜Ｐ3がずれたとしても、各ノズル２４Ａ〜２６Ａの吐出口の位置ずれを解消し、ペーストパターンＰ1〜Ｐ3の描画精度を向上させることができる。
【００３５】
(b)「複数のノズル２４Ａ〜２６Ａのうちの１つを基準ノズル２４Ａとするとともに、他のノズルを可動ノズル２５Ａ、２６Ａとし、各可動ノズル２５Ａ、２６Ａについて演算した位置ずれが基準ノズル２４Ａについて演算した位置ずれに対する位置ずれの差だけ当該可動ノズル２５Ａ、２６Ａを移動し、基準ノズル２４Ａについて演算した位置ずれを解消するように基板１を移動する」ことにより、基準ノズル２４Ａを架台１１に対しＸＹ方向に固定配置し、装置構成を簡易化しながら、上述(a)を実現できる。
【００３６】
即ち、各ノズル２４Ａ、２５Ａ、２６Ａを移動させるべく塗布ヘッド２１、２２、２３毎にＸＹテーブルを設けた場合に比べ、塗布ヘッド２１のＸＹテーブルを不要とした分、装置構成を簡素化することができる。
【００３７】
(c)「可動ノズル２５Ａ、２６ＡのＸＹ方向の移動、及び基板１のＸＹ方向の移動により、各ノズル２４Ａ〜２６Ａの位置ずれを解消し、基板１のＸＹ方向の移動により、各ノズル２４Ａ〜２６ＡによるペーストパターンＬ1〜Ｌ3の描画を行なう」ことにより、ペーストパターンＬ1〜Ｌ3の描画中は、塗布ヘッド２２、２３のＸＹテーブル１６、１７を移動させず、吸着台１３のＸＹテーブル１２を移動させるので、３つのノズル２４Ａ、２５Ａ、２６Ａを用いて基板１に３つのペーストパターンＬ1〜Ｌ3を同時に描画する場合であっても、塗布ヘッド２２、２３のＸＹテーブル１６、１７を移動させずに済み、ＸＹテーブル等の移動テーブルの制御を極力簡素化することができる。また、ペーストパターンＬ1〜Ｌ3の描画中に基板１上で塗布ヘッド２２、２３のＸＹテーブル１６、１７を移動させずに済むので、ＸＹテーブル１６、１７の移動に伴う発塵が防止でき、基板１上に塵埃が落下することが防止できる。
【００３８】
ペースト塗布装置１０の変形例として、図１における架台１１上のＸＹテーブル１２をＸ方向には不動でＹ方向に駆動制御されるＹテーブル（不図示）に代え、基準ノズル２４Ａの固定テーブル１５をＸ方向に駆動制御されるＸテーブル（不図示）に代えることができる。図１を借りて説明すれば、このように構成した場合、上述した(3)の工程と同様にして演算により求めた各ノズル２４Ａ〜２６Ａに関する目標塗布位置Ｐ10〜Ｐ30に対する実塗布位置Ｐ1〜Ｐ3の位置ずれ（Δｘ1、Δｙ1）、（Δｘ2、Δｙ2）、（Δｘ3、Δｙ3）に基づいて、この位置ずれを解消するように各ノズル２４Ａ〜２６Ａと吸着台１３に吸着されている基板１とを相対的に移動させる。
【００３９】
即ち、各ノズル２４Ａ〜２６Ａに関し、Ｘ方向の位置ずれについては、Ｘ方向の位置ずれΔｘ1、Δｘ2、Δｘ3分ずつこれらの位置ずれを解消する方向に各ノズル２４Ａ〜２６Ａを移動させるように固定テーブル１５に代えたＸテーブル及びＸＹテーブル１６、１７の駆動を制御する。また、Ｙ方向の位置ずれについては、各可動ノズル２５Ａ、２６Ａについて演算したＹ方向の位置ずれΔｙ2、Δｙ3が基準ノズル２４Ａについて演算したＹ方向の位置ずれΔｙ1に対する位置ずれの差Δｙ2−Δｙ1、Δｙ3−Δｙ1分だけ、この差を解消する方向に可動ノズル２５Ａ、２６Ａを移動させるようにＸＹテーブル１６、１７の駆動を制御する。更に、ＸＹテーブル１２に代えたＹテーブルの駆動を制御して、基準ノズル２４Ａについて演算したＹ方向の位置ずれΔｙ1分だけこの位置ずれを解消する方向に基板１を移動させる。このようにして、各ノズル２４Ａ〜２６Ａの交換に伴う位置ずれを解消する。
【００４０】
このように、制御装置３０は、Ｘテーブルによる基準ノズル２４ＡのＸ方向の移動、ＸＹテーブル１６、１７による可動ノズル２５Ａ、２６ＡのＸＹ方向の移動、及びＹテーブルによる基板１のＹ方向の移動により、各ノズル２４Ａ〜２６Ａの交換に伴なう位置ずれを解消するとともに、ＸテーブルとＸＹテーブル１６、１７による基準ノズル２４Ａ及び可動ノズル２５Ａ、２６ＡのＸ方向の移動、及びＹテーブルによる基板１のＹ方向の移動により、各ノズル２４Ａ〜２６Ａによるペーストパターンの描画を行なうことができる。
【００４１】
ペースト塗布装置１０の変形例によれば、基準ノズル２４Ａを架台１１に対しＹ方向に固定配置するとともに、基板１をＹ方向にだけ移動し、Ｘ方向には不動にすることにより、基板１の移動範囲を小さくし、装置占有スペースを小型化できる。
【００４２】
以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、本発明は２個或いは４個以上のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上に塗布し、基板上にペーストパターンを描画するものに適用しても良い。
【００４３】
また、上記実施例において、ノズルによるペーストの実塗布位置が目標塗布位置に対する位置ずれを、ノズルから捨て打ち基板に塗布されたペーストの位置と目標塗布位置との差から求めた例で説明したが、ノズルの先端をカメラで下方から撮像し、その撮像画像をもとに予め定めたノズル先端の基準位置と実際のノズル先端位置との差から実塗布位置が目標塗布位置に対する位置ずれを求めるようにしても良い。
【００４４】
また、ノズル毎に目標塗布位置を定め、ノズル毎に実塗布位置が目標塗布位置に対する位置ずれを検出した例で説明したが、基準ノズルによる塗布位置と可動ノズルによる塗布位置との適正な相対的な位置関係を目標相対位置関係として予め定めておき、この目標相対位置関係と基準ノズルの実塗布位置と可動ノズルの実塗布位置との相対的な位置関係との位置ずれを検出し、この位置ずれを解消するように基準ノズルに対して可動ノズルを移動させるようにしても良い。この場合、基準ノズルの実塗布位置が目標塗布位置に対する位置ずれを合わせて検出しておくと良い。そして、ペーストパターンを基板に描画する際、各ノズルと基板とをＸＹ方向に相対的に移動させるＸＹテーブルを基準ノズルの前記位置ずれを解消するように移動させる。
【００４５】
このようにすることによっても、上述した実施例と同様に、基板にペーストパターンを精度良く描画することができる。
【００４６】
また、ペースト収納筒の交換に伴うノズルの吐出口の位置ずれを解消する例で説明したが、これに限らず、ペースト収納筒を塗布装置のＺテーブルに最初に取付けるときを含むペースト収納筒の着脱に伴って生じるノズルの吐出口の適正な取付け位置に対する位置ずれを解消する場合にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】図１はペースト塗布装置の一例を示す斜視図である。
【図２】図２はノズルの吐出口の位置とペーストの塗布位置との関係を示し、（Ａ）はノズルの位置調整前の模式図、（Ｂ）はノズルの位置調整後の模式図である。
【図３】図３は基板に対するペーストの塗布位置を示し、（Ａ）は全体斜視図、（Ｂ）はカメラの視野を示す模式図である。
【図４】図４はノズル交換時のノズルの位置調整手順を示す流れ図である。
【符号の説明】
【００４８】
１ 基板
１０ ペースト塗布装置
１１ 架台
１２ ＸＹテーブル（第１移動手段）
１３ 吸着台
１５ 固定テーブル
１６、１７ ＸＹテーブル（第２移動手段）
１８〜２０ Ｚテーブル
２１〜２３ 塗布ヘッド
２４Ａ〜２６Ａ ノズル
３０ 制御装置（制御手段）
３１〜３３ カメラ（検出装置）
Ｐ1〜Ｐ3 実塗布位置
Ｐ10〜Ｐ30 目標塗布位置
Ｌ1〜Ｌ3 実ペーストパターン
Ｌ10〜Ｌ30 目標ペーストパターン
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶パネルの基板上に塗布されるシール剤等のペースト塗布方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ペースト塗布方法として、特許文献１に記載の如く、ペーストが満たされた新らしいペースト収納筒をペーストが消費された使用済みのペースト収納筒に対して交換したとき、ペースト収納筒のノズルの吐出口の位置が機械的な取付精度等により交換前後でずれても、ノズルが吐出するペーストにより所望のペーストパターンを基板上に描画できるように、「ペースト収納筒の交換前後でのペーストの塗布位置のずれを検出し、この位置ずれを解消するように基板又はノズルを支持するＸ、Ｙテーブルを移動するもの」を開示している。
【特許文献１】特開平5-329423
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１のペースト塗布方法は、単一ノズルを用いるものを前提としており、複数のノズルを用いた場合に、各ノズルの吐出口の位置がそれらの交換前後で互いに独立にずれると、各ノズルのその位置ずれを解消することができず、ペーストパターンの描画精度を確保できない。
【０００４】
本発明の課題は、複数のノズルの吐出口の位置がそれらのノズルの交換、着脱に伴い位置ずれを生じても、各ノズルのこの位置ずれを解消し、ペーストパターンの描画精度を向上することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の発明は、複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布方法において、各ノズルによるペーストの実塗布位置が予め定めてあるペーストの目標塗布位置に対する位置ずれを検出し、ノズル毎の上記位置ずれを解消するように各ノズルを基板に対し相対移動させるようにしたものである。
【０００６】
請求項２の発明は、請求項１の発明において更に、前記複数のノズルのうちの１つを基準ノズルとするとともに、他のノズルを可動ノズルとし、各可動ノズルについて演算した前記位置ずれが基準ノズルについて演算した前記位置ずれに対する位置ずれの差を解消するように当該可動ノズルを移動させ、基準ノズルについて演算した前記位置ずれを解消するように基板を移動させるようにしたものである。
【０００７】
請求項３の発明は、請求項２の発明において更に、前記位置ずれが、前記基板の表面に平行なＸ方向及び前記基板の表面に平行で前記Ｘ方向と直交するＹ方向の位置ずれのとき、前記可動ノズルのＸＹ方向の移動、及び前記基板のＸＹ方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消し、前記基板のＸＹ方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なうようにしたものである。
【０００８】
請求項４の発明は、請求項２の発明において更に、前記位置ずれが、前記基板の表面に平行なＸ方向及び前記基板の表面に平行で前記Ｘ方向と直交するＹ方向の位置ずれのとき、前記基準ノズルのＸ方向の移動、前記可動ノズルのＸＹ方向の移動、及び前記基板のＹ方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消し、前記基準ノズル及び可動ノズルのＸ方向の移動、及び前記基板のＹ方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なうようにしたものである。
【０００９】
請求項５の発明は、複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布装置において、前記複数のノズルと前記基板とを前記基板の表面に平行なＸ方向及び前記基板の表面に平行で前記Ｘ方向に直交するＹ方向に相対的に移動させる第１移動手段と、前記複数のノズル同士のＸＹ方向における相対的な位置関係を変更する第２移動手段と、各ノズルによるペーストの実塗布位置が予め定めてあるペーストの目標塗布位置に対する位置ずれを検出する検出装置と、ノズル毎の上記位置ずれを解消するように各ノズルを基板に対し相対移動する制御装置とを有してなるようにしたものである。
【００１０】
請求項６の発明は、請求項５の発明において更に、前記複数のノズルのうちの１つを基準ノズルとするとともに、他のノズルを可動ノズルとし、前記制御手段が、各可動ノズルについて演算した前記位置ずれが基準ノズルについて演算した前記位置ずれに対する位置ずれの差を解消するように当該可動ノズルを移動させ、かつ基準ノズルについて演算した前記位置ずれを解消するように基板を移動させるようにしたものである。
【００１１】
請求項７の発明は、請求項６の発明において更に、前記第１移動手段が、前記基板をＸＹ方向に移動させるものであり、前記第２移動手段が、前記基準ノズルに対して前記可動ノズルを個別にＸＹ方向に移動させるものであり、前記制御手段が、前記可動ノズルのＸＹ方向の移動、及び前記基板のＸＹ方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消するとともに、前記基板のＸＹ方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なうようにしたものである。
【００１２】
請求項８の発明は、請求項６の発明において更に、前記第１移動手段が、前記各ノズルをそれぞれＸ方向に移動させ、前記基板をＹ方向に移動させるものであり、前記第２移動手段が、前記基準ノズルに対して前記可動ノズルを個別にＸＹ方向に移動させるものであり、前記制御手段が、前記基準ノズルのＸ方向の移動、前記可動ノズルのＸＹ方向の移動、及び前記基板のＹ方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消するとともに、前記基準ノズル及び可動ノズルのＸ方向の移動、及び前記基板のＹ方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なうようにしたものである。
【００１３】
請求項９の発明は、複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布方法において、前記複数のノズルは、１つを基準ノズルとするとともに他のノズルを可動ノズルとし、前記基準ノズルの実塗布位置と前記可動ノズルの実塗布位置との予め定めてある相対的な位置関係に対する位置ずれを前記可動ノズル毎に検出し、上記位置ずれを解消するように前記可動ノズルを前記基板に対して個別に相対移動させるようにしたものである。
【００１４】
請求項１０の発明は、複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布装置において、前記複数のノズルは、１つを基準ノズルとするとともに他のノズルを可動ノズルとし、前記複数のノズルと前記基板とを前記基板の表面に平行なＸ方向及び前記基板の表面に平行で前記Ｘ方向に直交するＹ方向に相対的に移動させる第１移動手段と、前記可動ノズルを前記基準ノズルに対してＸＹ方向に相対的に移動させる第２移動手段と、前記基準ノズルの実塗布位置と前記可動ノズルの実塗布位置との予め定めてある相対的な位置関係に対する位置ずれを前記可動ノズル毎に検出する検出装置と、上記位置ずれを解消するように前記第２移動手段を制御する制御装置とを有してなるようにしたものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、複数のノズルの吐出口の位置がそれらのノズルの交換、着脱に伴い位置ずれを生じても、各ノズルのこの位置ずれを解消し、ペーストパターンの描画精度を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１はペースト塗布装置の一例を示す斜視図、図２はノズルの吐出口の位置とペーストの塗布位置との関係を示し、（Ａ）はノズルの位置調整前の模式図、（Ｂ）はノズルの位置調整後の模式図、図３は基板に対するペーストの塗布位置を示し、（Ａ）は全体斜視図、（Ｂ）はカメラの視野を示す模式図、図４はノズル交換時のノズルの位置調整手順を示す流れ図である。
【実施例】
【００１７】
ペースト塗布装置１０は、図１に示す如く、基板１に所望のパターンでペーストを塗布するものであり、架台１１上にＸＹ方向（Ｘ方向とＹ方向）に駆動制御されるＸＹテーブル１２が搭載され、このＸＹテーブル１２上に吸着台１３が固定され、この吸着台１３上に基板１が吸着される。
【００１８】
ペースト塗布装置１０は、架台１１に、ＸＹテーブル１２をまたぐコラム１４を固定し、図２に示す如く、コラム１４の中央に固定テーブル１５を固定し、コラム１４の固定テーブル１５を挟む両側にＸＹ方向（Ｘ方向とＹ方向）に駆動制御されるＸＹテーブル１６、１７を搭載し、各テーブル１５〜１７のそれぞれにＺ方向に駆動制御されるＺテーブル１８、１９、２０を搭載し、各Ｚテーブル１８〜２０のそれぞれに塗布ヘッド２１、２２、２３を設けている。各塗布ヘッド２１〜２３は、ペースト収納筒２４、２５、２６を着脱自在に保持可能にし、各ペースト収納筒２４〜２６の先端にノズル２４Ａ、２５Ａ、２６Ａを備えている。固定テーブル１５に対応するノズル２４Ａを基準ノズルとし、ＸＹテーブル１６、１７に対応するノズル２５Ａ、２６Ａを可動ノズルとする。
【００１９】
ペースト塗布装置１０は以下の如く基本動作する。
(1)吸着台１３上に供給された基板１を吸着台１３の吸着によって保持する。
【００２０】
(2)制御装置３０は、Ｚテーブル１８〜２０の駆動を制御し、Ｚテーブル１８〜２０に設けてあるレーザ距離計の検出結果により、各ノズル２４Ａ〜２６Ａの吐出口を基板１に対する所定高さ位置にセットする。
【００２１】
(3)制御装置３０は、ＸＹテーブル１２の駆動を制御して基板１を移動させるとともに、更にペースト収納筒２４〜２６に加える圧縮空気を制御してペースト収納筒２４〜２６内のペーストをノズル２４Ａ〜２６Ａから吐出させ、基板１上の３位置のそれぞれにペーストパターンＬ1、Ｌ2、Ｌ3を描画する。
【００２２】
しかるに、ペースト塗布装置１０にあっては、ペースト収納筒２４〜２６のペーストが使い尽くされると、塗布ヘッド２１〜２３に対する新旧ペースト収納筒２４〜２６（ノズル２４Ａ〜２６Ａ）の交換がなされる。そして、各ノズル２４Ａ〜２６Ａの吐出口の位置がそれらの交換の前後で位置ずれしても、各ノズル２４Ａ〜２６Ａのこの交換に伴なう位置ずれを解消し、ペーストパターンの描画精度を向上するため、以下の構成を備える。
【００２３】
ペースト塗布装置１０は、各ノズル２４Ａ〜２６Ａによるペーストの実塗布位置を撮像するＣＣＤカメラ３１、３２、３３を各塗布ヘッド２１〜２３に備える。尚、中央の塗布ヘッド２１のカメラ３１は省略し、両側の塗布ヘッド２２、２３に設けたカメラ３２、３３の一方を用いて、ノズル２４Ａによる実塗布位置も併せて撮像することとしても良い。
【００２４】
制御装置３０は、ノズル２４Ａ〜２６Ａ毎に、カメラ３１〜３３の撮像画像に基づいて検出したペーストの実塗布位置Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3が、予め定めてあるペーストの目標塗布位置Ｐ10、Ｐ20、Ｐ30に対する位置ずれ（Δｘ1，Δｙ1）、（Δｘ2，Δｙ2）、（Δｘ3，Δｙ3）を演算し、これらの位置ずれを解消するように各ノズル２４Ａ〜２６Ａを、ＸＹテーブル１２上の吸着台１３に吸着されている基板１に対し相対移動する。即ち、ＣＣＤカメラ３１〜３３と制御装置３０は、本発明の検出装置を構成する。
【００２５】
本実施例では、ノズル２４Ａ〜２６Ａのうちの１つを基準ノズル２４Ａとし、他を可動ノズル２５Ａ、２６Ａとした。そこで、制御装置３０は、(a)各可動ノズル２５Ａ、２６Ａについて演算したそれらの交換に伴なう位置ずれ（Δｘ2，Δｙ2）、（Δｘ3，Δｙ3）が、基準ノズル２４Ａについて演算したその交換に伴なう位置ずれ（Δｘ1，Δｙ1）に対する位置ずれの差（Δｘ2−Δｘ1，Δｙ2−Δｙ1）、（Δｘ3−Δｘ1，Δｙ3−Δｙ1）を求め、この差を解消すべく当該可動ノズル２５Ａ、２６Ａを駆動するようにＸＹテーブル１６、１７を駆動制御するとともに、(b)ＸＹテーブル１２を制御し、基準ノズル２４Ａについて演算したその交換に伴なう位置ずれ（Δｘ1，Δｙ1）を解消するように基板１を移動させつつ、各ノズル２４Ａ〜２６Ａが吐出するペーストにより基板１上の３位置のそれぞれにペーストパターンＬ1〜Ｌ3を描画するように基板１を移動させる。即ち、制御装置３０は、上述(a)のＸＹテーブル１６、１７による可動ノズル２５Ａ、２６ＡのＸＹ方向の移動、及び上述(b)のＸＹテーブル１２による基板１のＸＹ方向の移動により、各ノズル２４Ａ〜２６Ａの交換に伴なう前記位置ずれを解消するとともに、上述(b)のＸＹテーブル１２による基板１のＸＹ方向の移動により、各ノズル２４Ａ〜２６ＡによるペーストパターンＬ1〜Ｌ3の描画を行なう。
【００２６】
従って、ペースト塗布装置１０において、ペースト収納筒２４（ノズル２４Ａ）〜ペースト収納筒２６（ノズル２６Ａ）の交換に際し、制御装置３０によるノズル２４Ａ〜２６Ａの位置調整動作は以下の如くなされる（図４）。
【００２７】
(1)ペースト収納筒２４（ノズル２４Ａ）〜ペースト収納筒２６（ノズル２６Ａ）の交換に伴なうノズル２４Ａ〜２６Ａの位置調整開始指令により、ＸＹテーブル１２上の吸着台１３に吸着させた捨て打ち基板(又はダミー基板)１Ａの有無をチェックする。そして、基板１Ａ「無」の場合、アラームを不図示のモニタに表示する等してオペレータにその旨を報知し、基板１Ａ「有」の場合、次のステップに移行する。
【００２８】
(2)各ノズル２４Ａ〜２６Ａが吐出するペーストを捨て打ち基板１Ａに対し、図２、図３に示す如く、捨て打ち塗布する。ノズル２４Ａ〜２６Ａの吐出口の位置がそれらの交換に伴なってずれていると、ペーストの実塗布位置Ｐ1〜Ｐ3はずれ、ペーストパターンＬ1〜Ｌ3は図２（Ａ）に示す如く、基板1上に想定される目標ペーストパターンＬ10〜Ｌ30に対し平行移動的にずれる。
【００２９】
(3)カメラ３１〜３３を用いて、各ノズル２４Ａ〜２６Ａによるペーストの実塗布位置Ｐ1〜Ｐ3を検出する。制御装置３０は、カメラ３１〜３３が撮像した点状又は線状のペースト膜の画像を処理し、当該ペースト膜の重心（点又は線巾の中央位置）が制御装置に予め定めてあるペーストの目標塗布位置Ｐ10、Ｐ20、Ｐ30に対する位置ずれ（Δｘ1，Δｙ1）、（Δｘ2，Δｙ2）、（Δｘ3，Δｙ3）を演算により求める。これにより、目標塗布位置Ｐ10〜Ｐ30に対する実塗布位置Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3の位置ずれを求める。
【００３０】
尚、線巾の中央位置に基づいて目標塗布位置Ｐ10〜Ｐ30に対する実塗布位置Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3の位置ずれを求める場合には、ペーストをＸ方向に沿う直線状及びＹ方向に沿う直線状に塗布し、Ｘ方向に沿う直線状ペーストの線巾の中央位置とＸ方向の目標塗布位置との差、ＸＹ方向に沿う直線状ペーストの線巾の中央位置とＹ方向の目標塗布位置との差から各ノズル２４Ａ〜２６Ａの目標塗布位置Ｐ10〜Ｐ30に対する実塗布位置Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3の位置ずれを求める。
【００３１】
(4)ノズル２４Ａ〜２６Ａ毎に演算した実塗布位置Ｐ1〜Ｐ3の上述した位置ずれを解消するように各ノズル２４Ａ〜２６Ａを、ＸＹテーブル１２上の吸着台１３に吸着されている基板１に対し相対移動させる。
【００３２】
本実施例では、各可動ノズル２５Ａ、２６Ａについて演算したそれらの交換に伴なう位置ずれ（Δｘ2，Δｙ2）、（Δｘ3，Δｙ3）が、基準ノズル２４Ａについて演算したその交換に伴なう位置ずれ（Δｘ1，Δｙ1）に対する位置ずれの差（Δｘ2−Δｘ1，Δｙ2−Δｙ1）、（Δｘ3−Δｘ1，Δｙ3−Δｙ1）を求め、この差分だけ差を解消する方向へ当該可動ノズル２５Ａ、２６Ａを移動させるようにＸＹテーブル１６、１７を駆動制御し、更に基板１のためのＸＹテーブル１２を制御し、基準ノズル２４Ａについて演算した位置ずれ（Δｘ1，Δｙ1）を解消するように基板１を移動することにより、各ノズル２４Ａ〜２６Ａの交換に伴なう前記位置ずれを解消する。
【００３３】
尚、ペースト塗布装置１０あっては、各ノズル２４Ａ〜２６Ａの交換に伴なう位置ずれを以上のように解消した状態下で、制御装置３０によるＸＹテーブル１２の制御により基板１を移動し、各ノズル２４Ａ〜２６Ａが吐出するペーストにより基板１上の３位置のそれぞれにペーストパターンＬ1〜Ｌ3の描画を行なう。このとき、ペーストパターンＬ1〜Ｌ3は目標ペーストパターンＬ10〜Ｌ30に合致するものになる（図２（Ｂ））。
【００３４】
本実施例によれば以下の作用効果を奏する。
(a)ノズル２４Ａ〜２６Ａ毎に、ペーストの目標塗布位置Ｐ10〜Ｐ30に対する実塗布位置Ｐ1〜Ｐ3の位置ずれを演算し、この塗布位置の位置ずれを解消するように各ノズル２４Ａ〜２６Ａを基板１に対し相対移動させる。これにより、複数のノズル２４Ａ〜２６Ａの吐出口の位置がそれらの交換前後で位置ずれし、結果として各ノズル２４Ａ〜２６Ａによるペーストの塗布位置Ｐ1〜Ｐ3がずれたとしても、各ノズル２４Ａ〜２６Ａの吐出口の位置ずれを解消し、ペーストパターンＰ1〜Ｐ3の描画精度を向上させることができる。
【００３５】
(b)「複数のノズル２４Ａ〜２６Ａのうちの１つを基準ノズル２４Ａとするとともに、他のノズルを可動ノズル２５Ａ、２６Ａとし、各可動ノズル２５Ａ、２６Ａについて演算した位置ずれが基準ノズル２４Ａについて演算した位置ずれに対する位置ずれの差だけ当該可動ノズル２５Ａ、２６Ａを移動し、基準ノズル２４Ａについて演算した位置ずれを解消するように基板１を移動する」ことにより、基準ノズル２４Ａを架台１１に対しＸＹ方向に固定配置し、装置構成を簡易化しながら、上述(a)を実現できる。
【００３６】
即ち、各ノズル２４Ａ、２５Ａ、２６Ａを移動させるべく塗布ヘッド２１、２２、２３毎にＸＹテーブルを設けた場合に比べ、塗布ヘッド２１のＸＹテーブルを不要とした分、装置構成を簡素化することができる。
【００３７】
(c)「可動ノズル２５Ａ、２６ＡのＸＹ方向の移動、及び基板１のＸＹ方向の移動により、各ノズル２４Ａ〜２６Ａの位置ずれを解消し、基板１のＸＹ方向の移動により、各ノズル２４Ａ〜２６ＡによるペーストパターンＬ1〜Ｌ3の描画を行なう」ことにより、ペーストパターンＬ1〜Ｌ3の描画中は、塗布ヘッド２２、２３のＸＹテーブル１６、１７を移動させず、吸着台１３のＸＹテーブル１２を移動させるので、３つのノズル２４Ａ、２５Ａ、２６Ａを用いて基板１に３つのペーストパターンＬ1〜Ｌ3を同時に描画する場合であっても、塗布ヘッド２２、２３のＸＹテーブル１６、１７を移動させずに済み、ＸＹテーブル等の移動テーブルの制御を極力簡素化することができる。また、ペーストパターンＬ1〜Ｌ3の描画中に基板１上で塗布ヘッド２２、２３のＸＹテーブル１６、１７を移動させずに済むので、ＸＹテーブル１６、１７の移動に伴う発塵が防止でき、基板１上に塵埃が落下することが防止できる。
【００３８】
ペースト塗布装置１０の変形例として、図１における架台１１上のＸＹテーブル１２をＸ方向には不動でＹ方向に駆動制御されるＹテーブル（不図示）に代え、基準ノズル２４Ａの固定テーブル１５をＸ方向に駆動制御されるＸテーブル（不図示）に代えることができる。図１を借りて説明すれば、このように構成した場合、上述した(3)の工程と同様にして演算により求めた各ノズル２４Ａ〜２６Ａに関する目標塗布位置Ｐ10〜Ｐ30に対する実塗布位置Ｐ1〜Ｐ3の位置ずれ（Δｘ1、Δｙ1）、（Δｘ2、Δｙ2）、（Δｘ3、Δｙ3）に基づいて、この位置ずれを解消するように各ノズル２４Ａ〜２６Ａと吸着台１３に吸着されている基板１とを相対的に移動させる。
【００３９】
即ち、各ノズル２４Ａ〜２６Ａに関し、Ｘ方向の位置ずれについては、Ｘ方向の位置ずれΔｘ1、Δｘ2、Δｘ3分ずつこれらの位置ずれを解消する方向に各ノズル２４Ａ〜２６Ａを移動させるように固定テーブル１５に代えたＸテーブル及びＸＹテーブル１６、１７の駆動を制御する。また、Ｙ方向の位置ずれについては、各可動ノズル２５Ａ、２６Ａについて演算したＹ方向の位置ずれΔｙ2、Δｙ3が基準ノズル２４Ａについて演算したＹ方向の位置ずれΔｙ1に対する位置ずれの差Δｙ2−Δｙ1、Δｙ3−Δｙ1分だけ、この差を解消する方向に可動ノズル２５Ａ、２６Ａを移動させるようにＸＹテーブル１６、１７の駆動を制御する。更に、ＸＹテーブル１２に代えたＹテーブルの駆動を制御して、基準ノズル２４Ａについて演算したＹ方向の位置ずれΔｙ1分だけこの位置ずれを解消する方向に基板１を移動させる。このようにして、各ノズル２４Ａ〜２６Ａの交換に伴う位置ずれを解消する。
【００４０】
このように、制御装置３０は、Ｘテーブルによる基準ノズル２４ＡのＸ方向の移動、ＸＹテーブル１６、１７による可動ノズル２５Ａ、２６ＡのＸＹ方向の移動、及びＹテーブルによる基板１のＹ方向の移動により、各ノズル２４Ａ〜２６Ａの交換に伴なう位置ずれを解消するとともに、ＸテーブルとＸＹテーブル１６、１７による基準ノズル２４Ａ及び可動ノズル２５Ａ、２６ＡのＸ方向の移動、及びＹテーブルによる基板１のＹ方向の移動により、各ノズル２４Ａ〜２６Ａによるペーストパターンの描画を行なうことができる。
【００４１】
ペースト塗布装置１０の変形例によれば、基準ノズル２４Ａを架台１１に対しＹ方向に固定配置するとともに、基板１をＹ方向にだけ移動し、Ｘ方向には不動にすることにより、基板１の移動範囲を小さくし、装置占有スペースを小型化できる。
【００４２】
以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、本発明は２個或いは４個以上のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上に塗布し、基板上にペーストパターンを描画するものに適用しても良い。
【００４３】
また、上記実施例において、ノズルによるペーストの実塗布位置が目標塗布位置に対する位置ずれを、ノズルから捨て打ち基板に塗布されたペーストの位置と目標塗布位置との差から求めた例で説明したが、ノズルの先端をカメラで下方から撮像し、その撮像画像をもとに予め定めたノズル先端の基準位置と実際のノズル先端位置との差から実塗布位置が目標塗布位置に対する位置ずれを求めるようにしても良い。
【００４４】
また、ノズル毎に目標塗布位置を定め、ノズル毎に実塗布位置が目標塗布位置に対する位置ずれを検出した例で説明したが、基準ノズルによる塗布位置と可動ノズルによる塗布位置との適正な相対的な位置関係を目標相対位置関係として予め定めておき、この目標相対位置関係と基準ノズルの実塗布位置と可動ノズルの実塗布位置との相対的な位置関係との位置ずれを検出し、この位置ずれを解消するように基準ノズルに対して可動ノズルを移動させるようにしても良い。この場合、基準ノズルの実塗布位置が目標塗布位置に対する位置ずれを合わせて検出しておくと良い。そして、ペーストパターンを基板に描画する際、各ノズルと基板とをＸＹ方向に相対的に移動させるＸＹテーブルを基準ノズルの前記位置ずれを解消するように移動させる。
【００４５】
このようにすることによっても、上述した実施例と同様に、基板にペーストパターンを精度良く描画することができる。
【００４６】
また、ペースト収納筒の交換に伴うノズルの吐出口の位置ずれを解消する例で説明したが、これに限らず、ペースト収納筒を塗布装置のＺテーブルに最初に取付けるときを含むペースト収納筒の着脱に伴って生じるノズルの吐出口の適正な取付け位置に対する位置ずれを解消する場合にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】図１はペースト塗布装置の一例を示す斜視図である。
【図２】図２はノズルの吐出口の位置とペーストの塗布位置との関係を示し、（Ａ）はノズルの位置調整前の模式図、（Ｂ）はノズルの位置調整後の模式図である。
【図３】図３は基板に対するペーストの塗布位置を示し、（Ａ）は全体斜視図、（Ｂ）はカメラの視野を示す模式図である。
【図４】図４はノズル交換時のノズルの位置調整手順を示す流れ図である。
【符号の説明】
【００４８】
１ 基板
１０ ペースト塗布装置
１１ 架台
１２ ＸＹテーブル（第１移動手段）
１３ 吸着台
１５ 固定テーブル
１６、１７ ＸＹテーブル（第２移動手段）
１８〜２０ Ｚテーブル
２１〜２３ 塗布ヘッド
２４Ａ〜２６Ａ ノズル
３０ 制御装置（制御手段）
３１〜３３ カメラ（検出装置）
Ｐ1〜Ｐ3 実塗布位置
Ｐ10〜Ｐ30 目標塗布位置
Ｌ1〜Ｌ3 実ペーストパターン
Ｌ10〜Ｌ30 目標ペーストパターン
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布方法において、
各ノズルによるペーストの実塗布位置が予め定めてあるペーストの目標塗布位置に対する位置ずれを検出し、
ノズル毎の上記位置ずれを解消するように各ノズルを基板に対し相対移動させることを特徴とするペースト塗布方法。
【請求項２】
前記複数のノズルのうちの１つを基準ノズルとするとともに、他のノズルを可動ノズルとし、
各可動ノズルについて演算した前記位置ずれが基準ノズルについて演算した前記位置ずれに対する位置ずれの差を解消するように当該可動ノズルを移動させ、
基準ノズルについて演算した前記位置ずれを解消するように基板を移動させる請求項１に記載のペースト塗布方法。
【請求項３】
前記位置ずれが、前記基板の表面に平行なＸ方向及び前記基板の表面に平行で前記Ｘ方向と直交するＹ方向の位置ずれのとき、
前記可動ノズルのＸＹ方向の移動、及び前記基板のＸＹ方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消し、
前記基板のＸＹ方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なう請求項２に記載のペースト塗布方法。
【請求項４】
前記位置ずれが、前記基板の表面に平行なＸ方向及び前記基板の表面に平行で前記Ｘ方向と直交するＹ方向の位置ずれのとき、
前記基準ノズルのＸ方向の移動、前記可動ノズルのＸＹ方向の移動、及び前記基板のＹ方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消し、
前記基準ノズル及び可動ノズルのＸ方向の移動、及び前記基板のＹ方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なう請求項２に記載のペースト塗布方法。
【請求項５】
複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布装置において、
前記複数のノズルと前記基板とを前記基板の表面に平行なＸ方向及び前記基板の表面に平行で前記Ｘ方向に直交するＹ方向に相対的に移動させる第１移動手段と、
前記複数のノズル同士のＸＹ方向における相対的な位置関係を変更する第２移動手段と、
各ノズルによるペーストの実塗布位置が予め定めてあるペーストの目標塗布位置に対する位置ずれを検出する検出装置と、
ノズル毎の上記位置ずれを解消するように各ノズルを基板に対し相対移動する制御装置とを有してなることを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項６】
前記複数のノズルのうちの１つを基準ノズルとするとともに、他のノズルを可動ノズルとし、
前記制御手段が、各可動ノズルについて演算した前記位置ずれが基準ノズルについて演算した前記位置ずれに対する位置ずれの差を解消するように当該可動ノズルを移動させ、かつ基準ノズルについて演算した前記位置ずれを解消するように基板を移動させる請求項５に記載のペースト塗布装置。
【請求項７】
前記第１移動手段が、前記基板をＸＹ方向に移動させるものであり、
前記第２移動手段が、前記基準ノズルに対して前記可動ノズルを個別にＸＹ方向に移動させるものであり、
前記制御手段が、前記可動ノズルのＸＹ方向の移動、及び前記基板のＸＹ方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消するとともに、前記基板のＸＹ方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なう請求項６に記載のペースト塗布装置。
【請求項８】
前記第１移動手段が、前記各ノズルをそれぞれＸ方向に移動させ、前記基板をＹ方向に移動させるものであり、
前記第２移動手段が、前記基準ノズルに対して前記可動ノズルを個別にＸＹ方向に移動させるものであり、
前記制御手段が、前記基準ノズルのＸ方向の移動、前記可動ノズルのＸＹ方向の移動、及び前記基板のＹ方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消するとともに、前記基準ノズル及び可動ノズルのＸ方向の移動、及び前記基板のＹ方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なう請求項６に記載のペースト塗布装置。
【請求項９】
複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布方法において、
前記複数のノズルは、１つを基準ノズルとするとともに他のノズルを可動ノズルとし、
前記基準ノズルの実塗布位置と前記可動ノズルの実塗布位置との予め定めてある相対的な位置関係に対する位置ずれを前記可動ノズル毎に検出し、上記位置ずれを解消するように前記可動ノズルを前記基板に対して個別に相対移動させることを特徴とするペースト塗布方法。
【請求項１０】
複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布装置において、
前記複数のノズルは、１つを基準ノズルとするとともに他のノズルを可動ノズルとし、
前記複数のノズルと前記基板とを前記基板の表面に平行なＸ方向及び前記基板の表面に平行で前記Ｘ方向に直交するＹ方向に相対的に移動させる第１移動手段と、
前記可動ノズルを前記基準ノズルに対してＸＹ方向に相対的に移動させる第２移動手段と、
前記基準ノズルの実塗布位置と前記可動ノズルの実塗布位置との予め定めてある相対的な位置関係に対する位置ずれを前記可動ノズル毎に検出する検出装置と、
上記位置ずれを解消するように前記第２移動手段を制御する制御装置とを有してなることを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項１】
複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布方法において、
各ノズルによるペーストの実塗布位置が予め定めてあるペーストの目標塗布位置に対する位置ずれを検出し、
ノズル毎の上記位置ずれを解消するように各ノズルを基板に対し相対移動させることを特徴とするペースト塗布方法。
【請求項２】
前記複数のノズルのうちの１つを基準ノズルとするとともに、他のノズルを可動ノズルとし、
各可動ノズルについて演算した前記位置ずれが基準ノズルについて演算した前記位置ずれに対する位置ずれの差を解消するように当該可動ノズルを移動させ、
基準ノズルについて演算した前記位置ずれを解消するように基板を移動させる請求項１に記載のペースト塗布方法。
【請求項３】
前記位置ずれが、前記基板の表面に平行なＸ方向及び前記基板の表面に平行で前記Ｘ方向と直交するＹ方向の位置ずれのとき、
前記可動ノズルのＸＹ方向の移動、及び前記基板のＸＹ方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消し、
前記基板のＸＹ方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なう請求項２に記載のペースト塗布方法。
【請求項４】
前記位置ずれが、前記基板の表面に平行なＸ方向及び前記基板の表面に平行で前記Ｘ方向と直交するＹ方向の位置ずれのとき、
前記基準ノズルのＸ方向の移動、前記可動ノズルのＸＹ方向の移動、及び前記基板のＹ方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消し、
前記基準ノズル及び可動ノズルのＸ方向の移動、及び前記基板のＹ方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なう請求項２に記載のペースト塗布方法。
【請求項５】
複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布装置において、
前記複数のノズルと前記基板とを前記基板の表面に平行なＸ方向及び前記基板の表面に平行で前記Ｘ方向に直交するＹ方向に相対的に移動させる第１移動手段と、
前記複数のノズル同士のＸＹ方向における相対的な位置関係を変更する第２移動手段と、
各ノズルによるペーストの実塗布位置が予め定めてあるペーストの目標塗布位置に対する位置ずれを検出する検出装置と、
ノズル毎の上記位置ずれを解消するように各ノズルを基板に対し相対移動する制御装置とを有してなることを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項６】
前記複数のノズルのうちの１つを基準ノズルとするとともに、他のノズルを可動ノズルとし、
前記制御手段が、各可動ノズルについて演算した前記位置ずれが基準ノズルについて演算した前記位置ずれに対する位置ずれの差を解消するように当該可動ノズルを移動させ、かつ基準ノズルについて演算した前記位置ずれを解消するように基板を移動させる請求項５に記載のペースト塗布装置。
【請求項７】
前記第１移動手段が、前記基板をＸＹ方向に移動させるものであり、
前記第２移動手段が、前記基準ノズルに対して前記可動ノズルを個別にＸＹ方向に移動させるものであり、
前記制御手段が、前記可動ノズルのＸＹ方向の移動、及び前記基板のＸＹ方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消するとともに、前記基板のＸＹ方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なう請求項６に記載のペースト塗布装置。
【請求項８】
前記第１移動手段が、前記各ノズルをそれぞれＸ方向に移動させ、前記基板をＹ方向に移動させるものであり、
前記第２移動手段が、前記基準ノズルに対して前記可動ノズルを個別にＸＹ方向に移動させるものであり、
前記制御手段が、前記基準ノズルのＸ方向の移動、前記可動ノズルのＸＹ方向の移動、及び前記基板のＹ方向の移動により、各ノズルの前記位置ずれを解消するとともに、前記基準ノズル及び可動ノズルのＸ方向の移動、及び前記基板のＹ方向の移動により、各ノズルによるペーストパターンの描画を行なう請求項６に記載のペースト塗布装置。
【請求項９】
複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布方法において、
前記複数のノズルは、１つを基準ノズルとするとともに他のノズルを可動ノズルとし、
前記基準ノズルの実塗布位置と前記可動ノズルの実塗布位置との予め定めてある相対的な位置関係に対する位置ずれを前記可動ノズル毎に検出し、上記位置ずれを解消するように前記可動ノズルを前記基板に対して個別に相対移動させることを特徴とするペースト塗布方法。
【請求項１０】
複数のノズルのそれぞれが吐出するペーストを基板上の複数位置のそれぞれに塗布し、基板上に複数のペーストパターンを描画するペースト塗布装置において、
前記複数のノズルは、１つを基準ノズルとするとともに他のノズルを可動ノズルとし、
前記複数のノズルと前記基板とを前記基板の表面に平行なＸ方向及び前記基板の表面に平行で前記Ｘ方向に直交するＹ方向に相対的に移動させる第１移動手段と、
前記可動ノズルを前記基準ノズルに対してＸＹ方向に相対的に移動させる第２移動手段と、
前記基準ノズルの実塗布位置と前記可動ノズルの実塗布位置との予め定めてある相対的な位置関係に対する位置ずれを前記可動ノズル毎に検出する検出装置と、
上記位置ずれを解消するように前記第２移動手段を制御する制御装置とを有してなることを特徴とするペースト塗布装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２００６−７０１３（Ｐ２００６−７０１３Ａ）
【公開日】平成１８年１月１２日（２００６．１．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−１８４２２８（Ｐ２００４−１８４２２８）
【出願日】平成１６年６月２２日（２００４．６．２２）
【出願人】（０００００２４２８）芝浦メカトロニクス株式会社 (907)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年１月１２日（２００６．１．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年６月２２日（２００４．６．２２）
【出願人】（０００００２４２８）芝浦メカトロニクス株式会社 (907)
【Ｆターム（参考）】
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