【課題】膜状シール方式のピストンポンプにおいて、膜状シールの長寿命化を図るとともに、膜状シールの折り返し部分における塗布液凝集の発生を抑える。
【解決手段】塗布ユニットに連通される流出口を有するハウジングと、ハウジング内を軸方向に往復動作するピストンヘッドと、少なくともハウジングとピストンヘッドとで形成される隙間を封止する膜状シールと、ピストンヘッドを往復動作させるピストン駆動装置と、ピストン駆動装置を駆動制御する制御装置と、を備えており、ピストンヘッドは、軸方向後端部分から先端部分にかけて縮径する円錐形状を有しており、制御装置は、膜状シールがピストンヘッドに接する状態に応じてピストンヘッドの移動速度を調節し、流出口から吐出される塗布液の吐出量が一定になるように前記ピストン駆動装置を駆動制御する。 （もっと読む）

【課題】なるべく少ない樹脂の量で的確な厚さの樹脂膜を効率よく形成する。
【解決手段】スピンナテーブル４０上に保持したウェーハ１の表面の中心に液状の樹脂Ｐを適量供給し、スピンナテーブル４０を回転させてウェーハ１を自転させながら、ウェーハ１の直径程度の長さを有する丸棒状の塗布部材７２を、ウェーハ１の表面と平行にして樹脂Ｐに押し付け、該塗布部材７２で樹脂Ｐを均一厚さに塗り広げて樹脂膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】少量の洗浄液によって回転ローラを洗浄できるスリットコータ予備吐出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】予備吐出位置のノズル（９）の先端に近接して配置されるとともに回転してノズル（９）の塗布液を周面に付着させて受け取る回転ローラ（１２）と、回転ローラ（１２）の周面から落下した塗布液を受ける位置に配置されたパン（１１）と、予備吐出位置のノズル（９）から見て回転ローラ（１２）の回転の方向の下手側で回転ローラ（１２）から塗布液を掻き取る第１スキージ（１３）と、予備吐出位置のノズル（９）から見て回転ローラ（１２）の回転の方向の上手側に洗浄液（１５ａ）を滴下する洗浄液滴下ノズル（１５）とを設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熱により反りや膨張収縮といった変形が基板に生じても基板上に形成された画素上に正確に材料を塗布することができる液体材料の塗布方法及び塗布装置の提供。
【解決手段】基板を載置するテーブルと、複数の吐出口を有する吐出部とを第一の方向及び第二の方向に相対移動させて前記基板上に液体材料を塗布する塗布方法における、塗布開始前の塗布位置調整工程であって、前記基板上の複数の基準マークの設定位置座標を記憶するステップと、熱処理を伴う工程を経た前記基板をテーブル上に載置し、前記複数の基準マークを画像認識し、測定位置座標を測定するステップと、前記設定位置座標と前記測定位置座標とに基づき前記基板の伸縮率を算出するステップと、前記基板の伸縮率に基づき、前記吐出部を走査方向に対して回動して塗布位置及び吐出口毎の吐出タイミングを調整するステップと、を有する塗布位置調整工程を含む液体材料の塗布方法及びその塗布装置。 （もっと読む）

【課題】スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することが可能な、さらに生産効率に優れる液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置１は、機能液を吐出させる複数のノズルと、複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子と、を有する液滴吐出ヘッド５と、複数のノズルから吐出された機能液を着弾させるシート部材１５を供給する供給リール１２と、供給リール１２から供給されたシート部材１５を巻き取る巻取リール１３と、供給リール１２と巻取リール１３との間のシート部材１５に対して、複数のノズルから吐出された機能液の着弾面積を測定する着弾面積測定手段３２と、複数の駆動素子に印加する電圧を調整して複数のノズルにおける着弾面積のばらつきを調整する制御手段と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】各ノズルから吐出される塗布液の流量管理が容易となる塗布装置の流量設定方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】単一の供給源から本管を介して供給される塗布液を複数の支管に分流し、当該支管にそれぞれ設けられた支管流量計測手段によって当該支管を流動する塗布液流量を計測して、当該支管に接続されたノズルから塗布液をそれぞれ吐出する塗布装置における塗布液の流量設定方法である。流量設定方法は、直列供給工程および流量計測調整工程を含む。直列供給工程は、支管流量計測手段をそれぞれ直列に接続し、供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段に塗布液を供給して、当該供給された塗布液をノズルの１つから吐出させる。流量計測調整工程は、直列供給工程が直列に接続された支管流量計測手段に塗布液を供給している状態において、当該支管流量計測手段におけるそれぞれの塗布液流量の計測結果を調整する。 （もっと読む）

【課題】スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することが可能な、さらに生産効率に優れる液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】複数のノズルと、複数の駆動素子と、を有する液滴吐出ヘッド５と、シート部材１５を供給する供給リール１２と、巻取リール１３と、画像を撮影する撮像装置１４と、機能液の吐出量の分布を求める解析手段３２と、分布から複数のノズルにおける吐出量が所定の適正量に近づくように複数の駆動素子に印加する電圧を調整する制御手段３１と、を有し、制御手段３１は、液滴吐出ヘッド５を複数のノズルの配列方向と交差する主走査方向に走査しつつ、シート部材１５上に各ノズルから第１の間隔で機能液を複数滴吐出させ、その後、第１の間隔よりも広い第２の間隔で機能液を１滴もしくは複数滴吐出させ、さらにその後、第１の間隔よりも広い第３の間隔で機能液を複数滴吐出させる。 （もっと読む）

【課題】対向配置した２つの部材１，２間のギャップを作業者の経験値や力量に依存せず、誰が行っても同じように正確に調整できるようにしたギャップ調整方法を提供する。
【解決手段】対向配置する２つの部材１，２間の隙間に、荷重計１２に連結した挿入具１１を挿入し、この挿入具１１を挟むようにギャップの仮調整を行う。次に、挿入具１１を引き抜きつつ、荷重計１２で引き抜き抵抗力を計測し、抵抗力の計測値が所定範囲内に入るようにギャップを調整する。 （もっと読む）

【課題】少量多品種製造を行う際にも生産性の向上を図る。
【解決手段】基板Ｐを搭載して移動する移動体４と、移動体に対して相対移動して基板に機能液の液滴を吐出する吐出ヘッドとを有する。移動体には、基板を保持するテーブル４２が相対移動方向に沿って複数設けられる。従って、本液滴吐出装置では、移動体に対して吐出ヘッドとを一回相対移動（走査）させることにより、複数の基板に機能液の液滴を吐出させてパターンを形成することが可能になる。そのため、複数の基板に同一パターンを形成する場合はもちろんのこと、複数種類のパターンを形成する少量多品種製造にも容易に対応することができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法及び構成で、２種以上の溶媒を有する塗布液であっても、塗布液の濃度上昇を防止でき、膜厚の均一なムラのない塗膜の形成を安定的に行うことができる塗布方法及び塗布システムを提供する。
【解決手段】塗布装置からの溶媒毎の単位時間の蒸発量と前記蒸発量を総計した総蒸発量を、シミュレーション手段を用いたシミュレーションで算出し、算出された前記溶媒毎の蒸発量に相当する量の溶媒を前記塗布液に補給する。更に、前記シミュレーションでの結果に実際の系とのズレが生じた時は、前記シミュレーションで算出された量の溶媒が補給された塗布液で塗布を行い、塗布液濃度を算出し、それを基に前記塗布液の濃度と予め規定した基準塗布液濃との差異及び前記差異に相当する溶媒の補正量を算出し、前記溶媒の補正量を基に前記シミュレーションに基づく溶媒の補給量を変更する。 （もっと読む）

【課題】生産性良く液滴を吐出する方法を提供する。
【解決手段】ノズルから基板に液滴を吐出する吐出方法にかかわり、基板に液滴を吐出するステップＳ６およびステップＳ１０の吐出工程と、ノズルと基板とを所定の方向に相対移動させる移動工程と、を有し、移動工程はノズルと基板との相対速度を減速させるステップＳ９の減速移動工程と、相対速度を加速させるステップＳ４の加速移動工程と、を有し、加速移動工程と減速移動工程との少なくとも一方の工程と吐出工程とが並行して行われる。 （もっと読む）

【課題】 無駄なレジスト液の消費を極力抑えて、かつスループットを低下させずに、インラインでレジスト液の粘度調整を行うことができる塗布処理装置を提供すること。
【解決手段】 高濃度塗布液と溶剤とを混合して所定濃度に希釈された希釈塗布液とする混合部７０と、希釈塗布液を吐出して基板に塗布膜を形成する塗布液吐出機構１４と、混合部７０から塗布液吐出機構１４へ向けて希釈塗布液を送給する送給配管６９、送給配管６９からの希釈塗布液を一時的に貯留するバッファタンク７１、及びバッファタンク７１から塗布液吐出機構１４へ希釈塗布液を供給する供給ポンプ７４を有する希釈塗布液供給機構と、バッファタンク７１から希釈塗布液を取り込み、混合部７０に戻して循環させる希釈塗布液循環部と、希釈塗布液の送給先を塗布液吐出機構１４側と塗布液循環部側とで切り替える切替機構とを具備する。 （もっと読む）

【課題】定量的な塗布厚さで放熱ユニットの表面に放熱媒体を塗布することができる放熱媒体塗布装置を提供する。
【解決手段】放熱ユニット１３の表面に放熱媒体１２を塗布するための放熱媒体塗布装置１であって、フレーム２と、フレーム２に支持され、かつ放熱ユニット１３の表面を露出するための開口部４を有するマスク３と、フレーム２に往復移動可能に取り付けられたスキージフレーム６と、スキージフレーム６に対して昇降可能に取り付けられ、かつマスク３と接する部分の幅が開口部４よりも広く形成されたスキージ８と、スキージ８をマスク３に当接するように付勢するスキージ用ばね１０とを備えている。スキージ８は、スキージフレーム６とともに移動することにより開口部４上を通過するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】 膜の厚さ精度が高く、かつ、表面が平滑で塗布ムラのない塗布膜を得ることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】
長手方向に走行する長尺状のウエブ１６を外周面で支持するバックアップローラ２０と、バックアップローラ２０と対向配置され、塗布液をウエブ１６に供給する塗布ヘッド１８と、を備え、塗布ヘッド１８とバックアップローラを支持する支柱１５の両方が１つの架台３０上に支持され、架台３０が能動型除振装置３２上に固定される。バックアップローラ２０にウエブ１６を案内するパスローラ１４の位置が調整できるよう構成される。 （もっと読む）

【課題】液体の補給不足に起因する噴射不良を有効に抑制する。
【解決手段】液体噴射装置（複合機１）は、液体噴射ヘッド（ヘッドＨＤ）と、ヘッド移動部（キャリッジ移動機構）と、コントローラ（主制御部７）とを有する。コントローラーは、移動噴射動作を制御し、時系列での液体の噴射率が過多であることを示す判断条件を満たす場合、或る範囲に対する移動噴射動作の回数を、判断条件を満たさない場合よりも多くする。そして、コントローラーは、粘度が第１液体よりも高い第２液体については、第１液体よりも少ない噴射率で前記噴射率が過多であると定められた判断条件によって、或る範囲に対する移動噴射動作の回数を定める。 （もっと読む）

基板の上側に２００μｍ未満の層厚を有したプラスチック層を製造する方法であって、
粉末散布装置によって基板上側にプラスチック粉末を塗布する工程と、
次に、基板下側を清掃する工程と、
提供したプラスチック粉末を炉内で溶解させ、その結果として、プラスチック層を基板上に形成する工程と、
この基板を冷却する工程と、を含み、
基板は、上記工程を順次連続的に運搬される。
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【課題】簡単な構造で、且つ短時間で機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査することができる液滴吐出装置および液滴吐出装置の検査方法を提供する。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを搭載したキャリッジユニットと、検査吐出パターンに基づいて機能液滴吐出ヘッドから検査吐出された機能液滴を受けるワークと、ワークに着弾した機能液滴の検査ドットを画像認識すると共に、機能液滴吐出ヘッドの複数の吐出ノズルから成るノズル列に対応して設けたラインスキャナ５１と、ラインスキャナ５１による認識結果に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する検査手段と、を備え、ラインスキャナ５１は、キャリッジユニットに搭載されているものである。 （もっと読む）

【課題】同一ガラス基板内に複数の狙い膜厚がある品種に対して、それぞれの狙い値に膜厚を制御できるスピンレスコート装置を提供することと、その装置を用いた複数品種の面付けを持つカラーフィルタ基板を提供する。
【解決手段】ステージ上に載置されたガラス基板の表面に、該ガラス基板表面と所定間隔離して該ガラス基板に対して移動する少なくとも1台以上のスリットノズルに塗布液をポンプで送液しながら、該塗布液を一定幅及び一定長塗布するスピンレスコート装置において、前記ガラス基板面内の膜厚を変更したい位置で、複数の狙い（仕上がり）膜厚に対応する塗布膜厚への膜厚変更制御機構を具備している。 （もっと読む）

【課題】流体の噴射異常を早期に発見すること。
【解決手段】塗装検査装置２００において、取得部３０１が、塗装装置３２０の噴射口から塗装対象に対して噴射された塗料の噴射状態を撮影した画像情報を取得する。このあと、抽出部３０２が、画像情報の中から検査ラインの色情報を抽出する。つぎに、検出部３０３が、検査ラインでの色情報を羅列して、色の濃淡のピークを検出する。そして、判定部３０４が、検出されたピーク数に基づいて、噴射口から噴射される塗料の噴射異常を判定する。ここで、噴射異常と判定された場合、出力部３０６が、噴射異常を報知する警告メッセージを出力する。 （もっと読む）

【課題】低い設備コストで作業効率に優れた電子部品接着用の樹脂塗布装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基板保持テーブル５ａに保持された基板７の反り変形量を測定する反り測定手段において、接触式の変位センサ４２を基板搬送動作のために設定された基板搬送時高さ位置と基板７を対象とする測定動作の実行前に待機するために設定された待機高さ位置との間でシリンダ４３によって昇降させ、待機高さ位置からプローブ４２ａが基板に接触して変位を測定する測定高さ位置まで下降させる下降動作を、ヘッド移動機構によって板カム部材４１をセンサ押し下げ部４７に対して進退させて押し下げることにより行う。これにより変位センサ４２の昇降のための機構を簡略化するとともに、昇降のための動作時間を短縮することができる。 （もっと読む）