【課題】基板上に塗布液を塗布する際に、塗布液の供給量を少量に抑えつつ、基板面内で均一に塗布液を塗布する。
【解決手段】回転中のウェハ上に溶剤を供給し、ウェハの表面をプリウェットする（工程Ｓ１）。ウェハを第５の回転数で回転させる（工程Ｓ２）。ウェハの回転を第１の回転数まで加速させ、第１の回転数でウェハを回転させる（工程Ｓ３）。ウェハの回転を第２の回転数である１５００ｒｐｍまで減速させ、ウェハＷを第２の回転数で０．５秒回転させる（工程Ｓ４）。ウェハの回転を第３の回転数までさらに減速させ、第３の回転数でウェハを回転させる（工程Ｓ５）。ウェハの回転を第４の回転数まで加速させ、第４の回転数でウェハを回転させる（工程Ｓ６）。工程Ｓ２の途中から工程Ｓ５の途中まで、ウェハの中心にレジスト液を連続的に供給する。 （もっと読む）

【課題】画像の絵柄と画像の凹凸パターンとが対応し、且つ高画質な印刷物を容易に得る画像記録方法を提供する。
【解決手段】支持体Ｐ上に画像と該画像に対応した凹凸形状とを記録する画像記録方法であって、画像の画像データの一部を用いて、支持体Ｐ上に選択的に設けられる下地層１０１の画像データである下地層データを生成する工程と、下地層データに基づいて、支持体Ｐ上に選択的に形成材料を溶解または分散させた液状体を塗布することにより下地層を形成する工程と、画像データに基づいて、下地層１０１および支持体Ｐの上に液状体を塗布することにより下地層１０１及び支持体Ｐの表面に接する画像層１０２を形成する工程と、を有し、画像層１０２を形成する工程では、下地層１０１の表面積に基づいて、該下地層１０１の表面を覆う画像層１０２の形成に要する液状体量を制御する。 （もっと読む）

【課題】付与液の物性の変化や装置内の洗浄不足による不具合を回避するとともに、装置各部の動作異常や液の誤装填が防止され、液の安定した付与が実現される液供給装置及び塗布装置、並びにこれを用いた画像形成装置を提供する。
【解決手段】塗布液供給バルブ３８及び希釈液供給バルブ４６の後段に濃度センサ４８を設ける。塗布液供給バルブ３８を介して塗布液を供給する場合だけでなく、希釈液供給バルブ４６を介して希釈液を供給する場合にも濃度センサ４８を用いて液の濃度が監視される。供給ポンプ４０やバルブ類の動作確認か可能となり、液付与装置へ供給される液の間違いを検出することができ、希釈液の供給時に希釈液によって供給流路３６や濃度センサ４８が洗浄される。 （もっと読む）

【課題】装置内の洗浄不足による不具合を回避するとともに、装置各部の動作異常や液の誤装填が防止され、液の安定した付与が実現される液供給装置及び液付与装置、並びにこれを用いた画像形成装置を提供する。
【解決手段】塗布部１２の洗浄処理が実行されると、塗布部１２の塗布液は排出流路６４から排出され、希釈液タンク４２から供給流路３６を介して塗布部１２へ希釈液が供給される。洗浄後の洗浄液は塗布皿２４から供給流路３６を介して塗布液タンク３２へ回収されるので、供給流路３６及び供給流路３６に設けられる供給ポンプ４０や濃度センサ４８も洗浄される。回収される洗浄液は濃度センサ４８を通過するので、洗浄後の洗浄液の濃度値に基づいて洗浄状態をモニタすることができるとともに、供給ポンプ４０や塗布液供給バルブ３８の動作を確認することができる。 （もっと読む）

【課題】ウェブ状の基材に塗工液を塗工する塗工装置において、ウェブ状の基材上に精度良く塗工液を塗工することができる塗工装置を提供する。
【解決手段】塗工装置２０は、搬送されているウェブ状の基材１に塗工液７を塗工する。塗工装置は、基材を搬送する搬送手段３０と、搬送手段によって搬送される基材の搬送経路沿いに配置された吐出ヘッド４０と、搬送手段による基材の搬送方向に沿って移動可能に前記吐出ヘッドを支持する移動支持手段５０と、を有する。移動支持手段５０は、搬送手段によって搬送される基材と同期して吐出ヘッドを移動させ得る。 （もっと読む）

【課題】接着剤の使用量を低減するとともに、接着剤の硬化時間を短縮して短時間で接着することができる接着剤塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】接着面に接着剤を塗布する接着剤塗布装置１０において、接着剤３０が充填されたカートリッジ１１から塗布ノズル１４を介して接着剤３０を外部に押し出す加圧シリンダ１３と、加熱された気体を塗布ノズル１４に供給するヒータ付きポンプ１５と、加圧シリンダ１４の動作に連動して塗布ノズル１４に加熱された気体Ｇが供給されるようにヒータ付きポンプ１５の動作を制御するコントローラ１７とを設ける。 （もっと読む）

【課題】検査ステージ上に検査シートを水平且つ平坦に載置する。
【解決手段】セットしたワークに対し、機能液滴吐出ヘッドを走査方向に相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動させてワークに描画を行う描画装置を備えた液滴吐出装置に設けられ、機能液滴吐出ヘッドの吐出結果を画像認識することにより、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を検査する吐出検査装置４であって、機能液滴吐出ヘッドの検査吐出を受ける帯状の検査シートＳと、検査シートＳが吸着載置される検査ステージ６３とを備え、検査ステージ６３は、検査シートＳを吸着載置する多孔質プレート７１と、上部に多孔質プレート７１を水平に保持する枠状フレーム７２と、多孔質プレートの下面に面して枠状フレーム７２の内側に形成されると共に、真空吸引手段に連通するエアー室と、を有している。 （もっと読む）

【課題】バルジ及びジャギーの発生を抑止し、均一な幅の線状パターンを安定的に形成することができる線描画装置及び線描画方法を提供する。
【解決手段】機能性成分を含有し、活性光線の照射によって硬化する作用をもつ液体(16)を非浸透性の媒体(12)に向けてインクジェットヘッド(18)から順次吐出して、媒体(12)上でこれら着弾液滴同士を合一させて線状パターンを形成する。このとき、媒体(12)上に先に着弾している液滴群の集合体が平衡状態に達する前に、当該集合体と更に合一させる次滴を着弾させるように打滴を制御する。また、描画後に活性光線(22)を照射して当該媒体(12)上の液体を硬化させる際、媒体(12)に対する液体(16)の接触角をθ[rad]とするとき、前記線状パターンを構成する最終着弾滴の着弾時から当該線状パターンを硬化させるまでの時間Ｔ［ｓ］がＴ≦｛π／（６θ）｝^３を満たすように活性光線(22)の照射を行う。 （もっと読む）

【課題】付着物などの洗浄が完了したにも関わらず洗浄液を供給して、洗浄液を無駄に使用したり、洗浄が不充分で付着物などが残存するにも関わらず洗浄液の供給を終了したりすることを抑制することができる液状体吐出装置、ヘッド保守装置の保守方法、及びヘッド保守装置を提供する。
【解決手段】液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出ノズルを備える液状体吐出ヘッドと、液状体吐出ヘッドの吐出ノズルが形成されたノズル形成面を封止するヘッドキャップと、ヘッドキャップに連通し、ヘッドキャップ内の気体又は液体を吸引する吸引手段と、ヘッドキャップに連通し、ヘッドキャップに洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、液体の濁度を検出可能な濁度検出手段と、を備える。濁度検出手段は、ヘッドキャップに供給された洗浄液濁度を検出可能な位置、又は吸引手段が有する吸引された気体又は液体の流路における洗浄液の濁度を検出可能な位置に配設されている。 （もっと読む）

【課題】塗工機の制御では、塗工量と制御信号との関係が逆転する逆転範囲が時間と共に移動するので、ブレードポジションの制御範囲を、逆転範囲を含まないように狭くせざるを得なかった。また、逆転範囲と制御範囲が重なるとオペレータが手動で操作しなければならなかった。そのための、ブレード交換の頻度が増加し、コストの増大、操業率の低下、オペレータの負担増のない技術を提供する。
【解決手段】現在および過去のプロセス量測定値と制御信号から逆転範囲に入っているかどうかを判定し、逆転範囲に入っていると、通常範囲で用いるゲインとは異なる逆転ゲインを設定し、この設定したゲインと、プロセス量設定値と測定値の差分から制御信号を演算するようにした。また、プロセスの特性を推定し、境界付近にあると制御信号を一時的に大きくして境界付近から脱出させ、この特性が変化するとその変化を補償するように制御信号を変化させるようにした。 （もっと読む）

【課題】従来のディッコーティング法では出来なかった、塗布対象物の全体の膜厚の変更を実現するディッコーティング装置を提供する。
【解決手段】把持部１１に試料を１２を把持し、把持部１１が有する回転ステージで角度を調整し、吐工液面に対して垂直ではなく角度を持たせて、斜め上方に引き上げ、垂直に引き上げる場合と違い、試料１２の全体に膜厚の差が発生する。また、低速で引き上げる場合には、試料１２の表面に粒子配列や結晶が形成できる。 （もっと読む）

【課題】塗布液の選択性を向上させ、多種多様な物性値を有する塗布液を用いても高精度の塗布処理を行うことができる回転塗布装置を提供する。
【解決手段】円形又は多角平面を塗布対象面とした被塗布物２に塗布液を塗布し、この被塗布物２を高速回転させることにより塗布液を拡散させて塗布膜を形成する回転塗布装置１において、被塗布物２を平行支持する平円板状の支持台３と、支持台３と離間を有するようにして平行に対向配置され、支持台３との離間に開放空間Ｓを形成する平円板状の平行平板４とを具備してなり、支持台３及び平行平板４がそれぞれ回転軸６０及び回転軸７０周りに独立して回転駆動される。 （もっと読む）

【課題】枠材の破損や板材の傷付きを招くことなく、フラックスを塗布すべき塗布領域に必要量のフラックスを確実に塗布する。
【解決手段】ステンシル２０が押し当てられた塗布対象基板Ｐに対するスキージ１１，１２ａ，１２ｂの移動に際して塗布面Ｐａに押し当てられたステンシル２０に対してスキージ１１，１２ａ，１２ｂが移動する矢印Ａの方向に位置する口縁部３３ａにおける幅方向の両端部が矢印Ａの方向における手前側に最も突出すると共に幅方向の中央部に向かうほど矢印Ａの方向に凹むように開口部３１が形成されているステンシル２０を使用して塗布対象基板Ｐの塗布領域５５にフラックスを塗布する。 （もっと読む）

【課題】ロールに巻掛されたウエブに対して、塗工液の膜厚がロールの長手方向（幅方向）に沿って均一となるよう塗工液を塗布することができ、また製造コストやメンテナンスコストを低減することができる塗工装置および塗工方法を提供する。
【解決手段】塗工装置は、塗工部と、ロール５０の長手方向に沿って設けられた複数の加熱部１０ａ〜１０ｉと、ロール５０の長手方向に沿って設けられ、ウエブに塗布された塗工液の膜厚等を検出する複数の検出部、を備えている。各々の加熱部１０ａ〜１０ｉは、その全体または少なくとも一部分がロール５０の回転方向および長手方向に対して斜めに延びるよう配置されている。制御部３０は、各検出部による検出結果に基づいて、各加熱部１０ａ〜１０ｉにおけるロール５０に対する加熱の度合いを加熱部１０ａ〜１０ｉ毎に制御する制御部３０を備える。 （もっと読む）

【課題】複雑な構成を用いることなく、塗布液が基板の裏面側に回り込んで付着することを抑制することができる塗布装置及び気流制御板を提供すること。
【解決手段】気流制御板１０の上板１１は、保持ヘッド１に保持された基板Ｗの周縁部から隙間３３をあけて配置されている。気流制御板１０の下板１２に設けられたガイド羽根１８の上面に、上板１１の下面１１ｂが当接することで、上板１１及び下板１２が一体的に固定され、これにより気流制御板１０が構成される。回転する気流制御ユニット５の気流制御板１０では、導入口１３からエアが導入され、導入されたエアは、主に辺方向流路１６内を流れ、また放射状流路１７内も流れる。特に、隙間３３を介して上板１１の下面１１ｂに周り込んだレジスト液３１は、表面張力により下面１１ｂに貼り付きながら、遠心力及び放射状流路１７を流れるエアにより排出口１５から排出される。 （もっと読む）

【課題】乾燥前の塗布層の表面状態を基材を搬送しながら観測することによって、一定の塗布量を維持することを可能とする塗布量管理装置を提供する。
【解決手段】塗布装置によって基材上に塗布液を塗布して得られた塗布層の塗布量を管理する装置であって、塗布された塗布層を、乾燥する手前で基材を搬送しながら塗布層表面を照明する手段と、照明された塗布層表面を撮像する手段と、撮像した画像から塗布層の表面に発生した液滴の間隔を求める画像処理手段とを備え、求めた塗布層の表面に発生した液滴の間隔に基づいて塗布層の塗布量を管理することを特徴とする塗布層の塗布量管理装置。 （もっと読む）

【課題】本塗布前の予備試験で消費する塗布液の消費量を軽減し、予備試験にかかる時間を短縮することができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】ステージに対して塗布ユニットを相対的に移動させて、走行速度計測部により計測された走行速度から実走行速度波形を形成し、塗布液ポンプに予め設定されたポンプ駆動指令を与えて塗布ユニットから塗布液を吐出させることにより、圧力計測部により計測された吐出圧力から実吐出圧力波形を形成し、前記実吐出圧力波形からポンプ駆動指令と実吐出圧力との対応関係を示す応答特性を取得し、前記応答特性を用いて、前記実吐出圧力波形が前記実走行速度波形の形状に近似するようにポンプ駆動指令を調節し、近似後の実吐出圧力波形が所定の許容範囲内である場合には、その近似後の実吐出圧力波形に基づくポンプ駆動指令を本ポンプ駆動指令に設定する。 （もっと読む）

【課題】 塗布対象物に押し付ける塗布面に印刷パターンがない場合でも、塗布面の撮像結果を用いた塗布状態の検査を可能とした塗布装置を提供する。
【解決手段】 塗布剤Ｊを吸湿保持するフェルト材Ｆと、フェルト材Ｆの塗布面と塗布対象物Ｗの端面とを互いに当接させ、当該当接した両面間に押圧力を付与するワーク駆動部２２と、塗布前および塗布後の塗布面を各々撮像して塗布前濃淡画像および塗布後濃淡画像を出力するカメラＣと、塗布前濃淡画像を濃淡値に基づいて二値化し、塗布後濃淡画像を濃淡値に基づいて二値化する二値化処理部６０ａと、塗布前濃淡画像を二値化した結果を予め設定された閾値と比較して塗布面の状態を判断する塗布剤保持状態判断部６０ｃと、塗布後濃淡画像を二値化した結果を予め設定された閾値と比較して塗布剤Ｊの塗布状態を判断する塗布状態判断部６０ｄとを備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成、制御でヘッドの負圧を適正範囲に維持でき、高粘度の液体でも、吐出不良を生じることなく、高速で吐出することができる画像形成装置の提供。
【解決手段】流路抵抗可変ユニット８３と、流路抵抗可変ユニット８３にインクを送るポンプ７８を有し、流路抵抗可変ユニット８３は、第１の流路７１を流れるインク流量に応じて内部の流路抵抗が変化し、液滴を吐出するときには、流路抵抗可変ユニット８３を介して記録ヘッド１０とインクカートリッジ７６が連通している状態で、ポンプ７８によりインクをインクカートリッジ７６から記録ヘッド１０に送液し、流路抵抗可変ユニット８３と分岐部６３の間に流量調整弁３００を設けて、気泡などの異物を排出する維持回復動作を行うときには流路抵抗可変ユニット８３から分岐部６３側への流量を制限することで第１の流路７１へ流速の高いインクを送液する。 （もっと読む）

【課題】粘着テープの製造中に微細な凹凸に起因する表面欠陥が発生した場合に、その表面欠陥の原因をインラインで迅速に検出するとともに、表面欠陥の原因を除去するように製造条件を変更可能な粘着テープ製造システムを提供する。
【解決手段】ダイ５と乾燥装置６の間に配設された第１フィゾー干渉計８により、塗布後におけるフィルムシート２上の粘着剤表面を測定するともに粘着剤表面の干渉縞画像データを取得し、また、干渉縞解析装置９を介して第１フィゾー干渉計８により取得された粘着剤表面の干渉縞画像データをフーリエ変換法を使用して解析するとともに、粘着剤表面に発生する微細凹凸に関するＲａ（算術平均粗さ）、Ｐ−Ｖ（最大高さと最小高さとの差）の基準数値データを演算し、その演算された基準数値データに基づき、制御装置１０を介してダイ５による粘着剤の塗布条件を変更するように構成する。 （もっと読む）