【課題】機能性膜をコーティングする前の活物質層厚さの偏差に依存せず、機能性膜をコーティングした後、活物質層と機能性膜との合計厚さを均一にする機能性膜コーティング装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態による機能性膜コーティング装置は、活物質層が形成された集電体に機能性膜をコーティングする装置であって、前記集電体を進行させる第１ロールと第２ロール；前記機能性膜を前記活物質層にコーティングするように構成されたグラビアロール；前記活物質層と機能性膜との合計厚さと前記活物質層の厚さのうちの少なくとも一つを測定するように構成された厚さ測定器；および前記厚さ測定器と連結され、前記グラビアロールの回転速度を制御するように構成された制御部を含む。 （もっと読む）

【課題】吐出確認に使用する吐出液の量を減らすことができ、安価な機構を実現する吐出装置及び吐出装置の着弾位置形成方法、着弾位置撮像方法、吐出確認方法を提供する。
【解決手段】
吐出装置は吐出液に含有される溶剤に可溶な樹脂膜１９が成膜されたフィルム１６を有している。複数のインクヘッド１１をフィルム１６の真上に移動して静止させた状態で各吐出口１８から吐出液を吐出させると、樹脂膜１９上に着弾し、樹脂膜１９は吐出液に部分的に溶解して、着弾位置に段差痕が形成される。フィルム１６を巻き取りながら、撮像装置１２で樹脂膜１９の着弾位置を撮像し、撮像結果から各吐出口１８毎に吐出の有無を判別することができる。 （もっと読む）

【課題】両面表示部材を適切に提供する。
【解決手段】透明基材２上に画像を印刷するインクジェット記録装置であって、インクジェット記録ヘッドは、透明基材２の一方の面に、裏面側から視認される画像が形成される第１の画像層と、第１の画像層を覆う被覆層と、透明基材２の一方の面側から視認される画像が形成される第２の画像層とを形成し、第１の画像層は、第１の画像層における画像を構成するインクが透明基材２上に存在する部分である画像部と、画像部以外の部分である非画像部とを有し、被覆層は、第１の画像層の非画像部と重なる部分において、第１の画像層の画像部と重なる部分よりも大きな厚みを有することにより、透明基材２上におけるインクの有無により画像部と非画像部との間で凹凸が生じる第１の画像層の上面よりも、被覆層の上面を平坦化する。 （もっと読む）

【課題】 バス配線と交差するフィンガー配線を形成する際に、そのパターンを厚膜（高アスペクト比）に形成することができるとともに、その交差部における表面が凸凹になることを抑制することができる。
【解決手段】 ステップＳ３０により形成されたフィンガー配線パターン７３の高さ寸法を測定（ステップＳ５０）し、この測定結果に基づいてステージ２１の高さ位置の調整を行って基板９に対する第２ノズル５７の高さ位置を調整する（ステップＳ６０）。その後、第２ノズル５７によってバス配線パターン７１を形成する（ステップＳ７０）。 （もっと読む）

【課題】従来の記録方法では、記録パターンにおける信頼性を向上させることが困難である。
【解決手段】紫外光の照射を受けて硬化が促進する性質である光硬化性を有する液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドから吐出された前記液状体に照射するための前記紫外光を含む光９１を放出する光源８７と、光源８７と前記吐出ヘッドから吐出された前記液状体との間に介在し、光９１における前記紫外光の強度を弱める光学フィルター８３と、光源８７に対する光学フィルター８３の相対位置を変化させるガイドレール８５と、を含む、ことを特徴とする記録装置。 （もっと読む）

【課題】少ない液状樹脂量で効率良くワークに保護膜を形成すること。
【解決手段】本発明のある実施の形態の液状樹脂塗布装置１は、ワーク２を吸着保持する水平な保持面１１１を有する保持部１１と、鉛直方向を回転軸として保持部を回転させる回転部１２と、保持部１１の保持面１１１に保持されたワーク２の露出面２１に液状樹脂を供給する液状樹脂供給部１３と、露出面２１に供給された液状樹脂を露出面２１の全面に広げる塗広部材１４と、塗広部材１４を少なくとも水平方向に移動させる移動駆動部１５と、回転部１２を制御して保持部１１を回転させた状態で塗広部材１４を接触位置に位置付け、この接触位置からワーク２の外周位置まで塗広部材１４を水平移動させるように移動駆動部１５を制御する制御部１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】塗膜の厚みを一定にできる両面塗工装置を提供する。
【解決手段】両面塗工装置は、ウェブ材Ｗを支持するバックアップローラと、バックアップローラに対向して配置され、ウェブ材Ｗの第１の面に塗料を塗布する第１塗装ヘッドと、ウェブ材Ｗの第１の面の非塗装部分に当接するように環状に突出し、外周に雰囲気を吸い込む吸着穴１４が開口する複数の支持部１１を備える吸着ローラ４と、吸着ローラ４に対向して配置され、ウェブ材Ｗの第２の面に塗料を塗布する第２塗装ヘッド３とを有する。 （もっと読む）

【課題】ウエハ（基板）に対して疎水化処理が正常に行われたか否かを確実に判定することのできる液処理装置を提供する。
【解決手段】疎水化処理を行った集積回路形成用のウエハにレジスト吐出ノズル６７からレジスト（処理液）を供給して塗布膜を形成するレジスト塗布ユニット（液処理装置）は、ウエハを水平に保持する、回転自在な基板保持部と、この基板保持部に保持されたウエハを囲むカップ（囲み部材）と、ウエハの表面に純水（検査液）を供給する純水供給部６０と、ウエハに供給された純水を撮像するカメラ（撮像部）７と、撮像した純水の画像に基づいてウエハが正常に疎水化処理されたものか否かを判定する判定プログラム（判定部）９５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置の各液処理ユニットに処理液を供給するときに、流量の精度を落とすことなく流量制御機構をまとめることができる基板処理装置及び基板処理方法を提供する。
【解決手段】処理液が流れる供給流路６８ａと、供給流路６８ａに処理液を供給する処理液供給部７０と、供給流路６８ａ上に設けられ、供給流路６８ａの流量を制御する流量制御機構１３１と、流量制御機構１３１の下流側に接続される第１の経路６８ｃ又は第１の経路６８ｃと平行に接続される第２の経路６８ｄに切り替える切替機構１３５とを有する。流量制御機構１３１は、供給流路６８ａの流量を計測する流量計測部１３２と、内部に開閉可能な弁を備えた流量制御弁１３３と、流量設定値ＦＳと流量計測値ＦＭとが等しくなるように、流量制御弁１３３を制御する流量制御部１３４とを有する。 （もっと読む）

【課題】広範囲の部分に薬液を均一に塗布すると共に薬液の塗布時間を短縮する。
【解決手段】上面１ａに基板５を載置して水平面内を移動可能にされたステージ１と、ステージ１の上方に配設され、該ステージ１に載置された基板５の上面に圧着して該基板５上に滴下された薬液を所定厚みに押し広げる圧着ヘッド２と、圧着ヘッド２を間にして左右に配設された一対のリール８間に圧着ヘッド２の圧着面２ａ側を経由して掛け渡されたテープ３と、ステージ１と圧着ヘッド２とを相対的に上下動させて基板５と圧着ヘッド２とを、間にテープ３を介在させた状態で互いに圧着可能とする移動手段４と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】
本発明は塗布装置及び塗布方法に関し、ペーストパターン形成時に安定したペーストパターンを形成する装置及び方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の実施形態は、基板を準備するステップと、前記基板にペーストを塗布するステップと、を含み、ペースト塗布速度が加速又は減速される区間を持ち、前記加速又は減速される区間での塗布圧力変化がＮ個の段階で段階毎に行われる。前記ペーストを塗布するステップは、ペースト塗布の加速又は減速される区間での塗布圧力変化を段階化する段階化個数Ｎを算出するステップと、前記加速又は減速される区間でのペースト塗布加速度を算出するステップと、前記加速又は減速される区間での塗布圧力を前記Ｎ個の段階毎に変化させながら、前記算出された塗布加速度でペーストを塗布するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】塗布液の消費量を十分に削減しつつ基板上の塗布液の膜厚の均一性を確保することが可能な基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】時点ｔ０から時点ｔ１までの期間に、基板に溶剤が吐出された後、時点ｔ２で基板の回転が開始される。時点ｔ３で基板の被処理面の中央部にレジスト液が吐出される。時点ｔ４で基板の回転速度が低下し始め、一定時間後に第１の速度となる。時点ｔ５でレジスト液の吐出が停止される。時点ｔ６から時点ｔ７までの期間に、基板の回転が加速され、時点ｔ７で基板の回転速度が第２の速度に達する。時点ｔ７から時点ｔ８までの期間に、基板の回転が減速され、時点ｔ８で基板の回転速度が第３の速度に達する。ここで、時点ｔ７から時点ｔ８までの期間における基板の回転の減速度は、時点ｔ６から時点ｔ７までの期間における基板の回転の加速度よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】複数の曲率の曲面や自由曲面を有する物体上に形成された塗膜に対して、より均一な深さ及び形状をもって切り込みを形成することを目的とする。
【解決手段】複数の刃を有する切り込み工具１００であって、一端に刃５０を、他の位置に突起３３、３４を有する複数の軸部３１、３２と、軸部３１、３２の一部を嵌合する筒状部４１、４２を有する軸受け部４０と、一方向に延在する突起３１、３２の受け部２１を備えるガイド部２０と、刃５０と軸受け部４０との間に配置され、伸縮可能な弾性体６０と、を備え、突起３３、３４が受け部２１に移動可能に嵌合して構成される。塗膜面から受ける過剰な力を弾性体６０の伸縮で分散させ、突起３３、３４をスリット等の受け部２１内で移動させることにより、横方向へのずれを抑制する。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の終端部分における膜厚の落ち込みを防止することができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】基板を載置するステージと、前記ステージに載置された基板に対し相対的に移動しつつ塗布液を吐出することにより前記基板上に塗布膜を形成する塗布ユニットと、前記塗布ユニットに塗布液を供給し、塗布ユニットから塗布液を吐出させる塗布液ポンプと、前記塗布液ポンプを駆動制御することにより前記塗布ユニットから吐出される塗布液の吐出量を制御する制御装置とを有しており、前記制御装置は、前記塗布ユニットから、塗布膜を一定厚さに形成する一定膜厚形成吐出量の塗布液を吐出させるとともに、塗布液ポンプを停止させる前に一定膜厚形成吐出量よりも多量の膜厚補正吐出量の塗布液を吐出させるように前記塗布液ポンプを駆動制御する。 （もっと読む）

【課題】正確にシーラ塗布できるシーラ塗布装置を提供すること。
【解決手段】ワークに対してシーラを吐出する塗布ノズル６５を備えるシーラ塗布装置１において、供給管７１には、前記塗布ノズル６５近傍に配置された切替バルブ７４と、当該切替バルブ７４よりも前記塗布ノズル６５から離間した位置に配置されたカットオフバルブ７６と、が設けられ、シーラの吐出または遮断に際して、前記切替バルブ７４の動作タイミングと前記カットオフバルブ７６の動作タイミングとを離間させる制御部７５を備えることを特徴とするシーラ塗布装置１である。 （もっと読む）

【課題】プライミング処理の信頼性を保障しつつ洗浄液の使用量を一層削減すること。
【解決手段】スリットノズル７２の吐出口をプライミングローラ１４の頂部に対して平行に対向させ、スリットノズル７２に一定量のレジスト液Ｒを吐出させ、そのまま所定時間放置する。次に、プライミングローラ１４の回転を開始して、プライミングローラ１４の外周面上にレジスト液Ｒを巻き取る。次いで、プライミングローラ１４の回転速度を一気に上げて、スリットノズル７２側とプライミングローラ１４側とに分かれるようにレジスト液Ｒの液膜を切り離し、切り離した後もプライミングローラ１４の回転をそのまま継続させて、プライミングローラ１４上のレジスト液膜ＲＭ₁を所定の待機用回転角位置へ着かせる。 （もっと読む）

【課題】基板が載置される載置台に対する塗布部の相対的な速度を大きくすることが可能であり、また、基板における塗布液の膜厚が略均一であるような有効塗布領域を比較的大きくすることができる塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】基台１１上に、当該基台１１の長手方向に沿って一の方向に直線状に移動し、基板Ｓが載置される載置台１６が設けられている。また、基台１１上に、当該基台１１の長手方向に沿って一の方向とは逆の方向である他の方向に直線状に移動し、塗布部３０を支持する塗布部支持機構２０が設けられている。制御部５０は、載置台１６を一の方向に移動させるとともに塗布部支持機構２０を他の方向に移動させ、この際に塗布部３０から載置台１６に載置された基板Ｓに塗布液を供給することにより基板Ｓに塗布液を塗布するよう制御を行う。 （もっと読む）

【課題】配管の揺れによる吐出部の揺れを抑制すること。
【解決手段】基板に塗布液を塗布する塗布装置２０であり、基板を保持する基板保持部と、基板に対して略平行な主走査方向Ｘに沿って延びる主走査方向ガイド部４２と、主走査方向ガイド部４２との間にエア層を介在させた状態で、主走査方向ガイド部４２により主走査方向Ｘに沿って移動可能に支持されたスライダ４４とを有する主走査機構と、スライダ４４により主走査方向Ｘに沿って移動可能に支持され、基板に対して塗布液を吐出する吐出部５０とを備えている。また、主走査方向Ｘに沿って吐出部５０の移動に追従して移動可能な配管支持部材６０が設けられ、配管８０は、途中が配管支持部材６０により支持された状態で、スライダ４４及び吐出部５０に接続されている。 （もっと読む）

【課題】安定した品質の塗膜を形成した基材を供給することが可能な塗膜形成装置及び塗膜形成方法を提供する。
【解決手段】張力を付与されながら搬送されてくる帯状の基材２に塗布した塗工液を乾燥させる乾燥炉１２を備え、搬送されてくる基材２に塗工液からなる塗膜を形成する塗膜形成装置１であって、基材２に対し、基材２の搬送方向と直交する方向への張力を付与する幅方向張力付与部１４を備え、幅方向張力付与部１４を、乾燥炉１２よりも下流に配置した。 （もっと読む）

【課題】画像の絵柄と画像の凹凸パターンとが対応し、且つ高画質な印刷物を容易に得る画像記録方法を提供する。
【解決手段】支持体Ｐ上に画像と該画像に対応した凹凸形状とを記録する画像記録方法であって、画像の画像データの一部を用いて、支持体Ｐ上に選択的に設けられる下地層１０１の画像データである下地層データを生成する工程と、下地層データに基づいて、支持体Ｐ上に選択的に形成材料を溶解または分散させた液状体を塗布することにより下地層を形成する工程と、画像データに基づいて、下地層１０１および支持体Ｐの上に液状体を塗布することにより下地層１０１及び支持体Ｐの表面に接する画像層１０２を形成する工程と、を有し、画像層１０２を形成する工程では、下地層１０１の表面積に基づいて、該下地層１０１の表面を覆う画像層１０２の形成に要する液状体量を制御する。 （もっと読む）