【課題】一つの装置で、粘性を有する液体を一方向に沿って移動する塗布対象面の移動方向と直交する方向に亘って均一の厚みで塗布する機能と、該塗布された液体を剥離する機能とを有し、塗布厚みを自由且つ容易に調整することができる液体塗布・剥離装置の提供。
【解決手段】粘性を有する液体を均一厚みに塗布する機能と、該塗布された液体を剥離する機能とを有する液体塗布・剥離装置2であって、ステー部材20と、液体を均一厚みに塗布するための塗布ブレード24及び塗布された液体を掻き取り剥離するための剥離ブレード25と、塗布ブレード24の先端又は剥離ブレード25の先端の塗布対象面に対する高さ位置を切り替える切り替え機構と、ステー部材20を昇降させることで、塗布ブレード24および剥離ブレード25を一体に昇降させ、突出する塗布ブレード24の先端又は剥離ブレード25の先端を、塗布対象面に接離させる昇降機構と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウエハの反りの状態に依らず、ウエハを保持することができるウエハ保持装置およびウエハ保持方法を提供すること。
【解決手段】ウエハ保持装置は、反りの生じているウエハ１を真空吸着して保持する。ウエハ保持装置は、ウエハ１を真空吸着して保持する吸着チャック１１と、ウエハ１の反りを矯正して、反りの生じているウエハ１を平坦な状態に近づける矯正部２１と、ウエハ１の外周部を保持する吸引ガード３１と、を備える。吸引ガード３１は、矯正部２１の上方にウエハ１を保持する。また、吸引ガード３１は、ウエハ１を支持した状態で下降し、ウエハ１を矯正部２１に押し付ける。これにより、ウエハ１は平坦な状態に近づけられる。この状態で、矯正部２１の下方に位置する吸着チャック１１を上昇させる。吸着チャック１１は、矯正部２１の吸着チャック用開口部２３内を上昇して、ウエハ１の吸着チャック用開口部２３に露出する部分を吸着する。 （もっと読む）

【課題】 シャワーヘッドから塗料を吐出するための液圧の調整を作業中に任意に行うことができるシャワー式塗装装置を得る。
【解決手段】 塗料をシャワー状に吐出して基材の表面に塗装を行うシャワー式塗装装置であって、シャワー板１に設けられた多数のシャワー孔２から塗料を吐出するシャワーヘッド３と、シャワーヘッド３の塗料供給口４に接続されてシャワーヘッド３に塗料を供給する塗料供給容器部５と、塗料供給容器部５の塗料供給口６に接続された塗料供給配管７と、塗料供給配管７を通して塗料供給容器部５に塗料を供給する塗料供給ポンプ８と、塗料供給配管７に分岐接続されて塗料供給配管７及び塗料供給容器部５内の空気及び塗料の排出を行う空気・塗料排出配管９とを備えた。 （もっと読む）

【課題】塗布ヘッドに非適正ノズルが発生した場合でも、その非適正ノズルを適正な状態に戻すメンテナンス作業を行う機会を減少させ、稼働率の低下を抑える。
【解決手段】複数のノズルが所定方向に配列された塗布ヘッドと塗布領域を有する基板とをノズルの配列方向と交差する方向に相対的に走査移動させ、この走査移動時に塗布領域に対向するノズルから液滴を吐出させて塗布領域に塗布液の液滴を塗布する液滴塗布装置において、ノズルからの液滴の吐出状態を検出する検出部と、塗布ヘッドと基板とをノズルの配列方向に相対的に移動させる移動駆動部と、検出部と移動駆動部とを制御する制御部２５とを有し、制御部２５は、検出部２３の検出結果に基づいて各ノズルからの液滴の吐出状態の適否を判定し、非適正ノズルがあるときには、非適正ノズルが塗布領域から外れて位置するよう移動駆動部１０を制御する。 （もっと読む）

【課題】環境への負荷をより低減でき得る塗布装置を提供する。
【解決手段】ディスペンス部は、基板上に半田を塗布するディスペンスヘッドと、基板への塗布に先立って半田塗布が行われる捨て打ち部と、を備えている。捨て打ち部は、上面に半田が試験的に塗布される捨打円盤６１と、捨打円盤６１の上面に密着した状態で設置されたクリーナ部材６２と、を備える。クリーナ部材６２は、捨打円盤６１が回転することで、捨打円盤６１に試験的に塗布された半田を除去し、捨打円盤を再度、試験的塗布が可能な状態にする。 （もっと読む）

【課題】気流を抑制することで基板面に形成される膜パターンの形状のばらつきを低減させ、各膜パターンにおける膜厚を均一にすること。
【解決手段】液体塗布装置１００は、液体吐出ヘッド１０を備えており、液体吐出ヘッド１０を基板１に対して相対的に移動させて基板１の片面１ａに液体を塗布する。この液体塗布装置１００は、液体吐出ヘッド１０の基板１の片面１ａにおける液体２が塗布されている部位に配置されたプレート４を備えている。プレート４には、基板１の片面１ａとプレート４の一方の面４ａとで挟まれた空間Ｒに揮発した液体揮発成分を、プレート４の基板と対向しない面４ｂ側に通過させる複数の細孔が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤパッケージ製造システムにおいて、個片のＬＥＤ素子の発光波長がばらつく場合にあってもＬＥＤパッケージの発光特性を均一にして、生産歩留まりを向上させることができる樹脂塗布装置および樹脂塗布方法を提供する。
【解決手段】ＬＥＤ素子を蛍光体を含む樹脂によって覆って成るＬＥＤパッケージの製造に用いられる樹脂塗布において、樹脂８を発光特性測定用として試し塗布した透光部材４３を光源部を備えた透光部材載置部４１に載置し、光源部から発光された励起光を透光部材４３に塗布された樹脂８に照射することによりこの樹脂８が発する光の発光特性を発光特性測定部３９によって測定した測定結果と予め規定された発光特性との偏差を求め、この偏差に基づいて実生産用としてＬＥＤ素子に塗布されるべき樹脂の適正樹脂塗布量を導出する。 （もっと読む）

【課題】、本発明は、基板の搬送に関して、非接触型の搬送が可能となる新たな技術的手段を備えた塗布システムを提供する。
【解決手段】基板Ｗを浮上させる浮上ユニット１０及び浮上させた基板Ｗを搬送する搬送ユニット２０を有する搬送装置１と、搬送される前記基板Ｗの上面に対して塗布液を吐出するノズル３１を有している塗布装置３とを備えている。浮上ユニット１０は、振動子６と、この振動子６の動作に起因して振動し当該振動による放射圧によって基板Ｗを浮上させる振動板７とを有しており、この振動板７は、ノズル３１の直下位置に設けられていること。 （もっと読む）

【課題】自動溶射装置及びその方法において、高精度な溶射作業を可能として処理コストの増加を抑制可能とする。
【解決手段】動翼２４の表面に溶射材を溶射する溶射装置５１と、動翼２４の表面形状を３次元測定可能な３次元測定器５２と、３次元測定器５２が測定した動翼２４の表面形状に基づいて溶射装置５１を作動して動翼２４の表面にセラミック遮熱コーティング層を形成する制御装置５３と、溶射後に動翼２４の表面に形成されたセラミック遮熱コーティング層の膜厚を検出する膜厚検出装置５４と、膜厚検出装置５４が検出したセラミック遮熱コーティング層の膜厚が予め設定された所定膜厚範囲内にあるかどうかを判定する膜厚判定装置５５とを設ける。 （もっと読む）

【課題】効率よく液体噴射ヘッド内の流路を加熱することができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】列状に並んだ複数のノズル２３から構成されたノズル列２７を形成し、前記ノズルに連通する流路を備えた流路ユニット２４と、該流路ユニットの前記流路に液体を供給する共通液体流路２９を形成し、前記流路ユニットが接合されたヘッドケース１９と、該ヘッドケースの側面に装着され、発熱可能な一連の電熱線４６を複数折り返して備えたシート状のヒーター２５と、を備えた液体噴射ヘッドであって、前記共通液体流路に対向する箇所の近傍の領域に配設された電熱線が、当該領域以外に配設された電熱線より細い構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】塗布された塗布液の膜厚の均一性を改善する。
【解決手段】塗布液を吐出している吐出部を基板に対して相対移動させることによって該基板に塗布液を塗布して塗布膜を形成する塗布装置であって、基板に塗布液を吐出する吐出部と、前記吐出部を前記基板に対して相対移動させる移動機構と、前記吐出部と前記移動機構とを用いて試行的に形成された塗布膜の膜厚情報を取得する取得部と、速度変更部とを備える。そして、前記速度変更部は、前記基板に対して相対移動中の前記吐出部の移動速度を前記膜厚情報に応じて変更する。 （もっと読む）

【課題】膜厚が均一な厚膜の塗布膜を形成する方法を含む半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】高粘度のレジスト３塗布によって形成された半導体ウェハ外周部分の盛り上がり部を有する第一の塗布膜上にダイナミックディスペンスにて低粘度のレジストを高回転で塗布し、盛り上がり部の膜厚を第一の塗布膜の膜厚と第二の塗布膜の膜厚の和と同程度にする。 （もっと読む）

【課題】スラリー状の樹脂に含有されるフィラーがシリンジの底部に溜まることを防止して、フィラーが均一に分散した状態の樹脂を供給することができる充填装置を提供する。
【解決手段】ポッティング装置１は、粒状の蛍光体Ｆを含有したスラリー状の液状樹脂材Ｒが貯留されるシリンジ２と、シリンジ２の軸心に位置する回転シャフト３１に沿って設けられた螺旋状の撹拌翼３２と、回転シャフト３１を回転させて撹拌翼３２を回転させ、液状樹脂材Ｒを上方へ誘導する駆動部４とを備えている。このシリンジ２は、円筒状の胴部２１と、胴部２１の下端に設けられ、液状樹脂材Ｒが排出される供給口２２２を有する漏斗状の先端部２２とにより形成されている。そして、撹拌翼３２の先端が、回転シャフト３１の先端部３１１と共に、シリンジ２の先端部２２内に位置していることで、蛍光体Ｆを液状樹脂材Ｒと共に上方へ誘導して撹拌することで、均一に分散させる。 （もっと読む）

【課題】従来の液滴吐出装置では、描画品位を維持することが困難である。
【解決手段】機能液５３を吐出する吐出ヘッド３３と、機能液５３を貯留する第２タンク１１７と、第２タンク１１７内の機能液５３を吐出ヘッド３３に導く第２供給管１１９と、第２タンク１１７内の機能液５３を第２タンク１１７外に排出する第１排出管１２１と、を有し、第２タンク１１７は、第２タンク１１７内の機能液５３を第２供給管１１９に供給する供給口と、第２タンク１１７内の機能液５３を第１排出管１２１に排出する第１排出口と、を有しており、第１排出口は、供給口よりも、鉛直方向で上方に位置している、ことを特徴とする液滴吐出装置。 （もっと読む）

【課題】鋼製ロープなど外周面にスパイラル状の凹凸のある長尺材の外周方向及び長手方向に、揮発性の高い接着剤を変質なく付着させて、周方向の凹凸にムラなく、かつ長手方向の膜厚変動を抑制する接着剤塗布装置を提供する。
【解決手段】鋼製ロープ１など外周面にスパイラル状の凹凸のある長尺の被塗布材への接着剤塗布装置であって、接着剤４１を貯蔵する温度調節可能な溶液タンク１１と、所要量の接着剤を送り出す吐出機構２６と、前記被塗布材１を移動させながら挿通させ、挿通の途中において、前記吐出機構２６から送り出された接着剤を供給穴から吐出して前記被塗布材１に付着させる筒状ノズル２と、前記被塗布材１上に付着した接着剤の膜厚を調整する絞り機構３を備えている。 （もっと読む）

【課題】低粘度塗工液を用いて基材の表面に高精度の均一な塗膜塗工が可能であり、振動などの外乱を受ける状況でも安定した高精度均一塗工が実施できる、ダイヘッドを用いた塗布装置を提供する。
【解決手段】塗工液６の塗布量を決定するための塗布量制御パラメータに基づいて塗工液の塗布量を制御する塗布量制御装置１０と、基材２に塗工された塗工液の塗布膜厚と相関性を持つ状態量をリアルタイムに測定する状態量検出機構１２と、状態量に応じて予め定められた塗布量制御パラメータを記憶する制御量記憶手段１４とを備える。塗布量制御装置１０は、状態量検出機構１２によって測定された状態量に対応する塗布量制御パラメータを制御量記憶手段１４から特定すると共に、特定した塗布量制御パラメータに基づいて塗布量の制御を行う。 （もっと読む）

【課題】ウエブの両面に塗工液を塗工する場合に、表塗工部分と裏塗工部分の位置合わせを正確に行うことができる塗工装置を提供する。
【解決手段】制御部３４は、ウエブ修正装置５０を用いてウエブにおける表塗工部分２と裏塗工部分１の左端部を一致させ、次に、表塗工部分２の右端部と裏塗工部分１の右端部とを検出し、これらが一致しない場合には、その中央分が一致するようにウエブ修正装置５０によってウエブを幅方向に移動させる。 （もっと読む）

【目的】 塗布液微粒子の再付着を防止し塗布される膜厚を比較的簡単な構造で効果的に均一化することが可能な比較的小型なスピンコータを廉価に実現する。
【構成】 被塗布材である基板３を水平に保持して回転する回転テーブル１と、この回転テーブル１の周囲を覆うように構成され、基板３から飛散する塗布液を受け止めるカップ６とを備え、基板３の表面上に滴下される塗布液を基板３の表面上に遠心力で拡散させて塗布するスピンコータにおいて、カップ６の底部中心の開口部に接続されて排気を誘導する排気誘導ボックス７を設け、この排気誘導ボックス７を介してカップ６の内部の排気を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大気開放系において塗液の変性を抑え、長時間の連続運転でも安定的な塗膜を得ることができる塗工装置及び塗工方法を提供する。
【解決手段】グラビアロールを用いた塗工に用いられ、塗液供給装置から塗液を供給される液受けパンにおいて、前記液受けパンの端部と前記グラビアロールの端部との間隔が、一方で＋５０ｍｍ以内、他方で＋５０ｍｍ以内に設置すること、前記液受けパンの底部に複数の塗液供給口を設けたこと、塗液の消費量に応じて塗液を供給する機構を備えたこと、を特徴とする塗工装置。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物上に形成された塗布膜の膜厚の均一性の低下を抑制できる成膜装置、成膜方法及び電子デバイスを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、塗布対象物を載せるステージと、塗布対象物の表面の法線方向を回転軸としてステージを回転する回転機構と、塗布対象物の表面に塗布材料を供給する塗布ノズルと、ステージ上における塗布ノズルの位置を塗布対象物の表面に沿って移動させる塗布移動機構と、回転機構と塗布移動機構を制御して、ステージを回転させると共にステージの回転中心部と外縁部間で塗布ノズルの位置を移動させながら、塗布ノズルを制御して塗布対象物の表面に塗布材料を塗布させる制御部と、塗布対象物上に塗布材料を塗布して形成された塗布膜の表面に照射する音波を発生する音波発生装置とを備え、音波を塗布膜の表面に照射する。 （もっと読む）