【課題】基板上に塗布膜を効率よく形成し、基板処理のスループットを向上させる。
【解決手段】ウェハ処理装置において、ウェハＷの表面Ｗ_１に紫外線を照射し、当該表面Ｗ_１を洗浄する（図１８（ａ））。その後、ウェハＷの表面Ｗ_１全面に密着剤Ｂを塗布し（図１８（ｂ））、当該密着剤Ｂを焼成した後（図１８（ｃ））、密着剤Ｂをリンスして、ウェハＷ上に密着膜Ｂ_Ｆを成膜する（図１８（ｄ））。その後、ウェハＷの密着膜Ｂ_Ｆ上に光重合開始剤を有するレジスト液Ｒを塗布する（図１８（ｅ））。その後、ウェハＷ上のレジスト液Ｒに所定の光量の紫外線を照射し、当該レジスト液Ｒを、ウェハＷ上で拡散せず、且つ凝集しないような流動性を有する半硬化状態にする。そして、ウェハＷ上に半硬化状態のレジスト膜Ｒ_Ｆを成膜する（図１８（ｆ））。 （もっと読む）

【課題】接着剤塗布装置および接着剤塗布方法において、接着剤を塗布する際、接着剤が過剰に塗布された場合でも、過剰分を被塗布体から除去して被塗布体に塗布される接着剤の量を調整する。
【解決手段】被塗布体Ｗに接着剤６を供給するシリンジ７と、接着剤６を毛細管現象によって吸引するスリット１３ａが設けられたカラスグチ１３と、カラスグチ１３を被塗布体Ｗに対して相対移動させ、カラスグチ１３を被塗布体Ｗに供給された塗布接着剤４に接触させるテーブル１２および電動ガイド１１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基材に対して良好に塗布膜を塗布することができる塗布装置、および、この塗布装置を組み込んだ塗布膜形成システムを提供する。
【解決手段】ノズル１１の第１回転角θ１は、膜厚測定部１９により取得された塗布済膜の形状に応じて演算される。そして、塗布開始期間におけるノズル１１の姿勢が第１回転角演算部９３ｃにより演算された第１回転角θ１となるように、第１駆動制御部９３ａがノズル１１を揺動させた状態で、塗布膜７が基材５上に形成される。これにより、塗布開始期間における塗布膜７は、「かすれ」や「盛り上がり」等の発生が抑制され、均一な膜厚とされる。 （もっと読む）

【課題】非塗布時において、大量の塗布液の使用及び廃棄をすることなく、マニホールド内に気泡の混入がなく、ダイリップ及びスロットの洗浄作業で作業者の腕又は服を汚すことがなく、洗浄液又は塗布液の飛散によりエッジガイドの汚損が少なく、エッジガイドの汚損により膜厚均一性が損われることがないカーテン塗布方法等の提供。
【解決手段】スロット型ダイを有するスロット型のカーテン塗布方法であって、非塗布時には、スロット型ダイの塗布液の吐出方向を、水平乃至水平より前記支持体と反対方向に傾ける。スロット型ダイが一対のエッジガイドと一体、同期又は独立して回動し、一対のエッジガイドを該一対のエッジガイドの塗布時位置から移動させる態様、スロット型ダイの吐出口からの塗布液の吐出量がカーテン膜を形成する量より少ない時には、一対のエッジガイドを該エッジガイドの塗布時位置から塗布液の落下する領域を除く位置に移動させる態様などが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ペーストの塗布性能を向上させ、燃料電池の電池性能を向上させることができるペースト塗布装置を提供する
【解決手段】除去部１２５を構成する部分は、塗布ロール１１０の回転中心軸線方向ＣＬから見て、仮想線Ｌ１上、または仮想線Ｌ１よりも回転方向Ｄ３における上流側にのみ設けられている。すなわち、除去部１２５は、当該仮想線Ｌ１よりも回転方向Ｄ３における下流側に迫り出した部分を有さない構造となる。エッジ部１２３に連結されている折返し面１２２は、仮想線Ｌ１上、または仮想線Ｌ１よりも回転方向Ｄ３における上流側に配置されているため、エッジ部１２３で膜厚調整及び表面仕上げされたペースト表面を引っ張ることなく、平滑な状態を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】片伸びが生じた支持体の全域に均一な膜厚の機能性膜を形成する。
【解決手段】長尺帯状の支持体１０を走行させる走行装置２と、支持体１０に樹脂材料（機能性膜形成用塗料としての光学膜形成用塗料）Ｒを塗布する塗布装置３とを備えて、走行装置２によって支持体１０を走行させつつ、塗布装置３によって支持体１０の一方の面１１に樹脂材料Ｒを塗布することによってハードコート膜ＨＣ（機能性膜としての光学膜）を形成する光学膜形成システ（機能性膜形成システム）１であって、支持体１０を吸引する正圧吸引装置４を備え、正圧吸引装置４は、塗布装置３による塗布処理位置に配設されて、支持体１０の他方の面１２（一方の面１１の裏面）に向けて気体を吹き付けることによって正圧吸引装置４と支持体１０との間に負圧を生じさせて支持体１０を非接触状態で吸引して保持する。 （もっと読む）

【課題】
塗布膜厚ムラが小さなウェブを得ることができる塗料塗布装置を提供すること。
【解決手段】
ウェブ上の塗布膜厚を検出する塗布膜厚計と、その結果に基づいて塗布装置上流側にある搬送ロールの高さを調整して塗布膜厚を自動制御する塗布装置からなる構成を有する。 （もっと読む）

【課題】ノズル毎のインク吐出量のバラツキによって発生する濃度ムラ、かつ視覚的なざらつき感による品質低下がなく、高品質な有機機能性素子を製造できるインクジェットパターン形成装置を提供する。
【解決手段】複数のマトリクス状の隔壁に囲まれた吐出領域が設けられた基板上に、複数のノズルを有するインクジェットヘッドを少なくとも１個用い、吐出パターンデータにより前記ノズルからインクを吐出して濃度ムラを解消した機能層を少なくとも１層形成するインクジェットパターン形成装置において、機能層を形成する際に、吐出パターンデータは、所定の面積からなる任意の領域に存在する開口部のインクの平均量を均一にするための基準データと前記基準データを調整する調整テーブルと多値誤差拡散法によって算出する工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】表面を印刷する装置であって、運動可能な複数の印刷ヘッドを備え、印刷ヘッドは、それぞれ個別に制御可能な複数のノズルを備えており、印刷ヘッドのための少なくとも１つの印刷位置および少なくとも１つの休止位置を備え、印刷ヘッドは、各位置に移動可能であるものを改良して、任意に成形された表面の印刷を実現するものを提供する。
【解決手段】少なくとも１つの第１の印刷ヘッド３ａと第２の印刷ヘッド３ｂ〜３ｄとが、それぞれ異なるノズル配置構造１０ａ〜１０ｄを備えており、第１のモードでは、第１の印刷ヘッド３ａは、印刷位置５ａに配置されていて、第２の印刷ヘッド３ｂ〜３ｄは、休止位置５ｂ〜５ｄに配置されており、第２のモードでは、第１の印刷ヘッド３ａは、休止位置５ｂ〜５ｄに配置されていて、第２の印刷ヘッド３ｂ〜３ｄは、印刷位置５ａに配置されている。 （もっと読む）

【課題】バー状乃至ロール状の回転体にて掻き上げられた塗布液がオーバーフローする部分とオーバーフローしない部分との境界での塗布スジの発生が無く、膜厚が均一な塗布膜を効率よく形成することができるロッド塗布方法及びロッド塗布装置の提供。
【解決手段】バー状乃至ロール状の回転体３がウエブに接触して回転し、前記ウエブとの接触部に液溜め部４が形成されるように塗布液を供給し、前記バー状乃至ロール状の回転体３と前記ウエブ間にて過剰の塗布液を掻き落として所望の塗布量として塗布するロッド塗布方法において、前記バー状乃至ロール状の回転体３により掻き上げられた塗布液の膜幅と、掻き落されて戻る塗布液の膜幅とが略同一となるように塗布するロッド塗布方法。 （もっと読む）

【課題】簡単に画像の意匠性を向上させることができる描画装置及び描画方法を提供する。
【解決手段】描画装置は、ワークＰに対して液体Ｌを噴射する走査型液体噴射ヘッドと、ワークＰを載置しつつ副走査方向に搬送するワーク搬送テーブル６と、ワーク搬送テーブル６のワーク載置面６ａに配置された複数の温度差発生素子３０と、ワークＰに描画する画像データに基づいて、画像の外周部に対向する位置に配置された温度差発生素子３０ａにより、画像の外周部に着弾した液体Ｌａと他の領域に着弾した液体Ｌとの間に温度差を発生させる温度差発生部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】スリット状の吐出口から被処理基板に対して処理液を吐出し、塗布膜を形成する塗布膜形成方法において、ノズル吐出口のビード量およびノズル吐出口からの吐出圧力の変化に拘わらず、現場オペレータの熟練度に依存することなく、安定した膜厚形成を行うことができ、基板に形成される塗布膜の有効面積を広範囲なものとする。
【解決手段】経過時間Ｔｓにおける推定膜厚Ｔｈは、式（１）により規定され、前記式（１）の推定膜厚Ｔｈに目標膜厚を代入し、基板Ｇの相対的移動速度Ｖを変数とすることにより、時間Ｔｓごとに前記基板の相対的移動速度Ｖを求めるステップと、前記時間Ｔｓごとに求められた前記基板の相対的移動速度Ｖに従い、ノズル吐出口に対する前記基板の相対的移動速度を制御するステップとを含む。
Ｔｈ＝（ΔＢ＋Ｑ）・β／（Ｔｓ・Ｖ・Ｌ） ・・・（１） （もっと読む）

【課題】薄膜成膜装置および薄膜成膜方法において、塗布液の蒸発を抑制する設備を設けなくても、高精度な膜厚を有する薄膜を形成できるようにする。
【解決手段】塗布液８を被成膜体４に供給する塗布液供給部６と、被成膜体４を保持する保持部２と、塗布液８を薄膜化する回転駆動部３と、薄膜化された塗布液８の膜厚を測定する膜厚測定部６と、膜厚の変化から薄膜化された塗布液８の粘度および密度を算出する塗布液特性算出部と、回転駆動部３の回転制御を行う回転制御部と、を備え、回転制御部は、回転を開始し塗布液８が有効塗布領域Ｅまで拡がったことを検出してから、塗布液８の拡がりが停止する第１の回転速度に回転駆動部３の回転速度を制御し、塗布液８の粘度および密度が算出された後に、これに基づいて目標塗布膜厚を得るための第２の回転速度を算出して、回転駆動部の回転速度を第２の回転速度に切り換える構成とする。 （もっと読む）

【課題】液体が液垂れすることによる不良品の発生を抑制する。
【解決手段】芯体１２への塗布が終了した後、遮断部材６２を芯体１２の塗布開始端側に向かって遮蔽位置へ移動させる。これにより、吐出部５６Ｃのノズル５６Ｅと芯体１２との間が遮蔽された状態とする。 （もっと読む）

【課題】レジストを均一な厚さに塗布することができるレジスト塗布方法を提供する。
【解決手段】本発明のレジスト塗布方法は、搬送ロールにより長尺の基材を搬送するとともに、レジスト供給部から引き上げロールを介して転写ロールにレジストを供給し、転写ロールにより基材にレジストを塗布する方法であって、レジスト塗布領域の両端部に当該基材の長さ方向に沿って延びる溝部を有する基材のレジスト塗布領域に、転写ロールからレジストを転写することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ダイコータで、ガラス基板とダイ間のクリアランスを全幅に渡って略均一に非常に小さくすることで、ガラス基板に非常に薄い塗布膜を形成できる塗布装置および塗布方法、並びにディスプレイ用部材の製造方法を提供する
【解決手段】スリット状の吐出口を有する塗布器から、塗布液を被塗布部材上に吐出して塗布膜を形成する塗布方法で、被塗布部材表面が高さＨだけエアー浮上されて保持されている被塗布部材に、塗布器の吐出口面がＨ−６０μｍ〜Ｈ＋５０μｍの高さに位置するよう塗布器を近接させ、吐出口より塗布液を吐出しながら、塗布器および被塗布部材の少なくとも一方を相対的に移動させて、被塗布部材上に塗布膜の形成を行う塗布方法。 （もっと読む）

【課題】塗布層の面の乱れの発生を安定して抑えることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】搬送される帯状のウェブに塗布装置を用いて塗布を行う塗布方法であって、塗布装置は、ウェブの片面に、最終的に得ようとする所望の塗布厚みよりも過剰量の塗布液を塗布するプレコート部と、プレコート部に対してウェブの搬送する方向の下流側に位置し、塗布液の一部を掻き落とす掻き落とし部と、掻き落とし部によって掻き落とされた塗布液を回収する回収ラインとを、備え、プレコート部で塗布する塗布液の量の変化に対する液溜まり部の圧力変化を抵抗係数Ｒとし、液溜まり部の抵抗係数をＲ１とし、回収ラインがないときの抵抗係数をＲ０としたとき、１＜Ｒ１／Ｒ０≦１．７を満たす。 （もっと読む）

【課題】異なる塗工条件に低コストで対応できるとともに、塗工膜の厚みを高精度に管理することができる塗工装置、塗工方法及び電極製造方法を提供すること。
【解決手段】塗工装置は、基材１の表面に塗工材２を塗工する塗工ダイと、塗工ダイの上流側に設けられ塗工材２のビード２ａ上流側を減圧する減圧用スリットとを有する。塗工ダイは、上流側ブロック２１と下流側ブロック２５とを有し、上流側ブロック２１と下流側ブロック２５との間には、塗工材２を吐出するための塗工用スリット２６が形成される。上流側ブロック２１は、上流側から順に第１のパーツ２２、第２のパーツ２３及び第３のパーツ２４に分割形成される。第２のパーツ２３のリップ面２３ａは、第１のパーツ２２のリップ面２２ａ及び第３のパーツ２４のリップ面２４ａより凹んだ位置に配置されて、第２のパーツ２３のリップ面２３ａを底面とする凹部２７が形成される。 （もっと読む）

【課題】コータヘッドと液体が塗布される被塗布体との距離を迅速かつ高精度に測定する。
【解決手段】コータヘッド１１は、保持部２に面し第１の開口１２と同一面上に位置する第２の開口２０を備えた少なくとも１つの内側空間部２１を有している。距離測定器２２は、被塗布体３または保持部２、及び第２の開口の位置２０に設けられレーザ光を反射する遮へい体２３ａを測定位置として、内側空間部２１を通してレーザ光を出射することにより、被塗布体３または保持部２と距離測定器２２との距離である第１の距離Ｄ１、及び遮へい体２３ａと距離測定器２２との距離である第２の距離Ｄ２を、同時にまたは別々に測定する。距離算出器２２は、第１の距離Ｄ１と第２の距離Ｄ２との差分に基づき、コータヘッド１１の第１の開口１２と被塗布体３または保持部２との距離である第３の距離Ｄ３を算出する。 （もっと読む）

【課題】不良品の発生を抑制しつつ塗布作業の効率を高める。
【解決手段】シートＷのＸ方向及びＹ方向それぞれに複数並んで形成されている画素部Ｇに対して塗布液を吐出するノズル９が、Ｙ方向に並んで複数設けられている塗布ヘッド７と、シートＷに対して塗布ヘッド７をＸ方向及びＹ方向に移動させる駆動装置１２と、Ｙ方向に並ぶ画素部Ｇに対してノズル９から塗布液を同時に吐出させる単位塗布動作を実行する制御を行う塗布動作制御部１４と、画素部Ｇを撮像するカメラ５を有し画素部Ｇの座標を取得する座標取得部２４と、取得した座標に基づいて、Ｙ方向に並ぶ複数の画素部Ｇのうち、前記単位塗布動作によって正規の位置に塗布液の滴下が可能となる画素部数を算出する演算部１５とを有している。 （もっと読む）