【課題】基板に塗布される液状体の厚さをより均一にすること。
【解決手段】所定の吐出領域に液状体を吐出するノズルを有する塗布部と、前記吐出領域を通過するように前記基板を浮上させて搬送する基板搬送部と、前記基板搬送部に設けられ、前記吐出領域での前記基板の浮上量を検出する検出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】泡の加熱効率の悪化を抑制する。
【解決手段】処理液タンク２０Ａに収容された処理液３４を泡３２にして塗布ローラ２０Ｃへ供給する泡供給手段２０Ｂと、塗布ローラ２０Ｃが用紙１２に塗布した泡３２以外の余剰泡３２Ａを回収する回収手段７０と、回収された余剰泡３２Ａを貯留する第２貯留室７２と、第２貯留室７２を加熱して貯留された余剰泡３２Ａを処理液に戻す加熱装置７４と、第２貯留室７２内に洗浄液を供給して貯留する洗浄液供給路７５と、液状に戻された処理液及び洗浄液を処理液タンク２０Ａへ流入させる還元流路７６と、を有する。 （もっと読む）

【課題】液滴の着弾位置の精度を向上させるとともに、塗布する液滴量を均一化させる。
【解決手段】ワークに向けて液滴吐出ヘッドから機能液を液滴として吐出させる制御部を備え、前記制御部は、前記液滴の吐出速度を所定速度に調整させ、次いで、調整した前記吐出速度によって吐出される前記液滴の重量を測定させ、次いで、測定した前記液滴の重量に基づいて、前記機能液の塗布量に対応する前記液滴の吐出数を演算させ、次いで、前記所定領域に向けて演算された前記吐出数の前記液滴を吐出させる。 （もっと読む）

【課題】ノズルのプライミング処理において、ローラによる薬液の巻き取り距離および巻き取り量を少なくし、ローラの洗浄も容易にする方法を提供すること。
【解決手段】プライミングローラ２３の長手方向の直上に沿って、ノズル１０のスリット状吐出口を対峙させた状態において、前記ノズルより前記ローラに薬液Ｒを吐出させて、前記ノズルとローラとのギャップ間に薬液が介在される着液ステップが実行される。この後に、前記プライミングローラ２３上に吐出された薬液Ｒを一時的にノズル側に吸引するサックバックステップが実行される。前記サックバックステップの実行により、ローラによる薬液の巻き取り距離が短縮できるので、１つのローラにおいてプライミング処理に利用できる回数を増大させることができる。 （もっと読む）

【課題】ノズルのプライミング処理に用いる洗浄液の消費量を低減し、且つ、基板への塗布膜形成の際に、スリット状のノズル吐出口から処理液を均一に吐出する。
【解決手段】プライミング処理手段２０は、プライミングローラ２３と、前記プライミングローラに沿って延設され、前記処理液を吸収し保持可能な処理液吸収部材２４と、前記処理液吸収部材の長手側を前記プライミングローラのローラ面に対して進退移動させる進退移動手段２９とを備え、所定方向に回転するプライミングローラのローラ面に対し、ノズル１６の吐出口１６ａから処理液Ｒが吐出されることによりプライミング処理が施され、前記進退移動手段により前記プライミングローラのローラ面に対し接触または近接された前記処理液吸収部材により、前記プライミングローラのローラ面に付着した処理液が吸収除去される。 （もっと読む）

【課題】インク吐出工程における雰囲気の温度変化や吐出ノズルの温度変化によるノズルの変形を防止して、液体インクの吐出量を安定化させる吐出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のノズル孔２０１を有する吐出ノズル２０２を有し、前記吐出ノズル２０２の前記ノズル孔２０１から液体インクを吐出させる吐出装置であって、前記吐出ノズル２０２には、前記吐出ノズル２０２の温度を調整するための温度調整手段と、前記吐出ノズル２０２の変形を計測するための位置センサ２０３とを配置しており、温度調整手段として、一定温度に調整された液体を循環させる循環液配管が、ノズル孔２０１に対向した位置の吐出ノズル２０２面に配置された構成である。 （もっと読む）

【課題】 例えば太陽電池用のフィンガー配線パターンなどのパターンを、その開始端も含めて均一に形成することができるパターン形成方法およびパターン形成装置を提供する。
【解決手段】 ペーストに加えるせん断応力の増加に応じたペーストの粘度変化（粘度特性）を測定する（ステップＳ１０）。測定した粘度特性に応じて、ノズルからのペーストの吐出を開始する際における基板の移動速度条件を調整する（ステップＳ２０）。調整された速度条件で基板を移動させるとともにノズルからペーストを線状に吐出して基板上に線状のフィンガー配線パターンを塗布形成する（ステップＳ３０）。 （もっと読む）

【課題】処理液ノズルからの処理液の吐出の有無及び処理液ノズルから吐出される処理液の吐出状態の変化の有無を正確に判定することができる液処理装置を提供すること。
【解決手段】基板Ｗの表面に、処理液供給部７から塗布液Ｒを供給して基板の表面に向けて吐出させて液処理をする液処理装置において、処理液の流路１０ｅを形成したノズル１０と、ノズルの先端部１０ｄから基板表面Ｗ１間の領域に光Ｌを照射する光源１１０と、ノズルと基板表面間の領域を撮像する撮像部１７と、ノズルから基板に向けて処理液を吐出するための吐出信号を出力すると共に撮像部により撮像を開始させる制御部９ａと、基板に向けて吐出される処理液中に光が入射して処理液に反射されたときの光の明暗を撮像する撮像結果に基づいて識別することによって、ノズルからの処理液の吐出の有無及びノズルから吐出される処理液の吐出状態の変化の有無を判定する判定部９ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】被覆層の形成を好適に行うことが可能となるようにすること。
【解決手段】被覆層形成システム１０は、形成対象部品に被覆層を自動的に形成するための被覆層形成装置１１を備えている。被覆層形成装置１１における土台ユニット１２の上面には、複数の形成対象部品を並べた状態で支持するための支持台１３が設けられている。また、土台ユニット１２には支持枠ユニット１４が設けられている。支持枠ユニット１４において横方向に延びるガイドベース１６には、液剤を収容した貯留タンク１７と、当該貯留タンク１７に収容された液剤を形成対象部品に付与して被覆層を形成するための付与装置１８と、が一体化された搬送装置１９が取り付けられている。各形成対象部品に対する付与装置１８の相対位置は自動的に変更されるとともに、付与装置１８からの液剤の付与も自動的に行われる。 （もっと読む）

【課題】塗布液例えばレジスト液の供給量が少ない場合でも、基板の表面に均一に塗布膜を形成することができる技術を提供する。
【解決手段】塗布方法は、基板（Ｗ）の中心にプリウエット液を供給するとともに基板を回転させてプリウエット液を第１の基板の表面全体に拡散させるプリウエット工程と、プリウエット液が供給された基板に塗布液（例えばレジスト液）を供給し、これを乾燥させることにより前記第１の基板の表面に塗布膜を形成する塗布膜形成工程とを備える。プリウエット液として、塗布膜成分（例えばレジスト成分）を溶解しうる溶剤と、この溶剤よりも表面張力が高い高表面張力液体とを混合することにより得た塗布液よりも表面張力が高い混合液体を用いる。溶剤と高表面張力液体とを別個に用意し、プリウエット液を供給する際に溶剤と高表面張力液体とを混合する。 （もっと読む）

【課題】塗布膜厚分布の高さ検出を所定精度でいつでも検出を可能にし、膜厚分布測定ができない時は、塗布を停止して不良製品流出を回避する。常に検出器の較正を行い膜厚分布の測定を可能とし、生産性・稼働率で高品質製品の生産を可能とする塗布方法および塗布装置を提供する。更にこの方法および装置を用い高品質で高生産性を維持したプラズマディスプレイ用部材の製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】塗布前に被塗布部材９の表面高さを検知するステップと、被塗布部材に塗布膜を形成するステップと、塗布後に被塗布部材の表面高さ９ａを検知するステップと、塗布前後の被塗布部材の高さより塗布膜の厚さを演算して求めるステップと、を有する塗布方法で、塗布前後の表面高さを検知するステップの前、中または後に連続して、異なる高さの２以上の基準面を持つ基準器６を用い基準器高さを測定する塗布方法。 （もっと読む）

【課題】大面積基板上にインクを塗布する場合に対応して、不吐出ノズルや着弾精度が悪い不良ノズルなどを正確に検知することができるインクジェット装置を提供する。
【解決手段】印刷媒体である基板３と吐出検査用プレート６とを同じ高さに配置する。これにより基板３上での塗布結果と、吐出検査用プレート６上での塗布結果との間に相関を取ることができる。このため、吐出検査用プレート６上での検査パターンの塗布結果を基に、塗布液滴の位置ずれやノズルの不吐出状態を補正することによって、基板３上への塗布状態を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】従来の液滴吐出装置では、描画品位を向上させることが困難である。
【解決手段】記録シートＷに対向し、液状体を液滴の状態で記録シートＷに向けて吐出する吐出ヘッド３３と、記録シートＷを搬送する搬送装置と、記録シートＷの吐出ヘッド３３側において、記録シートＷに対向して設けられ、記録シートＷとの間の空間に対して熱を授受する複数の温度調節器１３と、を有し、複数の温度調節器１３は、記録シートＷの搬送方向であるＹ方向で吐出ヘッド３３の上流側に設けられた温度調節器１３ａと、Ｙ方向で吐出ヘッド３３の下流側に設けられた温度調節器１３ｂと、を含む、ことを特徴とする液滴吐出装置。 （もっと読む）

【課題】原料ペレットの詰まりが防止され、且つ速やかに溶融され、短時間で、効率よく接着剤を塗布することができるホットメルトアプリケータを提供する。
【解決手段】ホットメルト接着剤（ポリアミド系ホットメルト接着剤等）の原料ペレットが供給されるシリンダ１、及びシリンダ１内に回転可能に配置されたスクリュー２、を有するスクリュー式押出機１０と、シリンダ１内で溶融したホットメルト接着剤が送り込まれるとともに、被塗装体にホットメルト接着剤を塗布するための塗布ガン５と、を備え、シリンダ１のうちの原料ペレットが供給されるペレット供給部１１を冷却するための冷却手段１２（フィン、水冷等）と、ペレット供給部１１より下流側に位置するシリンダ１の下流部１３を加熱するための加熱手段１４（バンドヒータ等）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】微粒子を含有するスラリーを用いて得られる微粒子含有塗膜の乾燥工程における、膜厚を適切に算出することのできる微粒子含有塗膜の膜厚算出方法を提供すること。
【解決手段】微粒子および溶媒を含むスラリーを基材上に塗布して得られる微粒子含有塗膜の膜厚を算出する方法であって、微粒子含有塗膜の乾燥初期における、溶媒の気化による膜厚の減少量から求められる膜厚減少直線と、微粒子含有塗膜の完全乾燥時の膜厚である乾燥膜厚から求められる乾燥膜厚直線と、これらの交点である膜厚変化停止点とを求め、膜厚変化停止点までは膜厚減少直線を用いて、微粒子含有塗膜の膜厚を算出し、膜厚変化停止点からは乾燥膜厚直線を用いて、微粒子含有塗膜の膜厚を算出する微粒子含有塗膜の膜厚算出方法。 （もっと読む）

【課題】スループットの低下を防ぐこと。
【解決手段】基板を立てた状態で回転可能に保持し、保持した前記基板を第一位置及び第二位置に配置可能な基板搬送部と、前記第一位置に配置された前記基板の第一面及び第二面のそれぞれに液状体を吐出する液状体ノズルを有する塗布部と、前記第二位置に配置された前記基板の周縁部の一部を収容する収容機構及び前記周縁部に洗浄液を吐出する洗浄液吐出機構を有し、前記周縁部の前記液状体を除去する除去部とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数の所定の塗布パターンで、粘着剤をシート状基材に塗布することができ、また、気泡シートの付加価値などを向上させることができ、さらに、粘着剤をシート状基材に薄く塗布することができる粘着剤塗布装置、粘着剤塗布方法、粘着剤付き気泡シートの提供。
【解決手段】シート状基材１１の幅方向に対応して配設され、粘着剤塗布のオンオフを制御する複数の開閉弁及び粘着剤塗布手段３本体を有し、かつ、前記開閉弁に対応する所定の塗布幅及び所定の塗布位置、並びに、前記粘着剤塗布のオン時間に対応する所定の塗布長さを有する一又は二以上の塗布領域に、粘着剤を塗布する粘着剤塗布手段３と、この粘着剤塗布手段によって、前記粘着剤の塗布される転写ベルト２と、前記粘着剤の塗布された前記転写ベルト２に、走行する前記シート状基材１１を押圧し、該シート状基材に前記粘着剤を転写させる押圧ローラ４とを備えたことを特徴とする粘着剤塗布装置１。 （もっと読む）

【課題】高精度で耐久性に優れたエッジ部材を有するノッチロールを低コストが製造できるノッチロールの製造方法を提供する。
【解決手段】ロール素材５にその軸方向に平行な１つ又は複数の深孔６を穿設し、ロール素材５の深孔６に耐食性及び耐摩耗性の良好な合金粉末７を充填して、カプセル９を形成し、カプセル９をＨＩＰ（熱間等方圧加圧）処理することにより、ロール素材５の深孔６に合金粉末のＨＩＰ層１２を形成し、その後ロール素材５をＨＩＰ層１２の一部が外周部に表れるように円筒状に切削加工すると共に、ロール素材５の外周部とＨＩＰ層１２との間にロール素材５の軸方向に平行な切欠溝３を削成し、切欠溝３に臨むＨＩＰ層１２部分を仕上げ加工してノッチロール１のエッジ部４を形成する。 （もっと読む）

【課題】 支持部材に対する被噴射材の浮き上がりが生じている状態においても高精度な液体噴射を実行可能な液体噴射装置を実現する。
【解決手段】 記録紙支持部材１３に支持される記録紙Ｐの裏面の反射光を受ける反射鏡２２と、反射鏡２２を介して、記録紙支持部材１３に支持される記録紙Ｐの裏面の反射光を結像させるテレセントリック光学系２４と、テレセントリック光学系２４による結像を電気信号に変換して出力するイメージセンサー２５と、テレセントリック光学系２４の光軸方向へ反射鏡２２を変位させる焦点調整装置２６とを含む記録紙検出装置２０を備え、制御装置１００は、テレセントリック光学系２４による結像が合焦状態となるように反射鏡２２の位置を調整し、合焦状態における反射鏡２２の位置に基づいて記録ヘッド１７から記録紙Ｐへインクを噴射するタイミングを調整する。 （もっと読む）

【課題】処理基板上を移動するノズル搬送機構に駆動部を設けないため、機構部が複雑にならず駆動機構からの発塵パーティクルによる欠陥問題のない液処理装置を提供すること。
【解決手段】塗布液ノズルを待機位置で待機させるためのノズルバス１４と、ノズルバスにおいて、塗布液ノズルから塗布液の吐出動作又は、乾燥抑制溶剤の吸引動作と排出動作とをディスペンス制御するディスペンス制御部とを備え、ノズルバスは、塗布液ノズルの塗布液を吐出する孔１００と、乾燥抑制溶剤を吸引する孔１０１とを具備すると共に、塗布液を吐出する孔の位置と乾燥抑制溶剤を吸引する孔の位置とを切り換える回動機構１１０を具備し、塗布液ノズルは乾燥抑制溶剤を吸引する時に、回動機構によりノズルバスを回動させて塗布液ノズルの塗布液を吐出する孔の位置から乾燥抑制溶剤を吸引する孔の位置に切り換え、ノズルバスの内部に設けられる乾燥抑制溶剤の貯留部から吸引を行う。 （もっと読む）