【課題】塗布層厚みの均一性が極めて優れており、かつ塗布層の欠陥が抑制された、良好な外観を有する塗布フィルムを塗布開始直後から安定して得る事ができる塗液塗布方法および塗液塗布装置を提供することである。
【解決手段】計量バーの上流側、下流側、両端部および底部に設置されたカバーにより囲われた空間と、該空間に塗液を供給する塗液供給手段を有し、前記空間に満たされた前記塗液を前記計量バーの回転により持ち上げ、フィルムに前記塗液を塗布・計量する塗液塗布方法であって、前記計量バーのフィルム走行方向下流側であって前記フィルムの前記計量バーと同一面側に第２の計量バーを有し、少なくとも塗布開始および／又は終了時に、前記第２の計量バーを前記フィルムに接触させ、前記計量バーのカバーにより囲われた空間への塗液供給を継続しながら、前記計量バーを前記フィルムに接触および／又は離間させることにより、前記フィルムへの塗布を開始および／又は終了させることを特徴とする塗液塗布方法。 （もっと読む）

【課題】円筒状の筐体の表面にフィルム回路基板が貼着された立体的回路基板において、フィルム回路基板の端部間に隙間がある場合でも、表面が絶縁性樹脂で均一に被覆されており、全周にわたって表面に凹凸のない立体的回路基板を提供する。
【解決手段】立体的回路基板(1)の表面全体に絶縁性樹脂を付着させ、円形に形成されたスキージ(21,22,23)に内嵌させ、立体的回路基板(1)と円形スキージ(21,22,23)を基板の軸方向に相対移動させて、フィルム回路基板(6)の表面および隙間(7)の上に、所定の厚さで、かつ該隙間(7)を充填した状態で、絶縁性樹脂(4)の層を形成し、必要に応じて、硬化後に、研削することにより、絶縁性樹脂層(4)の表面の最大高さＲｙを１０μｍ以下とする。 （もっと読む）

【課題】少ない液状樹脂量で効率良くワークに保護膜を形成すること。
【解決手段】本発明のある実施の形態の液状樹脂塗布装置１は、ワーク２を吸着保持する水平な保持面１１１を有する保持部１１と、鉛直方向を回転軸として保持部を回転させる回転部１２と、保持部１１の保持面１１１に保持されたワーク２の露出面２１に液状樹脂を供給する液状樹脂供給部１３と、露出面２１に供給された液状樹脂を露出面２１の全面に広げる塗広部材１４と、塗広部材１４を少なくとも水平方向に移動させる移動駆動部１５と、回転部１２を制御して保持部１１を回転させた状態で塗広部材１４を接触位置に位置付け、この接触位置からワーク２の外周位置まで塗広部材１４を水平移動させるように移動駆動部１５を制御する制御部１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】スキージを容易に取付けて、均一にフラックスを塗布する。
【解決手段】スキージ（ベース部１４、スキージ本体１６）を有するスキージユニット１０と、マスクが押し当てられた塗布対象基板およびユニット１０の少なくとも一方を他方に接近させる第１方向に移動させて先端部１６ｘをマスクに押し当てた状態で塗布対象基板およびユニット１０の少なくとも一方を他方に対して塗布面に沿った第２方向に移動させてフラックスを塗り拡げさせる移動機構とを備え、ユニット１０は、ベース部１１ａ，１１ｂと、ベース部１１ａに対するベース部１１ｂの第１方向に沿った相対的な移動を許容しつつベース部１１ａ，１１ｂを相互に連結する直動案内機構１２と、ベース部１１ａ，１１ｂを相互に離間させる方向に付勢するスプリング１３とを備え、軸長が第２方向に沿うように配設された回動軸１５を介してスキージがベース部１１ｂに取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】良好な接液によって均一なレジスト膜を形成することができるフォトマスクブランク、フォトマスク及びそれらの製造方法並びに塗布装置を提供すること。
【解決手段】レジスト液２１を塗布装置に備えられたノズル２２の毛細管現象により上昇させ、上昇させたレジスト液２１を下方に向けられた基板１０の被塗布面１０ａに接液させ、ノズル２２と基板１０とを相対的に移動させて被塗布面１０ａにレジスト膜を形成することを含むフォトマスクブランクの製造方法であって、接液の際には、ノズルの一端が、他端より被塗布面に接近することにより、前記ノズル内の前記塗布液が、前記ノズルの一端において、被塗布面に最初に接液し、前記最初に接液した点を接液起点として、前記一定長さのノズルの全長にわたる、接液がなされるようにした。 （もっと読む）

【課題】スピンコータにおける基板の回転運動に伴うレジストの飛沫の基板上への再付着を防止しながら、レジスト塗布工程における製造効率を向上させる手段を提供する。
【解決手段】スピンコータが、基板を水平に固定して回転させるターンテーブルと、ターンテーブル上の基板の上方にターンテーブルと平行に配置され、ターンテーブルと同軸に基板の外径より大きい開口部が形成された円盤状の天板と、天板の半径方向外側の縁部に接続し下方に向かって拡大する円錐状の傾斜板とを有するコータカップと、コータカップの、天板と傾斜板との曲折部に垂直方向の下方に向かって延在する、開口部と同心円状に配置された円筒状の遮蔽板と、を備える。 （もっと読む）

【課題】接着剤層の厚さを高精度に調整できる接着剤塗布方法及び接着剤塗布装置、並びに接着剤転写方法及び接着剤転写装置を提供する。
【解決手段】平板状のスキージ１２を所定方向に移動させて、被塗布部材の表面に接着剤３００を伸展させることで、所定厚さの接着剤層３００ａを前記被塗布部材の表面に形成する際に、前記スキージ１２を、前記被塗布部材の表面に対して前記スキージ１２の移動方向と反対側に傾斜させ、その角度によって前記接着剤層３００ａの厚さを調整する。 （もっと読む）

【課題】生産性・塗布効率に十分に優れた塗布装置を提供すること。
【解決手段】軸方向を回転軸として回転しながら表面に樹脂溶液３が塗布される金型１；および該金型の塗布面に対して所定の間隙を設けて配設され、樹脂溶液を金型塗布面に供給・塗布し、塗膜を膜厚規制する規制ブレード２を有する塗布装置であって、規制ブレードにおける金型塗布面側が直線形状を有し、規制ブレードと金型塗布面との間隙が、樹脂溶液塗布時には金型軸方向の一端側から他端側にかけて広がり、膜厚規制時には金型軸方向にわたって均一になるように、規制ブレードを移動させる移動手段をさらに有することを特徴とする塗布装置１０。 （もっと読む）

【課題】スピンナーテーブルを回転させその遠心力により爪部によってフレームを固定した状態でテープを介してフレームに支持されたウェーハの表面に保護膜を被覆する場合において、爪部とフレームとの間に樹脂が入り込んだ場合でも、ウェーハをスピンナーテーブルから取り外せるようにする。
【解決手段】フレームＦを押さえる爪部４１４を有する振り子体４１０の振り子軸４１５が軸支持体４１１の軸孔４１６に回動可能に支持された構成のフレーム押さえ手段４１において、軸孔４１６を、下側から上側に向かうにつれてスピンナーテーブルの外周側に傾斜し振り子軸４１５を摺動可能に支持する長孔に形成し、スピンナーテーブルの回転停止時に振り子体４１０を軸孔４１６に沿って下降させて爪部４１４とフレームＦとの接着状態を解除する。 （もっと読む）

【課題】 必要最低限の塗料で構造部材の周面上に均一の厚みの塗膜を精度良く形成することができる塗装装置を提供する。
【解決手段】 円柱状又は円筒状の構造部材２の外周面に装着され、構造部材２の周面上を軸線方向に直進移動可能な装置本体３と、装置本体３に設けられて装置本体３と一体に直線移動するとともに、構造部材２の周方向に回転移動して、構造部材３の周面上に供給される塗料を構造部材３の全周に亘って塗布する刷毛２５を有する塗装部１７とを備え、刷毛２５に、構造部材２の周面に供給される塗料を刷毛２５の幅方向に拡散させる拡散部材３０を設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、大サイズで、矩形形状又は、縦横比が１ではない曲面形状等の形状を有する基材の主面に高粘性の塗布液を塗布する場合であっても、均質な被膜を形成することを可能とする機能性被膜形成基材の製法を提供することを課題とする。
【解決手段】スピン成膜工程を有する機能性被膜形成基材の製法であり、該スピン成膜工程は、基材端部に堰を設ける工程、静止又は１０ｒｐｍ未満で回転中の基材に機能性被膜を形成させる塗布液を給液する工程、及びスピン回転の遠心力で塗布液を塗り広げる工程を有すること。 （もっと読む）

【課題】手間なく簡単にストライプ状塗膜のパターンを変更することができ、装置の稼働率の向上を図るのに好適なストライプ塗布装置、ストライプ塗布方法、その装置と方法に用いられるブレード回転機構を提供する。
【解決手段】ストライプ塗布装置Ｍは、塗液Ｔの搬送方向と交差するブレード回転軸１５を中心としてブレード保持手段１６を回転可能に設け、ブレード保持手段１６で前記ブレード回転軸１５周りに複数の掻取りブレード１２Ａ〜１２Ｄを保持し、該ブレード保持手段１６の回転により、いずれか一つの掻取りブレード１２Ａ〜１２Ｄの先端が搬送される塗液の表面に対向するように構成する。 （もっと読む）

【課題】フラックス等の処理剤をプレート上に安定的に存在させることができ、メンテナンスを減らすことができる技術を提供すること。
【解決手段】押し付けブロック２６より上流側で、プレート１２上にフラックスＦが供給される。このとき、プレート１２は回転していてもよいし止まっていてもよい。回転するプレート上１２の大部分のフラックスＦが外周側へ移動しようとして盛り上がる。押し付けブロック２６は、この盛り上がりを抑えることができる。これにより、フラックスＦがプレート１２外へ流出する等の問題を解決できる。 （もっと読む）

再循環スピンコーターシステムは、スピンコーティングボウルを備え、このスピンコーティングボウルは、再循環排液口、およびこのスピンコーティングボウルの内側壁の上端に付随する湿潤流体チャンバを備える。この湿潤流体チャンバは、側壁湿潤流体を、このスピンコーティングボウルの内側壁に分配するように構成されている。映像システムは、品質管理および加工片の位置決めのために、スピンコーティングボウル内の加工片の画像を捕捉するように構成されている。光源の環状アレイが、スピンコーティングボウルの面を囲み、そして光学制御のためにスピンコーティングボウルの内部を照射するように構成されている。映像システムは、品質管理と加工片位置決めとの両方のために利用され得る。コーティングノズルは、加工片と垂直に整列した第一のコーティング位置と、再循環排液口と垂直に整列した第二のパージ位置との間で移動するように構成されている。
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【課題】 均一で平坦な乾燥塗布膜を実現することができる乾燥方法、予備乾燥方法および乾燥装置を提供する。
【解決手段】 液体状の塗布膜を塗布した基板１２を水平方向に動作させ、液体状の塗布膜の表面近傍に存在する、前記液体状の塗布膜に由来する蒸気を、前記蒸気の分圧が前記表面近傍よりも低い周囲の気体と入れ替える。 （もっと読む）

【課題】 クリーニング装置によって搬送手段上から除去した液体を確実に回収でき、クリーニング装置のクリーニング性能の低下を防止できるようにした液滴吐出装置の提供を課題とする。
【解決手段】 少なくとも２本のローラー２６、２８に張架され、記録媒体Ｐを保持搬送する搬送ベルト３０と、搬送ベルト３０に保持された記録媒体Ｐに液体を吐出する液滴吐出ヘッド２０と、少なくとも搬送ベルト３０に付着した液体を除去するクリーニング装置４０と、を備えた液滴吐出装置１０において、クリーニング装置４０が、搬送ベルト３０の幅に対応した長さとされ、搬送ベルト３０に圧接するブレード４２と、ブレード４２を搬送ベルト３０から退避させる退避手段４５と、退避手段４５によって退避したブレード４２をクリーニングするクリーニング手段４８と、を有する。 （もっと読む）

【課題】薄層で、かつ、欠陥のない高品質な塗布層を得ることができるバー塗布方法及び装置を提供する。
【解決手段】バー支持台３０の支持溝に支持された塗工用バー２８をモータ４０で回転させながら塗布液を塗工用バーを介して走行する帯状の支持体に転移塗布するバー塗布方法である。塗工用バーの端部とモータ４０との間に１以上の中間軸３６を設け、中間軸の一端と塗工用バーの端部とをカップリング３８で連結するとともに、中間軸の他端と回転駆動装置とをカップリング４２で連結し、塗工用バーの振動を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 塗布液の無駄を省くことができ、平面基板の塗布効率を向上することができるブレード塗布装置及びこれを用いたディスク用の印刷面塗布装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、平面基板に塗布液を塗布して塗布層を形成するブレード塗布装置であって、円盤形状を有し、周方向に回転可能なマスク部材と、マスク部材の周方向に配列された複数の開口と、平面基板を支持し、マスク部材の回転に伴い上下駆動して複数の開口に下面側から平面基板を重ね合わせる基板支持部と、マスク部材の上面側に配置され、供給された塗布液を、平面基板における開口から露呈した部位に塗布する長尺状の塗布部材とを備えている。 （もっと読む）

【課題】簡単な仕掛けで、ベルトコンベア上を流れるピザクラストの上面に滴下されたピザソースを手早く伸ばして塗ることができる、半自動のピザソース塗り機及び本機を組み込んだピザパイ製造システムを提供する。
【解決手段】本ピザソース塗り機は、スイッチ操作によって駆動される回転駆動源と、回転駆動源の回転軸に連結されて回転軸周囲を公転し、当該公転によりピザクラスト上面にピザソースを塗布する塗布板と、ピザソースの塗布時にピザクラストの上面に当接して塗布板の公転領域を囲むリング状の枠体と、回転駆動源、塗布板、枠体の全体をピザクラストから離れる方向に付勢する付勢手段と、回転駆動源、塗布板、枠体の全体をピザクラストとの接離方向及びピザクラストの搬送方向に移動させるための左右のハンドルとを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ等を形成するレジスト材料を基板上に塗布するレジスト塗布コータに関し、膜厚が均一なレジスト膜を形成できるレジスト塗布コータを提供することを目的とする。
【解決手段】レジスト塗布コータとしてのバーコータは、レジスト材料９を塗布して基板１３上にレジスト膜１１を形成するレジスト塗布部１と、レジスト膜１１に形成された塗布ムラを低減するように、基板１３を介してレジスト膜１１に振動や熱を与える振動／熱付与部１５とを有している。振動／熱付与部１５はレジスト材料９の塗布面の反対側から基板１３に接触させる基板接触部１７を有し、基板接触部１７を介してレジスト膜１１に振動や熱を与えてレジスト膜１１の塗布ムラを低減できる。 （もっと読む）