【課題】 例えばフィンガー配線のような塗布パターンを基板の主面に形成する際に、塗布パターンを厚膜（高アスペクト比）に形成することができるパターン形成装置を提供する。
【解決手段】 第１ノズル４１の第１吐出口４７から吐出され、第１ノズル４１の対向面４５と、ステージにほぼ水平に支持されて第１ノズル４１に対して移動する基板９の主面との間に界面張力により存在する、光硬化性を有するペースト７に対して、その側方から光を照射することにより、ペースト７を硬化させる。 （もっと読む）

【課題】光学フィルム製造用のロール金型の表面に、保護皮膜剤の溶媒を過剰に拡散させることなく、均一な膜厚の剥離容易な保護皮膜を形成することが可能な塗工装置を提供する。
【解決手段】本発明の塗工装置は、光学フィルム製造用のロール金型に保護皮膜剤を塗工する塗工装置であって、中心軸が水平となるように配置されたロール金型３に対して、ロール金型３の中心軸を含む水平面より上方に配置され、中心軸の方向に延在する塗工ブレード２と、塗工ブレード上に設けられ、塗工ブレード上の保護皮膜剤である塗工液の流動領域を規定する一対のプレート７ａ，７ｂからなる液止めと、塗工ブレードがロール金型の表面から一定の距離を保つように設けられ、塗工ブレードよりロール金型の近くに位置するストッパー８と、所定の回転速度でロール金型を回転させる回転手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】一つの装置で、粘性を有する液体を一方向に沿って移動する塗布対象面の移動方向と直交する方向に亘って均一の厚みで塗布する機能と、該塗布された液体を剥離する機能とを有し、塗布厚みを自由且つ容易に調整することができる液体塗布・剥離装置の提供。
【解決手段】粘性を有する液体を均一厚みに塗布する機能と、該塗布された液体を剥離する機能とを有する液体塗布・剥離装置2であって、ステー部材20と、液体を均一厚みに塗布するための塗布ブレード24及び塗布された液体を掻き取り剥離するための剥離ブレード25と、塗布ブレード24の先端又は剥離ブレード25の先端の塗布対象面に対する高さ位置を切り替える切り替え機構と、ステー部材20を昇降させることで、塗布ブレード24および剥離ブレード25を一体に昇降させ、突出する塗布ブレード24の先端又は剥離ブレード25の先端を、塗布対象面に接離させる昇降機構と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗工機の制御では、塗工量と制御信号との関係が逆転する逆転範囲が時間と共に移動するので、ブレードポジションの制御範囲を、逆転範囲を含まないように狭くせざるを得なかった。また、逆転範囲と制御範囲が重なるとオペレータが手動で操作しなければならなかった。そのための、ブレード交換の頻度が増加し、コストの増大、操業率の低下、オペレータの負担増のない技術を提供する。
【解決手段】現在および過去のプロセス量測定値と制御信号から逆転範囲に入っているかどうかを判定し、逆転範囲に入っていると、通常範囲で用いるゲインとは異なる逆転ゲインを設定し、この設定したゲインと、プロセス量設定値と測定値の差分から制御信号を演算するようにした。また、プロセスの特性を推定し、境界付近にあると制御信号を一時的に大きくして境界付近から脱出させ、この特性が変化するとその変化を補償するように制御信号を変化させるようにした。 （もっと読む）

【課題】シートの平坦性が低下するのを抑制するとともに、複数の工程を連続して行うことが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】この塗布装置１は、シート１００をＡ方向に搬送する搬送ステージ６０と、搬送ステージ６０上にシート１００を導くシート供給ガイド２１と、シート１００のＡ１方向側の部分およびＡ２方向側の部分をそれぞれ固定する固定バー２５および２６と、固定バー２５および２６をそれぞれ駆動するバー駆動機構２２および２３とを備えている。搬送ステージ６０、固定バー２５、２６、バー駆動機構２２および２３は、それぞれ、分離独立している。 （もっと読む）

【課題】確実な塗工厚さの均一化を図ることができ、あわせて、製品寿命の向上ならびにコストの低廉化を図ることができる塗工装置を提供する。
【解決手段】石定盤からなる基台３によって固定部材２に固定される基材の表面の平面精度を確保し、リニアモータ１１によって塗工手段１０を塗工方向に円滑に移動させ、エアベアリング１４，１７によって塗工手段１０の移動をより円滑化する。 （もっと読む）

【課題】粘度が高く、チクソトロピ性を有する塗工液を、芯体の回転数を上げて塗工した場合においても塗布液への空気の巻き込みを抑制できる塗工装置等の提供。
【解決手段】芯体１０を、軸線が水平になるように支持するとともに、軸線の回りに回転させる保持部材１２と、保持部材１２によって支持された芯体１０の軸線に沿って前記芯体の一端から他端に向かって移動しつつ、芯体１０の外表面に塗工液を流下させるディスペンサ２０と、先端部が芯体１０の外表面に所定の押圧力で押圧された状態でディスペンサ２０と共に芯体１０の一端から他端に向かって移動しつつ、ディスペンサ２０から芯体１０の外表面に流下した塗工液を所定の厚みに均すブレード２２と、を備え、ブレード２２の先端部における芯体１０に接する側の面が、前記芯体の外表面の湾曲方向とは反対の方向に湾曲または屈曲するように形成されている塗工装置。 （もっと読む）

【課題】部品に被覆層を形成するときの塗料液を最小にするとともに、被覆層の成形面の寸法精度を良好にする被覆層成形機を提供する。
【解決手段】被覆層成形機は、回転支持装置２と、供給部１５と、層形成装置２０と、塗料除去手段３０とを有し、被覆層を成形する塗着形成部２１の傾斜角を被覆面Ｄの塗料の回転接線方向に対し３０°〜７０°に保持するとともに、塗料除去手段３０で塗着形成部２１に付着した余剰塗料液を除去する。 （もっと読む）

【課題】原紙への塗工量のばらつきを飛躍的に低減することができるブレードコータの提供
【解決手段】 バッキングロール１と、バッキングロール１に沿って走行する原紙２の表面に塗工液を塗布する塗布手段と、バッキングロール１に押し付けられ、原紙２上の塗工量を調整するブレード３およびブレード先端部３ａの加圧量を調整する複数のプロファイラ４を備えるコータヘッド６と、コータヘッド６を移動させるコータヘッド移動手段と、少なくともブレード先端部３ａの幅方向両端部の背後に設置され、ブレード先端部３ａの変位量を測定する複数の距離センサ５とを有する。 （もっと読む）

【課題】従来の芯体を用いてシームレスベルトを製造する装置では、芯体に塗布した塗布液の表面にスパイラル形状が付くという問題があった。かかるシームレスベルトを定着ベルトとして使用した場合、スパイラル模様に起因した筋が画像に表れるという問題があった。
【解決手段】少なくとも２段階に温度の切り換えができる加熱手段と、加熱手段により生成された熱風を送る送風手段と、熱風を一端から内部に入れて他端から排出して、軸を中心として回転し、かつ内部まで貫通する複数の穴が外周面にあけられたパイプ状コアと、パイプ状コアにセットされたベルト基材に材料をかけ流す塗布ノズルと、材料の厚さを調節するブレードと、厚さが調節された材料の表面に接触する補助ブレードと、ブレード、補助ブレードおよび塗布ノズルを、パイプ状コアの軸方向に沿って移動させる移動手段とをシームレスベルトの製造装置に設けた。 （もっと読む）

【課題】フィルムに接着剤を塗布してワークに転写するに際し、接着剤の無駄を可及的に少なくし得るように接着剤を塗布する接着剤塗布装置、接着剤塗布方法及び接着剤転写装置を提供する。
【解決手段】帯状のフィルム２００が載置されるスキージ台１１と、前記フィルム２００を前記スキージ台１１上へ搬送する搬送手段１２と、前記フィルム２００に対して前記フィルム２００の搬送方向上流側に移動して前記フィルム２００上に滴下された接着剤３００を前記フィルム２００表面に伸展させるスキージ作業を行うスキージ１３と、前記スキージ作業の開始位置が、前記フィルム２００における前回の前記スキージ作業の終了位置よりも前記フィルム２００の搬送方向の下流側になるように、前記スキージ１３と前記フィルム２００との相対位置を制御する制御手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】塗料の無駄がなく、均一な塗料の塗布ができる塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】水平移動可能な保持台４の上に塗料Ｒを塗布する対象板面を上にして対象物２を載置し、対象物２の両端にワイヤ１０を配置し、ワイヤ１０の上に平坦な塗布面を下にして塗布板１１を、保持台４の両側に固定した塗布板保持部材５の保持台４の移動方向上流側に当接するように載置し、対象板面と塗布面との間に塗料Ｒを注入して、塗料Ｒの表面張力により対象板面と塗布面との間に連続したビードを形成し、保持台４を下流側に移動することで、対象板面と塗布面との間隔を維持したまま、対象物２を塗布板１１に対して平行移動させ、対象物２の塗料Ｒに対する濡れ性によって対象板面に塗料Ｒを付着させる。 （もっと読む）

【課題】溝付板材の溝内面の塗装に当たって、溝の外側に塗布液をはみ出させることなく溝内に安定して塗布液を供給可能な、簡単な構造の溝塗装装置を提供する。
【解決手段】塗布液１３を連続的に吐出するディスペンサノズル８を溝付板材１の溝４に対して相対的に移動させながら該溝内に塗布液１３を供給するに当たって、ディスペンサノズル８に、その先端を経て溝４内に挿入されるようにピアノ線等で構成される補助ガイド９を取り付けておき、ディスペンサノズルから吐出された塗布液を補助ガイド９を伝って溝４内に送り込む構成とする。 （もっと読む）

【課題】溝付板材の溝内面を、溝のエッジまできれいに塗装することができる簡単な構造の溝塗装装置を提供する。
【解決手段】塗布液を連続的に吐出するディスペンサノズル８を溝付板材１の溝４に対して相対的に移動させながら該溝内に塗布液１３を供給し、次いで、溝４の両側のエッジ４ａ、４ａに押し当てられる一対の傾斜面１７ａ、１７ａを備えたスキージ本体１７を塗布液供給後の溝４に押し当てた状態で溝４に対して相対的に移動させ、塗布液１３を溝内面に拡げると共に溝の外側への漏れ出しを一対の傾斜面で防止し、溝内面全域をきれいに塗装できる構成とする。 （もっと読む）

【課題】 ウェハ上の塗布膜を十分かつ安定的に平坦化する。
【解決手段】 平坦化装置６５の処理容器１２０内に，ウェハＷの保持台１２１と，その保持台１２１を移動させるＸ−Ｙステージ１２２が設けられる。ウェハＷ上に塗布膜が形成された後，ウェハＷが保持台１２１に保持され，Ｘ―Ｙステージ１２２によりＸ方向とＹ方向にウェハＷが往復移動される。この往復移動は，塗布膜の下地のパターンに応じて行われる。例えば下地のパターンにＸ方向とＹ方向の溝が形成され，Ｘ方向の溝がＹ方向の溝よりも多く形成されている場合には，Ｙ方向の往復移動がＸ方向の往復移動よりも多く行われる。 （もっと読む）

【課題】 簡単な装置構成により、塗布面の各部の消費量に見合った量の塗布液が安定して供給され、これにより、どの方向にも均一な厚さを有し、且つ良好な表面性状を有する塗布液層を形成する。
【解決手段】 開口２７を有するマスク２５を平面基板Ｄ上に重ね合わせ、マスク２５上に塗布液４９を供給して、マスク２５に対して相対移動するブレード５１により塗布液４９を塗布して、平面基板Ｄ上にマスク２５の開口２７に応じた塗布液層を形成するブレード塗布装置１００である。ブレード塗布装置１００は、マスク２５表面から窪んで形成されブレード５１の移動方向に対して直交する溝３９と、溝３９の底部に設けられ塗布液４９を吐出する塗布液吐出口４１と、塗布液吐出口４１に塗布液４９を供給する塗布液供給手段８１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 塗布液に空気が混入することを防止でき、塗布に供される塗布液の無駄を抑えて、効率良く塗布を行うことができるブレード塗布装置及びブレード塗布方法を提供する。
【解決手段】 塗布液を供給する塗布液供給部と、平面基板に配置させた状態で、該平面基板の上面を露呈させる開口が形成されたマスク部材と、マスク部材の上面側に配置され、上面に対して平行に駆動されることで、供給された塗布液を、開口から露呈した平面基板に塗布する長尺状の塗布部材とを備え、マスク部材に余剰の塗布液を貯留する溝部と、溝部に沿って立設された壁部とが形成され、壁部の側面には、塗布部材によって塗布液が溝部に掻き込まれた際に、塗布液が壁部を越えることを規制する突出部が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 塗布液に空気が混入することを防止できるとともに、塗布液を効率良く使用することができるブレード塗布装置及びブレード塗布方法を提供する。
【解決手段】 平面基板に塗布液を供給する塗布液供給部と、平面基板に配置させた状態で、該平面基板の上面を露呈させる開口が形成されたマスク部材と、マスク部材の上面側に配置され、上面に対して平行に駆動されることで、供給された前記塗布液を、開口から露呈した前記平面基板に塗布する長尺状の塗布部材とを備え、マスク部材に余剰の塗布液を貯留する溝部と、溝部に貯留した塗布液を回収して塗布液供給部に送る回収液送出部とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 ディスクＤの塗布層のどこにも厚みムラのない良好な均一厚みの塗布層が得られるブレード塗布方法および装置を提供する。
【解決手段】 塗布液を円板状平面基板の表面にブレードによって塗布して該平面基板上の塗布面に塗布層を形成するブレード塗布方法であって、該平面基板の周縁部位を除く全面に塗布液を塗布するための大きな開口を有するマスクを平面基板に重ね合わせた状態でブレードを平面基板と所定の間隔を保ちながら上流側から下流側へ相対移動させ、ブレードの上流側に供給された塗布液をブレードで移動させながら該ブレードの下流のギャップからマスク上に塗布液を流出させて塗布層を層設する塗布方法において、ブレードの上流側に供給する塗布液を、ブレードの長さ方向の中央部に多くし、両端部に近づくにつれて少なくする。 （もっと読む）

【課題】 塗布液に空気が混入することを防止できるとともに、塗布液を効率良く使用することができるブレード塗布装置及びブレード塗布方法を提供する。
【解決手段】 平平面基板に配置させた状態で、該平面基板の上面を露呈させる開口が形成されたマスク部材と、マスク部材の上面側に配置され、上面に対して平行に駆動されることで、供給された塗布液を、開口から露呈した平面基板に塗布する長尺状の塗布部材とを備え、マスク部材に余剰の塗布液を貯留する溝部が設けられている。 （もっと読む）