【課題】駆動中のスピンドルから、ホルダーを含んだ状態の被処理物を複数個同時に取り外して、次工程へと、複数個の被処理物をそのまま移動できるクランプ用棒冶具を提供する。
【解決手段】回転安定性に優れた駆動中のスピンドルから、ホルダーを含んだ状態の被処理物を複数個同時に取り外すとともに、そのままの状態で複数個の被処理物を移動可能とするためのクランプ用棒冶具であって、長尺物と、長尺物の長手方向に沿って配置された複数のクランプと、を有する。 （もっと読む）

ホットメルト接着剤紐状体の被覆アプリケーター組立体との関連において使用される紐状体の位置決め案内装置は、頂点部分がホットメルト接着剤供給ノズルから離れるように外向きに配向された複数のＶ字形の紐状体案内スロットを有する。この結果、複数の細長い紐状体が、そのホットメルト接着剤供給ノズルによって生成されるかまたはそれらから発散された熱または熱放射によって悪影響を受けないように、複数の細長い紐状体と、その各々のホットメルト接着剤供給ノズルの間に大きな空気空隙が実質的に形成される。
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【課題】保持具から基板を取り外すことなく基板の両面に塗布液を塗布でき、かつ基板の厚みにばらつきがあっても、塗布液を均一に塗布することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】角基板１０両面に塗布液を塗布するための塗布装置であって、角基板１０を保持する保持具２は、角基板１０の一面全体を露出する第１開口部Ｈ１が設けられた第１保持具部本体２１１と、一面を第１開口部Ｈ１の周囲平面と同一平面に固定するため、角基板１０に当接する当接部２１３ａ、および反対側から押圧して角基板１０を固定する押圧部２１３ｂとを備えた第１保持具部２１と、他面全体を露出する第２開口部Ｈ２が設けられた第２保持具部本体２２１を備えた第２保持具部２２とを重ね合わせて、他面が第２開口部Ｈ２の周囲平面と同一平面になるように、第１保持具部２１と第２保持具部２２の間隔をねじ２３による内周壁部２２２への押圧で固定することで調整するようにした。 （もっと読む）

【課題】装置コストの大幅なアップなしに、柔軟な素材からなる場合であっても、円筒形部材の内外面を同時に、精度、及び、効率良く塗布を行う円筒状部材の内外面同時塗装方法を提供する。
【解決手段】円筒状部材をその軸が鉛直になるよう保ちながら内外面を同時に塗装する円筒状部材の内外面同時塗装方法において、円筒状部材の内部となるように設けられた、円筒状部材の内面の全周に対し、放射状に第１の塗料を吐出するスリット状の第１のノズルと、第１のノズルに対向するように円筒状部材の外部となるように、円筒状部材の外面の全周に対し、円筒状部材の軸方向に第２の塗料を環状に吐出するスリット状の第２のノズルと、により、かつ、第１のノズルから吐出される第１の塗料が円筒状部材の内面に接触する高さと、第２のノズルから吐出される第２の塗料が円筒状部材の外面に接触する高さと、が同じになる位置で、内外面を同時に塗装する。 （もっと読む）

【課題】ポンプの吐出圧力を必要以上に高くすることなく、定圧弁の二次側圧力若しくは二次側流量を一定に保って、定圧若しくは定流量の処理液の供給を実現できるようにすること。
【解決手段】処理液を貯留する処理液タンク３と、処理液を供給する処理液供給ノズル３６とを接続する配管２に、処理液タンク３から処理液を連続的に吐出するベローズポンプ４と、このベローズポンプ４の二次側に位置し、ベローズポンプ４による液流の脈動を抑制する定圧弁５と、を介設する処理液供給システムにおいて、配管２におけるベローズポンプ４の二次側に、ベローズポンプ４による液流の脈動の圧力低下を補完する気体を供給する気体供給源７を接続すると共に、この気体供給源７から配管２内に供給された気体を排出する気体抜き部８ａを有するフィルタ８を介設する。 （もっと読む）

【課題】均一な被覆層を形成することができるゴムローラの製造装置を提供する。
【解決手段】ゴムローラの製造装置は、ゴムローラ８の両端部を把持固定する把持部１，３を有する。ゴムローラの製造装置は、ゴムローラ８の外周を取り囲んだ状態でゴムローラ８の長手方向に移動可能であり、被覆層を成す塗工液をゴムローラ８の外周に吐出する塗工ヘッド２をさらに有する。ゴムローラの製造装置は、把持部１，３に付着した塗工液を把持部１，３から除去する除去部４，５をさらに有する。 （もっと読む）

【課題】スピンナーテーブルを回転させその遠心力により爪部によってフレームを固定した状態でテープを介してフレームに支持されたウェーハの表面に保護膜を被覆する場合において、爪部とフレームとの間に樹脂が入り込んだ場合でも、ウェーハをスピンナーテーブルから取り外せるようにする。
【解決手段】フレームＦを押さえる爪部４１４を有する振り子体４１０の振り子軸４１５が軸支持体４１１の軸孔４１６に回動可能に支持された構成のフレーム押さえ手段４１において、軸孔４１６を、下側から上側に向かうにつれてスピンナーテーブルの外周側に傾斜し振り子軸４１５を摺動可能に支持する長孔に形成し、スピンナーテーブルの回転停止時に振り子体４１０を軸孔４１６に沿って下降させて爪部４１４とフレームＦとの接着状態を解除する。 （もっと読む）

【課題】２つの異なる姿勢で支持される基板の位置を調整する位置調整装置を小型化する。
【解決手段】基板位置調整装置では、４つの角部位置制限部１８１が、主走査方向および副走査方向に対して斜めに水平移動されて互いに近づけられることにより、各角部位置制限部１８１の第１制限部１８１１が、長辺９５が主走査方向に平行となる姿勢にてステージ１１１上に支持された長方形の基板９ａの各角部の２辺に近接または当接して各角部の位置の存在許容範囲が制限され、基板９ａのおよその位置調整が行われる。また、長辺が副走査方向に平行となる姿勢にて基板がステージ１１１上に支持されている場合には、各角部位置制限部１８１の第２制限部１８１２が、基板の各角部の２辺に近接または当接することにより、基板のおよその位置調整が行われる。これにより、２つの異なる姿勢で支持される基板の位置を調整する基板位置調整装置を小型化することができる。 （もっと読む）

【課題】複数の工程からなるパイプや棒状の基体を塗布する作業において、パレットを用いることによって、基体を次工程に受け渡す際に発生していた基体の取り外しと取り付け作業をなくし、作業効率を大幅に向上させることができる搬送装置及び搬送方法の提供。
【解決手段】中空部材のパイプや棒状部材のシャフトの基体を用い、該基体を把持する把持手段を対応させたパレットを有し、少なくとも、前記基体の表面に浸漬塗布を行う塗布工程及び、前記塗布工程で形成された前記シャフト上の塗布層を乾燥させる乾燥工程を含む各工程に前記パレットを搬送するパレット搬送移動台と、前記各工程のうち特定の工程にて、前記搬送移動台から、前記シャフトをセットしたまま前記パレットを保持して前記特定の工程の加工位置に移動して前記基体に加工させるパレット移載加工台とを有し、所定の加工終了後搬送移動台上に前記パレットを戻して次工程に移動させる基体搬送装置。 （もっと読む）

【課題】ワーク搬送経路２に沿って当該ワーク搬送経路２脇に複数の作業ブース１９〜２３が設けられ、搬送用走行体１には、各作業ブース１９〜２３との間でワークＷを移載するワーク移載手段１０が設けられた作業設備において、各作業ブースに搬入されるワークＷの位置を最適にしながら、設備全体のコストダウンを図る。
【解決手段】各作業ブース１９〜２３には、ワーク搬送経路２からの距離が作業ブース(19,20)(21)(22,23)によって異なるように設定された作業位置Ｙ１〜Ｙ４でワークＷを支持するワーク支持手段２８，３４，３７が配設され、搬送用走行体１のワーク移載手段１０で作業ブース１９〜２３に搬入されるワークが当該作業ブース１９〜２３に設定された作業位置Ｙ１〜Ｙ３でワーク支持手段２８，３４，３７により支持される。 （もっと読む）

【課題】優れた生産性で自動操作によりピストンリングの側面に塗装を行う。
【解決手段】水平な公転軸(7c)により鉛直面内で回転可能であり、その面上で外周部(7b)に回転可能な複数の保持部(7a)を有するターンテーブル(7)と、水平な自転軸(3a)により単独で回転可能に保持部(7a)に装着されかつピストンリング(1)を支持する取付台(3)と、取付台(3)に支持されかつ回転するピストンリング(1)の両側面(1a, 1b)を加熱する加熱装置(12)と、ピストンリング(1)の両側面(1a, 1b)に塗料(5)を塗布する塗装装置(13)とをピストンリング側面塗装装置に設ける。水平な自転軸(3a)を回転させピストンリング(1)を自転して、ピストンリング(1)の側面(1a, 1b)を加熱すると共に、加熱された側面(1a, 1b)にほぼ同時に塗料(5)を塗布するので、側面(1a, 1b)への加熱と塗装とを連続的かつ自動的に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】テープを介してフレームに支持されたウェーハの表面に保護膜を被覆する場合において、スピンナーテーブルを回転させその遠心力により爪部によってフレームを固定しても、爪部がフレームに接着されないようにすることにより、ウェーハをスピンナーテーブルから取り外せるようにする。
【解決手段】スピンナーテーブル４０の外周部に、スピンナーテーブル４００の回転時の遠心力によって錘部５００が外周側に振られることによりアーム部５０１を介して錘部５００と連結された爪部５０２がフレームＦを押さえる構成のフレーム押さえ手段４１を配設した樹脂被覆装置において、アーム部５０１と爪部５０２とを弾性体からなる連結部５０３によって連結する。スピンナーテーブル４００の回転停止時、連結部５０３が爪部５０２を移動させ、接着状態が解除されるため、スピンナーテーブル４０からフレームＦと共にウェーハを取り外すことができる。 （もっと読む）

【課題】異形形状の被搬送物品であっても、安定して保持できる物品保持装置を提供。
【解決手段】互いに対向するとともに眼鏡レンズ用基材１の外周部を保持する一対の保持部２１と、これらの保持部２１を互いに近接離隔させる駆動部２２とを備える。一対の保持部２１は、それぞれ駆動部２２に連結されるアーム部２５と、これらのアーム部２５にそれぞれ２個設けられる当接部２６とを有し、一方の保持部２１は、２個の当接部２６が独立して進退自在にアーム部２５に設けられ、これらの当接部２６とアーム部２５との間に弾性部材２８が設けられる。そのため、４個の当接部２６の少なくとも３個が眼鏡レンズ用基材１の外周部に当接することになるので、当接部２６の片当たりがなくなり、保持部２１で眼鏡レンズ用基材１が安定して保持される。 （もっと読む）

【課題】テスト基板を容易に搭載することが可能なパターン修正装置を提供する。
【解決手段】このパターン修正装置は、電極４１のオープン欠陥４１ａを修正する欠陥修正時に被修正ガラス基板６が搭載されるＹ軸テーブル９と、修正ペースト４０の塗布条件を設定するためのテスト時にテスト基板４２が搭載されるサブテーブル４３と、欠陥修正時はオープン欠陥４１ａに修正ペースト４０を塗布し、テスト時はテスト基板４２に修正ペースト４０を塗布する修正液塗布機構４とを備える。したがって、サブテーブル４３を装置外部に近い位置に設けることにより、テスト基板４２を容易に搭載することができる。 （もっと読む）

【課題】ワイヤハーネスを製造する際に電線に止水剤を塗布する方法において、止水剤の塗布が確実にムラなく行えるとともに、電線の本数に変更があったときでも容易に対応できるようにすること。
【解決手段】複数本の電線１２を上下方向で重なるように並べる並設処理と、該並設処理後に、電線１２が並設されてなる電線群１４に対して止水剤１６を塗布する塗布処理を行う電線への止水剤塗布方法であって、上記塗布処理が、上記止水剤１６を吐出すべく電線群１４の両側を挟む位置に配置された一組の噴孔５３を、電線群１４に対して下から上へ移動しながら止水剤１６を吐出して行われる電線への止水剤塗布方法。 （もっと読む）

【課題】基板を搬送する間に塗布工程を行うことが可能な基板の搬送処理装置を提供する。
【解決手段】待機ステーションに待機していた基板Ｗを搬送フォークを用いてアライメントステーションＳ２に送り込み、このアライメントステーションＳ２にてアライメントされた基板Ｗを搬送フォークを用いて回転ステーションに送り込む。そして、アライメントステーションＳ２から回転ステーションへ搬送する間に搬送フォークが備えるノズル５８から塗布液を基板Ｗ表面に供給する。 （もっと読む）

【課題】柱状構造体の外周面にコーティングを施す際、柱状構造体の中心軸と台座の中心軸と略均一させ、コーティングの厚さを均一化することにより、得られた柱状構造体（セラミックハニカム構造体）の耐熱衝撃性、アイソスタティック強度、熱応力、機械応力等の品質特性を向上させるとともに、コーティング部の乾燥性にも優れているため、生産性を向上させることができる柱状構造体の位置決め方法及び装置を提供する。
【解決手段】柱状構造体１を台座３に載置し、柱状構造体１が載置された台座３に、位置決め固定治具２４を当接させた後、位置決め固定治具２４と対向した位置決め調整治具２５で、柱状構造体１を（２点又は１点で）当接しつつ、台座３から柱状構造体１を移動させ、柱状構造体１を位置決め固定治具２４に当接させることにより、柱状構造体１の中心軸を台座３の中心軸に略一致するように位置決めを行い、且つ柱状構造体１が、位置決め固定治具２４と位置決め調整治具２５とで４点又は３点支持されていることにある。 （もっと読む）

【課題】レジスト付き基板の周縁部の不要なレジスト残滓を確実に除去することができる不要膜除去装置および不要膜除去方法、並びにマスクブランクス製造方法を提供する。
【解決手段】不要な部分以外に薬液が供給されないように、基板表面から一定の間隙を設けて遮蔽部材（カバー部材）が設けられており、薬液が、基板周縁部に供給されるように、遮蔽部材（カバー部材）の外側に薬液案内部材を設ける不要膜除去装置および不要膜除去方法、並びにマスクブランクス製造方法。 （もっと読む）

【課題】多様な形状の被塗布物を良好に保持して好適な塗膜を形成可能なスピンコート用保持具を提供する。
【解決手段】スピンコート用保持具２は、フレーム２１と、このフレーム２１の内周面２１Ａに固定された板ばね部材２２と、板ばね部材２２に一連に設けられレンズＬを保持する保持部２３とを備えている。これにより、保持部２３は多様な形状のレンズＬを保持でき、レンズＬの保持位置を適宜調整して塗れ残りなどの外観不良を抑制できる。保持の際にレンズＬに吸着パッドを接触させたり、レンズＬを搬送する際にレンズＬを直接ハンドリングする必要がないため、被塗布面を汚染する危険性がなくなる。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の膜厚制御、特に周縁部の膜厚均一化を容易に行うこと。
【解決手段】 この面状塗布ユニット（ＡＣＴ）４０では、ステージ８０上に基板Ｇを載置して、レジスト液供給機構８６およびノズル移動機構８８を動作させると、長尺ノズル８２の塗布走査により基板Ｇ上に基板の一端から他端に向ってレジスト液の面状塗布膜１００が形成されていく。その際、面状レジスト塗布膜１００が基板Ｇの外側へ向って広がる過程でライン状レジスト塗布膜７６と接触ないし一体化し、ライン状レジスト塗布膜７６によって面状レジスト塗布膜１００の外縁の位置が規定されると同時に膜厚も制御される。 （もっと読む）