【課題】 狭いスペースに複数の処理部を配置して基板の処理を連続的にできるとともに、搬送装置の制御や保守が容易で、且つ設備コストを低減できる基板処理ラインを提供する。
【解決手段】 鉛直面内で環状に形成された基板搬送路の左右両側に沿って設置された一対のガイドレール３と、これらのガイドレールに同数ずつ移動自在に案内され、移動方向に隣り合うものどうし屈曲自在に無端状に連結された複数のキャリア２と、基板搬送路の左右両側を移動するキャリアどうし、対向した位置を保つように同期して各キャリアを駆動する駆動装置と、基板搬送路の左右両側で対向するそれぞれのキャリアに設けられて、矩形状基板の少なくとも４隅近傍を左右両側から把持する複数のクランプ部材と、少なくとも基板搬送路の上方搬送路部分Ｃ１と下方搬送路部分Ｃ２に沿ってそれぞれ設置され、各キャリアにより搬送される基板に対して所定の処理を施す複数の処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】印字媒体の裏面に傷が付かないように印字媒体を支持するテーブルを備えた描画装置を提供する。
【解決手段】描画装置は、印字ヘッド８ａを搭載したヘッド部８とメディア１８を支持するための台座２８を有するテーブル１６とを備え、コントローラは、ヘッド部８とテーブル１６とを相対移動させて、印字ヘッド８ａによってテーブル１６上に位置決めしたメディア１８に印字を行う。台座２８にメディア１８を支持する手段は、メディア１８の一方側を支持するメディア支持面を有する、台座２８に立設された吸気台５０と、台座２８上のメディア１８の他方側を部分的に支持する１本又は複数本の台座２８に立設された突起体７８とより構成される。 （もっと読む）

【課題】設備を大掛かりにすることなく、頻繁なワークの変更に伴う準備や段取り調整に掛かる時間を短縮することにより多品種・小ロットに対応する位置決め作業装置を提供し、ワークに対して液状物を供給する等の作業を行う際の作業の煩雑さを改善する。
【解決手段】本発明は、処理すべきケース101を載置してテーブルコントローラ200及び供給調整コントローラ400により前後左右に移動可能とした可動テーブル1と、この可動テーブル1に載置されたケース101の配置状態を照明装置121、画像カメラ122及び画像認識ユニット300により画像認識し、この画像情報に基づき可動テーブル1を前後左右に移動させてケース101の位置決めを行い当該ケース101にホットメルト接着剤を供給する溶融タンク131、ホットメルトノズル60、保温カバー10及び供給調整コントローラ400とを備え、可動テーブル1の本体2に、ケース101を載置して当該可動テーブル1の移動に伴うケース1の位置ずれを防止する摩擦抵抗の高いマット3を設ける。 （もっと読む）

【課題】デッピング塗工後に塗工液の乾燥を可能にして、均一な塗膜を形成した塗膜付円筒体を製造することができる塗膜付円筒体の製造方法及び装置を提供する。
【解決手段】中空円筒状基体１を上下の基体支持具２，３によってその両端で支持する。基体支持具によって支持された中空円筒状基体の軸方向に塗工桶７を移動し、中空円筒状基体の表面に塗工液を塗工する。加熱源１５，３８を中空円筒状基体の軸方向に駆動手段１７，４０によって駆動し、中空円筒状基体の表面温度を非接触で検出する温度検出手段１９，１９ａで検知した温度により加熱源を制御する。 （もっと読む）

【課題】基材の内径対応能力が高い円筒状基材把持治具を提供すること。また、この円筒状基材把持治具を用いた円筒状基材移載装置を提供すること。また、この円筒状基材移載装置を用いた電子写真感光体の製造方法を提供すること。
【解決手段】袋状部材１２を、非変形時において軸方向の両端部の最小外径よりも中央部の最大外径の方が大きく構成し、軸方向に圧縮変形することで筒状胴部１２Ａの外径Ｘを拡大させ、軸方向に引張り変形することで筒状胴部１２Ａの外径を収縮させる。これにより、円筒状基体３０の把持及びその解除を行う円筒状基材把持治具である。そして、これを用いて円筒状基材移載装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】 高い搬送効率が得られ、装置の高さを適度に抑えることによりメンテナンスが行いやすく、また装置の長さを適度に抑えることにより設置面積の増大を阻むことのできる塗布、現像装置を提供すること。
【解決手段】 露光前の塗布処理を行うユニット及びユニット間の基板の搬送を行う搬送手段を備えた単位ブロックと、露光後の現像処理を行うユニット及びユニット間の基板の搬送を行う搬送手段を備えた単位ブロックと、を上下に分離すると共に、露光前の塗布処理を行うユニットを第１の積層ブロック部と第２の積層ブロック部とに前後に分散し、更に反射防止膜をレジスト膜の上に塗布するのか下に塗布するのかによって、両積層ブロック部の層を使い分ける。 （もっと読む）

【課題】
パネル状のワークのシラー塗布において、汎用化の向上及び設備費低減したシーラ塗布ワークの位置決め治具を提供する。
【解決手段】
シーラ塗布用ロボット１の前方のフロア上に水平姿勢とロボット１側に任意の角度で傾く傾斜姿勢とに制御されるベース２を配置し、このベース２上にパネル状のワークＷを水平姿勢で搬送するコンベア７と、ワークＷの一側端を支持するためのサーボモータ８ａで伸縮する振れ止め部材８とが設置され、振れ止め部材８が設置されている側のベース２の側端にワーク搬送用固定ガイド９を備え、ロボット１側のベース２の側端にサーボモータ１１により位置が制御され、かつワークＷの端部に対し常に直角となるよう姿勢を制御するワーク搬送用可動ガイド１０を備えた。 （もっと読む）

本発明は、下端面の中心部にテーパーを有する突出部または溝を備えるキャップと、その中心部に、光ディスクの中心孔に挿まれる中心軸を備え、中心軸の末端部には、テーパー状の溝または突出部を備え、中心軸の溝または突出部は、キャップの突出部または溝と凹凸構造に噛み合うようになっている回転用のターンテーブルと、を備え、ターンテーブルの光ディスクの支持台上には、光ディスクを固定するための真空穴が形成されていることを特徴とする光ディスクスピンコーティング用の装置を提供する。これにより、キャップの装着時に、キャップの位置が光ディスクの中央に正確に合わなくても装着が容易であり、真空を利用することによりキャップの脱着が容易であるため、作業性が著しく改善され、光ディスクの製造工程の効率を向上させうる。
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基板処理装置は、基板保持機構（１４）の回転速度に応じて変化する保持力で基板（Ｗ）を保持する基板保持機構（１４）と、基板保持機構（１４）を回転させて基板保持機構（１４）により保持された基板（Ｗ）を回転させる基板回転機構（２２）と、基板保持機構（１４）により保持された基板（Ｗ）の任意の位置に処理液を供給する処理液供給機構（１２，１５，１９）とを備えている。
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