【課題】適量の接着剤をノズルから吐出して布接着作業ができる布接着装置及び蓋制御方法を提供する。
【解決手段】布接着装置は、作業者がペダルを踏み込む操作を行った場合（Ｓ１１：ＹＥＳ）、貯蔵室内の気体圧力を検出する。気体圧力が所定値以上である場合（Ｓ１３：ＹＥＳ）、可動部を移動して鍵穴に嵌める（Ｓ１５）。布接着装置は、押圧部を移動し、接着剤を充填したカートリッジのバルブを開放する（Ｓ１７）。それ故布接着装置は、蓋部を閉鎖した状態で、供給路に接着剤を通し、ノズルから接着剤を吐出できる。布接着装置は、検出した貯蔵室内の気体圧力が所定値未満である場合（Ｓ１３：ＮＯ）、移動部を移動して蓋部を開放可能とする（Ｓ１９）。布接着装置は、押圧部を移動し、カートリッジのバルブを閉鎖する（Ｓ２１）。 （もっと読む）

対象物（２０４）を浸漬処理する設備（２００）は、公知の移送システム（２０６）で作動する。対象物（２０４）が、移動経路に隣接する硬い構造物と衝突することを回避するために、保持フレーム（２１２）に固定された対象物（２０４）の移動の各可能な自由度のために、絶対値を測定する位置トランスデューサ（２７４、２７４’、２７５、２７５’、２７６）が設けられている。メモリに、対象物（２０４）の移動経路に沿った硬い構造物の推移を再現する第１の境界面又は境界線（２７０）の推移が記憶されている。さらに、第１の境界面又は境界線（２７０）に対してある距離を置いて延びる、第２の境界面又は境界線（２７１）の推移が記憶されている。そして、保持フレーム（２１２）に固定された対象物（２０４）の推移を表す輪郭（２７３）の推移も記憶されている。制御装置（２３２）が、位置トランスデューサ（２７４、２７５、２７６）から供給される信号と、他の記憶されているデータから、保持フレーム（２１２）に固定された対象物（２０４）を表す輪郭（２７３）が、第２の境界面又は境界線（２７１）を横切ったか否かを計算し、横切った場合には、対象物（２０４）のそれ以上の移動を即座に禁止する。
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【課題】塗布装置の基板上や保持台上に異物が存在する場合に、異物を正確に検出する。
【解決手段】本発明の塗布装置は、走行機構によって口金部２２を走行させながら、口金部２２のノズル４４から流出した塗布液をステージ１４上の基板１２に塗布する。そして、塗布装置は、ノズル４４よりも走行方向の先方側に存在する異物Ｐを検出する異物検出部４５，３３を備え、異物検出部４５，３３は、ノズル４４よりも走行方向の先方側に設けられていて、基板１２上の異物に衝突可能に設けられた衝突部４５と、異物との衝突に起因する衝突部４５の高さの変化を検出する衝突検出部３３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ノズルの保護部材を設けた場合において、塗布不良の発生を効果的に抑制する技術を提供する。
【解決手段】スリットノズル４１の前方端面４１２から離間距離Ｄ１分離れた位置に、保護部材６０を配置する。保護部材６０は、接続部材６１を介してスリットノズル４１に固定される。保護部材６０、接続部材６１およびスリットノズル４１は、ボルト部材６２により一体的に連結可能であり、このボルト部材６２を着脱することで、接続部材６１が着脱自在となっている。また、離間距離Ｄ１は、接続部材６１のＸ方向の長さを変えることにより調整可能であり、離間距離Ｄ１の値は、塗布速度に応じて設定される。このように、離間距離Ｄ１を設けた分、吐出口４１１と基板９０との間に形成されるレジスト液ＲＧの液面が、離間空間Ｓ１を通過する気流により乱されることを効果的に抑制できる。 （もっと読む）

【課題】サブキャリッジの交換作業開始から各キャリッジを描画位置に配置するまでに要する時間を短縮するとともに、チャンバ内を効率よく温度調節できるパターン形成装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置１の部屋２を第１室Ｚ１と第２室Ｚ２とに区画する隔壁３を設けた。隔壁３は、第１室Ｚ１と第２室Ｚ２との間を各キャリッジが往復移動可能に、且つ、重量測定ユニット５４と第１キャッピングユニットＣＵ１とを第２室Ｚ２に配置させる位置に設けた。第１ドアＤ１が解錠状態のとき、第１室に位置しているキャリッジと、第２〜第６キャッピングユニットＣＵ２〜ＣＵ６と停止状態にした。従って、第２室Ｚ２における機能液の初期充填などの描画準備と第１室Ｚ１における作業者によるサブキャリッジの交換作業とを同時期に行うことができる。また、温度調節を行う空間が第２室Ｚ２だけで済むので温度調節を効率よく行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ステージへの基板の固定に時間を要する場合であっても、塗布装置全体のサイクルタイムが長期化するのを抑えることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】ステージの表面に基板を載置する基板載置工程と、ステージの表面に載置された基板上に初期膜を形成する初期膜形成工程と、塗布ユニットから塗布液を吐出させつつ、基板上に塗布膜を形成する塗布膜形成工程と、を有する塗布装置の塗布方法において、基板載置工程は、基板をステージの表面に吸着する吸着工程を有しており、この吸着工程は、塗布開始位置を含む基板の初期膜形成領域を吸着する初期吸着工程と、初期膜形成領域を除く基板の塗布膜形成領域を吸着する本吸着工程とを含み、初期吸着工程が完了した後、本吸着工程が完了する前に、初期膜形成工程が開始される構成とする。 （もっと読む）

【課題】噴射異常に起因する歩留まりの低下を防止することができる噴射異常検出装置を提供する。
【解決手段】噴射異常検出装置２３において、複数の圧電素子により複数のノズルからそれぞれ液滴を噴射する液滴噴射ヘッドから、複数の圧電素子の各々の電圧値がそれぞれ入力される複数の入力回路と、複数の入力回路から一つの入力回路を順次選択する選択回路と、選択した入力回路に入力された電圧値に基づいて、選択した入力回路に対応する圧電素子により液滴が噴射するノズルの噴射良否を判定する判定部と、ノズルの噴射良否判定結果を出力する出力回路とを備える。 （もっと読む）

【課題】吐出ユニットからの漏液が塗布対象物上へ落下することを防止することができ、しかも、少ない液量の漏液をも検知することができる漏液検知機構およびそれを備えた液体材料塗布装置の提供。
【解決手段】テーブル上に載置されたワークと、ワークと対向する吐出ユニットを相対移動させて液体材料を塗布する塗布装置に取付可能な漏液検知機構であって、前記吐出ユニットの吐出口の対向位置に設けられた開口部を有する受け皿と、受け皿に溜まった漏液を検知する漏液検知装置とから構成され、吐出ユニットの直下に配設される漏液検知機構およびそれを備えた液体材料塗布装置。 （もっと読む）

【課題】塗工工程がオンライン・ブレード塗工方式でありながら、断紙・生産効率低下のおそれがない塗工紙の製造方法とする。
【解決手段】基紙Ｗに塗料をアプリケータ９０で塗布しブレード９１で掻き取るオンライン・ブレード塗工工程を備える。そして、このブレード塗工工程の上流において基紙Ｗの異常の有無を検査し、この検査結果に応じてブレード塗工を一時的に中断する。 （もっと読む）

硬化型スラリー組成物のスプレー時に高歩留まりを確保するための方法および器具。スラリーはある長さのホースによりノズルスプレー・オリフィスまで搬送され、そして硬化促進剤はノズルスプレー・オリフィスから距離「Ｄ」においてスラリーの中に導入される。促進剤のレベルは、硬化促進剤を注入する地点においてスラリー経路中に配置されたセンサーを用いてモニターされる。好ましいセンサーは、各々がホースまたはノズル穴の直径に対応する穴付きの環状体を有する２対の伝導度センサーを含んでなる。促進剤のレベルを微調整することができ、そしてスプレーコーティングの一貫して高い歩留まりを得ることができように、スラリーの電圧は、塩ベースの促進剤流体をスラリーの中に注入する場合に得られる歩留まりに関連付け可能である。
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【課題】 塗布処理時に発生する被処理基板上の静電気を適切かつ効率的に除去すること。
【解決手段】 このレジスト塗布ユニット（ＣＴ）８２は、塗布処理時に基板Ｇの被処理面上に発生する静電気を除去するために接地式の除電部１６０を備えている。この除電部１６０は、片側のスライダ１３２の上に搭載または取付されており、保持部１３６に保持されている基板Ｇの一側縁部の非塗布領域ＮＥにて金属膜ＧＭに接触可能な可動の接触子１６２と、この接触子１６２を復動位置と往動位置との間で移動操作するためのアクチエータ１６４と、接触子１６２を電気的にグランド電位に接続するためのアース線１６６とを有する。 （もっと読む）

【課題】
保守が容易でかつ塗布装置の使用環境を汚染することのない、高粘度のペーストでも確実にノズルの先端を清掃する装置を実現する必要がある。
【解決手段】
そのため、本発明のノズル清掃装置は、上部にノズルの長さ以上の空間を設けたノズル清掃装置本体の上部をラテックスの薄膜で覆い、ラテックス薄膜をその張力を維持するように金具で固定し、ラテックス薄膜にノズルを押し込むことによって該薄膜をノズル表面に密着させてノズルに付着したペーストをラテックス薄膜表面に転写させることを特徴とする。
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【課題】 基板の表面に異物が存在するか否かを検査するとともに、異物の存在の検出が複数回である場合における最適な処理を提供する。
【解決手段】 基台１上に設けられた口金部２と、所定方向に往復動可能な基板支承台３と、基板支承台３に吸着状態で支承される基板４と、口金部２と平行に半導体レーザー光を、所定の広がりを有する状態で照射する投光器５と、この半導体レーザー光を受光する受光器６とを有している。そして、少なくとも、異物の存在が所定回数以上連続することに応答して基板塗布工程を中断させる制御部を有している。 （もっと読む）

【課題】基板の表面に異物が存在するか否かを検査することが出来るとともに、異物の有無に拘わらずシステム全体の動作を継続することができる新規な基板塗布システムを提供する。
【解決手段】平板状の基板４を支承するテーブル部材３と、テーブル部材に支承された基板の上表面に流体を塗布する塗布手段２と、テーブル部材に支承された基板の表面における異物の有無を検出する異物有無検出手段５、６と異物の存在を検出したことに応答して、塗布手段をテーブル部材に支承された基板から離れる方向に移動させる異物存在検出時処理手段ＣＴＲを有している。 （もっと読む）