【課題】簡略化した製造工程で、３次元構造パターンを有するスタンパを製造する方法を提供する。
【解決手段】基板上にネガ型感放射線性組成物を塗布し、前記ネガ型感放射線性組成物由来の第１被膜を形成する工程と、前記第１被膜を露光し、露光された前記第１被膜を現像し、第１パターンを形成する工程と、前記第１パターン上に、前記ネガ型感放射線性組成物を塗布し、第２被膜を形成する工程と、前記第２被膜を露光し、露光された前記第２被膜を現像し、第２パターンを形成する工程と、前記第１パターン及び前記第２パターンに、加熱及びエネルギー線照射から選ばれる少なくとも１種の硬化処理を施す工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークを容易に離型することができ、耐久性にも優れたインプリント用型とその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のインプリント用型は、ワークに対して形状を転写する転写面と、前記転写面にシロキサン結合を介して結合したポリシロキサンを有する結合層と、前記結合層にシロキサン結合を介して結合した有機官能基を有する離型機能層と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数回の転写加工成型を好適に行なうことの出来る針状体製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】針状体形状が形成された針状体原版の針状体形状形成側に充填材料を充填する工程と、前記充填材料を硬化させる工程と、硬化させた前記充填材料を前記針状体原版から剥離して針状体用複製版を得る工程と、前記針状体用複製版の針状形状形成側に電離放射線を照射する工程と、を有することを特徴とする針状体用複製版の製造方法であり、さらに、該複製版を使用して針状体を複製する針状体製造方法である。 （もっと読む）

【課題】被形状転写層に凹凸パターンを有するスタンパを用いて微細パターンを転写形成するインプリント方法において、レジスト膜のはがれをより長期に亘って抑制できるインプリント方法を提供する。
【解決手段】凹凸パターン１１を有するスタンパ１０で、基板上に設けられた被形状転写層３０に微細パターン３１を転写形成するパターン形成工程と、前記微細パターン３１が転写形成された層３０’を硬化する硬化工程と、を備えるインプリント方法であって、前記スタンパ１０が、多孔質材料からなり、前記パターン形成工程の前に、前記スタンパ１０に液状の離型剤２０を付着させる離型剤付着工程を有する。 （もっと読む）

【課題】電子デバイス、光学部品、記録媒体等の作製に有用なナノインプリントプロセス法において、中間スタンパの作製に有利に使用することができる光硬化性転写シートであって、その際に使用される微細凹凸パターンを有する金型との剥離性、及びその中間スタンパから凹凸パターンが転写された製品の光硬化樹脂との剥離性が良好であり、且つ、基材フィルムとの密着性が良好である光硬化性転写シートを提供する。さらに、上記光硬化性転写シートを用いて微細な凹凸パターンを形成する方法を提供する。
【解決手段】加圧により変形可能な光硬化性組成物からなる光硬化性転写層１１を有する光硬化性転写シート１０であって、前記光硬化性組成物が、滑剤としてシリコーン系樹脂及び／又はフッ素原子含有エチレン性化合物を含み、光硬化性転写層１１の表面エネルギーが２０ｍＮ／ｍを超え、３０ｍＮ／ｍ未満であることを特徴とする光硬化性転写シート１０。更に、これを用いた凹凸パターンを形成する方法。 （もっと読む）

【課題】ポリマー表面に微細パターンを形成する際に必要なエネルギーを少なくし、凹凸パターンを有するポリマーシートをより簡単に低コストで作製する方法を提供する。
【解決手段】水系のポリマーラテックスを基材上に塗工する塗工工程、塗工したポリマーラテックスを乾燥させてポリマーシートを形成する乾燥工程、およびポリマーシートに凹凸型のパターンを有するモールドを押し当てる転写工程を含む、凹凸パターンを有するポリマーシートの製造方法。 （もっと読む）

【課題】モールド剥離性に優れ、良好なパターンが形成でき、且つモールド汚染の少ないナノインプリント用組成物、これを用いたパターンおよびその形成方法を提供する。
【解決手段】重合性単量体と、光重合開始剤と、フッ素原子またはケイ素原子のうち少なくとも一方を有する官能基と重合性官能基とを有するポリマーとを含有し、前記フッ素原子またはケイ素原子のうち少なくとも一方を有する官能基と重合性官能基とを有するポリマーの重量平均分子量が２０００以上であり、前記フッ素原子またはケイ素原子のうち少なくとも一方を有する官能基と重合性官能基とを有するポリマーが前記重合性単量体に対し、０．０１〜２０質量％含まれることを特徴とするナノインプリント用組成物。 （もっと読む）

【課題】ＰＤＭＳが用いられたμＣＰ用スタンプを製造する方法であって、気泡混入をほぼ完全に防止することが可能であり、均質にパターン印刷を実施することが可能なμＣＰ用スタンプを製造することができる、μＣＰ用スタンプの製造方法を提供することを主目的とする。
【解決手段】表面に微細凹凸パターンが形成されたマスター版を用い、当該マスター版上に、ＰＤＭＳ膜を塗布する塗布工程と、基板を用い、上記塗布されたＰＤＭＳ膜上に上記基板を接着させる接着工程と、上記マスター版から上記ＰＤＭＳ膜および基板を剥離する剥離工程とを有するμＣＰ用スタンプの製造方法であって、上記接着工程において、上記ＰＤＭＳ膜と上記基板とを接触させる速度が５μｍ／ｓ以下であることを特徴とする、μＣＰ用スタンプの製造方法を提供することにより、上記課題を解決するものである。 （もっと読む）

【課題】加熱硬化後のインプリント性、基板密着性、耐熱性および表面硬度に総合的に優れたナノインプリント用硬化性組成物を提供する。
【解決手段】Ａ）シランカップリング剤、Ｂ）高分子ケイ素化合物、Ｃ）光重合性単量体およびＤ）光重合開始剤を含有することを特徴とする光ナノインプリント用組成物。Ａ）シランカップリング剤が重合性基を含有し、Ｂ）高分子ケイ素化合物が、シルセスキオキサンである、光ナノインプリント用組成物。Ａ）シランカップリング剤が重合性基を含有する光ナノインプリント用組成物。 （もっと読む）

【課題】パターン転写精度、モールドとの剥離性、得られる硬化膜の表面強度および得られる硬化膜の耐熱性（透明性）に優れたナノインプリント用硬化性組成物を提供する。
【解決手段】重合性官能基構造と直鎖状ポリシロキサン構造とを有する化合物（Ａ）と、（メタ）アクリル酸エステルモノマー（Ｂ）と、光ラジカル発生剤（Ｃ）とを含む硬化性組成物であって、前記（メタ）アクリル酸エステルモノマーの前記硬化性組成物中の含有量が６０質量％以上であり、かつ前記硬化性組成物中に含まれる前記（メタ）アクリル酸エステルモノマーの少なくとも１種が多官能（メタ）アクリル酸エステルモノマーであり、該多官能（メタ）アクリル酸エステルモノマーの含有量が前記硬化組成物中の１５質量％以上であることを特徴とするナノインプリント用硬化性組成物。 （もっと読む）

【課題】成形型と転写層の剥離工程における成形型の破損を抑制し、かつ成形時における反りが小さい成形型を提供する。
【解決手段】成形型１は、一方の面側に凹凸パターンを有する第１の基板１１と、前記第１の基板１１の前記凹凸パターン形成面の反対側に接合された第２の基板１２と、前記第２の基板１２を前記第１の基板１１とで挟持して配置され、前記第２の基板１２と接合された第３の基板１３と、を具備し、前記第１の基板１１と前記第３の基板１３は熱膨張係数が同一あるいは略同一の材料からなる。 （もっと読む）

【課題】スピン塗布やスリット塗布に適していて、微細なパターン形成が可能であり、光硬化後の基板に対する密着性が高くて、レジストの剥離が容易であるナノインプリント用硬化性組成物を提供する。
【解決手段】１官能重合性化合物８７質量％以上と、光重合開始剤とを含むナノインプリント用硬化性組成物。 （もっと読む）

【課題】ドライエッチング速度の選択性が高く、かつレジスト等に用いる微細パターンを熱またはＵＶナノインプリント法によって形成することのできる転写材料用硬化性組成物およびその形成方法を提供する。
【解決手段】アクリロイル基を有するポリシロキサンからなり、分子の末端が−Ｏ−Ｓｉ（ＯＲ）_３（ここでＲは炭素数１〜４のアルキル基である）または−Ｏ−Ｓｉ（ＯＸ）_３（ここでＸはアクリロイル基を含有する基である）であって、すべてのＲに対するＸの存在割合が０．１以上である硬化性ケイ素化合物を含有する、微細パターンを形成するための転写材料用硬化性組成物およびこれを用いた微細パターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】接着剤層が不要で、対象物との剥離性が向上したシリコーンゴムシートを提供する。
【解決手段】下記の第一加熱工程（Ｈ１）および第二加熱工程（Ｈ２）によって形成されたシリコーンゴム１層からなることを特徴とする、シリコーンゴムシート。第一加熱工程（Ｈ１）：液状シリコーンを加熱して半硬化シリコーンゴムを形成させる工程。第二加熱工程（Ｈ２）：半硬化シリコーンゴムを更に硬化させる工程。 （もっと読む）

【課題】高アスペクト比の周期的な構造を有する３次元モールドを、製造効率良く製造する方法と、この製造方法によって得られる３次元モールド、加工物、及び樹脂成形品を提供する。
【解決手段】本発明の３次元モールドの製造方法では、レジスト層を基体上に備える被加工物を準備する工程、第一の加熱工程、照射工程、第二の加熱工程、及び現像工程を少なくとも有する。レジスト層は、下記一般式（１）で表されるアルコキシシランの加水分解物および縮合物の少なくとも一方を含む。下記一般式（１）において、Ｒ^１は水素原子又は１価の有機基を表し、Ｒ^２は１価の有機基を表し、ｎは１〜３の整数を表す。第二の加熱工程ではレジスト層を３００℃以上で加熱する。更にこの製造方法によって得られる３次元モールドをモールドとして、加工物及び樹脂成形品を作製する。
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【課題】環境問題に対処することのできる安価な離型フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】金型により成形品を成形する際、金型に挿入される離型フィルム１０の製造方法であって、ポリエステル系エラストマー１００重量部に対してシリコーンゴムを１．０〜２０．０重量部添加して溶融混練することにより成形材料を調製し、この成形材料により離型フィルム１０を成形し、この成形した離型フィルム１０を、圧着ロール２２・２４、金属ロール２３、及びこれら２２・２３・２４の下流に位置する巻取管２６の間に巻きかけて張架するとともに、離型フィルム１０を圧着ロール２２と金属ロール２３とに挟持させる。 （もっと読む）

【課題】パターン転写精度、硬化膜の機械特性（弾性回復率）、および、硬化物の硬度に優れたナノインプリント用硬化性組成物、並びに、これを用いた硬化物およびその製造方法を提供する。
【解決手段】シルセスキオキサン化合物と、無機微粒子と、を少なくとも含み、更に必要に応じて、エチレン性不飽和結合含有基を１個以上有する重合性不飽和単量体、および重合開始剤を含む組成物を重合することを特徴とするナノインプリント用硬化性組成物。 （もっと読む）

【課題】低コストで提供可能な樹脂スタンパを安価に製造することができる技術を提供する。
【解決手段】表面にパターンが形成されたマザースタンパに対して樹脂製の基材を押し付けて成形し、該基材にパターンを転写するとともに、前記基材を打ち抜き加工して板状の樹脂スタンパを製造する方法であり、前記樹脂製の基材２５を少なくとも表層２５ｂと基層２５ａを具備する複層構造として前記表層２５ｂを２５℃における引張弾性率が１．５ＧＰａ以上、かつガラス転移温度が４０℃以上である熱可塑性樹脂から形成し、前記基層２５ａを２５℃における引張弾性率１．０ＧＰａ以下である低弾性樹脂から形成し、前記圧縮成形を行う際、前記表層２５ｂを構成する樹脂のガラス転移点Ｔｇ_Ａに対し、（Ｔｇ_Ａ−１０）℃以上の温度で前記表層２５ｂを前記マザースタンパに押し付けることを特徴とする樹脂スタンパの製造方法。 （もっと読む）

【課題】基体上に塗布し、モールドを押し付けた際に、低いプレス圧力で構造体を得ることが可能なインプリント用膜形成組成物、並びにそのインプリント用膜形成組成物を用いた構造体の製造方法及び得られた構造体を提供する。
【解決手段】本発明に係るインプリント用膜形成組成物は、樹脂と、有機溶剤とを含有し、この有機溶剤が、大気圧における沸点が１００〜２００℃である特定溶剤を含む。構造体を製造する際には、本発明に係るインプリント用膜形成組成物を基体上に塗布して樹脂層を形成し、この樹脂層にモールドを押し付けた後、樹脂層からモールドを剥離する。 （もっと読む）

【課題】耐熱性と耐電圧性双方の特性を満たし、無機充填剤を使用することなく、フィルムの表面に微細な凹凸を形成し、表面摩擦抵抗値を低減して滑り性に優れるコンデンサ用フィルムの製造方法及びコンデンサ用フィルムを提供する。
【解決手段】ポリエーテルイミド樹脂１００重量部に対して０．１〜１０．０重量部のシリコーンゴムを添加して組成物を調製し、組成物を使用してコンデンサ用のフィルムを押出成形し、フィルムを圧着ロール、金属ロール、及びこれらの下流に位置する巻取管の間に順次巻きかけるとともに、フィルムを圧着ロールと金属ロールとに挟み持たせ、フィルムを圧着ロールと金属ロールとに挟み持たせる際、フィルムと金属ロールの表面の凹凸とを密着させ、フィルムの表面に凹凸を形成する。ＰＥＩ製のフィルムを使用するので、耐熱性と耐電圧性双方の特性を同時に満たすことができる。 （もっと読む）