【課題】歩留まりよくパターンを形成することができるパターン形成装置、パターン形成方法及びパターン形成用プログラムを提供する。
【解決手段】実施形態に係るパターン形成装置は、凹凸部を有するテンプレートを被転写物に押印し、凹凸部の形状が転写されたパターンを形成する装置である。パターン形成装置は、計算部と、調整部と、転写部と、を備える。計算部は、パターンの設計情報を用いてテンプレートをパターンから離型する際にパターンに加わる力の分布を計算する。調整部は、計算部で計算した力の分布を均一化するための形成条件及びパターンの設計情報の少なくともいずれかを調整する。転写部は、調整部で調整した形成条件及び設計情報の少なくともいずれかにより凹凸部の形状を被転写物に転写する。 （もっと読む）

【課題】下層膜にダメージを与えることなく基板上のパターンを反転させることができるパターン材料を、基板上に成膜することが可能な成膜方法を提供すること。
【解決手段】実施形態によれば、成膜方法が提供される。前記成膜方法では、所望のレイアウトパターンを反転させた反転パターンを第１の基板上に形成する。そして、前記所望のレイアウトパターンのパターン材料を反転材料として第２の基板上に供給する。この後、前記反転パターンを前記反転材料に対向して接触させることにより、毛細管現象を利用して前記反転材料を前記反転パターンに充填する。 （もっと読む）

【課題】インプリント工程中の雰囲気を構成する気体が、モールド表面に形成された凹凸構造内の空隙に取り込まれることによる転写精度の低下を防止する。
【解決手段】
基板表面上に塗布した成形材料を成形温度に加熱し、この成形材料をモールドに対してプレスして、モールド表面に形成した凹凸構造を転写する工程を備えたインプリント方法において、成形材料をモールドに対してプレスする工程に先立って、モールド表面に形成された凹凸構造内部に、成形材料の成形温度より沸点及び発火点が高い液体を充填し、該凹凸構造内部の空気と置換する工程を設ける。 （もっと読む）

【課題】絶縁性基板の生産性を向上させることが可能な絶縁性基板の製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁性基板の製造方法は、凹状パターン２１ａを有する絶縁性基板２１の製造方法であり、相互に接近又は離反可能なステージ４１,４３と、ステージ４１に取り付けられ、凸状パターン４２１を有するインプリントモールド４２と、ステージ４３に取り付けられたガイドピン４３１と、を準備する工程と、絶縁性基板２１に形成された貫通孔２１ｂにガイドピン４３１を挿入する工程と、ステージ４１,４３を相互に接近させて、インプリントモールド４２に形成されたガイド穴４２２に、ガイドピン４３１を挿入する工程と、インプリントモールド４２とステージ４３との間に絶縁性基板２１を挟み込んで、絶縁性基板２１に凹状パターン２１ａを形成すると共に、ガイドピン４３１の先端をガイド穴４２２の底面に当接させる工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】貫通孔を高精度に形成することが可能なインプリントモールドを提供する。
【解決手段】インプリントモールド１０は、例えば、シリコン（Ｓｉ）から構成される熱インプリント用の金型である。支持部１１と、支持部１１から突出し、バイアホールに対応する突起部１２と、突起部１２の先端面１４１に形成された親油性膜１６と、この先端面１４１を除く全ての表面に離型膜１７を備えている。この親油性膜１６は、例えば、ヘキサメチルジシラザン（ＨＭＤＳ，C6H19NSi2）、又はオクタデシルトリクロロシラン（ＯＴＳ，SiCl3C18H37）等から構成されている。一方、離型膜１７としては、例えば、フッ素系単分子膜等を例示することができる。 （もっと読む）

【課題】光源からの光を被照射面に均一に照射し、被照射面を均一に加熱することができる加熱装置及び加熱方法、並びに、転写率や生産性などを向上させることができる成形装置及びプラスチック成形品の成形方法の提供を目的とする。
【解決手段】加熱装置１は、断面形状が正方形のライトパイプ２と、このライトパイプ２と連結され、断面形状が正方形のライトボックス３と、このライトボックス３内に収容される光源４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】真空条件の下で熱転写成形を行う成形装置の時間当たりの生産性を向上し、被加工材の新たな搬送方法を実現するための熱転写成形ユニットを提供する。
【解決手段】上側スタンパ、被加工材及び下側スタンパを収容して減圧状態を維持しながら加熱成形部、冷却部の順に搬送して熱転写成形を行う熱転写成形ユニット１０であって、上側スタンパと密着する上側台板部１０３と上側台枠部１１０を備えた上側収容部材１０１と、下側スタンパと密着する下側台板部と下側台枠部１４０を備えた下側収容部材１０２と、上側収容部材と下側収容部材との合着により形成され、被加工材を収容する収容空間内を減圧する収容空間脱気部１５０と、収容空間内の気密を保持するガスケット部と、上側台板部と下側台板部との距離を可変させる可変調整部１３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】テンプレートに付けたパターンを印写可能媒体に印写することによってパターンを基板に転写する印写リソグラフィで、この印写可能媒体として熱可塑性または熱硬化性樹脂を使うとき、それだけを必要な温度に迅速に加熱する装置・方法を提供する。
【解決手段】テンプレート３０の転写すべきパターンの上に薄い金属層３５が設けてあり、このテンプレート３０を印写可能媒体３４に接触させ、それとそれを保持するホルダ３１を通してレーザ３６のビーム３７で照射する。このビーム３７を金属層３５が効率的に吸収し、この金属層からの熱を印写可能媒体３４へ効率的に伝達するので、印写可能媒体３４の加熱が迅速であり、熱が基板３２に入って基板を歪めることがない。 （もっと読む）

【課題】熱ナノインプリントリソグラフィ用モールドを提供する。
【解決手段】第１主面２２、および第２主面２３と、スルーキャビティ２４を有し、基板２１と、熱伝導層３３と、任意で、前記熱伝導性機械的支持層３３の下方に位置する絶縁層と、前記第２開口２８の上方３２における前記第２の膜３０の領域内において前記第２の膜３０の他方の側３５に位置する加熱手段３４と、前記加熱手段３４を覆い、前記第２の膜３０を少なくとも部分的に覆う絶縁断熱層３６と、前記第２開口２８の上方における前記絶縁断熱層３６の領域内において前記絶縁断熱層３６上に位置するインプリントパターン３７と、前記加熱手段３４に電流を供給するための手段３８とを備える。 （もっと読む）

【課題】微細構造の熱転写を行う熱式ナノインプリント装置である熱転写装置の加熱冷却機構を、作業性が良く、小形化が可能で、均一、且つ、急速な冷却を可能とする。
【解決手段】微細構造の熱転写を行う熱転写装置は、加圧部１と、受圧部２と、当該加圧部と受圧部との間に配置された加熱冷却能力を備えた転写部１０とを備え、転写部は、断熱層を形成する断熱部材の表面に加熱冷却部材を搭載して、加熱冷却部材には、加熱媒体を内部に挿入するための穴を加工すると共に、転写部を冷却のための冷却媒体を内部に通流するための複数の穴が並列に加工し、断熱部材の一部にも、加熱冷却部材に形成された穴に連通して上下に貫通穴が加工し、加圧部又は受圧部には、断熱部材を介して、加熱冷却部材に形成された穴に連通する複数の穴を加工し、転写部と加圧部又は受圧部との連結部には、Ｏリングから成るシール材を設ける。 （もっと読む）

【課題】過加熱及び過冷却を押さえ、急速な加熱及び冷却を可能とする精密ホットプレス装置における転写部の加熱冷却制御方法及びその装置を提供する。
【解決手段】転写部の温度が目標温度に達する前に、加熱手段又は冷却手段によって転写部へ与えた又は奪ったエネルギー量（熱量）と観測された転写部に出入りするエネルギー量とを比較し、両エネルギー量の差から余剰又は過冷却エネルギー量を算出し、余剰又は過冷却エネルギー量に基づいて転写部の加熱又は冷却を行う。転写部の温度は、ヒータ等の加熱手段や冷却手段が出力する加熱又は冷却の熱量、及び熱の伝達時間を計算し、加熱手段から発生する熱量を、冷却にて打ち消すことにより、転写部の温度の目標温度への急速な制御が可能となる。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスに時間やコストが掛からず、タクト低減可能で、高精度かつ急速な加熱・冷却性能を達成する微細構造転写装置を提供する。
【解決手段】微細構造の熱転写を行う微細構造転写装置は、受圧部２と、加圧部１と、これら受圧部と加圧部の対向面に取り付けられた転写部１０とを備えており、転写部は、断熱部材１０５と、断熱部材表面に取り付けられた加熱冷却部材１０２と、加熱冷却部材の表面に取り付けられたトッププレート１０１を備えており、当該トッププレートは、それに代えて、保持部材によって前記加熱冷却部材の表面に取り付けられた平坦補償用のウェハ１０６又は表面に微細なパターンが形成した金型１０７とすることができ、更に、トッププレート、又は、ウェハ又は金型は、加熱冷却部材に対して分離可能となっている。 （もっと読む）

本発明は、ポリマーの成形方法であって、成形されるべきポリマーをそのガラス転移温度よりも高い温度まで加熱するステップを有し、ポリマーを第１のモールドの成形面（以下、「下側成形面」という）に連続的に（好ましくは、流動化又は布設により）被着させる（好ましくは、このように被着されるポリマー中の剪断応力又は他の応力を減少させ、ゼロにし又は最小限に抑える仕方で）ステップを有し、ポリマーは、ガラス転移温度よりも高い温度のままであり、ポリマーがガラス転移温度よりも高い温度を保っている間、第２のモールドの成形面（以下、「上面」という）をポリマーの少なくとも露出面（以下、「上面」という）に当てるステップを有し、ポリマーが上側及び下側成形面内に又はこれら相互間に保持された状態でガラス転移温度よりも低い温度に転移できるようにするステップを有し、その後、ポリマーは、成形面から取り出されることを特徴とする方法に関する。装置も又、提供される。
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【課題】 転写部の改良によりイニシャルコスト及びランニングコストに係わるコストダウンを図る。
【解決手段】 プレス成形装置Ｍにおける一対のプレス部２ｕ，２ｄ間に介在させることにより、一対のプレス面部Ｆｕ，Ｆｄ間に装填した被プレスシートＳに対して転写部３ｕ，３ｄから転写を行う転写ユニットであって、プレス面部Ｆｕ，Ｆｄを本体面部Ｆｕｍ，Ｆｄｍと転写部３ｕ，３ｄを有する転写シート部Ｆｕｓ，Ｆｄｓにより構成し、本体面部Ｆｕｍ，Ｆｄｍに転写シート部Ｆｕｓ，Ｆｄｓを重ねるとともに、当該転写シート部Ｆｕｓ，Ｆｄｓの縁部を、被プレスシートＳの厚みに対応した厚さを有し、かつ転写シート部Ｆｕｓ，Ｆｄｓの端辺部よりも面方向内方に所定の突出長Ｌｓを有する複数の保持プレート部５ｓ…により押えて固定する。 （もっと読む）

【課題】 微細加工及び経済性に優れた光硬化型のナノインプリント加工装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、凹凸パターンが形成されたモールドにレジストを塗布し、基板と前記レジストとを接触させ、前記レジストを硬化することによって前記パターンの転写されたレジストを基板に転写する加工装置であって、前記レジストを前記基板に接触させる前に、前記凹凸パターンにレジストを侵入させる手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は金型を用いずに、生地自体の織模様、その他事後的に生地へ施された刺繍模様などを有する生地を型生地とし、生地の種類その他糸の太さや孔径等のサイズを問わず、微細な凹凸デザインを合成皮革地の皮革様シート表面へ容易に転写可能とした型押し加工方法の提供。
【解決手段】
上下板プレスによる圧縮により、型生地の模様を皮革様シートへ転写する際に、該皮革様シートの裏面から加熱する型押し加工方法であって、
プレス下板上に型生地の転写模様面を上向きに載置し、該模様面上に皮革様シートの被転写面αを重ね、これを加熱したプレス上板と、直接加熱しないプレス下板とによって加圧する方法とする。 （もっと読む）

【課題】脆性破壊および形状変形が抑制される針状体を製造できる針状体製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の針状体製造方法は、成形材料を結晶性ポリマーとし、加熱処理の際に、針状体形状の先鋭部に充填された成形材料を針状体形状の根元部に充填された成形材料よりも高温に維持することにより、針状体形状の先鋭部が針状体形状の根元部よりも結晶化度が高い針状体を製造できる。先鋭部の結晶化度を根元部と比べ相対的に大きくすることにより、先端部の剛性が高いために穿刺性能が高くかつ根元部に柔性が備わるため脆性破壊が抑制される針状体を提供することが出来る。 （もっと読む）

【課題】型の一方の面に形成されている微細パターンが被成型品に転写されない現象が発生することを防止できる微細パターン転写用型を提供する。
【解決手段】被成型品１１に転写するための微細パターンＰを一方の面２１ａに形成し、且つ、一方の面２１ａと反対側の他方の面２１ｂを平坦に形成した型２１と、微細パターンＰを被成型品１１に転写するときに被成型品１１から受ける反力によって型２１に生じる第１の反りに対して相殺する方向の第２の反りを型２１に予め付与するために、型２１の他方の面２１ｂ上に加熱した状態で接着した後に冷却して収縮により型２１と共に湾曲させた反り補正板２２と、を一体的に備えたことを特徴とする微細パターン転写用型２０を提供する。 （もっと読む）

【課題】設備が大掛かりでなく、また、成形枠内で樹脂を成形するため余剰樹脂やバリを抑えることが出来、原料コストの削減、成形にかかる時間を短縮することが可能で、更に、成形されるまでの樹脂の経時変化の問題を解決することが出来る成形装置を提供する。
【解決手段】樹脂を加熱して溶融し、その溶融された樹脂をプレスすることで樹脂を成形する成形装置であって、樹脂を成形するための周壁を有する成形枠と、前記成形枠の周壁の内壁に沿って前記成形枠と独立して移動する上金型と、下金型とを有し、前記成形枠と下金型が相対的に垂直方向に上下動するよう設置され、且つ、前記下金型上に置載された樹脂を溶融させるための加熱手段と、樹脂を加熱成形後に凝固させるための冷却手段とを備えたことを特徴とする成形装置。 （もっと読む）