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窒化アルミニウム質セラミックス、半導体製造部材及び窒化アルミニウム質セラミックスの製造方法
【課題】窒化アルミニウムの特性を維持しつつ、その耐食性を向上させる。
【解決手段】窒化アルミニウム質セラミックス10は、窒化アルミニウム粒子と粒界相とを備える。更に、窒化アルミニウム質セラミックス10は、その表層に内部11よりも粒界相を多く含む粒界相豊富層12を備える。そして、その粒界相豊富層12における粒界相は希土類元素又はアルカリ土類元素の少なくとも1つを含有する。
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酸窒化アルミニウムを含有するウイスカー強化セラミックおよびその製造法
セラミック体(20)、ならびにその製造法であって、該セラミック体は、酸窒化アルミニウムおよびウイスカー、(および必要に応じて)1以上の炭窒化チタン、および/またはアルミナ、および/またはジルコニア、および/または他の成分を含有する。
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焼結性ナノ粉末セラミック材料およびその製造方法
【課題】熱的に安定で直接焼結に好適な多重元素ナノ粉末とその製造方法を提供する。
【解決手段】Si/C/N/Ea/Fb/Gc/O多元素ナノ粉末(E、F、およびGはSi以外の互いに異なった金属原子を示し、a、b、およびcの少なくとも一つは非ゼロである)の製造方法を提供する。この粉末は、少なくとも一つの金属前駆体、該少なくとも一つの金属前駆体の唯一の溶媒として用いられるヘキサメチルジシラザンSi2C6NH19、およびシランSiH4を有してなるエアロゾルのレーザー熱分解により得る。該粉末中の各粒子は、Si、C、N、Ea、Fb、Gc、およびOの全ての元素を含有し、その等量化学量論的化合物で表した化学組成において遊離炭素の含有量が2%未満、SiO2の含有量が10%未満である。該ナノ粉末の、Si3N4/SiC複合セラミックを製造するための使用。
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高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体
窒化アルミニウム(101面)のX線回折強度IAlNに対するAl2Y4O9(201面)のX線回折強度IAl2Y4O9の比(IAl2Y4O9/IAlN)が0.002〜0.03であり、熱伝導率が220W/m・K以上、三点曲げ強度が250MPa以上であることを特徴とする高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体である。上記構成によれば、熱伝導率が高く放熱性が優れた窒化アルミニウム焼結体を提供することができる。 (もっと読む)
金属蒸発用容器及びその製造方法
顕著に向上した有効寿命及び耐食性を有する金属蒸発用の耐火性容器であって、耐火性ホウ化物、窒化ホウ素、及び酸化物、窒化物、炭化物又はこれらの混合物の1種から選択される希土類金属化合物約0.10〜10wt%から実質的になる耐火性容器。 (もっと読む)
窒化珪素質焼結体およびその製造方法、並びにそれを用いた耐溶融金属用部材、耐摩耗用部材
窒化珪素の結晶と、第1金属珪化物(Fe、Cr、MnおよびCuのうち少なくとも1つの第1の金属元素からなる金属珪化物)、第2金属珪化物(W、Moのうち少なくとも1つの第2の金属元素からなる金属珪化物)、第3金属珪化物(第1の金属元素と第2の金属元素を含む複数金属成分からなる金属珪化物)のうち少なくとも2つを含む粒界層とを有し、前記粒界層が第1〜第3金属珪化物のうち少なくとも2つが互いに接する隣接相を有する窒化珪素質焼結体とする。 (もっと読む)
回路基板およびその製造方法
【課題】熱伝導率が高く優れた放熱性を有し、かつ高強度で組立時および使用時における割れの発生が少なく、さらに導体層の短絡・不良の発生が少ない回路基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】セラミックス結晶粒子と液相酸化物粒子とから成るセラミックス基板2に回路となる導体層3を一体に形成した回路基板1において、上記セラミックス基板2の熱伝導率が180W/m・K以上であり、かつセラミックス結晶粒子の平均粒径が10μm以下であることを特徴とする回路基板である。
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