【課題】光電変換素子のバッファ層として、低コストに、かつ、より高い品質のバッファ層を得る。
【解決手段】化学浴析出装置１において、成膜用基板１０の成膜面１０ａに対して膜を化学浴析出させるための反応液２を蓄える反応槽３と、成膜用基板１０の裏面が密着固定されるステンレスからなる固定面２１ａを有し、少なくとも成膜面１０ａを反応液２に接触させるように成膜用基板１０を保持する基板保持部２０と、成膜用基板１０をその裏面側から加熱する、固定面２１ａの裏側に装着されたヒーター３０と、反応槽３中の反応液２の温度を制御する反応液温度制御部４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 酸化物半導体膜を用いたＴＦＴでは、ソース・ドレイン電極のプラズマエッチング後に酸化物半導体膜の表面領域に酸素欠損が生成されオフ電流が高くなってしまうという課題があった。
【解決手段】ＴＦＴ１０１は、基板としての絶縁性基板１０上のゲート電極１１、ゲート電極１１上のゲート絶縁膜１２、ゲート絶縁膜１２上の酸化物半導体膜１３、及び、酸化物半導体膜１３上のソース・ドレイン電極１４を有する。そして、ＴＦＴ１０１の特徴は、酸化物半導体膜１３のソース・ドレイン電極１４が重ならない部分に、フッ素及び塩素の少なくとも一方を含む表面層１５が存在することである。 （もっと読む）

【課題】複雑で設計の自由度が高く、粒子構造に応じた機能を発現可能な階層構造の粒子集合体、及び、該粒子集合体を簡便かつ安価な方法で製造可能とする階層構造の粒子集合体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の階層構造の粒子集合体は、基板と、該基板上に形成したテンプレートと、該テンプレート上に形成されたナノ構造体とを備える階層構造の粒子集合体であり、前記テンプレートは、球状粒子が規則的に配列された球状粒子層が前記基板側から前記ナノ構造体側に向けて少なくとも２層積層されて形成され、前記球状粒子の粒径サイズは、前記球状粒子層間で異なり、前記基板側から前記ナノ構造体側に向けて小さく、前記ナノ構造体は、前記テンプレートの最表層を形成する前記球状粒子層における個々の前記球状粒子上に配され、前記球状粒子の粒径サイズよりも小さな粒径のナノ粒子で形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】Ｅｕが光学的に活性化したＺｎＯ：Ｅｕ膜に十分な水素が存在する状態が得られるようにする。
【解決手段】第１工程Ｓ１０１で、基板１０１の上にＥｕがドープされたＺｎＯからなる薄膜１０２を形成する。次に、第２工程Ｓ１０２で、水素が存在する雰囲気の加熱により薄膜１０２の中に水素が含まれた状態として薄膜１０２のＥｕを活性化する。例えば、第１工程では、Ｈ₂Ｏガスを導入するスパッタ法で、薄膜１０２を形成すればよい。この場合、Ｅｕを含有するＺｎＯからなるターゲットを用いた電子サイクロトロン共鳴スパッタ法を用いればよい。 （もっと読む）

【課題】 透明性、導電性および塗膜の密着強度に優れた透明導電膜を形成可能な透明導電膜形成用分散液、およびこの透明導電膜形成用分散液により形成される透明導電膜、ならびに透明導電膜の製造方法を提供する。
【解決手段】 −（Ｃ＝Ｏ）−ＣＨ_２−（Ｃ＝Ｏ）−基を含む、酸化インジウム、酸化錫および酸化亜鉛からなる群より選ばれる少なくとも１種の金属酸化物の前駆体と、Ｓｎドープ酸化インジウム、Ｓｂドープ酸化錫、Ｚｎドープ酸化インジウム、Ｇａドープ酸化亜鉛およびＡｌドープ酸化亜鉛から選ばれる少なくとも１種の金属酸化物微粒子と、
溶媒と、を含むことを特徴とする、透明導電膜形成用分散液である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、色素増感型太陽電池の電極材料として好適な新規な酸化亜鉛半導体材料およびその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】化学浴堆積法を用いて酸化亜鉛半導体ナノロッド結晶を析出させる方法において、析出反応液におけるアルミニウム原子と亜鉛原子のモル比(Ａｌ／Ｚｎ)を０.０００１×１０^−２ 〜 １０×１０^−２の範囲に調整する。その結果、アルミニウムドープ酸化亜鉛ナノロッド構造は、ロッド径が太くなり、結晶内の電子伝導性が向上する。さらに、アルミニウムドープ酸化亜鉛ナノロッドの高い電子伝導性を維持した状態で結晶構造を伸長させることよって、低電気抵抗と高い開放電圧が同時に実現される。 （もっと読む）

【課題】原料容量が２０Ｌ以上もの大スケールにおいても、光学特性が優れた薄片状酸化亜鉛粒子を安定して製造しうる、薄片状酸化亜鉛粉末の製造方法を提供する。
【解決手段】亜鉛塩及び水を含む２０Ｌ以上の混合物に、下記式（１）におけるａが０．４５以上となる攪拌条件下で、該亜鉛塩に対してモル比２．０〜３．０のアルカリを、アルカリ溶液として添加時間３０〜７０秒で添加する工程を有する、薄片状酸化亜鉛粉末の製造方法。
Ｉ_s（θ）＝ｅ^-aθ （１）
（式（１）中、Ｉ_s（θ）は分離強度、ｅは自然対数の底、θは混合開始からの攪拌時間（単位：秒）を表す。） （もっと読む）

【課題】希少金属を使用せず、安価であり、優れた機械的強度とともに、良好な化学的耐久性を有する透明導電性基板、これを用いた電子デバイスおよびタッチパネルを提供する。
【解決手段】透明導電性基板１は、絶縁性を有する透明基板１２と、前記透明基板１２上に形成された酸化亜鉛にドーパントとして低原子価金属酸化物を低原子価金属／亜鉛の原子数比で０．０２〜０．１の割合となるようにドープし、比抵抗が、２．０×１０^-3Ω・ｃｍ以下である透明導電膜１３とを少なくとも備え、前記透明導電膜１３は、酸化亜鉛を主成分とし、低原子価金属酸化物をドープしたターゲットまたはタブレットを用いて、スパッタリング法、イオンプレーティング法、パルスレーザ堆積（ＰＬＤ）法またはエレクトロンビーム（ＥＢ）蒸着法にて成膜される。 （もっと読む）

【課題】安定放電可能な酸化物焼結体ターゲット、および低抵抗かつ可視光域から近赤外域の広範囲で高い透過率を有する透明導電膜を提供する。
【解決手段】亜鉛、元素Ｌ（Ｌはアルミニウムおよび／またはガリウム）、スカンジウム並びに酸素から成る複合酸化物焼結体であって、原子比が、
Ｌ／（亜鉛＋Ｌ＋スカンジウム）＝０．００１〜０．１００
スカンジウム／（亜鉛＋Ｌ＋スカンジウム）＝０．００１〜０．１００
である酸化物焼結体から成るスパッタリングターゲットを用いて、スパッタリング法により成膜し、原子比が
Ｌ／（亜鉛＋Ｌ＋スカンジウム）＝０．００２〜０．１００
スカンジウム／（亜鉛＋Ｌ＋スカンジウム）＝０．００２〜０．１００
である透明導電膜を得て、それを受光素子に使用する。 （もっと読む）

【課題】より優れた紫外線吸収性を発揮するとともに、良好な透明性を有し、例えば基材に内添もしくはコーティングした場合にも基材の透明性を損なうことがない、微粒子状金属酸化物を提供する。
【解決手段】本発明にかかる微粒子状金属酸化物は、Ｚｎ、ＴｉおよびＣｅからなる群より選ばれる少なくとも１種を金属元素とする酸化物からなる粒子内にＣｕ、Ａｇ、Ｍｎに由来する成分が含有されてなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、低コスト・低環境負荷で大面積化・量産化を実現することのできる導電性ＺｎＯ膜の新規な製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】クエン酸の存在下、液相析出法によって酸化亜鉛（ＺｎＯ）の結晶を基板上に析出させる。クエン酸がＺｎＯの(0001)面の表面に吸着することによって、析出反応において結晶のc軸方向の異方性成長が抑制され、基板表面に緻密な結晶膜が形成される。その後、形成されたＺｎＯ結晶膜に対して紫外線を照射することによって、膜内に取り込まれた有機酸を光分解する。その結果、有機酸にトラップされていたキャリアが結晶膜内に放出され、ＺｎＯ結晶膜に好適な導電性が付与される。 （もっと読む）

【課題】ジエチル亜鉛またはジエチル亜鉛等の有機亜鉛化合物の部分加水分解物をベースとした組成物を用いてＩＧＺＯ等の酸化物半導体膜等に適用可能な複合酸化物薄膜を成膜する方法を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表される有機亜鉛化合物または前記有機亜鉛化合物の水による部分加水分解物と３Ｂ族元素化合物または３Ｂ族元素化合物の水による部分加水分解物を、亜鉛に対する３Ｂ族元素のモル比が０．１を超え５以下の範囲で含有する組成物を、不活性ガス雰囲気下、基板表面に塗布し、次いで、得られた塗布膜を加熱する操作を少なくとも１回行うことを含む、可視光線に対して８０％以上の平均透過率を有する酸化亜鉛薄膜の製造方法。
Ｒ^１−Ｚｎ−Ｒ^１ （１）
（式中、Ｒ^１は炭素数１〜７の直鎖または分岐したアルキル基である。）
有機溶媒をさらに含有することができる。 （もっと読む）

【課題】電気的特性に優れる金属酸化物半導体薄膜を低温でも形成することが可能な金属酸化物半導体粒子分散組成物を提供する。更に、本発明は、該金属酸化物半導体粒子分散組成物を用いた金属酸化物半導体薄膜、透明導電膜及び薄膜トランジスタを提供する。
【解決手段】金属酸化物半導体粒子と分散媒を含有する金属酸化物半導体粒子分散組成物であって、前記金属酸化物半導体粒子は、平均粒子径が１〜５０ｎｍであり、かつ、平均粒子径／平均結晶子径が１〜３である金属酸化物半導体粒子分散組成物。 （もっと読む）

【課題】ジエチル亜鉛またはジエチル亜鉛等の有機亜鉛化合物の部分加水分解物をベースとした組成物であってＩＧＺＯ等の酸化物半導体膜等に適用可能な複合酸化物薄膜を成膜することができる新たな組成物を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表される有機亜鉛化合物または前記有機亜鉛化合物の水による部分加水分解物と３Ｂ族元素化合物または３Ｂ族元素化合物の水による部分加水分解物を、亜鉛に対する３Ｂ族元素のモル比が０．１を超え５以下の範囲で含有する複合酸化物薄膜製造用組成物。
Ｒ^１−Ｚｎ−Ｒ^１ （１）
（式中、Ｒ^１は炭素数１〜７の直鎖または分岐したアルキル基である。）
有機溶媒をさらに含有することができる。 （もっと読む）

【課題】移動度が高く電気的特性に優れ、印刷法でも製造可能な金属酸化物半導体薄膜を提供する。更に、本発明は、該金属酸化物半導体薄膜の製造方法及び該金属酸化物半導体薄膜を用いた薄膜トランジスタを提供する。
【解決手段】金属酸化物を含有する金属酸化物半導体薄膜であって、前記金属酸化物は、下記式（１）に規定する関係を満たすことを特徴とする金属酸化物半導体薄膜。
［数１］
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【課題】有機亜鉛化合物の部分加水分解物をベースとした組成物から、製膜時の基板の加熱温度が３００℃以下の低温成膜においても可視光線に対して８０％以上の平均透過率と、帯電防止薄膜などに利用可能な程度に低い体積抵抗率を有する酸化亜鉛薄膜を調製することができる組成物を提供する。
【解決手段】有機亜鉛化合物または有機亜鉛化合物を水で少なくとも部分加水分解して得られる部分加水分解物を電子供与性有機溶媒と電子供与性有機溶媒とは異なる種類の有機溶媒との混合溶媒に溶解した溶液である酸化亜鉛薄膜製造用組成物。前記組成物に、３Ｂ族元素化合物を前記有機亜鉛化合物に対するモル比が０．００５〜０．１の割合になるよう添加して得られる酸化亜鉛薄膜製造用組成物。 （もっと読む）

【課題】有機亜鉛化合物を原料とし、発火性がなく取扱いが容易であり、３００℃以下の加熱で透明な酸化亜鉛薄膜および３Ｂ族元素がドープされた酸化亜鉛薄膜を形成できる酸化亜鉛薄膜製造用組成物を提供する。
【解決手段】有機亜鉛化合物の部分加水分解生成物を含む酸化亜鉛薄膜製造用組成物。水の添加量が有機亜鉛化合物に対するモル比で０．０５以上〜０．４未満である。有機亜鉛化合物と３Ｂ族元素化合物との溶液に水を添加して、有機亜鉛化合物の部分加水分解物を含み、３Ｂ族元素化合物は、有機亜鉛化合物に対するモル比が０．００５〜０．３であるドープ酸化亜鉛薄膜製造用組成物。水の添加量が有機亜鉛化合物および３Ｂ族元素化合物の合計量に対するモル比で０．０５以上〜０．４未満である。有機亜鉛化合物の部分加水分解物に３Ｂ族元素化合物を有機亜鉛化合物に対するモル比が０．００５〜０．３の割合になるよう添加して得られる生成物を含む、ドープ酸化亜鉛薄膜製造用組成物。水の添加量が、有機亜鉛化合物に対するモル比で０．０５以上〜０．４未満である。 （もっと読む）

【課題】有機亜鉛化合物またはその部分加水分解物をベースとした組成物から、製膜時の基板の加熱温度が３００℃以下の低温成膜においても可視光線に対して８０％以上の平均透過率と、帯電防止薄膜などに利用可能な程度に低い体積抵抗率を有する酸化亜鉛薄膜を提供する。
【解決手段】下記組成物を、不活性ガス雰囲気下、基板表面に塗布し、次いで、得られた塗布膜を加熱する操作を少なくとも１回行うことを含む、可視光線に対して８０％以上の平均透過率を有する酸化亜鉛薄膜の製造方法。有機亜鉛化合物またはその部分加水分解物を電子供与性有機溶媒と電子供与性有機溶媒とは異なる種類の有機溶媒との混合溶媒に溶解した溶液である組成物。前記組成物３Ｂ族元素化合物をさらに含むことができる。前記製造方法で得られた酸化亜鉛薄膜からなる帯電防止薄膜、紫外線カット薄膜、透明電極薄膜。 （もっと読む）

【課題】有機亜鉛化合物を原料とし、発火性がなく取扱いが容易である酸化亜鉛薄膜製造用組成物を用いた、透明な酸化亜鉛薄膜や３Ｂ族元素がドープされた酸化亜鉛薄膜をスピンコート等での塗布成膜により得る方法を提供する。
【解決手段】組成物Ａ〜Ｃのいずれかを、不活性ガス雰囲気下、基板表面に塗布し、次いで、得られた塗布物を加熱する操作を少なくとも1回行うことを含む、可視光線に対して８０％以上の平均透過率を有する酸化亜鉛薄膜の製造方法。組成物Ａ：有機亜鉛化合物の部分加水分解物を含み、水の添加量が有機亜鉛化合物に対するモル比で０．０５以上〜０．４未満である組成物。組成物Ｂ：有機亜鉛化合物と３Ｂ族元素化合物との溶液に水を添加して、有機亜鉛化合物を部分的に加水分解して得られる生成物を含み、３Ｂ族元素化合物は、有機亜鉛化合物に対するモル比が０．００５〜０．３であり、水の添加量が有機亜鉛化合物および３Ｂ族元素化合物の合計量に対するモル比で０．０５以上〜０．４未満である組成物。組成物Ｃ：有機亜鉛化合物の部分加水分解物に３Ｂ族元素化合物を有機亜鉛化合物に対するモル比が０．００５〜０．３の割合になるよう添加して得られる生成物を含み、水の添加量が、前記有機亜鉛化合物に対するモル比で０．０５以上〜０．４未満である組成物。 （もっと読む）

【課題】 低抵抗で高透過性の透明導電膜積層体及びその製造方法、並びに薄膜太陽電池及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 透明導電膜（Ｉ）上に、透明導電膜（ＩＩ）が積層された透明導電膜積層体において、透明導電膜（Ｉ）は、アルミニウム及びガリウムから選ばれる１種以上の添加元素を含み、添加元素の含有量が、−２．１８×［Ａｌ］＋１．７４≦［Ｇａ］≦−１．９２×［Ａｌ］＋６．１０で示される範囲内である。透明導電膜（ＩＩ）は、アルミニウム及びガリウムから選ばれる１種以上の添加元素を含み、添加元素の含有量が、−［Ａｌ］＋０．３０≦［Ｇａ］≦−２．６８×［Ａｌ］＋１．７４で示される範囲内である。但し、［Ａｌ］は、Ａｌ／（Ｚｎ＋Ａｌ）の原子数比（％）で表したアルミニウム含有量であり、一方、［Ｇａ］は、Ｇａ／（Ｚｎ＋Ｇａ）の原子数比（％）で表したガリウム含有量である。 （もっと読む）