【課題】新たなフィルタ装置を別途設けることなく、かつ、流体の供給を停止することなく、フィルタエレメントの交換を行うことができる流体供給装置を提供する。
【解決手段】フィルタ装置１１によって不純物が除去された空気を燃料電池Ｃ１に供給する配管５ａと、フィルタ装置３１によって不純物が除去された空気をバーナＣ３に供給する配管５ｂとを、フィルタ装置１１およびフィルタ装置３１より下流側で、配管５ｃによって接続した。また、フィルタ装置１１と配管５ｃとの間で配管５ａにバルブ１３を設け、フィルタ装置３１と配管５ｃとの間で配管５ｂにバルブ３３を設けた。フィルタ装置１１のフィルタエレメント１１ａを交換する場合、バルブ３３を全開状態にした後にバルブ１３を全閉状態にし、フィルタ装置３１を通過した空気が燃料電池Ｃ１に供給されるようにする。 （もっと読む）

【課題】連続的かつ正確な配量正確性が保証されるとともに、添加剤をガス状かつ配量して配量位置へ供給することが可能な装置及び方法を提供すること。
【解決手段】蒸発性の液体用のための少なくとも１つのリザーバ１，２と、第１管路を介して前記リザーバ１，２に後置接続され、かつ、流通する液体質量を計測するための質量計測器５と、第２管路を介して前記質量計測器５に後置接続され、かつ、所定の分量に配量可能なコントロールバルブ６と、該コントロールバルブ６と配量位置９の間の第３管路へキャリアガスを供給できるようにするための供給装置７とを備える構成とした。
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【課題】気液混合の状態にある流動体を減圧して次工程に送給するにあたり、その送給量を安定させることができる気液混合流動体の送給方法及び送給装置を提供する。
【解決手段】気液混合の状態にある流動体を減圧して次工程に送給する送給装置１は、前記流動体を移送する導管１１と、該導管１１から上下に分岐した２つの分岐管１２ａ，１２ｂと、該各分岐管にそれぞれ設けられた調圧弁１３と、を備えており、前記流動体を、気体状流動体と液体状流動体とに分離し、分離された前記気体状流動体及び前記液体状流動体を、各分岐管で移送して、それぞれ減圧する。 （もっと読む）

【課題】工程の負荷変動があったとしても所望のガス混合比を得ることができる混合ガス供給システムを提供する。
【解決手段】複数のガス導管路に流れるガスの質量流量を複数の流量制御装置によって質量流量が制御され、ガス混合器で混合されたガスを所定の工程に導くガス配管路に設けられて、ガス混合器で混合された混合ガスの濃度を計測する濃度計測部と、予め校正されて、ガス混合器で混合された各ガスの混合比と濃度計測部が計測した濃度情報との相関関係を保持する濃度情報保持部と、混合比設定部によって設定された混合比と濃度情報保持部が保持する濃度情報から導かれる各ガスの混合比との差分を求めて流量制御装置にそれぞれのガスの流量指令を出力してガス導管路に流れるガスの質量流量を制御する流量監視部を備える。 （もっと読む）

【課題】中空部の形成のために必要とされる一定圧力の加圧ガスを確実に導入することを可能にし、しかも、簡素な構造を有する加圧ガス導入装置を提供する。
【解決手段】加圧ガス導入装置は、加圧ガス供給源１０と、加圧ガス計量部２０と、加圧ガス供給源１０から加圧ガス計量部２０に加圧ガスを供給するための第１加圧ガス供給路３０と、加圧ガス計量部２０から金型に設けられたキャビティ内の溶融樹脂内に加圧ガスを導入するための第２加圧ガス供給路３２と、加圧ガス計量部２０と第１加圧ガス供給路３０との間に配置された加圧ガス供給弁３１と、加圧ガス計量部２０と第２加圧ガス供給路３２との間に配置された加圧ガス排出制御弁３３から構成され、加圧ガス計量部２０は配管から成る。 （もっと読む）

【課題】 起泡性クリーム体調製用の容器に対して起泡用亜酸化窒素を安全に供給するのに適し、且つ、起泡用亜酸化窒素の供給量を調節するのに適した、装置および方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の供給装置１０は、亜酸化窒素ボンベ３０から起泡性クリーム体調製用の容器２０に対して起泡用の亜酸化窒素をガスの状態で供給するためのものであり、亜酸化窒素ボンベ３０からの亜酸化窒素ガスを、設定圧力以下の圧力で通過させるための圧力制限手段１１と、圧力制限手段１１の下流側にて亜酸化窒素ガスが設定圧力を超える圧力を有する場合に当該亜酸化窒素ガスの圧力を設定圧力以下に降下させるための降圧手段１２とを、亜酸化窒素ボンベ３０と容器２０との間の供給ラインに備える。本発明の供給方法では、例えばこのような装置１０を使用して、起泡性クリーム体調製用の容器２０に対し、起泡用の亜酸化窒素を、液相を含まないガスの状態で供給する。 （もっと読む）

【課題】流体保存・分配システム及びそれを使用するために流体を供給するプロセスを提供する。
【解決手段】物理的収着剤を閉じ込めた流体保存・分配容器、及び内部調整器を装備した流体保存・分配容器の交換を含め、流体保存・分配システムの様々な構成について説明する。システム及びプロセスは、安全性を強化した有害流体の保存及び分配等、多種多様な最終用途に適用可能である。特定の最終用途では、大気圧未満の圧力でガスを保持する物理的収着剤を閉じ込める大規模で固定配置された流体保存・分配容器から、半導体製造設備へと試薬ガスが分配され、このような容器は本明細書で開示しているように、補充ガスの安全なガス源から補充可能である。 （もっと読む）

【課題】水素貯蔵タンクに収容された水素吸蔵材の劣化を従来技術より簡単な構成で、しかも精度良く検出する。
【解決手段】水素貯蔵タンク12は水素吸蔵合金MH及び熱交換器19を内蔵している。マイクロコンピュータ31は水素吸蔵合金のＰＣＴ曲線に基づいて、水素充填開始時の水素貯蔵タンク12内の圧力が水素吸蔵合金のプラトー領域の状態又はプラトー領域より低圧であるときに、水素吸蔵合金MHの劣化有無の判断を行う。マイクロコンピュータ31は熱交換器19の入口及び出口における熱媒体の温度と、熱媒体の流量とに基づいて水素貯蔵タンク12への水素充填時において冷却に使用された冷却熱量を演算する。マイクロコンピュータ31は空の状態から予め設定された所定圧力まで水素を充填する際に必要な基準冷却熱量と、前記冷却熱量とに基づいて水素吸蔵合金MHの劣化の有無を判断する。 （もっと読む）

【課題】 薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液を収容して密閉可能とされた薬液タンク１０と、この薬液タンク１０に薬液供給パイプ７で接続され外部からの高圧気体の送気により内部に発生する負圧を利用して上記薬液タンク１０からの薬液を負圧吸引して該薬液を噴射するノズル１１と、上記薬液供給パイプ７に対しノズル１１が接続された部位の近傍から分岐されて上記薬液タンク１０の上面に接続されその内部空間Ｓの空気を吸引して負圧を発生させる空気吸引手段１２と、上記薬液タンク１０内に形成される負圧空間Ｓに対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段１３とを備え、上記正圧供給手段１３により薬液タンク１０に供給する正圧ガスの圧力を調整することによって上記ノズル１１への薬液の供給流量を制御するものである。 （もっと読む）